DE4205659C1

DE4205659C1 - Plant for electrolytic treatment of workpieces

Info

Publication number: DE4205659C1
Application number: DE19924205659
Authority: DE
Inventors: Egon Huebel
Original assignee: Schering AG
Current assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Priority date: 1991-12-31
Filing date: 1992-02-25
Publication date: 1993-05-06
Anticipated expiration: 2012-02-26

Abstract

Two anode busbars (3,4) are connected to a row of anodes, arranged one behind the other. A cathode busbar (6) to which workpieces are connected and two DC power sources (1,2) are also provided. The power sources represent the power supply for opposite sides of theworkpieces. The negative poles (S1,S2) are connected to opposite ends of the cathode busbar.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung bei einer zur elektrolytischen Behandlung von Werkstücken dienenden Anlage, deren Bad zwei Anodenschienen aufweist, die je mit einer Reihe in ihrer Längsrichtung hintereinander angeordneten Anoden elektrisch verbunden sind, wobei ferner eine Kathodenschiene vorgesehen ist, die mit in ihrer Längsrichtung hintereinander angeordneten, elektrolytisch zu behandelnden Werkstücken elektrisch verbunden ist, wobei die vorgenannten Schienen mit einer außerhalb des Bades vorgesehenen Gleichstromquelle verbindbar sind, und wobei ferner Maßnahmen mit dem Ziel der Vergleichmäßigung der Schichtdickenverteilung auf den Werkstücken der einzelnen Zellen eines solchen Bades vorgesehen sind (Oberbegriffe des Anspruches 1).The invention relates to an arrangement for an electrolytic Treatment of workpieces serving equipment Bath has two anode rails, each with a row in their longitudinal direction one behind the other are electrically connected, further comprising a cathode rail is provided with one behind the other in their longitudinal direction arranged workpieces to be treated electrolytically is electrically connected, the aforementioned rails with a direct current source provided outside the bath are connectable, and further measures with the aim of Uniformization of the layer thickness distribution on the workpieces of the individual cells of such a bath are (preambles of claim 1).

Elektrolytische Bäder, die jeweils mit zwei Anodenschienen und einer Kathodenschiene ausgerüstet sind, wobei die Anodenschienen die abzuarbeitenden Anoden tragen, und an der Kathodenschiene, in der Regel in Form eines Warenträgers, die elektrolytisch zu behandelnden Werkstücke angebracht, sind in verschiedenen Ausführungen bekannt. Hierzu wird beispielsweise verwiesen auf Heft Nr. 3, Band 81 (1990) S. 1008-1021 der Fachzeitschrift "Galvanotechnik" mit dem Aufsatz "Penforce, ein Optimierungsverfahren zur Schichtdickenverteilung beim Leiterbahnaufbau Gedruckter Schaltungen" von Ehrich, Kanani und Nitsche. Diese Veröffentlichung zeigt in den Abbildungen 13 bis 17 verschiedene Schaltungen, bei denen von einen oder mehreren Gleichrichtern die beiden Anodenschienen und eine schienenförmige Kathode einer Zelle an ihren Enden mit dem positiven bzw. negativen Pol der Gleichstromquelle verbunden sind, wobei diese Enden in Längsrichtung der Anoden und der Kathode betrachtet auf der gleichen Seite liegen. Unter Berücksichtigung des Umstandes, daß die Spannungsabfälle auf den Schienen, von der unvermeidbaren Verlustleistung abgesehen, ganz entscheidenden Einfluß auf die Qualität der elektrolytisch abgeschiedenen Schicht auf den Werkstücken, d. h. auf die Schichtdickenverteilung haben ist es wichtig, daß die Spannungsabfälle entlang der Anordenschienen und der Kathodenschiene (in der Regel dem Warenträger) möglichst niedrig gehalten werden. Außerdem besteht die Anforderung, daß die wirksame Zellenspannung für jedes am Warenträger (Kathodenschiene) angebrachte Werkstück möglichst gleich groß ist. Diese beiden Forderungen werden von dem vorstehend erläuterten Stand der Technik nicht erfüllt. Im einzelnen wird hierzu auf die Erläuterung der Fig. 1 bis 1c verwiesen.Electrolytic baths, each equipped with two anode rails and a cathode rail, the anode rails carrying the anodes to be machined, and on the cathode rail, usually in the form of a product carrier, the workpieces to be treated electrolytically are known in various designs. For this, reference is made, for example, to Issue No. 3, Volume 81 (1990) pp. 1008-1021 of the specialist journal "Galvanotechnik" with the essay "Penforce, an Optimization Process for Layer Thickness Distribution in the Conductor Structure of Printed Circuits" by Ehrich, Kanani and Nitsche. This publication shows in Figures 13 to 17 different circuits in which one or more rectifiers have the two anode rails and a rail-shaped cathode of a cell connected at their ends to the positive or negative pole of the direct current source, these ends in the longitudinal direction of the anodes and the cathode viewed on the same side. Taking into account the fact that the voltage drops on the rails, apart from the unavoidable power loss, have a decisive influence on the quality of the electrolytically deposited layer on the workpieces, i.e. on the layer thickness distribution, it is important that the voltage drops along the arrangement rails and the cathode rail (usually the product carrier) should be kept as low as possible. There is also the requirement that the effective cell voltage for each workpiece attached to the product carrier (cathode rail) is as large as possible. These two requirements are not met by the prior art explained above. In detail, reference is made to the explanation of FIGS. 1 to 1c.

