DE4203646C1

DE4203646C1 - Bath for electrochemical deposition of metal (alloys)

Info

Publication number: DE4203646C1
Application number: DE19924203646
Authority: DE
Inventors: Andreas Prof. Dr.Habil. 4040 Neuss De Moebius
Original assignee: Lpw-Anlagen 4040 Neuss De GmbH
Current assignee: Lpw-Anlagen 4040 Neuss De GmbH
Priority date: 1992-02-08
Filing date: 1992-02-08
Publication date: 1993-05-06
Anticipated expiration: 2012-02-09

Abstract

The bath is contained in a dielectric material tank (1) with at least one antenna arrangement (4) on the tank walls and/or under the tank bottom. A metal screen shields the tank from parasitic electromagnetic waves. At least one transmitter (6) is provided to generate electromagnetic waves to heat the bath, regulated by control devices (7) outside the screen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Bades für die elektrochemische Abscheidung von Metallen und Metallegierungen mit der Oberfläche von zu beschichtenden, in dem Bad angeord neten Gegenständen bei einem vorgegebenen Temperaturbereich, wobei die Badtemperatur über eine Beheizung eingestellt sowie ge steuert und/oder geregelt wird. Die Erfindung betrifft fernerhin eine Anlage für die Durchführung eines solchen Verfahrens.The invention relates to a method for operating a bath for the electrochemical deposition of metals and metal alloys with the surface to be coated, arranged in the bath objects at a given temperature range, where the bath temperature is set via heating and ge controls and / or is regulated. The invention further relates to an installation for carrying out such a process.

Elektrochemische Abscheidung bezeichnet im Rahmen der Erfindung sowohl die galvanische Abscheidung unter Zuführung von elektri scher Energie über Elektroden, als auch die sogenannte stromlose Abscheidung (vgl. "LPW-Taschenbuch für Galvanotechnik" 1988, S. 35 bis 37). Bad bezeichnet die wäßrige Lösung der für die Ab scheidung erforderlichen chemischen Substanzen und Elektrolytzu sätze (vgl. "LPW-Taschenbuch für Galvanotechnik" 1988, S. 47 bis 52). Das Bad befindet sich in einem entsprechenden Behälter. Be kannt sind außerdem eine mit Hochfrequenz betriebene Vorrichtung zur Erwärmung von Flüssigkeiten (DE 34 28 514 A1) und eine Heiz einrichtung für Elektrolytlösungen (SU 1107-350 A, Derwent Abstract) sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zu Behandlung pulverförmiger Seltenerd-Minerale, die nach Vermischen mit einem Elektrolyten mittels Hochfrequenzinduktion oder Mikrowellenbestrah lung bei 300 MHz bis 300 GHz erhitzt werden (DE 32 24 856 A1).Electrochemical deposition in the context of the invention both the electrodeposition with the addition of electri shear energy via electrodes, as well as the so-called currentless Separation (cf. "LPW paperback for electroplating" 1988, p. 35 to 37). Bad denotes the aqueous solution for the Ab required chemical substances and electrolyte sentences (cf. "LPW-Taschenbuch für Galvanotechnik" 1988, pp. 47 bis 52). The bath is in an appropriate container. Be are also known a device operated at high frequency for heating liquids (DE 34 28 514 A1) and a heater facility for electrolyte solutions (SU 1107-350 A, Derwent Abstract) as well as a method and a device for treatment powdered rare earth minerals, which after mixing with a Electrolytes using high-frequency induction or microwave irradiation be heated at 300 MHz to 300 GHz (DE 32 24 856 A1).

Im Rahmen der elektrochemischen Abscheidung von Metallen und Me tallegierungen auf der Oberfläche der Gegenstände, die zu diesem Zweck in dem Bad angeordnet werden, müssen besondere physikali sche Parameter eingehalten werden. Ihre Einhaltung ist für den sogenannten Betrieb des Bades, d. h. für die ordnungsgemäße und allen Ansprüchen genügende Abscheidung sowie für die Qualität der abgeschiedenen Oberflächenschicht, wesentlich.As part of the electrochemical deposition of metals and metals Valley alloys on the surface of the objects related to this Purpose to be arranged in the bathroom, special physi cal parameters are observed. Your compliance is for the so-called operation of the bath, d. H. for the proper and separation satisfying all requirements and for the quality of the deposited surface layer, essential.

