DE4131752A1

DE4131752A1 - METHOD FOR ONE-SIDED SURFACE PROCESSING OF WORKPIECES

Info

Publication number: DE4131752A1
Application number: DE4131752A
Authority: DE
Inventors: Gerhard Wittstock
Original assignee: WOLTERS PETER FA; Peter Wolters AG
Current assignee: WOLTERS PETER FA; Peter Wolters AG
Priority date: 1991-09-24
Filing date: 1991-09-24
Publication date: 1993-03-25
Also published as: EP0534108A1; DE59203556D1; EP0534108B1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum einseiti gen Flächenbearbeiten von Werkstücken mit Läpp-, Schleif-, Hon- oder Poliermaschinen nach dem Oberbegriff des Patent anspruchs 1.The invention relates to a method for one-sided surface machining of workpieces with lapping, grinding, Honing or polishing machines according to the generic term of the patent claim 1.

Aus technischen und/oder technologischen Gründen sind Werkstücke häufig nur einseitig zu bearbeiten. Hierfür werden sogenannte Einscheibenmaschinen verwendet, bei denen die Werkstücke in Werkstückaufnahmen angeordnet und mit Hilfe geeigneter Mittel so in Drehbewegung gesetzt werden, daß die zu bearbeitenden Flächen weitgehend die Ringbreite der sich drehenden Arbeitsscheibe überstrei chen.For technical and / or technological reasons Workpieces can often only be processed on one side. Therefor so-called single-disc machines are used for which the workpieces are arranged in workpiece holders and set in rotation with the help of suitable means be that the areas to be worked largely the Spread over the ring width of the rotating work disc chen.

Aus der EP 00 04 033 ist eine derartige Arbeitsmaschine bekannt geworden. Zu bearbeitende scheibenartige Werk stücke werden mit der einen Seite auf Trägerplatten gekit tet, die mit Druckstempeln gegen die Arbeitsscheibe ge drückt werden. Zwischen dem Druckstempel und der Träger plattenrückseite ist eine Zwischenlage aus einem elastisch nachgebenden Material angeordnet. Dadurch wird erreicht, daß die Belastungskräfte gleichmäßig auf die Werkstücke verteilt sind. Aus der EP 02 64 572 ist auch bekannt ge worden, den Druckstempel kugelig zu lagern, damit auch bei größeren Parallelitätsabweichungen möglichst gleichmäßige Anpreßkräfte erhalten werden.Such a working machine is known from EP 00 04 033 known. Disc-like work to be machined pieces are kitted on one side on carrier plates tet that against the working disc with pressure stamps be pressed. Between the stamp and the carrier the back of the plate is an intermediate layer made of an elastic yielding material arranged. This ensures that the loading forces are even on the workpieces are distributed. From EP 02 64 572 is also known ge been to store the pressure stamp spherically, so also at Larger deviations in parallelism as uniform as possible Contact forces are obtained.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum einseitigen Flächenbearbeiten von Werkstücken mit Läpp-, Schleif-, Hon- oder Poliermaschinen anzugeben, das eine Verringerung der Fertigungskosten zur Folge hat.The invention has for its object a method for one-sided surface machining of workpieces with Lapping, grinding, honing or polishing machines specify that results in a reduction in manufacturing costs.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale des Patentan spruchs 1.This object is achieved by the features of the patent saying 1.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird der Einsatz einer Zweischeibenmaschine vorgesehen, und zwischen den Arbeits scheiben sind paarweise übereinander angeordnete Träger scheiben plaziert, zwischen denen eine elastische Zwi schenschicht angeordnet ist.In the method according to the invention, the use of a Two-disc machine provided, and between work slices are supports arranged in pairs one above the other placed discs, between which an elastic intermediate layer is arranged.