Demgegenüber besteht die Aufgabe der Erfindung darin, Unterschiede zwischen den Beträgen der einzelnen Zellenspannungen von Werkstück zu Werkstück einer solchen Anordnung weitgehendst auszugleichen, zumindest auf ein Minimum zu reduzieren und gleichzeitig auch die Spannungsabfälle entlang der Kathodenschiene und der Anodenschienen bei möglichst geringen Verlustleistungen in den Schienen ebenfalls auszugleichen oder zumindest auf ein Minimum herabzusetzen. Dies ist insbesondere dann von Bedeutung, wenn die Anodenschienen und die Kathodenschiene aus einem Edelstahl bestehen, der gegenüber auch üblichen Schienen aus Kupfer zwar mechanisch und hinsichtlich der chemischen Anfälligkeit Vorteile hat, jedoch in der Leitfähigkeit nur etwa 1/40 des Wertes von Kupfer besitzt.In contrast, there is the task of Invention in differences between the amounts of individual cell voltages from workpiece to workpiece one to largely compensate for such an arrangement, at least on to reduce a minimum while reducing the voltage drops along the cathode rail and anode rails with the lowest possible power loss in the Rails also equalize or at least on one To minimize the minimum. This is particularly important when the anode rails and the cathode rail are off consist of a stainless steel, compared to the usual rails made of copper mechanically and with regard to the chemical Vulnerability has advantages, however, in conductivity only has about 1/40 of the value of copper.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist zunächst, ausgehend vom eingangs genannten Oberbegriff des Anspruches 1 vorgesehen, daß die Gleichstromquelle aus zwei geregelten Gleichstromquellen besteht, die jeweils die Stromversorgung für sich gegenüberliegende Seitenflächen des Behandlungsgutes (Werkstücke) darstellen, wobei die negativen Pole dieser Gleichstromquellen je für sich zu einem der in bezug auf die Längserstreckung der Kathodenschiene sich gegenüberliegenden Enden oder der dazugehörigen Endbereiche sind und dort gleichzeitig die Gleichstromspeisungen vornehmen (Kennzeichen des Anspruches 1). Das vorgenannte Merkmal der Trennung der negativen Pole der Gleichstromquellen voneinander ergibt den Vorteil, daß unterschiedliche Widerstände der Zuleitungen vom jeweiligen Minuspol zum jeweiligen Ende oder Endbereich der Kathodenschiene und auch unterschiedliche Widerstände der zugehörigen Kontakte zur Kathodenschiene nicht die angestrebten gleichen Werte der einzelnen Zellenspannungen und die ferner angestrebten Spannungsabfälle entlang der Kathodenschiene negativ beeinflussen. Dies wird bei der vorgenannten Schaltung durch die Regelung der Gleichstromquellen ausgeglichen. Durch diesen Anschluß der Kathodenschiene an die getrennten Minuspole der Gleichstromquellen werden entlang der Kathodenschiene die Spannungsabfälle und auch die Differenzen der Zellenspannungen entsprechend reduziert. Die vorgenannten Anschlüsse und damit Stromspeisungen können entweder gemäß den Merkmalen des Anspruches 2 oder denen des Anspruches 3 erfolgen.To solve this problem is first, starting from the beginning cited preamble of claim 1 provided that the DC power source from two regulated DC power sources exists, each the power supply for opposite Side surfaces of the material to be treated (workpieces) represent, the negative poles of these DC sources each one of them in relation to the longitudinal extension opposite ends of the cathode rail or of the associated end areas are and there at the same time carry out the direct current feeds (characteristic of Claim 1). The aforementioned feature of separating the negative poles of the DC power sources from each other gives the Advantage that different supply line resistances from the respective negative pole to the respective end or end area the cathode rail and also different resistances the associated contacts to the cathode rail not the desired same values of the individual cell voltages and the further desired voltage drops along the Negatively affect the cathode rail. This is the case with the aforementioned circuit by regulating the direct current sources balanced. Through this connection of the cathode rail to the separate negative poles of the direct current sources are the voltage drops and also the differences in cell voltages accordingly reduced. The aforementioned connections and thus power supplies can either according to the features of claim 2 or those of claim 3.

Für den Anschluß der beiden Anodenschienen ergeben sich hierbei verschiedene Möglichkeiten, so beispielsweise an den Enden der Anodenschienen gemäß Anspruch 4 oder 5. For the connection of the two anode rails result various options, such as the Ends of the anode rails according to claim 4 or 5.

Generell gilt, daß mit der Wahl der Anschlüsse an den Anodenschienen und/oder der Kathodenschiene Kompensationen der Spannungsabfälle auf den Schienen mit dem Ziel der Vergleichmäßigung der Zellenspannungen für die einzelnen Waren erreichbar sind. Die Kathodenschiene hat die Funktion der Warenträger, bzw. ist als Warenträger ausgebildet. Im Detail wird hierzu auf die Erläuterung der Ausführungsbeispiele verwiesen.In general, the choice of connections on the anode rails applies and / or the cathode rail compensations Voltage drops on the rails with the aim of equalization the cell voltages for the individual goods are reachable. The cathode rail has the function of Product carrier, or is designed as a product carrier. In detail will refer to the explanation of the embodiments referred.

Anspruch 6 betrifft eine Speisung in die Enden der Kathodenschiene von den beiden Minuspolen zweier Gleichstromquellen her, deren Minuspole voneinander getrennt sind. Eine Variante dieser Ausführung ist Gegenstand des Anspruches 7.Claim 6 relates to a feed in the ends of the cathode rail from the two negative poles of two direct current sources forth, whose minus poles are separated. A variant this embodiment is the subject of claim 7.

Die Aufgabenstellung der Erfindung kann durch die Merkmale des Anspruches 10 weiter gefördert werden. In dem Zusammenhang ist darauf hinzuweisen, daß in dem älteren, aber nachveröffentlichten deutschen Patent DE 40 41 598 C1 im Zusammenhang mit anderen Merkmalen enthalten ist, daß solche Querschnittsabstufungen über die gesamte Länge von zusammengehörigen Anodenschienen und einer Kathodenschiene vorgesehen sein können.The object of the invention can by the features of claim 10 are further promoted. In this context it should be noted that in the older, but later published German patent DE 40 41 598 C1 in connection with other features is included that such cross-sectional gradations over the entire length of associated anode rails and a cathode rail can be provided.

Die Merkmale des Anspruches 15 beinhalten eine konstruktiv und im betrieblichen Einsatz vorteilhafte Ausgestaltungen der Schienenanschlüsse, die sich entweder im Mittenbereich der Schienen oder zwischen deren Mittenbereich und deren Enden befinden.The features of claim 15 include a constructive and advantageous configurations of the in operational use Rail connections, which are either in the middle of the Rails or between their central area and their ends are located.