Im allgemeinen gehört dazu die Einstellung und Einhaltung einer von der Zusammensetzung des Bades abhängigen Abscheidungstempe ratur in einem mehr oder weniger engen Temperaturbereich. Dazu muß zumindest bei Inbetriebnahme des Bades und zumeist auch beim Betrieb des Bades Wärmeenergie zugeführt werden. Auf die Maßnahmen bezieht sich die Erfindung allgemein.In general, this includes hiring and adhering to a deposition temperature dependent on the composition of the bath temperature in a more or less narrow temperature range. To at least when the bath is started up and usually also thermal energy is supplied during operation of the bath. On the The invention relates generally to measures.

Im Rahmen der aus der Praxis bekannten Maßnahmen, von denen die Erfindung ausgeht, erfolgt die Beheizung über elektrische Badheizer und/oder, aufwendiger, über Wärmetauscher in Form von Heizschlangen und Doppelmantel-Behälterwänden des Behälters, der das Bad aufnimmt, wobei die Heizschlangen oder die Doppelmantel-Be hälterwände von einem Wärmeträgermedium durchflossen werden. Der Wärmeübergang von diesen Heizkörpern auf das Bad erfolgt durch Konvektion und/oder Wärmeleitung. Das bedingt beim Aufhei zen des Bades lange Aufheizzeiten, bei einer Steuerung oder Rege lung der Badtemperatur lange und störende Totzeiten mit den be kannten negativen Einflüssen auf das Ergebnis der Steuerung oder Regelung. Das alles beeinflußt störend die elektrochemische Ab scheidung. Örtliche Überhitzung des Bades im Bereich der wärme energieabgebenden Oberflächen der Heizkörper ist bei geringer Badtemperatur unvermeidbar und kann insbesondere die organischen Elektrolytzusätze des Bades aufbrechen oder zerstören. As part of the measures known from practice, of which the invention is based, the heating takes place via electrical Bathroom heaters and / or, more complex, via heat exchangers in the form of Heating coils and double jacket container walls of the container, the the bathroom picks up, with the heating coils or the double jacket Be container walls are flowed through by a heat transfer medium. The heat transfer from these radiators to the bathroom takes place by convection and / or heat conduction. This is due to the heat up zen of the bath long heating times, with a control or rain long and annoying dead times with the be knew negative influences on the result of the control or Regulation. All this interferes with the electrochemical Ab divorce. Local overheating of the bath in the area of heat energy-emitting surfaces of the radiators is lower Bath temperature is unavoidable and in particular the organic Break up or destroy electrolyte additives in the bath.

In anderen Bereichen der Technik, inbesondere zum Garen und/oder Erwärmen von Speisen und Getränken, wird eine dielektrische Er wärmung durchgeführt. Die Erwärmung erfolgt hier über elektro magnetische Wellen, die auf das zu erwärmende Gut gerichtet wer den sowie in das zu erwärmende Gut eindringen. Ihre elektromag netische Energie wird in dem Gut unmittelbar in Wärmeenergie um gesetzt. Dabei wird mit sogenannten Mikrowellen gearbeitet, Fre quenzbereich von 1000 bis 3000 MHz. Die insoweit bekannten Maß nahmen haben sich bewährt. Für den Betrieb eines Bades für die elektrochemische Abscheidung von Metallen und Metallegierungen sind derartige Beheizungen bisher nicht