DE4225211A1

DE4225211A1 - Fluid valve

Info

Publication number: DE4225211A1
Application number: DE19924225211
Authority: DE
Inventors: Armin Pokorny
Original assignee: Pokorny GmbH
Current assignee: Steag Microtech GmbH
Priority date: 1992-07-30
Filing date: 1992-07-30
Publication date: 1994-02-03
Also published as: AU4324993A; EP0606420A1; JPH07502588A; WO1994003747A1

Abstract

The invention concerns a valve (1) which, in the region of the fluid which flows through it, is frictionless and hence does not contaminate the fluid with germs or other particles. The valve has a chamber (2) for the fluid, the chamber having at least one elastic wall zone (4) connected to a valve plug (7). By virtue of the pressure exerted by the fluid in the chamber (2) on the elastic wall zone (4), the valve (1) is self-sealing.

Description

Die Erfindung betrifft ein Fluidventil mit einer einen Ventilsitz aufweisenden Ventilöffnung, einem beweglichen Ventilverschluß und einer Ventilverschluß-Betätigungs einrichtung.The invention relates to a fluid valve with a Valve seat having valve opening, a movable Valve closure and a valve closure actuation Facility.

Bei herkömmlichen Fluidventilen ist der Ventilverschluß, beispielsweise der Ventilkegel, in Lagern oder Buchsen geführt, und in diesen Lagern oder Buchsen zur Öffnung und Schließung des Ventils beweglich. Dadurch treten zwi schen dem Ventilverschluß oder seiner mechanischen Ver bindung mit der Verschluß-Betätigungseinrichtung Reibun gen auf, die bewirken, daß beim Betätigen des Ventilver schlusses Partikel in das Fluid gelangen, die von dem La ger oder Buchsenmaterial, den beweglichen Teilen der Ven tilbetätigungseinrichtung abgerieben werden, oder von Verunreinigungen stammen, die sich in den Buchsen oder auf den Verschluß-Betätigungseinrichtungen befinden. Die herkömmlichen Fluidventile stellen daher Verkeimungs und/oder Partikelquellen dar, die das Fluidventil verun reinigen, was für zahlreiche Anwendungsbereiche, wie in der Medizin, Technik oder in der Hochtechnologie, bei spielsweise für die Fertigung von Halbleiterchips nicht hingenommen werden kann.With conventional fluid valves, the valve closure is for example the valve cone, in bearings or bushings guided, and in these bearings or bushings for opening and closing of the valve movable. This means that between the valve closure or its mechanical Ver binding with the lock actuator Reibun gen on, which cause that when the valve ver concluding particles get into the fluid by the La ger or bushing material, the moving parts of the Ven be actuated by the actuator, or by Impurities originate in the bushings or located on the lock actuators. The conventional fluid valves therefore pose germs and / or particle sources that pollute the fluid valve clean what for numerous areas of application, as in medicine, technology or high technology, at not for example for the production of semiconductor chips can be accepted.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Fluidventil zu schaffen, bei dem im Fluidbereich im we sentlichen keine Reibungen oder mechanischen Bewegungen auftreten, so daß das Fluid nicht verunreinigt wird.The invention is therefore based on the object To create fluid valve in which in the fluid area in the we significant no friction or mechanical movements occur so that the fluid is not contaminated.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge löst, daß eine Fluidkammer wenigstens einen elastischen Randbereich aufweist, der mit dem Ventilverschluß verbun den ist. Durch diese erfindungsgemäßen Merkmale ist die Fluidkammer des Fluidventils nach außen hermetisch abge schlossen und es treten keine mechanischen Bewegungen oder Reibungen im Fluidbereich auf, so daß auch keine Partikel oder ionische Verunreinigungen ins Fluid gelan gen können. Das erfindungsgemäße Fluidventil ist daher für die Anwendung beispielsweise im medizinischen oder hochtechnologischen Bereich bei der Herstellung von Halb leiterchips unter hochreinen Bedingungen gut geeignet.The stated object is thereby ge triggers that a fluid chamber at least one elastic Has edge area that connects to the valve closure that is. Through these features of the invention Fluid chamber of the fluid valve hermetically sealed to the outside closed and there are no mechanical movements or friction in the fluid area, so that none Particles or ionic impurities get into the fluid can. The fluid valve according to the invention is therefore for use in medical or for example high technology area in the manufacture of semi conductor chips well suited under high-purity conditions.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der Ventilverschluß durch den auf den ela stischen Wandbereich ausgeübten Fluiddruck in der Fluid kammer am Ventilsitz der Ventilöffnung anlegbar. Dadurch ergibt sich ein selbstdichtendes Fluidventil mit hermeti schem Abschluß nach außen und ohne die Notwendigkeit ei ner mechanischen Bewegung und damit von partikelerzeu genden Reibungskräften innerhalb des Fluidraumes.According to a particularly advantageous embodiment of the Invention is the valve closure by the ela Tical wall area exerted fluid pressure in the fluid Chamber can be placed on the valve seat of the valve opening. Thereby the result is a self-sealing fluid valve with hermetic external closure and without the need ei mechanical movement and thus of particle generation frictional forces within the fluid space.