Im übrigen wird hinsichtlich weiterer Vorteile und Merkmale der Erfindung sowohl auf die weiteren Unteransprüche, als auch auf die nachfolgende Beschreibung und die Zeichnung von erfindungsgemäßen Ausführungsmöglichkeiten verwiesen. In der Zeichnung zeigtOtherwise, with regard to other advantages and features the invention both on the further subclaims, as also on the following description and the Drawing of possible embodiments of the invention referred. In the drawing shows

Fig. 1 eine Anordnung nach dem Stand der Technik, Fig. 1 shows an arrangement according to the prior art,

Fig. 1a-c zu Fig. 1 gehörende Diagramme,Part of Fig. 1a-c of FIG. 1 diagrams

Fig. 2 ein erstes Ausführungsbeispiel einer Anordnung nach der Erfindung, Fig. 2 shows a first embodiment of an arrangement according to the invention,

Fig. 2a-c zu Fig. 2 gehörende Diagramme,Part of Fig. 2a-c to Fig. 2 diagrams,

Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Anordnung nach der Erfindung, Fig. 3 shows a second embodiment of an arrangement according to the invention,

Fig. 3a-c zu Fig. 3 gehörende Diagramme, Fig. 3a-c to Fig. 3 belonging diagrams

Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Anordnung nach der Erfindung, Fig. 4 shows a third embodiment of an arrangement according to the invention,

Fig. 4a-c zu Fig. 4 gehörende Diagramme,Belonging Fig. 4a-c to Fig. 4 diagrams

Fig. 5 ein viertes Ausführungsbeispiel einer Anordnung nach der Erfindung, Fig. 5 shows a fourth embodiment of an arrangement according to the invention,

Fig. 5a-c zu Fig. 5 gehörende Diagramme, Fig. 5a-c of FIG. 5 belonging diagrams

Fig. 6 ein fünftes Ausführungsbeispiel einer Anordnung nach der Erfindung, Fig. 6 shows a fifth embodiment of an arrangement according to the invention,

Fig. 6a-c zu Fig. 6 gehörende Diagramme, Fig. 6a-c of FIG. 6 belonging diagrams

Fig. 7 eine nach der Erfindung ausgebildete Schiene mit Mittenanschluß in der Seitenansicht, Fig. 7 is a formed according to the invention with rail center terminal in the side view,

Fig. 8 einen Schnitt gemäß der Linie VIII-VIII in Fig. 8. Fig. 8 shows a section according to line VIII-VIII in Fig. 8.

Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel gemäß dem eingangs erläuterten Stand der Technik. Es sind zwei Gleichrichter, nämlich ein vorderer Gleichrichter 1 und ein rückwärtiger Gleichrichter 2 vorgesehen, die mit ihren Plus-Polen die vordere Anodenschiene 3 an deren Ende D und eine rückwärtige Anodenschiene 4 an deren Ende G speisen. Der gemeinsame Minus-Pol 5 der beiden Gleichrichter 1, 2 speist am Ende E, F die Kathodenschiene 6. An den Anodenschienen 3, 4 hängen die nicht dargestellten Anoden und an der Kathodenschiene 6 die nur teilweise dargestellten Werkstücke, wobei deren Vorderseite zur Anode 3 und deren Rückseite zur Anode 4 gelegen ist. Zur leichteren Erläuterung der Erfindung und deren Darstellung sind in den Fig. 1 bis 6 und den zugehörigen Diagrammen jeweils die einen, in der Zeichnung links gelegenen Enden der Schienen mit L, die anderen in der Zeichnung rechts gelegenen Enden der Schienen mit R und die Mitten der Schienen mit M gekennzeichnet. Somit speisen und regeln die beiden Badstromversorgungsgleichrichter 1, 2 getrennt die Galvanisierströme I_V und I_R für die Vorderseiten und Rückseiten der Werkstücke. Die vorgenannten Speisungsstellen D bis G sind bei der nachfolgenden Betrachtung die Spannungsbezugspunkte. Der Galvanisierstrom I_V fließt vom Punkt D in die Anodenschiene 3, wobei im Verlauf von L über M nach R des Bades der Anodenschienenstrom abnimmt, weil in diesem Verlauf bestimmungsgemäß Teilströme zu den Werkstücken abzweigen. Bei R ist der Strom I_V in der Anodenschiene 3 gleich Null. Bei dieser, einseitigen Speisung nimmt auch der Strom in der Kathodenschiene von L in Richtung R ab. Allerdings fließt er in entgegengesetzter Richtung, d. h. von R nach L. Die Anodenschiene 4 verhält sich wie die Anodenschiene 3. Fig. 1 shows an embodiment according to the initially mentioned prior art. There are two rectifiers, namely a front rectifier 1 and a rear rectifier 2 , which feed the front anode rail 3 at their end D and a rear anode rail 4 at their end G with their positive poles. The common negative pole 5 of the two rectifiers 1 , 2 feeds the cathode rail 6 at the end E, F. The anodes (not shown ) hang on the anode rails 3 , 4 and the workpieces which are only partially shown hang on the cathode rail 6 , the front of which is located on the anode 3 and the rear of which is on the anode 4 . For an easier explanation of the invention and its representation, FIGS. 1 to 6 and the associated diagrams each show one end of the rails with L on the left in the drawing, the other ends of the rails with R on the right in the drawing and the centers of the rails marked with M. Thus, the two bath power supply rectifiers 1 , 2 feed and control the electroplating currents I _V and I _{R separately} for the front and rear sides of the workpieces. In the following consideration, the aforementioned supply points D to G are the voltage reference points. The electroplating current I _V flows from the point D into the anode rail 3 , the anode rail current decreasing in the course from L to M to R of the bath, because in this course partial flows branch off to the workpieces as intended. At R the current I _V in the anode bar 3 is zero. With this one-sided supply, the current in the cathode rail also decreases from L towards R. However, it flows in the opposite direction, ie from R to L. The anode bar 4 behaves like the anode bar 3 .

Die von den Strömen in den Schienen verursachten Spannungsabfälle pro Schienenabschnitt sind mit U_ab gekennzeichnet und zwar in Fig. 1a für die Anodenschienen und in Fig. 1b für die Kathodenschiene. Dabei ist in erster Näherung die lineare Darstellung zulässig. Die insgesamt entstehenden Spannungsabfälle U_SCH setzen sich aus den Abschnittsspannungen U_ab zusammen, d. h. die Schienenspannung nimmt, bezogen auf den jeweiligen Speisungspunkt D; E, F; G mit zunehmender Entfernung von diesem Punkt zu, da es sich hierbei um die Addition der in Fig. 1a, 1b dargestellten Abschnittsspannungen U_ab handelt. Hieraus ergeben sich dann die Spannungen U_SCH,A in Fig. 1a an den Anodenschienen und U_SCH,K in Fig. 1b für die Kathodenschienen. Die Addition der Spannungsn U_SCH,A und U_SCH,K ist in Fig. 1c mit U_SCH dargestellt.The voltage drops per rail section caused by the currents in the rails are marked with U _ab , specifically in FIG. 1a for the anode rails and in FIG. 1b for the cathode rail. In a first approximation, the linear representation is permissible. The total voltage _drops U _SCH that arise are composed of the section voltages U _ab , ie the rail voltage increases, based on the respective supply point D; E, F; G with increasing distance from this point, since this is the addition of the section voltages U _ab shown in FIGS. 1a, 1b. This then results in the voltages U _{SCH, A} in FIG. 1a on the anode rails and U _{SCH, K} in FIG. 1b for the cathode rails. The addition of the voltages U _{SCH, A} and U _{SCH, K} is shown in Fig. 1c with U _SCH .