Eine Zweischeibenmaschine ist naturgemäß aufwendiger als eine Einscheibenmaschine, andererseits ermöglicht das er findungsgemäße Verfahren die doppelte Produktionsmenge pro Zeiteinheit wie eine Einscheibenmaschine. Da jedoch zwei Einscheibenmaschinen einen erheblich höheren Aufwand ver ursachen als eine Zweischeibenmaschine, lassen sich die Fertigungskosten deutlich verringern. Außerdem verringert sich bei einer vorgegebenen Produktionsmenge pro Zeitein heit der Platzbedarf.A two-disc machine is naturally more complex than a single disc machine, on the other hand, he makes it possible Processes according to the invention double the production quantity per Unit of time like a single disc machine. However, since two Single disc machines require considerably more effort cause as a two-disc machine, can be Significantly reduce manufacturing costs. Also reduced a given production quantity per time space requirement.

Nach Möglichkeit werden die Trägerscheiben zentrisch übereinander angeordnet. Damit sie in Rotation versetzt und dabei entsprechend geführt werden, sieht eine Ausge staltung der Erfindung vor, daß die Trägerscheibenpaare in der Zweischeibenmaschine am Umfang drehend abgestützt sind. Dabei kann die Drehung für die Trägerscheiben über Reibung erzeugt werden. Zusätzlich können die Ab stützmittel zur Rotation beitragen, beispielsweise durch einen Zahnungseingriff zwischen Trägerscheiben und einem Ringzahnrad oder Stiftkranz, der z. B. außerhalb der Ar beitsscheiben angeordnet ist. Eine andere Möglichkeit be steht darin, Stützrollen vorzusehen, gegen die die Träger scheiben zur Anlage gebracht werden. Schließlich kann auch eine mittige Antriebs- oder mitlaufende Rolle vorgesehen werden, während am Umfang Stützrollen angeordnet sind, um die Trägerscheiben in eine kontrollierte Drehung zu ver setzen.If possible, the carrier disks become centric arranged one above the other. So that it rotates and being guided accordingly, sees an exception staltung of the invention that the carrier disc pairs in of the two-disc machine is supported on the circumference in a rotating manner are. The rotation for the carrier disks generated via friction. In addition, the Ab support to the rotation, for example by a serration between carrier disks and a Ring gear or pin ring, the z. B. outside the ar beits disks is arranged. Another way be is to provide support rollers against which the carrier discs are brought to the plant. Finally, too a central drive or idler roller is provided are, while support rollers are arranged around the circumference ver the carrier disks in a controlled rotation put.

Es sind verschiedene konstruktive Ausführungen für die Trägerscheibenanordnung denkbar. Einige dieser Ausfüh rungsformen werden nachfolgend näher erörtert.There are different designs for the Carrier disc arrangement conceivable. Some of these forms are discussed in more detail below.

Für eine einwandfreie Bearbeitung ist es von Vorteil, wenn die Träger- oder Werkstückaufnahmescheiben in thermischer Hinsicht formstabil sind. Daher sieht eine Ausgestaltung der Erfindung vor, daß die Trägerscheiben aus Keramik oder Invar-Metall bestehen, welche Werkstoffe bekanntlich einen kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.For perfect processing, it is advantageous if the carrier or workpiece holding disks in thermal Terms are dimensionally stable. Therefore sees an embodiment the invention that the carrier discs made of ceramic or Invar metal are made of which materials are known to unite have small coefficients of thermal expansion.

Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die elastische Zwischenschicht mit mindestens einer Träger scheibe verbunden ist. Die Zwischenschicht kann im übrigen gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung aus Moosgummi be stehen. Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die elastische Zwischenschicht ein von einem Fluid ge fülltes Druckkissen ist. Um die Zwischenschicht zwischen den Trägerscheiben festzulegen, kann mindestens eine Trä gerscheibe so geformt sein, daß sie die Zwischenschicht radial festlegt.Another embodiment of the invention provides that the elastic intermediate layer with at least one carrier disc is connected. The intermediate layer can otherwise according to an embodiment of the invention made of foam rubber stand. Another embodiment of the invention provides that the elastic intermediate layer is a ge of a fluid is filled pressure pad. To the intermediate layer between to fix the carrier discs, at least one Trä gersscheibe be shaped so that it is the intermediate layer defines radially.