Im Falle, daß der Fluiddruck in der Fluidkammer auf einen Wert absinkt, der zum Anlegen des Ventilverschlusses an den Ventilsitz nicht mehr ausreicht, ist gemäß einer wei teren Ausführungsform ein elastisches Element vor zugsweise außerhalb der Fluidkammer vorgesehen, das den elastischen Wandbereich mit einer Federkraft beauf schlagt, die bewirkt, daß der Ventilverschluß am Ventil sitz angedrückt wird.In the event that the fluid pressure in the fluid chamber to a The value decreases, which is used to apply the valve closure the valve seat is no longer sufficient, according to a white tere embodiment of an elastic element preferably provided outside the fluid chamber, which the elastic wall area with a spring force strikes, which causes the valve closure on the valve seat is pressed.

Besonders vorteilhaft ist jedoch eine Ausführungsform, bei der der elastische Wandbereich der Fluidkammer selbst das elastische Element ist. Das heißt, die Federwirkung des elastischen Wandbereichs der Fluidkammer ist auch bei geringem oder gar keinem Fluiddruck in der Fluidkammer groß genug, den Ventilverschluß an den Ventilsitz der Ventilöffnung dichtend anzulegen. Das Ventil wird also gemäß dieser Ausführungsform im niederen Fluid-Druckbe reich durch die Spannung des elastischen Wandbereichs der Fluidkammer und im höheren Druckbereich durch den Anstau druck des Fluids in der Fluidkammer über den elastischen Wandbereich geschlossen, der den Ventilverschluß an den Ventilsitz der Ventilöffnung zieht.However, one embodiment is particularly advantageous, where the elastic wall area of the fluid chamber itself is the elastic element. That is, the spring action the elastic wall area of the fluid chamber is also at little or no fluid pressure in the fluid chamber large enough to close the valve on the valve seat Seal the valve opening. So the valve is according to this embodiment in the lower fluid pressure rich by the tension of the elastic wall area of the Fluid chamber and in the higher pressure range due to the accumulation pressure of the fluid in the fluid chamber via the elastic Wall area closed, which the valve closure to the Valve seat of the valve opening pulls.

Vorzugsweise ist der elastische Wandbereich der Fluidkam mer eine Membran.Preferably the elastic wall area is the fluid always a membrane.

Die Fluidkammer weist vorzugsweise einen im wesentlichen unelastischen, dem elastischen Wandbereich gegenüberlie genden Wandbereich mit der Ventilöffnung und dem Ventil sitz auf. Das erfindungsgemäße Fluidventil ist dabei vor zugsweise so ausgebildet, daß der Ventilverschluß durch den auf den elastischen Wandbereich wirkenden Fluiddruck in der Fluidkammer in diese und auf den Ventilsitz gezo gen wird. Dadurch ergibt sich ein zuverlässiger Andruck des Ventilverschlusses an den Ventilsitz mit selbst dichtender Wirkung.The fluid chamber preferably has one substantially inelastic, opposite the elastic wall area wall area with the valve opening and the valve sit on. The fluid valve according to the invention is in front preferably designed so that the valve closure through the fluid pressure acting on the elastic wall area in the fluid chamber and into the valve seat will. This results in a reliable pressure of the valve lock on the valve seat with itself sealing effect.