Wie erwähnt befinden sich die Werkstücke zwischen den beiden Anodenschienen 3, 4, d. h. in der Regel unterhalb der Kathodenschiene 6. Zwei dieser Werkstücke sind als mit 7, 8 bezifferte schmale Rechtecke angedeutet. Galvanotechnisch, d. h. für die Dicke des metallischen Auftrages auf den Werkstücken (Ware) ist die jeweilige Zellenspannung zwischen ihnen und dem gegenüberliegenden Bereich der Anoden maßgeblich. Im vorliegenden Beispiel sind die Zellenspannungen mit U_ZV7, U_ZR7 und U_ZV8, U_ZR8 bezeichnet. Die Zellenspannung soll für alle Werkstücke eines Warenträgers für deren Vorderseiten und Rückseiten möglichst gleich groß sein; insbesondere bei plattenförmigen Waren wie Leiterplatten.As mentioned, the workpieces are located between the two anode rails 3 , 4 , ie generally below the cathode rail 6 . Two of these workpieces are indicated as narrow rectangles numbered 7 , 8 . The respective cell voltage between them and the opposite area of the anodes is decisive for the thickness of the metallic coating on the workpieces (goods). In the present example, the cell _{voltages are} designated U _ZV7 , U _ZR7 and U _ZV8 , U _ZR8 . The cell tension should be as large as possible for all workpieces of a product carrier for their front and rear sides; especially in the case of plate-shaped goods such as printed circuit boards.

Für die Größe der Zellenspannung giltThe following applies to the size of the cell voltage

U_ZV = U_DE-U_{SCH (AV und K)} U _ZV = U _DE -U _{SCH (AV and K)}

U_ZR = U_FG-U_{SCH (AR und K)} U _ZR = U _FG -U _{SCH (AR and K)}

Dabei bedeuten
U_ZV die vordere Zellenspannung
U_ZR die rückwärtige Zellenspannung
U_DE die Spannung zwischen den Punkten D und E
U_FG die Spannung zwischen den Punkten F und G
U_SCH,AV die zugehörige Schienenspannung der Anode an der Vorderseite
U_SCH,AR die zugehörige Schienenspannung der Anode an der Rückseite
U_SCH,K die zugehörige Schienenspannung an der KathodenschieneMean
U _ZV the front cell voltage
U _{ZR is} the rear cell voltage
U _DE the voltage between points D and E
U _FG the voltage between points F and G
U _{SCH, AV} the associated rail voltage of the anode on the front
U _{SCH, AR} the associated rail voltage of the anode on the back
U _{SCH, K} the associated rail voltage on the cathode rail

Die Spannungen U_DE und U_FG werden an den Gleichrichtern 1, 2 eingestellt. Sie wirken aber für alle Werkstücke des Warenträgers (Kathodenschiene). Gemäß vorstehenden Gleichungen müßten an sich alle Schienenspannungen U_SCH für alle Werkstücke des Warenträgers gleich groß sein, um die Forderung nach einer gleich großen Zellenspannung für alle Werkstücke auch erfüllen zu können. Dies ist bei der Schaltung nach Fig. 1, wie insbesondere der Verlauf von U_SCH in Fig. 1c zeigt, nicht erreicht. Die relative Differenz d zwischen der kleinsten Spannung U_SCH bei L zur größten Spannung U_SCH bei R ist relativ groß, nämlich bei einem Ausführungsbeispiel mit bestimmten Abmessungen und elektrischen Daten d=4,67. Das gleiche Ausführungsbeispiel ist für die Feststellung der Beträge der Differenz d in nachfolgenden Ausführungsmöglichkeiten nach Fig. 2 bis 6 verwendet.The voltages U _DE and U _FG are set on the rectifiers 1 , 2 . However, they work for all workpieces of the product carrier (cathode rail). According to the equations above, all rail _voltages U _SCH for all workpieces of the goods carrier would have to be of the same size in order to also be able to meet the requirement for an equally large cell voltage for all workpieces. This has not been achieved in the circuit according to FIG. 1, as the course of U _SCH in FIG. 1c shows in particular. The relative difference d between the smallest voltage U _SCH at L and the highest voltage U _SCH at R is relatively large, namely in an embodiment with certain dimensions and electrical data d = 4.67. The same embodiment is used for the determination of the amounts of the difference d in the following embodiment options according to FIGS. 2 to 6.

Die zweite, eingangs bereits angesprochene galvanotechnisch aber bevorzugt wirksame Größe ist die Spannung ΔU, die zwischen zwei an einem Warenträger befestigten Werkstücken bzw. Waren auftritt. Dies ist in Fig. 1 in bezug auf die beiden Werkstücke 7, 8 eingezeichnet. Hiermit wird bewirkt, daß im Bereich der sich gegenüberliegenden Warenkanten an einer der Kanten ein verstärkter und an der anderen der Kanten ein verminderter Metallauftrag entsteht. Somit muß darauf geachtet werden, diese Spannung ΔU klein zu halten. Im Fall der einseitigen Speisung (im Fall der Kathodenschiene physikalisch an sich ein Stromaustritt) gemäß Fig. 1 bei E, F fließt der gesamte Strom an den Speisungsstellen E, F der Kathodenschiene und nimmt in der Richtung von L nach R ab. Dies bedeutet, daß der von der Stärke des fließenden Stromes abhängige Wert ΔU in dieser Richtung ebenfalls abnimmt (siehe entsprechende Darstellung in Fig. 1c).The second, already mentioned galvanotechnically but preferably effective variable is the voltage .DELTA.U which occurs between two workpieces or goods attached to a goods carrier. This is shown in Fig. 1 in relation to the two workpieces 7 , 8 . This has the effect that in the area of the opposing product edges there is an increased metal application on one of the edges and a reduced metal application on the other of the edges. Care must therefore be taken to keep this voltage ΔU small. In the case of one-sided supply (in the case of the cathode rail physically per se a current outlet) according to FIG. 1 at E, F, the entire current flows at the supply points E, F of the cathode rail and decreases in the direction from L to R. This means that the value ΔU, which is dependent on the strength of the flowing current, also decreases in this direction (see the corresponding illustration in FIG. 1c).