üblich. Möglicherweise bestanden Bedenken, weil ein solches Bad in viel stärkerem Maße einen Elektrolyten darstellt als Speisen oder Getränke und die Ionen des Bades, wenn auch trägheitsgebremst, den elektromagneti schen Wellen folgen können und folglich eine Störung der Elektro chemie der Abscheidungszusammenhänge ohne weiteres nicht auszu schließen ist. Im übrigen ist es bekannt, daß bei der Erwärmung von Speisen und Getränken mit Hilfe von Mikrowellen organische Geschmacksbildner, insbesondere polare Molekülen, aufgebrochen und zerstört werden können. Andererseits enthalten die Bäder für die elektrochemische Abscheidung von Metallen und Metallegierungen, wie bereits erwähnt, organische Elektrolytzusätze, so daß zu be sorgen ist, daß sie aufgebrochen und zerstört werden könnten, wie die organischen Geschmacksbildner in Speisen und Getränken bei dielektrischer Erwärmung per Mikrowellen Schaden nehmen.In other areas of technology, especially for cooking and / or Heating food and beverages becomes dielectric heating done. The heating takes place here via electro magnetic waves that are directed at the material to be heated penetrate as well as into the goods to be heated. Your elektromag Net energy is immediately converted into thermal energy in the property set. It works with so-called microwaves, Fre frequency range from 1000 to 3000 MHz. The measure known so far have proven themselves. For the operation of a bath for the electrochemical deposition of metals and metal alloys Such heaters are not common so far. Possibly existed concerns because such a bath to a much greater extent represents an electrolyte as food or drink and the Ions of the bath, although slowed down by inertia, the electromagnetic waves and consequently a disturbance in the electrical system chemistry of the dependency of the dependency can not be easily eliminated is close. In addition, it is known that when heating of food and beverages with the help of microwaves organic Flavoring agents, especially polar molecules, broken up and can be destroyed. On the other hand, the bathrooms contain for the electrochemical deposition of metals and metal alloys, as already mentioned, organic electrolyte additives, so that be worry is that they could be broken up and destroyed like the organic flavoring agents in food and beverages dielectric heating by microwaves.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Be trieb eines Bades für die elektrochemische Abscheidung von Metal len und Metallegierungen auf der Oberfläche von zu beschichtenden in dem Bad angeordneten Gegenständen anzugeben, welches kurze Aufheizzeiten und eine sehr genaue Steuerung und/oder Regelung der Badtemperatur zuläßt, und zwar ohne örtliche Überhitzung. Der Erfindung liegt fernerhin die Aufgabe zugrunde, eine Anlage anzu geben, die für das erfindungsgemäße Verfahren besonders geeignet ist.The invention has for its object a method for loading powered a bath for the electrochemical deposition of metal oils and metal alloys on the surface of those to be coated objects placed in the bathroom to indicate which short Heating times and a very precise control and / or regulation the bath temperature allows, without local overheating. The The invention is also based on the object of starting a plant give that particularly suitable for the inventive method is.