Die Ventilöffnung ist vorzugsweise kreisförmig und der Ventilverschluß ist konusförmig, wobei der kleinere Durchmesser des konusförmigen Ventilverschlusses kleiner und der größere Durchmesser des konusförmigen Ventilver schlusses größer als der Durchmesser der kreisförmigen Ventilöffnung ist.The valve opening is preferably circular and Valve closure is conical, the smaller one Diameter of the conical valve closure is smaller and the larger diameter of the conical valve valve conclusion larger than the diameter of the circular Valve opening is.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist außerhalb der Fluidkammer ein Ventilver schluß-Betätigungselement vorgesehen, mit dem auf den elastischen Fluidkammer-Wandbereich zur Öffnung des Fluidventils ein Druck ausgeübt wird, der dem in der Fluidkammer herrschenden Druck entgegengesetzt ist. Das Öffnen und Regulieren des Fluidventils erfolgt also ohne Eingriff in den Fluidbereich und ohne die Bewegung von Teilen innerhalb des Fluidbereichs nur von außen durch Bewegung des elastischen Wandbereichs bzw. der Membran der Fluidkammer. Ein Kontaminieren des hochreinen Fluids, beispielsweise von deionisiertem Wasser oder anderen Fluids, wird daher sicher vermieden.According to a particularly advantageous embodiment of the Invention is a Ventilver outside the fluid chamber final actuator provided with which on the elastic fluid chamber wall area for opening the Fluid valve a pressure is exerted that in the Fluid chamber prevailing pressure is opposite. The Opening and regulating the fluid valve is therefore done without Intervention in the fluid area and without the movement of Divide within the fluid area only from the outside Movement of the elastic wall area or membrane the fluid chamber. Contamination of the high-purity fluid, for example deionized water or others Fluids, is therefore safely avoided.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsge mäßen Fluidventils besteht darin, daß die Fluidkammer eine Zylinderform mit einem elastischen Wandbereich als einer Zylinderabschlußwand und einem im wesentlichen un elastischen, die Ventilöffnung aufweisenden Wandbereich als andere Zylinderabschlußwand aufweist. Diese Form der Fluidkammer ist besonders einfach zu fertigen, insbeson dere bei einer Ausführungsform, bei der die Zylinderkam mer, die Ventilöffnung und der Ventilverschluß achssymme trisch ausgebildet sind.Another advantageous embodiment of the fiction MAESSEN fluid valve is that the fluid chamber a cylindrical shape with an elastic wall area as a cylinder end wall and a substantially un elastic wall area with the valve opening than other cylinder end wall. This form of Fluid chamber is particularly easy to manufacture, especially the in an embodiment in which the cylinder came mer, the valve opening and the valve closure axially symmetrical are trained.

Die Fluidkammerwände, etwa der elastische Wandbereich, der Zylinderwandbereich und/oder der im wesentlichen nicht elastische Wandbereich mit der Ventilöffnung können aus unterschiedlichen Materialien bestehen und entspre chend zusammengesetzt werden. Gemäß einer weiteren vor teilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Fluidkam mer jedoch einstückig ausgebildet. Der elastische Wandbe reich weist dabei zur Herbeiführung der Elastizität eine kleinere Wanddicke und/oder eine andere Wandform, bei spielsweise eine gewellte Wandform, auf, während der im wesentlichen nicht elastische Wandbereich zur Herbeifüh rung der erforderlichen Steifigkeit beispielsweise dicker ausgeführt ist.The fluid chamber walls, such as the elastic wall area, the cylinder wall area and / or the substantially non-elastic wall area with the valve opening consist of different materials and correspond be composed accordingly. According to another before Partial embodiment of the invention is the fluid came mer, however, formed in one piece. The elastic wall rich shows a to bring about the elasticity smaller wall thickness and / or another wall shape, at for example, a corrugated wall shape, during which in the essential non-elastic wall area to bring about For example, the required rigidity is thicker is executed.