Aus Vorstehendem (und auch dem Vergleich mit den entsprechenden Werten der Ausführungsbeispiele der Fig. 2 bis 6) ergibt sich, daß hinsichtlich der Werte U_SCH und ΔU die Schaltung nach dem Stand der Technik gemäß Fig. 1 die ungünstigste Art der Schieneneinspeisung darstellt.From the above (and also the comparison with the corresponding values of the exemplary embodiments in FIGS. 2 to 6) it follows that, with regard to the values U _SCH and ΔU, the circuit according to the prior art according to FIG. 1 represents the most unfavorable type of rail feed.

Der Vollständigkeit halber wird darauf hingewiesen, daß bei der vorstehenden und auch der nachfolgenden Betrachtung von einem Warenträger (Kathodenschiene) mit über seine Länge gleichmäßig verteilten Waren (Werkstücken) ausgegangen wird.For the sake of completeness, it is pointed out that at the above and also the following consideration of a goods carrier (cathode rail) with along its length evenly distributed goods (workpieces).

Die eingangs genannte Aufgabenstellung, nämlich günstigere Werte von ΔU und U_SCH zu erhalten, wird mit der Erfindung gelöst. Entsprechende Ausführungsbeispiele zeigen die nachstehend erläuterten Fig. 2 bis 6, wobei die jeweils erzielten Werte U_SCH und ΔU grafisch in dem betreffenden, mit c bezeichneten Diagramm dargestellt sind. Ein Vergleich mit den entsprechenden Kurven in Fig. 1c demonstriert das jeweils erzielte Ergebnis.The task mentioned at the outset, namely to obtain more favorable values of ΔU and U _SCH , is achieved with the invention. Corresponding exemplary embodiments are shown in FIGS. 2 to 6 explained below, the values U _SCH and ΔU obtained in each case being shown graphically in the relevant diagram denoted by c. A comparison with the corresponding curves in FIG. 1c demonstrates the result achieved in each case.

Die Erfindung beinhaltet nachfolgende Maßnahmen, bzw. Schaltungen:The invention includes the following measures or circuits:

1. Separation of the two rectifiers 1 , 2 usually connected with their negative poles and connection of one rectifier with its negative pole at one end L or R of the cathode rail and connection of the second rectifier with its negative pole at the other end R or L of the cathode rail. In the middle of the cathode bar is the value U a, b equal to zero (s. Fig. 2b of the embodiment of Fig. 2). This mutual supply of the current into the cathode rail results in a corresponding reduction in the voltage drops and thus in U SCH at the cathode rail, since those flowing in from both ends L, R or approximately from the center between L and M, and R and M each half currents run only over a relatively short section of the cathode rail (see exemplary embodiments of FIGS. 4, 5).
2. Different types of connection of the positive poles of the rectifier, both in the middle and at the ends of the anode rails (see the exemplary embodiments of FIGS. 2, 3 and 6).

Das Ausführungsbeispiel der Fig. 2 zeigt eine mittige Speisung der Plus-Pole im Bereich M an der Stelle D der Anodenschiene 3 und der Stelle G der Anodenschiene 4. Die beiden Gleichrichter 1, 2 sind derart aufgetrennt, daß ihre Minus-Pole 5₁, bzw. 5₂ voneinander getrennt sind und zu den Anschlüssen E bzw. F an beiden, zueinander entgegengesetzt liegenden Enden R und L der Kathodenschiene 6 geführt sind. Bei dieser Anordnung verlaufen die halben Anodenströme und der halbe Kathodenstrom nicht mehr über die gesamte Länge der betreffenden Schiene, sondern nur mit dem halben Strom über die jeweilige Schienenhälfte.The exemplary embodiment in FIG. 2 shows central feeding of the plus poles in the area M at point D of the anode rail 3 and point G of the anode rail 4 . The two rectifiers 1 , 2 are separated in such a way that their negative poles 5 ₁ and 5 ₂ are separated from one another and are led to the connections E and F at both opposite ends R and L of the cathode rail 6 . With this arrangement, half the anode currents and half the cathode current no longer run over the entire length of the rail in question, but only with half the current over the respective rail half.

Das Ausführungsbeispiel der Fig. 2 zeigt ferner, ebenso wie die Beispiele der Fig. 3, 4, 5 und 6, daß die Verbindung der Minus-Pole 5₁, 5₂ der Gleichrichter 1, 2 hier erst über die Kathodenschiene 6 erfolgt, in der somit gegenläufig gerichtete Ströme auftreten. Diese Ströme kompensieren sich weitgehend (ohne nachteiligen Einfluß auf die Regelung des Badstromes) mit dem Ergebnis, daß die maximale Differenz d der Schienenspannung U_SCH sehr gering ist. Hieraus ergibt sich eine sehr gute Gleichmäßigkeit der Zellenspannung U_Z je Ware bzw. Werkstück am Warenträger. In diesen Fällen sind (ausgenommen jedoch Fig. 3) für die Anschlüsse E, F der Kathodenschiene keine isolierten Stromzuführungen auf dem Warenträger (Fig. 8) erforderlich. Die Ausführung nach Fig. 2 hat hinsichtlich U_SCH den sehr günstigen Wert von d=0,33.The embodiment of FIG. 2 also shows, like the examples of FIGS. 3, 4, 5 and 6, that the connection of the negative poles 5 ₁, 5 ₂ of the rectifier 1 , 2 takes place here only via the cathode rail 6 , in which therefore occurs in opposite currents. These currents largely compensate each other (without adversely affecting the regulation of the bath current) with the result that the maximum difference d of the rail voltage U _{SCH is} very small. This results in a very good uniformity of the cell voltage U _Z per product or workpiece on the product carrier. In these cases (with the exception of FIG. 3), no insulated power supply lines on the goods carrier ( FIG. 8) are required for the connections E, F of the cathode rail. The embodiment according to FIG. 2, with respect to U _SCH very favorable value of d = 0.33.