Zur Lösung dieser Aufgabe lehrt die Erfindung in verfahrenstech nischer Hinsicht, daß die Beheizung des Bades durch elektromagne tische Wellen vorgenommen wird, welche die elektrochemische Ab scheidung nicht störend beeinflussen, und daß die Badtemperatur durch Auswahl und/oder Einstellung der Frequenz und/oder der Intensität und/oder der Einwirkungszeit der elektromagnetischen Wellen gesteuert oder geregelt wird. Nach bevorzugter Ausführungs form der Erfindung wird die Beheizung des Bades durch elektro magnetische Wellen im Mikrowellenbereich, vorzugsweise im Bereich von 1000 bis 3000 MHz, vorweggenommen.To achieve this object, the invention teaches in procedural nischer terms that the heating of the bath by electromagnetic table waves is made, which the electrochemical Ab divorce does not interfere, and that the bath temperature by selecting and / or setting the frequency and / or the Intensity and / or the exposure time of the electromagnetic Waves controlled or regulated. After preferred execution Form of the invention is the heating of the bath by electro magnetic waves in the microwave range, preferably in the range from 1000 to 3000 MHz, anticipated.

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß die Beheizung eines Bades für die eingangs beschriebene elektrochemische Ab scheidung von Metallen und Metallegierungen mit elektromagneti schen Wellen möglich ist, und zwar mit kurzen Aufheizzeiten sowie bei sehr genauer Temperatursteuerung und/oder Temperaturrege lung. Örtliche Überhitzungen im Bereich heißer Oberflächen von Heizkörpern sind systembedingt ausgeschlossen. Überraschenderweise lassen sich für alle bekannten Bäder für die elektrochemische Abscheidung von Metallen und von Metallegierungen die Parameter für die Beheizung mit elektromagnetischen Wellen so wählen, daß die elektrochemische Abscheidung nicht gestört wird. Das eilt insbesondere dann, wenn mit Mikrowellen gearbeitet wird, wie sie bei der Mikrowellenerwärmung von Speisen und Getränken üblich sind. Diese Parameter sind die Frequenz oder die Wellenlänge, die Intensität (Energie) der elektromagnetischen Wellen und die Ein wirkzeit. Die geeigneten Parameter lassen sich von Fall zu Fall ohne weiteres im Labor ermitteln. Aber auch eine systematische Ermittlung mit anschließender Normierung ist möglich. Eine bevor zugte Ausführungsform der Erfindung lehrt dazu, daß für ein Bad vorgegebener Zusammensetzung und Zweckbestimmung sowie vorgegebener Einwirkzeit der elektromagnetischen Wellen eine Kri tikalitätskurvenschar mit der Kritikalität als Ordinate und der Frequenz als Abszisse sowie der Intensität als Kurvenschar parameter oder mit der Kritikalität als Ordinate und der Intensität als Abszisse sowie der Frequenz als Kurvenscharparameter experi mentell ermittel wird, wobei die Flächen unter einer Kritikalitäts kurve den Bereich definieren, in dem die elektromagnetischen Wel len bei vorgegebener Frequenz oder vorgegebener Intensität die Abscheidung nicht störend beeinflussen. Im Rahmen der Erfindung liegt es, für ein vorgegebenes Bad nicht eine Kritikalitätskurven schar, sondern lediglich eine einzige Kritikalitätskurve zu ermit teln. - Der hier erwähnte Parameter "Kritikalität" gibt den Punkt an, bei dem die elektrochemische Abscheidung gestört wird, den vorgegebenen Qualitätsparametern also nicht mehr genügt. Die Kri tikalität hängt bei vorgegebener Frequenz von der Intensität der elektromagnetischen Wellen, bei vorgegebener Intensität der elek tromagnetischen Wellen von deren Frequenz und gegebenenfalls außerdem von der Einwirkzeit ab. The invention is based on the knowledge that the heating a bath for the electrochemical Ab described above Separation of metals and metal alloys with electromagnetic waves is possible, with short heating times and with very precise temperature control and / or temperature rain lung. Local overheating in the area of hot surfaces of Radiators are excluded due to the system. Surprisingly can be used for all known electrochemical baths Deposition of metals and metal alloys the parameters for heating with electromagnetic waves so choose that the electrochemical deposition is not disturbed. It is urgent especially when working with microwaves like the one below common in the microwave heating of food and beverages are. These parameters are the frequency or the wavelength that Intensity (energy) of the electromagnetic waves and the one real time. The appropriate parameters can be determined on a case by case basis easily determine in the laboratory. But also a systematic one Determination with subsequent standardization is possible. One before drafted embodiment of the invention teaches that for a bath given composition and purpose as well as given exposure time of the electromagnetic waves a Kri tality curve with the criticality as ordinate and the Frequency as the abscissa and the intensity as a family of curves parameters or with the criticality as ordinate and the intensity as the abscissa and the frequency as family of curves parameters experi is mentally determined, the areas under a criticality curve define the area in which the electromagnetic world len at a given frequency or intensity Do not interfere with separation. Within the scope of the invention it is not a criticality curve for a given bathroom sharp, but only a single criticality curve teln. - The "criticality" parameter mentioned here gives the point at which the electrochemical deposition is disturbed specified quality parameters are no longer sufficient. The Kri ticality depends on the intensity of the given frequency electromagnetic waves, given the intensity of the elec tromagnetic waves of their frequency and possibly also depending on the exposure time.