Es wurde bereits erwähnt, daß bekannt ist, zu bearbeitende Wafer an einer Fläche der Trägerscheibe zu fixieren, bei spielsweise mit Hilfe von Wachs. Alternativ können die Werkstücke auch in Ausnehmungen bzw. Durchbrüchen angeord net sein, wobei im Fall eines Durchbruchs das Werkstück sich gegen die elastische Zwischenschicht anlegt. Diese Ausführungsform wird gewählt, wenn die nicht zu bearbei tende Rückseite des Werkstücks keine große Genauigkeit aufweist. Nach einer weiteren Ausgestaltung ist in diesem Zusammenhang vorgesehen, daß in der Ausnehmung ein Form teil sitzt, das an die Rückseite des Werkstücks angepaßt ist. Das Formteil kann seinerseits aus einem elastisch nachgebenden Werkstoff bestehen entsprechend dem Werkstoff für die Zwischenschicht.It has already been mentioned that it is known to be processed To fix wafers to a surface of the carrier disk for example with the help of wax. Alternatively, the Workpieces also arranged in recesses or openings be net, the workpiece in the event of a breakthrough lies against the elastic intermediate layer. These Embodiment is chosen if the not to be processed end of the workpiece is not very accurate having. According to a further embodiment is in this Context provided that a shape in the recess part sits, which is adapted to the back of the workpiece is. The molded part can in turn be made of an elastic yielding material exist according to the material for the intermediate layer.

Zumindest für die Unterseite der Trägerscheibenanordnung kann es von Vorteil sein, wenn Mittel vorgesehen sind, die ein Herausfallen der Werkstück verhindern. Liegt das Werk stück gegen die elastische Zwischenschicht an, kann diese so ausgebildet sein, beispielsweise durch eine Vertiefung oder dergleichen, daß die Werkstücke durch einen Saug effekt gehalten werden.At least for the underside of the carrier disk arrangement it may be advantageous if means are provided which prevent the workpiece from falling out. The plant lies piece against the elastic intermediate layer, this can be designed, for example, by a recess or the like that the workpieces by suction be kept effective.

Werden beide Trägerscheiben drehend abgestützt oder aktiv angetrieben, rotieren sie während der Bearbeitung synchron. Ist dies nicht der Fall, ist gemäß einer weiteren Ausge staltung der Erfindung vorteilhaft, wenn die Trägerschei ben drehsteif gekoppelt sind. So kann z. B. dann nur noch eine Trägerscheibe eine Umfangsverzahnung aufweisen, um z. B. sich an einem Stiftkranz abzuwälzen. Alternativ kann etwa nur eine Trägerscheibe eine zylindrische Antriebs reibfläche aufweisen, die mit Stützrollen der Maschine in Eingriff tritt.If both carrier disks are supported in rotation or become active driven, they rotate synchronously during processing. If this is not the case, according to another issue staltung of the invention advantageous if the carrier ticket ben are torsionally rigid coupled. So z. B. then only a carrier disc have a circumferential toothing in order e.g. B. roll on a pin ring. Alternatively, you can about only one carrier disk a cylindrical drive Have friction surface that with the machine's support rollers Intervention occurs.

Bei einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorge sehen, daß zwischen zwei Trägerscheiben eine Antriebs scheibe drehfest angeordnet ist. Die Antriebsscheibe, die umfangmäßig über die Trägerscheiben hinausragt, bewirkt den Drehantrieb der Trägerscheiben, die ihrerseits dann lediglich als zylindrische Gebilde ausgeführt zu werden brauchen. Insbesondere wenn ein aufwendiger bzw. schwer zu bearbeitender Werkstoff für die Trägerscheiben verwen det wird, ist die zylindrische Form von Vorteil.In another embodiment of the invention is provided see that between two carrier disks a drive disc is rotatably arranged. The drive pulley, the protrudes circumferentially beyond the carrier disks, causes the rotary drive of the carrier disks, which in turn then to be carried out only as a cylindrical structure need. Especially when an elaborate or difficult Use material to be machined for the carrier washers det, the cylindrical shape is advantageous.