Um den oben bereits erwähnten gleichen Aufbau und Gestaltung der Schienen usw. sowohl bei der Darstellung des Standes der Technik gemäß Fig. 1, als auch bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 2 bis 5 zu gewährleisten, ist für alle Schienen jeweils der gleiche Werkstoff angenommen, wobei der Querschnitt der Kathodenschiene doppelt so groß gewählt ist wie der Querschnitt jeder der Anodenschienen. Hierbei können die bei Fig. 1 bis 6 entstehenden Werte ΔU und U_SCH bei jeweils gleichen Schienen ermittelt werden. Dieses Querschnittsverhältnis ist keine Voraussetzung für die Erfindung; im Gegenteil die Veränderung von Parametern wie Querschnitten, Leitfähigkeit der Schienen oder der Speisungspunkte gestatten es - wie insbesondere die Ausführungsbeispiele der Fig. 2 bis 6 zeigen - die galvanotechnisch wirksamen Größen ΔU und U_SCH je für sich zu beeinflussen. Hierfür ist die noch näher zu erläuternde Fig. 6 ein besonders instruktives Beispiel. In der Praxis bei Anwendung der Erfindung kann sich das Verhältnis der Querschnitte der Kathodenschiene zu dem Querschnitt der Anodenschienen im Verhältnis von 1 : 1 bis 3 : 1 liegen.In order to ensure the above-mentioned identical structure and design of the rails etc. both in the representation of the prior art according to FIG. 1 and in the exemplary embodiments in FIGS. 2 to 5, the same material is assumed for all rails, wherein the cross section of the cathode rail is selected to be twice as large as the cross section of each of the anode rails. The values .DELTA.U and U _{SCH which} arise in FIGS. 1 to 6 can be determined with the same rails. This cross-sectional ratio is not a prerequisite for the invention; on the contrary, the change in parameters such as cross sections, conductivity of the rails or the feed points make it possible - as shown in particular by the exemplary embodiments in FIGS. 2 to 6 - to influence the quantities ΔU and U _SCH which are effective in terms of electrotechnology. 6 this is the yet to be explanatory Fig. A particularly instructive example. In practice when using the invention, the ratio of the cross sections of the cathode rail to the cross section of the anode rails can be in the ratio of 1: 1 to 3: 1.

Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform mit Anodenspeisungen bei M analog dem Beispiel der Fig. 2, wohingegen die Speisungen E, F der Kathodenschiene 6 etwa auf der Hälfte zwischen der Mitte M und den Enden L bzw. R liegen. Die sich hieraus ergebenden Werte von ΔU und U_SCH AK sind in Fig. 3c dargestellt. In diesem Falle ist die maximale Differenz von U_SCH d gleich 0,67. Dieser Wert ist etwas höher als im Fall der Fig. 2-2c, jedoch ist dadurch bei der Anordnung nach Fig. 3-3c der Wert ΔU entsprechend günstiger. Es reduziert sich gegenüber dem Beispiel der Fig. 2 etwa auf die Hälfte. Trotzdem liegt der Anstieg der Differenz d von U_SCH noch wesentlich niedriger als beim Stand der Technik gemäß Fig. 1. FIG. 3 shows an embodiment with anode feeds at M analogous to the example of FIG. 2, whereas the feeds E, F of the cathode rail 6 are approximately halfway between the center M and the ends L and R. The resulting values of ΔU and U _SCH AK are shown in Fig. 3c. In this case the maximum difference of U _SCH d is 0.67. This value is somewhat higher than in the case of FIGS . 2-2c, but as a result the value ΔU is correspondingly more favorable in the arrangement according to FIGS . 3-3c. It is reduced by about half compared to the example in FIG. 2. Nevertheless, the increase in the difference d from U _{SCH is} still significantly lower than in the prior art according to FIG. 1.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung, bei der die beiden Gleichrichter 1, 2 ebenfalls an ihren Minuspolen 5₁ und 5₂ aufgetrennt sind und damit die Kathodenschiene 6 an den Enden L, R speisen. In diesem Beispiel ist keine Mittenspeisung der Anodenschienen 3, 4 vorgesehen, sondern vom Gleichrichter 1 her eine Speisung der ersten Anodenschiene 3 beim Ende L und der zweiten Anodenschiene 4 beim dazu entgegengesetzt befindlichen Ende R. Hiermit ergibt sich zwar gegenüber den übrigen Beispielen ein schlechterer Wert der Differenz d zwischen dem minimalen und dem maximalen Wert von U_SCH von 2,33; doch sind die Werte von ΔU ebenso günstig und niedrig wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen. Dabei ist es für die Kompensation von Vorteil, daß die beiden Pluspole 5′₁ und 5′₂ der beiden Gleichstromquellen an zueinander entgegengesetzt liegende Enden der Anodenschiene geführt sind, nämlich der Pluspol 5′₁ an das Ende L der Schiene 3 und der Pluspol 5′₂ an das Ende R der Schiene 4 und daß ferner die Schaltung diametral getroffen ist, so daß hier der Pluspol 5′₁ der ersten Gleichstromquelle 1 an einem Ende L der ersten Anodenschiene 3 liegt und der Minuspol 5₁ dieser Gleichstromquelle an dem dazu entgegengesetzt liegenden Ende R der Kathodenschiene und daß die zweite Gleichstromquelle 2 entsprechend angeschlossen ist, d. h. mit ihrem Pluspol 5′₂ an das rechts gelegene Ende R der zweiten Anodenschiene 4 und mit ihrem Minuspol 5₂ an das links gelegene Ende L der Kathodenschiene 6. Wie bei den übrigen Ausführungsbeispielen liegen auch hier L und R an den in Längsrichtung der Schienen 3, 4, 6 betrachtet einander entgegengesetzt liegenden Schienenenden. Beim Ausführungsbeispiel der Fig. 4 ergibt sich baulich ferner der Vorteil, daß man hinsichtlich der Stromzuführungen zu den Schienen 3, 4, 6 gegenüber bestehenden Anlagen keine Änderungen vornehmen muß, um eine Mittenspeisung zu erreichen, da hier die Speisungen mittels vorhandener Einweisungen der Warenträger erfolgen kann und Mittenanschlüsse nicht vorgesehen sind. Es müssen durch den einseitigen Anschluß der Anodenschienen Ungenauigkeiten für U_SCH durch Unsymmetrien in Kauf genommen werden. Fig. 4 shows a further embodiment of the invention, in which the two rectifiers 1 , 2 are also separated at their negative poles 5 ₁ and 5 ₂ and thus feed the cathode rail 6 at the ends L, R. In this example there is no central supply of the anode rails 3 , 4 , but rather the rectifier 1 supplies the first anode rail 3 at the end L and the second anode rail 4 at the opposite end R. This results in a worse value than the other examples the difference d between the minimum and the maximum value of U _SCH of 2.33; however, the values of ΔU are as favorable and low as in the previous embodiments. It is advantageous for the compensation that the two positive poles 5 '₁ and 5 ' ₂ of the two direct current sources are guided to opposite ends of the anode rail, namely the positive pole 5 '₁ to the end L of the rail 3 and the positive pole 5 '₂ at the end R of the rail 4 and that the circuit is also made diametrically, so that here the positive pole 5 ' ₁ of the first DC power source 1 is at one end L of the first anode rail 3 and the negative pole 5 ₁ of this DC power source on the opposite lying end R of the cathode rail and that the second direct current source 2 is connected accordingly, ie with its positive pole 5 '₂ to the right end R of the second anode rail 4 and with its negative pole 5 ₂ to the left end L of the cathode rail 6 . As in the other exemplary embodiments, L and R also lie here on the rail ends lying opposite one another in the longitudinal direction of the rails 3 , 4 , 6 . In the embodiment of FIG. 4, there is also the structural advantage that there is no need to make any changes to the current supply to the rails 3 , 4 , 6 compared to existing systems in order to achieve a center feed, since the feedings are carried out by means of existing instructions from the goods carriers can and center connections are not provided. Due to the one-sided connection of the anode rails, inaccuracies for U _SCH due to asymmetries have to be accepted.