Das Material für die Fluidkammer wird entsprechend den mechanischen Erfordernissen, d. h. den elastischen Erfordernissen des elastischen Wandbereichs, aber auch entsprechend den Fluids gewählt, für die das Fluidventil vorgesehen ist. Vorzugsweise wird als Material Edelstahl verwendet, es ist jedoch auch möglich, Gummimaterialien usw. einzusetzen. Wird das erfindungsgemäße Fluidventil für deionisiertes Wasser verwendet, so wird ein hochrei nes Material für die Fluidkammer verwendet, so daß auch eine ionische Verunreinigung des Fluids ausgeschlossen ist.The material for the fluid chamber is according to the mechanical requirements, d. H. the elastic Requirements of the elastic wall area, but also selected according to the fluids for which the fluid valve is provided. Stainless steel is the preferred material used, but it is also possible to use rubber materials etc. to use. Will the fluid valve of the invention used for deionized water, so a hochrei Nes material used for the fluid chamber, so that too precludes ionic contamination of the fluid is.

Vorzugsweise weist die Fluidkammer neben der erforderli chen Fluid-Zuflußöffnung, die vorzugsweise im Zylinder wandbereich der Fluidkammer vorgesehen ist, eine Fluid- Rückflußöffnung auf, die ebenfalls vorzugsweise im Zylin derwandbereich der Fluidkammer vorgesehen ist. Die Fluid- Rückflußöffnung besitzt als mögliche Ausführungsform eine den Durchmesser der Fluid-Rückflußöffnung verändernde Drossel- oder Regulierungseinrichtung etwa in Form einer Schraube, um das durch die Fluid-Rückflußöffnung strö mende Fluid je nach den Druck- und Rückflußvolumenver hältnissen regulieren zu können.In addition to the required, the fluid chamber preferably has Chen fluid inlet opening, preferably in the cylinder wall area of the fluid chamber is provided, a fluid Reflux opening, which is also preferably in the Zylin derwandbereich the fluid chamber is provided. The fluid The reflux opening has a possible embodiment changing the diameter of the fluid reflux opening Throttle or regulating device in the form of a Screw to flow through the fluid return port fluid depending on the pressure and reflux volume to be able to regulate relationships.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform ist das erfindungsgemäße Fluidventil bei einer Spritz- oder Sprühpistole, die einen Handhebel zur Betätigung des Ventilverschluß-Betätigungselements aufweist, anwendbar. Vorzugsweise sind die Fluid-Zuflußleitung und/oder die Fluid-Rückflußleitung im Handgriff der Spritz- oder Sprühpistole integriert. Die Spritz- oder Sprühpistole weist gemäß einer weiteren Ausführungsform verschiedene Aufsätze zum Spritzen oder Sprühen des Fluids auf.According to a further very advantageous embodiment is the fluid valve according to the invention in a spray or spray gun that uses a hand lever to operate the Has valve closure actuator, applicable. Preferably, the fluid inflow line and / or the Fluid return line in the handle of the spray or Spray gun integrated. The spray gun according to a further embodiment has different Attachments for spraying or spraying the fluid.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand eines Ausführungs beispiels unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Es zeigtThe invention is described below with the aid of an embodiment explained for example with reference to the figures. It shows

Fig. 1 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Fluid ventils als Spritzpistole in einer schematischen Querschnittsdarstellung, und Fig. 1 shows an embodiment of the fluid valve according to the invention as a spray gun in a schematic cross-sectional view, and

Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Spritzpistole in einem Querschnitt entlang der in Fig. 1 eingezeichneten Schnittlinie I-I. Fig. 2, the spray gun illustrated in Fig. 1 in a cross section along the drawn in FIG. 1 line II.

Bei dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten Fluidventil 1 weist eine zylindrisches Fluidkammer 2 eine Zylinderwand 3, einen-elastischen Wandbereich 4 als eine Zylinderab schlußwand der zylindrischen Fluidkammer 2 und einen im wesentlichen unelastischen Wandbereich 5 als andere Zy linderabschlußwand der zylindrischen Fluidkammer 2 auf.In the fluid valve 1 shown in FIGS . 1 and 2, a cylindrical fluid chamber 2 has a cylinder wall 3 , an elastic wall region 4 as a cylinder end wall of the cylindrical fluid chamber 2 and a substantially inelastic wall region 5 as another cylinder end wall of the cylindrical fluid chamber 2 .