Falls die Antriebsscheibe keine Verzahnung aufweist, son dern einen Reibeingriff mit Stützrollen herstellt, ist es von Vorteil, wenn Mittel vorgesehen, sind um die dabei auftretende relativ hohe Flächenpressung zu reduzieren. Zu diesem Zweck kann mit der Antriebsscheibe ein Anlaufbund gekoppelt sein, der eine große Angriffsfläche mit den Stützrollen bereitstellt.If the drive pulley has no teeth, son it creates a frictional engagement with support rollers an advantage, if funds are provided, are included to reduce the occurring relatively high surface pressure. To a thrust collar can be used for this purpose be coupled with a large target area with the Provides support rollers.

Im Fall einer Antriebsscheibe ist vorzugsweise auf jeder Seite der Antriebsscheibe eine elastische Zwischenschicht zur Trägerscheibe hin vorgesehen. Wenn nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung die Antriebsscheibe mindestens einen Durchbruch zur Aufnahme einer elastischen Zwischen schicht aufweist, ist lediglich eine einzige aus mehreren Abschnitten bestehende elastische Zwischenschicht notwendig.In the case of a drive pulley, it is preferably on everyone Side of the drive pulley an elastic intermediate layer provided towards the carrier disc. If after another Embodiment of the invention, the drive pulley at least a breakthrough to include an elastic intermediate layer, is only one of several Sections existing elastic intermediate layer necessary.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert.The invention is described below with reference to drawings explained in more detail.

Fig. 1 zeigt schematisch die Seitenansicht einer Zwei scheibenmaschine für die Durchführung eines Verfah rens nach der Erfindung. Fig. 1 shows schematically the side view of a two-disc machine for carrying out a method according to the invention.

Fig. 2 bis 7 zeigen schematisch Schnitte durch einen Teil der Arbeitsscheiben und einer Trägerscheibenanord nung in unterschiedlichen konstruktiven Ausgestal tungen. Fig. 2 to 7 schematically show sections through a part of the working disks and a support disk arrangement in different constructive configurations.

Fig. 1 zeigt eine Zweischeibenmaschine 10, die zum Läppen, Schleifen, Honen oder Polieren verwendet werden kann. Sie weist eine obere Arbeitsscheibe 12 auf, die über eine Welle in einem oberen schwenkbaren Rahmenteil 14 drehbar gelagert ist und von einem Antriebsmotor 16 angetrieben ist. Eine untere Arbeitsscheibe 18 wird von einer Hohl welle gelagert, die von einem Antriebsmotor 20 angetrieben ist. Eine in der Hohlwelle angeordnete Innenwelle treibt mit Hilfe eines Antriebsmotors 22 einen inneren Stiftkranz 24 an. Ein äußerer Stiftkranz 26 ist stationär. Insoweit handelt es sich um bekannte Einzelheiten einer Zweischei benmaschine, wobei noch erwähnt werden soll, daß die An preßkraft zwischen den Arbeitsscheiben 12, 18 einstellbar ist, beispielsweise mit Hilfe eines Verstellzylinders 26a. Fig. 1 shows a two-plate machine 10, the grinding, honing or polishing may be used for lapping. It has an upper working disc 12 , which is rotatably supported by a shaft in an upper pivotable frame part 14 and is driven by a drive motor 16 . A lower working disc 18 is supported by a hollow shaft which is driven by a drive motor 20 . An inner shaft arranged in the hollow shaft drives an inner pin ring 24 with the aid of a drive motor 22 . An outer pin ring 26 is stationary. To this extent, it is known details of a two-disc ben machine, it should also be mentioned that the pressing force between the working discs 12 , 18 is adjustable, for example with the aid of an adjusting cylinder 26 a.