Im einzelnen bestehen im Rahmen der Erfindung mehrere Möglich keiten der weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfah rens. Eine bevorzugte Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß mit für die Erwärmung von Speisen und Getränken üblichen Mikrowellensendern gearbeitet und die Badtemperatur durch die Antennenstromstärke und /oder die Einschaltdauer dieser Mikrowel lensender gesteuert oder geregelt wird. Es versteht sich, daß man sich bemühen wird, in dem Bad eine möglichst homogene Intensi tätsdichte der elektromagnetischen Wellen zu erzeugen. Das kann z. B. durch entsprechende Ausbildung oder Anordnung der Antennen für die Abstrahlung der elektromagnetischen Wellen geschehen.There are several possible options within the scope of the invention the further design of the method according to the invention rens. A preferred embodiment is characterized in that that with usual for heating food and beverages Microwave transmitters worked and the bath temperature through the Antenna current and / or the duty cycle of this microwave lens transmitter is controlled or regulated. It goes without saying that one will endeavor to achieve as homogeneous an intensity as possible in the bathroom generate density of electromagnetic waves. That can e.g. B. by appropriate training or arrangement of the antennas happen for the radiation of the electromagnetic waves.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann auf verschiedene Weise in anlagentechnischer Hinsicht verwirklicht werden. Gegenstand der Erfindung ist insbesondere eine Anlage für die Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens mit
einem aus dielektrischen Werkstoffen aufgebauten Behälter für die Aufnahme des Bades,
zumindest einer Antennenanordnung für die Abstrahlung der elektromagnetischen Wellen behälteraußenseitig im Bereich von Behälterwandungen und/oder unterhalb des Behälterbodens und mit
einer metallischen Abschirmung für den Schutz der Umgebung des Bades gegen vagabundierende elektromagnetische Wellen, wobei der oder die Sender für die elektromagnetischen Wellen sowie die Steuer- und/oder Regeleinrichtungen für den Sender (bis auf die Meßwertaufnehmer für die Steuer- und/oder Regeleinrichtungen) außerhalb der Abschirmung angeordnet ist. Die Abschirmung besteht zweckmäßigerweise aus einem Abschirmmantel, der den Behälter und die Antenne bzw. Antennen umgibt. Die Abschirmung kann aber auch aus einer Haube bestehen, die die Antenne bzw. die einzelnen Antennen behälterabseitig außen umgibt. Es versteht sich, daß die Abschirmung erforderlichenfalls einen deckelartigen Behälter abschluß aufweisen kann. Nach bevorzugter Ausführungsform sind in anlagentechnischer Hinsicht die Sender für die elektromagneti schen Wellen als übliche Mikrowellensender ausgeführt. Im Rahmen der Erfindung liegt es, die Antenne oder die Antennen auch im Bad anzuordnen, wobei eine dielektrische Abkapselung der einzelnen Antennen verwirklicht wird und der Behälter selbst, wenn er als metallischer Behälter ausgeführt ist, eine Abschirmfunktion über nehmen kann.The method according to the invention can be implemented in various ways in terms of plant technology. The invention relates in particular to a plant for carrying out the method described above
a container made of dielectric materials for holding the bath,
at least one antenna arrangement for emitting the electromagnetic waves on the outside of the container in the region of the container walls and / or below the container bottom and with
a metallic shield for protecting the environment of the bath against stray electromagnetic waves, the transmitter or transmitters for the electromagnetic waves and the control and / or regulating devices for the transmitter (apart from the transducers for the control and / or regulating devices) outside the shield is arranged. The shield expediently consists of a shielding jacket which surrounds the container and the antenna or antennas. However, the shielding can also consist of a hood which surrounds the antenna or the individual antennas on the outside of the container. It is understood that the shield may have a lid-like container closure if necessary. According to a preferred embodiment, the transmitters for the electromagnetic waves are designed as conventional microwave transmitters. It is within the scope of the invention to arrange the antenna or the antennas in the bathroom as well, whereby a dielectric encapsulation of the individual antennas is realized and the container itself, if it is designed as a metallic container, can take on a shielding function.

Im folgenden wird eine Anlage für die Durchführung des erfin dungsgemäßen Verfahrens anhand einer lediglich ein Ausführungs beispiel darstellenden Zeichnung ausführlicher erläutert. Es zeigenThe following is a system for carrying out the inventions method according to the invention using only one embodiment example illustrative drawing explained in more detail. Show it

Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch eine erfindungsgemäße Anlage und Fig. 1 shows a vertical section through a system according to the invention and

Fig. 2 einen Schnitt in Richtung A-A durch den Gegenstand der Fig. 1. Fig. 2 is a section in direction A-A through the subject matter of FIG. 1.

Die in den Figuren dargestellte Anlage ist für die elektrochemische Abscheidung von Metallen und Metallegierungen auf der Oberfläche von zu beschichtenden Gegenständen G bestimmt. Zur Anlage gehört ein Behälter 1, der das Bad 2 aufnimmt, in das die zu beschich tenden Gegenstände G eingetaucht werden. Dazu wird mit einem Warenträger 3 gearbeitet, an dem die zu beschichtenden Gegenstän de G befestigt oder auf dem sie angeordnet sind.The system shown in the figures is intended for the electrochemical deposition of metals and metal alloys on the surface of objects G to be coated. The system includes a container 1 , which receives the bath 2 , in which the objects G to be coated are immersed. For this purpose, a product carrier 3 is used, to which the objects to be coated de G are attached or on which they are arranged.