Das Ausführungsbeispiel der Fig. 5 ist dem der Fig. 4 ähnlich, wobei aber die Speisungen in die Anodenschienen 3, 4 von deren beiden Enden L, R her erfolgt, d. h. sämtliche Schienen 3, 4, 6 werden beidseitig gespeist. Es ergibt sich ein gegenüber der Ausführung nach Fig. 4 günstigerer Wert von d=1,00, wie es in Fig. 5c mit der gestrichelt gezeichneten Kurve von U_SCH dargestellt ist. Dieser, günstige Wert stellt sich bei einer fehlerfreien Anordnung der Schiene und deren Speisung ein, d. h. wenn keine Kontaktfehler und keine Fehler durch Unsymmetrien vorhanden sind. Dagegen zeigt in Fig. 5c die mit durchgezogener Linie dargestellte Kurve von U_SCH den ungünstigsten, der Darstellung in Fig. 4c entsprechenden Verlauf mit dem Wert von d=2,33, sofern einer der Kontakte ausgefallen ist. Der Wert ΔU entspricht dem der Fig. 4. Mittenanschlüsse sind auch hier vermieden, aber unter Inkaufnahme etwaiger, vorstehend erläuterter Kontaktfehler und Fehlern aufgrund Unsymmetrien der Anodenschienenspeisung.The embodiment of FIG. 5 is similar to FIG. 4, but the feeds into the anode rails 3, 4 is carried out from the two ends of L, R forth, ie all rails 3, 4, 6 are fed on both sides. This results in a value of d = 1.00 which is more favorable than in the embodiment according to FIG. 4, as is shown in FIG. 5c with the dashed curve of U _SCH . This favorable value is obtained when the rail is correctly arranged and fed, ie when there are no contact errors and no errors due to asymmetries. In contrast, in FIG. 5c the curve of U _SCH shown with a solid line shows the most unfavorable course corresponding to the illustration in FIG. 4c with the value d = 2.33, provided one of the contacts has failed. The value .DELTA.U corresponds to that of FIG. 4. Center connections are also avoided here, but with the acceptance of any contact errors explained above and errors due to asymmetries in the anode rail feed.

Es ist oben schon erwähnt, daß die Anodenschienen 3, 4 und die Kathodenschiene 6 in deren Längsrichtung Veränderungen ihres Querschnittes aufweisen können. Dies zeigt die Ausführung gemäß Fig. 6, deren Schaltung der Ausführung der Fig. 2 entspricht. Bei den Anodenschienen erfolgt eine Verringerung der Querschnitte vom Mittelpunkt M jeweils zu den Enden L und R hin und bei der Kathodenschiene 6 jeweils eine Querschnittsverringerung von den Enden L, R zur Mitte M hin. Diese Querschnittsverringerungen sind also jeweils in Richtung des Stromflusses gegeben, wodurch sich in Richtung des Stromflusses eine der Querschnittsverringerung entsprechende Erhöhung des Widerstandswertes der Schienen pro Längeneinheit ergibt. Hinsichtlich Einzelheiten solcher Querschnittsverringerungen der Schienen und der Änderung deren spezifischen Widerstände über die Schienenlänge, die hierbei entstehenden Zellenspannungen und Spannungsabfälle sowie die zugehörige theoretische Erläuterung wird auf den Offenbarungsinhalt des bereits zitierten älteren Patents DE 40 41 598 C1 verwiesen und dies mit zum Offenbarungsinhalt der vorliegenden Anmeldung erklärt. Aus Fig. 6c ergeben sich hiermit optimale von ΔU und U_SCH und insbesondere der Idealwert von d=0,0.It has already been mentioned above that the anode rails 3 , 4 and the cathode rail 6 can have changes in their cross section in their longitudinal direction. This shows the embodiment according to FIG. 6, the circuit of which corresponds to the embodiment of FIG. 2. In the case of the anode rails, the cross sections are reduced from the center M to the ends L and R, and in the case of the cathode rail 6 , the cross sections are reduced from the ends L, R to the center M. These cross-sectional reductions are thus given in the direction of the current flow, which results in an increase in the resistance value of the rails per unit length corresponding to the cross-sectional reduction in the direction of the current flow. With regard to details of such reductions in cross-section of the rails and the change in their specific resistances over the rail length, the cell voltages and voltage drops that arise as a result and the associated theoretical explanation, reference is made to the disclosure content of the already cited older patent DE 40 41 598 C1, and this with the disclosure content of the present application explained. From Fig. 6c arising hereby optimum of .DELTA.U and U _SCH and in particular the ideal value of d = 0.0.

Die in Fig. 6 dargestellten relativ groben Schienenabstufungen können in der Praxis feiner sein oder als Kurve ausgeführt werden.The relatively coarse rail gradations shown in FIG. 6 can be finer in practice or can be designed as a curve.

Die Fig. 7 und 8 zeigen schematisch einen die Kathodenschiene bildenden Warenträger 9 mit einem Mittelanschluß 10. Hieran ist ein Kabel 11 angeschlossen, dessen anderes Ende bei 12 elektrisch mit einem Warenträger-Tragarm 13 verbunden ist. Dieser Tragarm ist am Warenträger 9 isoliert befestigt, z. B. verschraubt (siehe Ziffern 14 in Fig. 8), und ferner vom Warenträger durch eine Isolierschicht 15 elektrisch isoliert. Bevorzugt ist die gleiche Anordnung an beiden Enden des Warenträgers vorgesehen, wie gestrichelt angedeutet, denn weil die Ströme im Warenträger stets doppelt so groß sind wie in einer Anodenschiene ist es oft notwendig oder zumindest vorteilhaft, den Strom von den beiden Enden her zur Mitte (Anschluß 10) zu führen. FIGS. 7 and 8 schematically show a cathode rail forming product carrier 9 having a central terminal 10. A cable 11 is connected to this, the other end of which is electrically connected at 12 to a goods carrier support arm 13 . This support arm is attached to the goods carrier 9 isolated, z. B. screwed (see numbers 14 in Fig. 8), and also electrically isolated from the goods carrier by an insulating layer 15 . The same arrangement is preferably provided at both ends of the product carrier, as indicated by dashed lines, because because the currents in the product carrier are always twice as large as in an anode rail, it is often necessary or at least advantageous to move the current from the two ends to the center (connection 10 ) to lead.