Zwischen den Arbeitsscheiben 12, 18 ist eine paarweise An ordnung 30 von Trägerscheiben für zu bearbeitende Werk stücke vorgesehen. Die Werkstücke werden jeweils einseitig mit der zugeordneten Arbeitsscheibe bearbeitet. In den nachfolgenden Figuren werden einzelne Ausführungsmöglich keiten derartiger Trägerscheibenanordnungen wiedergegeben, und zwar in einem Ausschnitt, der durch den strichpunk tierten Kreis 32 in Fig. 1 angedeutet ist.Between the working disks 12 , 18 a pair of arrangement 30 of carrier disks for workpieces to be machined is provided. The workpieces are machined on one side with the assigned working disc. In the following figures, individual execution possibilities of such support disk arrangements are shown, in a section indicated by the dash-dot circle 32 in FIG. 1.

Die Arbeitsscheiben 12a, 18a der Ausführungsform nach Fig. 2 sind z. B. mit einem Poliertuch 34 versehen. Die Träger scheibenanordnung 30a besteht aus zwei Trägerscheiben 36, 38, zwischen denen ein Kissen 40 angeordnet ist, das mit einem Fluid gefüllt ist. Die Trägerscheiben 36, 38 weisen am Umfang eine Zahnung auf, die mit den Zahnkränzen 24, 26 in Eingriff bringbar ist, so daß sich die Trägerscheiben anordnung 30a bei einer Relativdrehung der Arbeitsschei ben 12a, 18a auch um die eigene Achse drehen. Zu bearbei tende Werkstücke 42 sind z. B. an der zugekehrten Fläche der Trägerscheiben 36, 38 angeheftet, beispielsweise mit tels Wachs oder dergleichen. Die Trägerscheiben 36, 38 be stehen aus einem Material mit sehr kleinem Temperaturaus dehnungskoeffizienten, so daß sie auch bei unterschiedli chen Temperaturen ihre Form behalten.The working disks 12 a, 18 a of the embodiment according to FIG. 2 are e.g. B. provided with a polishing cloth 34 . The carrier disc assembly 30 a consists of two carrier discs 36 , 38 , between which a cushion 40 is arranged, which is filled with a fluid. The carrier disks 36 , 38 have a toothing on the circumference, which can be brought into engagement with the ring gears 24 , 26 , so that the carrier disk arrangement 30 a with a relative rotation of the working disks ben 12 a, 18 a also rotate about its own axis. Workpieces 42 to be machined are, for. B. attached to the facing surface of the carrier disks 36 , 38 , for example with wax or the like. The carrier disks 36 , 38 be made of a material with a very low Temperaturaus expansion coefficient, so that they keep their shape even at different temperatures.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 sind zwei verschiedene Ausgestaltungen in einer Figur wiedergegeben. Die Träger scheibe 44 der Trägerscheibenanordnung 30b weist Durch brüche 48 auf, in denen Werkstücke 50 aufgenommen sind. Die Werkstücke liegen daher mit der nicht zu bearbeitenden Fläche gegen eine elastische Zwischenschicht 52, bei spielsweise aus Moosgummi. Wie erkennbar, sind die Träger scheiben 44, 46 auf der einander zugekehrten Seite ausge nommen, so daß die Zwischenschicht 52 zur Seite hin fest gelegt ist. In the embodiment according to FIG. 3, two different configurations are shown in one figure. The carrier disc 44 of the carrier disc assembly 30 b has openings 48 in which workpieces 50 are received. The workpieces are therefore with the surface not to be machined against an elastic intermediate layer 52 , for example made of foam rubber. As can be seen, the carrier discs 44 , 46 are taken out on the side facing each other, so that the intermediate layer 52 is fixed to the side.