Der im wesentlichen nicht elastische Wandbereich 5 be sitzt eine Ventilöffnung 6, in der sich ein Ventilver schluß 7 in den durch einen Doppelpfeil angedeuteten Richtungen bewegen kann. In Fig. 1 ist der Ventil verschluß 7 mit ausgezogener Linie in dichtender Anlage am Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6, und gestrichelt in einer Stellung dargestellt, in der das Fluidventil geöff net ist. Durch entsprechende Pfeile ist der Austritt des Fluids durch die Ventilöffnung 6 aus der Fluidkammer 2 angedeutet.The substantially non-elastic wall region 5 be sits a valve opening 6 , in which a valve circuit 7 can move in the directions indicated by a double arrow. In Fig. 1, the valve closure 7 with a solid line in sealing contact with the valve seat 8 of the valve opening 6 , and shown in broken lines in a position in which the fluid valve is geöff net. The escape of the fluid through the valve opening 6 from the fluid chamber 2 is indicated by corresponding arrows.

Der Ventilverschluß 7 ist über eine Verbindung 10 am ela stischen Wandbereich 4 befestigt. Der Ventilverschluß 7 und/oder die Verbindung 10 können mit dem elastischen Wandbereich 4 vorzugsweise einstückig ausgebildet sein und bestehen, wie die Fluidkammerwände auch, aus einem Material, welches entsprechend dem Fluid, für das das Fluidventil vorgesehen ist, hinsichtlich der Reinhaltung des Fluids besonders geeignet ist.The valve closure 7 is fastened via a connection 10 to the elastic wall area 4 . The valve closure 7 and / or the connection 10 can preferably be formed in one piece with the elastic wall area 4 and, like the fluid chamber walls, consist of a material which, in accordance with the fluid for which the fluid valve is intended, is particularly suitable with regard to keeping the fluid clean is.

Über eine Fluidzuführöffnung 11 strömt das Fluid in die Fluidkammer 2 ein. Am Außenumfang der Zylinderwand 3 ist eine Fluid-Zufuhrleitung 12 mit einer in die Zylinderwand 3 einschraubbaren Buchse befestigt.The fluid flows into the fluid chamber 2 via a fluid supply opening 11 . On the outer circumference of the cylinder wall 3 , a fluid supply line 12 is fastened with a bush which can be screwed into the cylinder wall 3 .

Außerhalb der Zylinderwand 3 befindet sich symmetrisch zu einer Zylinderachse 14 ein Ventilverschluß-Betätigungs element 15 in Form eines Druckstiftes, der an einer Druckstange 16 befestigt ist und bei Druckausübung auf die Druckstange 16 von außen auf den elastischen Wandbe reich 4 drückt. Da dieser Wandbereich 4 elastisch und über die Verbindung 10 mit dem Ventilverschluß 7 verbun den ist, wird auch auf den Ventilverschluß 7 ein Druck ausgeübt,- so daß er vom Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6 des nicht elastischen Wandbereichs 5 freikommt, und das in der Fluidkammer 2 befindliche Fluid ausströmen kann. Wird dagegen auf die Druckstange 16 und damit auf das Be tätigungselement 15 kein Druck ausgeübt, bewirkt der in der Fluidkammer 2 herrschende Fluiddruck, daß der elasti sche Wandbereich 4 nach außen gedrückt und damit der Ven tilverschluß 7 in die Fluidkammer 2 gezogen wird. Dadurch legt sich der Ventilverschluß 7, der bei der vorliegenden Ausführungsform ein Ventilkegel ist, mit seinem Außenum fang an den Ventilsitz 8 der Ventilöffnung 6 des im we sentlichen nicht elastischen Wandbereichs 5 an und ver schließt die Ventilöffnung 6. Die erfindungsgemäße Aus führungsform eines Fluidventils ist daher selbstdichtend.Outside the cylinder wall 3 is symmetrical to a cylinder axis 14, a valve closure actuating element 15 in the form of a pressure pin, which is fastened to a pressure rod 16 and, when pressure is exerted on the pressure rod 16, presses on the elastic wall area 4 from the outside. Since this wall area 4 is elastic and verbun via the connection 10 to the valve closure 7, pressure is also exerted on the valve closure 7 - so that it is released from the valve seat 8 of the valve opening 6 of the non-elastic wall area 5 , and that in the fluid chamber 2 fluid can flow out. On the other hand, if no pressure is exerted on the push rod 16 and thus on the actuating element 15 , the fluid pressure prevailing in the fluid chamber 2 causes the elastic wall region 4 to be pressed outwards and thus the valve closure 7 to be pulled into the fluid chamber 2 . As a result, the valve closure 7 , which is a valve cone in the present embodiment, starts with its outer circumference at the valve seat 8 of the valve opening 6 of the essentially non-elastic wall region 5 and closes the valve opening 6 . From the embodiment of a fluid valve according to the invention is therefore self-sealing.