Man erkennt in den Figuren einen aus dielektrischen Werkstoffen aufgebauten Behälter 1 für die Aufnahme des Bades, im Ausführungsbeispiel eine Mehrzahl von Antennenanordnungen 4 für die Abstrahlung der elektromagnetischen Wellen behälteraußenseitig im Bereich der Wandungen des Behälters 1. Man erkennt außerdem eine metallische Abschirmung 5 für den Schutz der Umgebung des Bades gegen vagabundierende elektromagnetische Wellen. Die Sender 6 für die elektromagnetischen Wellen sowie die Steuer- und Regel einrichtungen 7 für die Sender 6 sind außerhalb der Abschirmung 5 angeordnet. Meßwertaufnehmer, z. B. Temperaturfühler, befinden sich innerhalb des Bades, was nicht gezeichnet wurde. Im Ausfüh rungsbeispiel besteht die Abschirmung 5 aus einem Abschirmmantel, der den Behälter 1 und die Antennenanordnungen 4 umgibt. Es könnte aber auch mit Hauben gearbeitet werden. Der Warenträger 3 ist mit Reflektoren 8 ausgerüstet, die die elektromagnetischen Wel len reflektieren. Auf diese Weise kann eine möglicherweise störende induktive Erwärmung von metallischen Gegenständen, deren Ober fläche zu beschichten ist, verhindert werden. Es versteht sich, daß die Reflektoren in der Praxis so angeordnet werden, daß der galvanische Ionentransport nicht gestört wird. Durch die Anord nung der Sender 6 und/oder Reflektoren 8 kann eine sehr homogene Verteilung der Intensität der elektromagnetischen Wellen in dem Bad 2 erreicht werden.One can see in the figures a container 1 constructed of dielectric materials for receiving the bath, in the exemplary embodiment a plurality of antenna arrangements 4 for the radiation of the electromagnetic waves on the outside of the container in the region of the walls of the container 1 . A metallic shield 5 can also be seen for protecting the area around the bath against stray electromagnetic waves. The transmitter 6 for the electromagnetic waves and the control and regulating devices 7 for the transmitter 6 are arranged outside the shield 5 . Transducer, e.g. B. temperature sensors are located inside the bathroom, which was not drawn. In the exemplary embodiment, the shield 5 consists of a shielding jacket which surrounds the container 1 and the antenna arrangements 4 . However, hoods could also be used. The goods carrier 3 is equipped with reflectors 8 , which reflect the electromagnetic Wel len. In this way, a potentially disturbing inductive heating of metallic objects, the upper surface of which is to be coated, can be prevented. It goes without saying that the reflectors are arranged in practice so that the galvanic ion transport is not disturbed. By arranging the transmitters 6 and / or reflectors 8 , a very homogeneous distribution of the intensity of the electromagnetic waves in the bath 2 can be achieved.

Claims

1. A method of operating a bath for the electrochemical deposition of metals and metal alloys on the surface of objects to be coated and arranged in the bath, the bath temperature being set and controlled and / or regulated by heating, characterized in that that the heating of the bath is carried out by electromagnetic waves which do not interfere with the electrochemical deposition, and that the bath temperature is controlled or regulated by selection and / or adjustment of the frequency and / or the intensity and / or the exposure time of the electromagnetic waves.

2. The method according to claim 1, characterized in that the Heating of the bath by electromagnetic waves in the microwave len range, preferably in the range from 1000 to 3000 MHz is taken.

3. The method according to any one of claims 1 or 2, characterized records that for a bath given composition and Purpose of a set of criticality curves with the criticality as the ordinate and the frequency as the abscissa and the intensity as a set of curve parameters or with criticality as an ordinate and the intensity as the abscissa and the frequency as the curves Sharpening parameters is determined experimentally, the areas define the area under which the electromagnetic waves at a given frequency or pre given intensity does not interfere with the deposition.

4. The method according to any one of claims 2 or 3, characterized records that for the heating of food and drinks usual microwave transmitters worked and the bath temperature by the antenna current and / or the duty cycle of this Microwave transmitter is controlled.

5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized records that in the bath as homogeneous as possible intensity density of electromagnetic waves is generated.

6. Plant for performing the method according to one of claims 1 to 5, with
a container ( 1 ) constructed of dielectric materials for receiving the bath ( 2 ),
at least one antenna arrangement ( 4 ) for radiating the electromagnetic waves on the outside of the container in the region of the container walls and / or below the container bottom and with
a metallic shield ( 5 ) for protecting the environment of the bath against stray electromagnetic waves,
at least one transmitter ( 6 ) for the electromagnetic waves and the control and / or regulating devices ( 7 ) for the transmitter ( 6 ) being arranged outside the shield ( 5 ).

7. System according to claim 6, wherein the shield ( 5 ) consists of a shielding jacket which surrounds the container ( 1 ) and the antenna arrangement ( 4 ) or the antenna arrangements ( 4 ).

8. System according to claim 6, wherein the shield ( 5 ) consists of a hood which surrounds the antenna arrangements ( 4 ) on the outside of the container.

9. Plant according to one of claims 6 to 8, wherein the shielding ( 5 ) has a lid-like container closure.

10. Installation according to one of claims 6 to 9, wherein the at least one transmitter ( 6 ) of the electromagnetic waves is designed as a microwave sensor.