Auf der der Arbeitsscheibe 18b zugekehrten Seite der Trä gerscheibe 46 ist ein sogenanntes Templet angeordnet mit Ausnehmungen zur Aufnahme von Werkstücken 54. Mit Hilfe des Templets 56 sind die Werkstücke zur Seite hin gesi chert.On the side facing the working disk 18 b of the carrier disk 46 , a so-called template is arranged with recesses for receiving workpieces 54 . With the help of Templets 56 , the workpieces are secured to the side.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 sind die Trägerschei ben 58, 60 einer Trägerscheibenanordnung 30c über eine elastische Zwischenschicht 62 gegeneinander angeordnet und mittels Stiften, von denen einer bei 64 dargestellt ist, drehsteif gekoppelt. Wie erkennbar, weist nur die untere Trägerscheibe 60 eine Umfangsverzahnung auf zwecks Ein griff mit dem Stiftkranz 26 bzw. 24.In the embodiment according to FIG. 4, the carrier disks ben 58 , 60 of a carrier disk arrangement 30 c are arranged against one another via an elastic intermediate layer 62 and are coupled in a torsionally rigid manner by means of pins, one of which is shown at 64 . As can be seen, only the lower carrier plate 60 has a circumferential toothing for the purpose of a grip with the pin ring 26 or 24 .

Die Trägerscheiben 58, 60 weisen Durchbrüche auf zur Auf nahme von Werkstücken 66 bzw. 68. Die Rückseite des Werk stücks 66, die nicht eben ist, sitzt formschlüssig in einem Formteil 70, das aus einem elastisch nachgebenden Material bestehen kann. Das Werkstück 68 liegt unmittelbar gegen die Zwischenschicht 62 an, die im Bereich des Durch bruchs eine Einwölbung 72 aufweist, so daß das Werkstück 68 mittels Saugeffekt gegen ein Herausfallen gesichert ist.The carrier disks 58 , 60 have openings for receiving workpieces 66 and 68, respectively. The back of the work piece 66 , which is not flat, sits positively in a molded part 70 , which may consist of an elastically yielding material. The workpiece 68 lies directly against the intermediate layer 62 , which has an arch 72 in the region of the break, so that the workpiece 68 is secured against falling out by means of a suction effect.

Die Trägerscheibenanordnung 30d nach Fig. 5 weist die bei den Trägerscheiben 74, 76 auf, zwischen denen eine An triebsscheibe 78 mit einer Umfangsverzahnung angeordnet ist, die mit den Stiftkränzen 24, 26 in Eingriff tritt. Zwischen der Antriebsscheibe 78 und der zugeordneten Trä gerscheibe 74 bzw. 76 ist eine elastische Zwischenschicht 80 bzw. 82 angeordnet. Die gesamte Anordnung 30d der Scheiben bzw. Schichten kann mit Hilfe von Stiften oder dergleichen drehsteif gekoppelt sein, wie bei 84 gestri chelt angedeutet.The carrier plate assembly 30 d of FIG. 5 has on at the support plates 74, 76 between which an on drive pulley 78 is arranged with a circumferential toothing which interacts with the pin rings 24, 26 into engagement. Between the drive pulley 78 and the associated carrier disk 74 or 76 , an elastic intermediate layer 80 or 82 is arranged. The entire arrangement 30 d of the disks or layers can be coupled with the aid of pins or the like in a torsionally rigid manner, as indicated at 84 by dashed lines.