Der elastische Wandbereich 4 ist vorzugsweise hinsicht lich der Materialwahl oder der Formung so ausgeführt, daß er auch dann einen in die Fluidkammer 2 gerichtenden Zug auf den Ventilverschluß 7 ausübt und damit ein Schließen des Ventils bewirkt, wenn der Fluiddruck in der Fluidkam mer 2 klein oder nicht vorhanden ist. Der elastische Wandbereich 4 weist für diesen Fall also eine Vorspannung auf, durch die auch ohne Fluiddruck in der Fluidkammer 2 das Schließen des Ventils sichergestellt ist.The elastic wall area 4 is preferably designed with regard to the choice of material or the shaping such that it then exerts a pull directed into the fluid chamber 2 on the valve closure 7 and thus causes the valve to close when the fluid pressure in the fluid chamber 2 is small or is not present. In this case, the elastic wall area 4 therefore has a pretension, by means of which the valve is closed even without fluid pressure in the fluid chamber 2 .

Es ist jedoch auch möglich, außerhalb der Fluidkammer 2 ein (nicht dargestelltes) elastisches Element, beispiels weise eine Feder, vorzusehen, die von außen am elasti schen Wandbereich 4 angreift und ihn dann nach außen zieht, wenn der Fluiddruck in der Fluidkammer 2 zum Schließen des Ventils nicht ausreichen sollte. However, it is also possible to provide an elastic element (not shown), for example a spring, outside the fluid chamber 2 , which acts on the elastic wall region 4 from the outside and then pulls it outwards when the fluid pressure in the fluid chamber 2 is closing of the valve should not be sufficient.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, weist die Fluidkammer 2 eine Fluid-Rückflußöffnung 17 auf, durch die das Fluid aus der Fluidkammer strömen kann. Eine solche Fluid-Rück flußöffnung 17 ist dann vorteilhaft, wenn das Fluid kon tinuierlich und ununterbrochen umgewälzt werden soll, um beispielsweise bei der Verwendung im medizinischen Be reich oder bei der Herstellung von Produkten unter hoch reinen Bedingungen Bakterienbildung zu vermeiden. Zur Re gulierung des Rückflußvolumens ist eine Regulier- oder Drosseleinrichtung 18 vorgesehen, die bei der dargestell ten Ausführungsform in einer Schraube besteht, die in den Rückflußkanal ein- oder ausschraubbar ist.As can be seen from FIG. 2, the fluid chamber 2 has a fluid return opening 17 through which the fluid can flow out of the fluid chamber. Such a fluid return flow opening 17 is advantageous if the fluid is to be circulated continuously and continuously, for example to avoid bacterial formation when used in the medical field or in the manufacture of products under highly pure conditions. To regulate the reflux volume, a regulating or throttling device 18 is provided which, in the embodiment shown in the embodiment, consists of a screw which can be screwed into or out of the reflux channel.

An der Fluid-Rückflußöffnung 17 der Fluidkammer 2 ist eine Fluid-Rückflußleitung 19 mit einer weiteren in den Außenbereich der Fluidkammer 2 einschraubbaren Buchse 20 befestigt.A fluid reflux line 19 is fastened to the fluid reflux opening 17 of the fluid chamber 2 with a further socket 20 which can be screwed into the outer region of the fluid chamber 2 .