Sofern die Anodenträger nicht betriebsmäßig, z. B. zur Reinigung, aushebbar sein müssen, kann bei ihnen auf eine Anordnung wie vorstehend zu Fig. 7, 8 erläutert verzichtet und die Stromzuführung zur Mitte M mittels direkt vom Gleichrichter 1, 2 herführenden und an die Anodenschiene angeschlossene Kabel erfolgen. Erwähnt sei, daß die Kontaktübergangswiderstände an den Anschlüssen D bis G (siehe Fig. 2) nicht in die Qualität der Stromverteilung eingehen, da sie nur die Serienschaltung eines Widerstandes zu den Kabeln darstellen. Dies aber wird durch die übliche Gleichrichterregelung ausgeglichen.If the anode carrier is not operational, e.g. B. for cleaning, must be able to be lifted, they can dispense with an arrangement as explained above for FIGS. 7, 8 and the power supply to the center M by means of the rectifier 1 , 2 leading and connected to the anode rail cable. It should be mentioned that the contact resistance at the terminals D to G (see Fig. 2) do not affect the quality of the current distribution, since they only represent the series connection of a resistor to the cables. But this is compensated for by the usual rectifier regulation.

Alle dargestellten und beschriebenen Merkmale, sowie ihre Kombinationen miteinander sind erfindungswesentlich.All features shown and described, as well as their Combinations with one another are essential to the invention.

Claims

1. Arrangement in a system serving for the electrolytic treatment of workpieces, the bath of which has two anode rails, each of which is electrically connected to a row of anodes arranged one behind the other in the longitudinal direction, a cathode rail also being provided which is arranged electrolytically with one another in the longitudinal direction workpieces to be treated is electrically connected, the aforementioned rails being connectable to a direct current source provided outside the bath, and further measures being provided with the aim of uniformizing the layer thickness distribution on the workpieces of the individual cells of such a bath, characterized in that the direct current source consists of two regulated direct current sources ( 1, 2 ), each of which represents the power supply for opposite side surfaces of the items to be treated ( 7, 8 ), the negative poles ( 5 ₁, 5 ₂) of these direct current sources each f itself leading to one of the ends (L and R) opposite one another with respect to the longitudinal extent of the cathode rail or the associated end regions of the cathode rail and at the same time making the direct current supplies there.

2. Arrangement according to claim 1, characterized in that the negative poles ( 5 ₁, 5 ₂) of the direct current sources ( 1, 2 ) at the ends (L, R) of the cathode rail ( 6 ) are connected.

3. Arrangement according to claim 1, characterized in that the negative poles ( 5 ₁, 5 ₂) of the direct current sources ( 1, 2 ) at points of the cathode rail ( 6 ) are connected, which are between the center (M) and the ends ( L, R).

4. Arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that the positive pole ( 5 '₁) of a direct current source ( 1 ) at one of the ends (L or R) of the one, first anode rail ( 3 ) and the positive pole ( 5th '₂) of the other direct current source ( 2 ) to the opposite end (L or R) of the first anode rail opposite end (R or L) of the other, second anode rail ( 4 ) is connected and that the negative poles ( 5 ₁, 5th ₂) of the two direct current sources ( 1, 2 ) are connected to the ends (R, L) of the cathode rail ( 6 ) such that each of the direct current sources ( 1, 2 ) with its negative pole and its positive pole at opposite ends of one of the anode rails and the cathode rail are connected.

5. Arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that one of the positive poles of the direct current sources ( 1, 2 ) to the two opposite ends (L and R) each one of the anode rails ( 3, 4 ) is connected .

6. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the cathode rail in the area of their two Each ends at the negative pole of one of two direct current sources is connected, and that a positive pole one of the DC power sources to the center area of the an anode bar and the positive pole of the other DC power source to the center area of the other anode bar connected.

7. Arrangement according to claim 1 or 3, characterized in that the cathode rail about half the distance between one of its ends (L) and its central region (M) and also approximately half the distance between its other end (R) and the center area (M) is connected to the negative pole of one of two direct current sources, and that a positive pole of one of the direct current sources is connected to the center area (M) of one anode bar ( 3 ) and the plus pole of the other direct current source is connected to the center area (M) of the other anode bar ( 4 ) is connected.

8. Arrangement according to claim 6 or 7, characterized in that the connections of the central areas of the rails lie exactly in the middle between their ends (L, R).

9. Arrangement according to one of claims 6 to 8, characterized characterized that regulated as DC sources Rectifiers serve.

10. Arrangement according to one of claims 1, 2 and 6, characterized in that in the presence of two direct current sources ( 1, 2 ) and connection of which plus poles with the centers (M) of the anode rails and further feed from the minus poles ( 5th ₁, 5 ₂) in the ends (L, R) of the cathode rail ( 6 ) the cross section of the anode rails from their center (M) to their ends (L, R) and the cross section of the cathode rail from their ends (L, R) reduced towards the center (M).

11. The arrangement according to claim 10, characterized in that the cross-sectional reductions of the anode rails ( 3, 4 ) and the cathode rail ( 6 ) run in the same ratio, but only in the opposite direction.

12. Arrangement according to claim 10 or 11, characterized in that that the reduction in cross section is graded or is curved.

13. Arrangement according to one of claims 1 to 12, characterized characterized in that the cross section of each of the array rails to the cross section of the cathode rail in Ratio 1: 1 to 1: 3, preferably 1: 2.

14. Arrangement according to one of claims 1 to 13, characterized in that the connections ( 10 ) in the central region (M) of the anode rails and / or between the central region (M) and the ends (L, R) of the cathode rail via cable ( 11 ) are connected to contact parts which are attached to the rail ends in an electrically insulated manner from these and are connected to the relevant pole of one of the direct current sources.

15. The arrangement according to claim 14, characterized in that the contact parts are goods carriers or Anode support arms are about briefings are electrically connected to the relevant pole.