Bei den Ausführungsformen nach den Fig. 6 und 7 wird nicht von Stiftkränzen ausgegangen, wie in Fig. 1 darge stellt, sondern hier werden Stützrollen verwendet, an denen sich die Trägerscheiben abstützen und sich dabei lediglich um die eigene Achse drehen, nicht jedoch in Um fangsrichtung der Maschine fortbewegen. Bei derartigen Ausführungsformen können auf beiden Seiten der ringformi gen Arbeitsfläche Stützrollen vorgesehen sein. Alternativ können Stützrollen am äußeren Umfang angeordnet sein, wäh rend zentral eine Mitlaufrolle bzw. eine angetriebene Rolle die Trägerscheibenanordnung abstützt. In den Fig. 6 und 7 ist eine Stützrolle 86 angedeutet. Die Trägerschei benanordnung 30e weist zwei zylindrische Trägerscheiben 88, 90 auf, die drehsteif miteinander gekuppelt sein kön nen, wie durch den gestrichelt gezeichneten Stift 92 an gedeutet. Zwischen den Trägerscheiben 88, 90 liegt eine elastisch nachgebende Schicht 94.In the embodiments according to FIGS . 6 and 7, it is not assumed that there are pin rings, as shown in FIG. 1, but here support rollers are used, on which the carrier disks are supported and only rotate about their own axis, but not in order Move the machine's direction of travel. In such embodiments, support rollers can be provided on both sides of the ringformi gene working surface. Alternatively, support rollers can be arranged on the outer circumference, while a idler roller or a driven roller supports the carrier disk arrangement centrally. In Figs. 6 and 7, a supporting roller 86 is indicated. The carrier disk arrangement ben 30 e has two cylindrical carrier disks 88 , 90 , which may be torsionally rigidly coupled to each other, as indicated by the dashed line 92 on pin 92 . An elastically yielding layer 94 lies between the carrier disks 88 , 90 .

Die Trägerscheibenanordnung 30f nach Fig. 7 weist zwei zy lindrische Trägerscheiben 96, 98 auf, die am äußeren Rand eine ringförmige Ausnehmung 100 aufweisen. Zwischen den Trägerscheiben 96, 98 ist eine Antriebsscheibe oder Naben scheibe 102 angeordnet, die am Umfang einen ringförmigen Bund 104 aufweist, dessen Höhe annähernd der Höhe der Stützrollen 86 entspricht. Der Außenumfang des Bundes 104 wirkt mit der Stützrolle 86 zusammen. Die Antriebsscheibe 102 weist Aussparungen 106 auf, die elastische Elemente 108 aufnehmen, so daß sich die Trägerscheiben 96, 98 wie derum elastisch aneinander abstützen. In den Ausnehmungen 100 und entsprechenden Ausnehmungen an den Stirnseiten des Bundes 104 sitzen flache Ringe 110, 112, die durch eine Verschraubung, wie bei 114 angedeutet, miteinander und mit dem Bund 104 verbunden sind, um die Trägerscheiben 96, 98 zusammenzuhalten.The carrier disk arrangement 30 f according to FIG. 7 has two cylindrical carrier disks 96 , 98 which have an annular recess 100 on the outer edge. Between the carrier disks 96 , 98 , a drive disk or hub disk 102 is arranged, which has an annular collar 104 on the circumference, the height of which approximately corresponds to the height of the support rollers 86 . The outer circumference of the federal government 104 interacts with the support roller 86 . The drive disk 102 has recesses 106 which receive elastic elements 108 , so that the carrier disks 96 , 98 are supported elastically on one another. In the recesses 100 and corresponding recesses on the end faces of the Federal 104 sit flat rings 110, 112, which is indicated by a screw, as at 114, are connected together and to the collar 104 to hold together around the support disks 96, 98th

Claims

1. Process for one-sided surface machining of workpieces with lapping, grinding, honing or polishing machines, in which workpieces are held on carrier disks rotated about their own axis, which are pressed against the rotating working disk via an elastic intermediate layer , characterized in that two over at least one elastic intermediate layer back to back one above the other arranged support disks are arranged between the working disks of a two-disc machine.

2. The method according to claim 1, characterized in that the carrier disks are arranged centrally one above the other will.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized net that the carrier disc pairs in the double discs machine are supported on the circumference rotating.

4. The method according to claim 3, characterized in that the carrier disc pairs by attacking on the circumference Rotary drive means are set in rotation.