Bei der dargestellten Ausführungsform ist das erfindungs gemäße Fluidventil Teil einer Spritz- oder Sprühpistole, bei der das Fluidventil an einem Handgriff 21 vorgesehen ist, in dem die Druckstange 16 für die Betätigung des Betätigungselements 15 sowie die Fluid-Zuführleitung 12 und die Fluid-Rückführleitung 19 angeordnet sind.In the embodiment shown, the fluid valve according to the invention is part of a spray gun, in which the fluid valve is provided on a handle 21 in which the push rod 16 for actuating the actuating element 15 and the fluid supply line 12 and the fluid return line 19 are arranged.

Außerhalb der Fluidkammer 2 im Bereich der Fluidöffnung 6 ist bei der dargestellten Ausführungsform ein Verteiler 22 vorgesehen, der auswechselbar ist und je nach den ge gebenen Anwendungsfällen zum Sprühen oder Spritzen unter schiedliche Öffnungen aufweist und unterschiedlich ausge bildet ist.Outside the fluid chamber 2 in the region of the fluid opening 6 , a distributor 22 is provided in the illustrated embodiment, which is interchangeable and, depending on the given use cases for spraying or spraying, has different openings and is formed differently.

Claims

1. Fluid valve ( 1 ) with a valve seat ( 8 ) on the valve opening ( 8 ), a movable valve closure Ven ( 7 ) and a valve closure actuation device ( 15 , 16 ), characterized in that a fluid chamber ( 2 ) at least one elastic Wandbe rich ( 4 ) which is connected to the valve closure ( 7 ).

2. Fluid valve according to claim 1, characterized in that the valve closure ( 7 ) can be applied to the valve seat ( 8 ) of the valve opening ( 6 ) by the fluid pressure exerted on the elastic wall region ( 4 ) in the fluid chamber ( 2 ).

3. Fluid valve according to claim 1 or 2, characterized in that an elastic element presses the valve circuit ( 7 ) to the valve seat ( 8 ) of the valve opening ( 6 ).

4. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the elastic element is the elastic wall region ( 4 ) of the fluid chamber ( 2 ).

5. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the elastic Wandbe rich ( 4 ) is a membrane.

6. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid chamber ( 2 ) has a substantially inelastic, the elastic wall area ( 4 ) opposite wall area ( 5 ) with the valve opening ( 6 ) and the valve seat ( 8 ).

7. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the valve closure ( 7 ) through the on the elastic wall region ( 4 ) act the fluid pressure in the fluid chamber ( 2 ) in this and against the valve seat ( 8 ) of the valve opening ( 6 ) is pulled.

8. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the valve opening ( 6 ) is circular and the valve closure ( 7 ) is conical, the smaller diameter of the conical valve closure ( 7 ) smaller and the larger diameter of the valve closure ( 7 ) larger than the diameter of the circular valve opening ( 6 ).

9. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that outside the fluid chamber ( 2 ) a valve closure actuating element ( 15 ) is seen before, with which on the elastic wall region ( 4 ) of the fluid chamber ( 2 ) for opening the valve closure ( 7 ) a pressure can be exerted which is opposite to the pressure prevailing in the fluid chamber ( 2 ).

10. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid chamber ( 2 ) has a cylindrical shape with an elastic wall area ( 4 ) as a cylinder end wall and a substantially non-elastic, the valve opening ( 6 ) aufwei send wall area ( 5 ) as other cylinder end wall has.

11. Fluid valve according to claim 10, characterized in that the cylindrical fluid chamber ( 2 ), the Ventilöff opening ( 6 ) and the valve closure ( 7 ) are axially symmetrical.

12. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid chamber ( 2 ) is integrally formed.

13. Fluid valve according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid chamber ( 2 ) has a fluid reflux opening ( 17 ).

14. Fluid valve according to claim 13, characterized in that the fluid reflux opening ( 17 ) has a reflux regulating device ( 18 ).

15. Fluid valve according to one of the preceding claims, that the fluid valve ( 1 ) is part of a spray gun, which has a hand lever ( 16 ) for actuating the valve closure actuating element ( 15 ).