5. carrier disc arrangement for one-sided surface machining of workpieces with lapping, grinding, honing or polishing machines of the two-disc machine type, in particular for carrying out the method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the carrier discs ( 36 , 38 ; 44 , 46 ; 58 , 60 ; 74 , 76 ; 88 , 90 ; 96 , 98 ) are arranged one above the other with at least one elastically yielding intermediate layer ( 40 ; 52 ; 62 ; 80 , 82 ; 94 ; 108 ) between the carriers.

6. Arrangement according to claim 5, characterized in that the carrier discs made of a material with a small size thermal expansion coefficients exist.

7. Arrangement according to claim 5 or 6, characterized net that the carrier discs made of ceramic or Invar-Me tall exist.

8. Arrangement according to one of claims 5 to 7, characterized characterized in that the elastic intermediate layer with at least one carrier disc is connected.

9. Arrangement according to one of claims 4 to 8, characterized in that the elastic intermediate layer ( 52 ; 62 ; 80 , 82 ; 94 ; 108 ) consists of foam rubber.

10. Arrangement according to one of claims 5 to 8, characterized in that the elastic intermediate layer is formed by a pressure pad ( 40 ) filled with a fluid.

11. Arrangement according to one of claims 5 to 10, characterized in that the carrier disks ( 44 , 46 ) are so shaped that the intermediate layer ( 52 ) is fixed radially.

12. Arrangement according to one of claims 5 to 11, characterized in that the carrier disks ( 44 ; 58 , 60 ) have recesses ( 48 ) for receiving work pieces ( 50 ; 66 , 68 ).

13. The arrangement according to claim 12, characterized in that the recesses of up to the elastic intermediate layer ( 52 ; 62 ) extending openings are formed.

14. Arrangement according to claim 13, characterized in that the intermediate layer ( 62 ) has at least on the lower side means ( 72 ) which secure the workpieces ( 68 ) against falling out.

15. The arrangement according to claim 14, characterized in that the intermediate layer ( 62 ) in the region of the perforations che depressions ( 72 ) to achieve a suction effect.

16. Arrangement according to one of claims 5 to 15, characterized in that the carrier disks ( 58 , 60 ; 74 , 76 ; 88 , 90 ; 96 , 98 ) are coupled in a torsionally rigid manner.

17. Arrangement according to one of claims 5 to 16, characterized in that the carrier disks ( 36 , 38 ; 52 , 56 ; 68 ) have a drive toothing on the circumference.

18. Arrangement according to one of claims 5 to 16, characterized in that the outer diameter of the carrier discs ( 36 , 38 ; 44 , 46 ; 74 , 76 ; 88 , 90 , 96 , 98 ) is the same.

19. The arrangement according to claim 16 and 17, characterized in that only one carrier disc ( 68 ) has a toothing or a cylindrical drive friction surface.

20. Arrangement according to one of claims 5 to 19, characterized in that between two carrier disks ( 74 , 76 ; 96 , 98 ) a drive disk ( 78 , 102 ) is arranged in a rotationally fixed manner.

21. The arrangement according to claim 20, characterized in that the drive disc ( 78 ) has a drive toothing.

22. The arrangement according to claim 20, characterized in that the drive pulley ( 102 ) has a thrust collar ( 104 ).

23. Arrangement according to one of claims 11 to 22, characterized in that in the recess of the carrier plate be ( 58 ) sits a molded part ( 70 ) which is adapted to the rear of the workpiece ( 66 ).

24. The arrangement according to claim 23, characterized in that the molded part ( 70 ) consists of an elastically yielding material.

25. Arrangement according to one of claims 20 to 24, characterized in that the drive pulley ( 102 ) has at least one opening ( 106 ) for receiving an elastic intermediate layer ( 108 ).

26. The arrangement according to claim 25, characterized in that in the case of several openings and elastic intermediate layer sections ( 108 ), the latter are fluid-filled cushions which communicate with one another.