DE4127407A1 - Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers - Google Patents

Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers

Info

Publication number
DE4127407A1
DE4127407A1 DE19914127407 DE4127407A DE4127407A1 DE 4127407 A1 DE4127407 A1 DE 4127407A1 DE 19914127407 DE19914127407 DE 19914127407 DE 4127407 A DE4127407 A DE 4127407A DE 4127407 A1 DE4127407 A1 DE 4127407A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
resonator
laser
seeding
coupling
injection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19914127407
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Amler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AMLER, HANS, 8560 LAUF, DE
Original Assignee
Hans Amler
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hans Amler filed Critical Hans Amler
Priority to DE19914127407 priority Critical patent/DE4127407A1/de
Publication of DE4127407A1 publication Critical patent/DE4127407A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/10084Frequency control by seeding
    • H01S3/10092Coherent seed, e.g. injection locking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0064Anti-reflection devices, e.g. optical isolaters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123Q-switching
    • H01S3/115Q-switching using intracavity electro-optic devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

Um in einem Blitzlampen-gepumpten gütegeschalteten Nd:YAG- Festkörper-Laser alle longitudinalen Moden bis auf eine zu unterdrücken, wendet man seit einigen Jahren die "Injection Seeding" Technik an. Ziel ist es, Laserlicht von möglichst geringer Linienbreite zu erzeugen. Beim Injection Seeding wird die Strahlung eines Dauerstrich-Nd:YAG-Lasers, der nur Licht einer longitudinalen Mode emittiert, in den Resonator des gütegeschalteten Nd:YAG-Lasers eingekoppelt. Wird die Güte des Nd:YAG-Lasers geschaltet, so wird nur die longitudinale Mode des Resonators verstärkt, die mit der Frequenz des Seeding-Lasers übereinstimmt.
Die Einkoppelung des Seeding-Lasers in den Resonator des gütegeschalteten Nd:YAG-Lasers erfolgt bis heute entweder über einen Polarisator, der sich im Resonator befindet, oder über den hochreflektierenden Endspiegel des Resonators.
Einkoppelung über Polarisator (Abb. 2)
Diese Technik wird von den Firmen Spectra Physics, Quantel und Continuum angewendet. Der Güteschalter besteht aus einer Pockels-Zelle PZ und einem Polarisator P. Es wird im allgemeinen ein Calcit- Polarisator verwendet. Der Polarisator läßt nur eine Verstärkung von linear polarisiertem Licht zu. Senkrecht dazu polarisiertes Licht wird durch den Polarisator aus dem Resonator ausgekoppelt. Entlang diesem Auskoppel-Lichtweg wird die Strahlung des Injection-Seeding-Lasers in den Resonator eingekoppelt. Das Seeding-Laser-Licht muß die Polarisationsrichtung des im Resonator verstärkten Lichtes haben. Der Anteil der Seeding-Laser-Strahlung der unter dieser Bedingung eingekoppelt werden kann, ist gegeben durch das Auslöschungsverhältnis des verwendeten Polarisators. Für Glan-Laser-Polarisatoren ist er etwa 10-4. Maximal dieser Anteil der zur Verfügung stehenden Seeding-Laser-Leistung kann mit der Polarisation, die im Resonator des gütegeschalteten Lasers verstärkt wird, eingekoppelt werden.
Einkoppeln durch den Endspiegel (Abb. 3)
Diese Technik wird von der Firma Spectron Laser angewandt. Als Endspiegel wird ein Spiegel mit 88% Reflexionsvermögen gewählt. Der Seeding-Laser-Strahl wird exakt auf die Resonator-Achse justiert. 12% der Seeding-Laserstrahlung kann durch den Endspiegel in den Resonator eingestrahlt werden. Die Seeding-Laser-Polarisation muß parallel zu der des im Resonator verstärkten Lichtes sein. Durch die Reduzierung des Reflexionsvermögens des Endspiegels wird die Güte des Resonators erniedrigt, was zu einer Verringerung der Puls-Energie sowie zu einer Verlängerung der Pulsdauer führt.
Bei beiden Methoden wird der Injection-Seeding-Laser durch eine optische Diode vor der Laserstrahlung des Resonators geschützt, die den Injection-Seeding-Laser zerstören würde. Die vom Resonator emittierte Strahlung wird normalerweise nachverstärkt. Eine zweite optische Diode zwischen Resonator und Verstärker schützt den Resonator vor Licht, das aus dem Verstärker in Richtung des Resonators läuft.
Die im Patent-Anspruch angegebene Anordnung ermöglicht es, ohne große Verluste den Seeding-Laser-Strahl in den Resonator einzukoppeln.
Das Einkoppeln des Seeding-Lasers geschieht über die optische Diode, die in jedem injection-seeded-Nd:YAG-Laser zwischen Resonator und Verstärker angebracht ist (siehe Abb. 1). Eine optische Diode besteht aus einem Faraday- Rotator FR zwischen zwei Polarisatoren P2 und P3. Die beiden Polarisatoren sind um 45° gegeneinander gedreht.
Der Polarisator P2 transmittiert das aus dem Resonator emittierte Licht. Der Faraday-Rotator dreht die Polarisationsebene des Lichtes sodann um 45°, so daß es vom Polarisator P3 durchgelassen wird. Licht, das vom Verstärker in Richtung Oszillator läuft, wird zunächst von Polarisator P3 polarisiert. Im Faraday-Rotator FR wird es um 45° gedreht. Wegen der anderen Ausbreitungsrichtung aber so, daß es von Polarisator P2 ausgekoppelt wird.
Strahlt man nun das Seeding-Laser-Licht entlang dem Auskoppel-Lichtweg von Polarisator P3 auf die Strahlachse des gütegeschalteten Nd:YAG-Lasers ein, so wird seine Polarisationsrichtung im Faraday-Rotator um 45° gedreht, so daß es vom Polarisator P2 transmittiert wird und somit in den Resonator des gütegeschalteten Nd:YAG-Lasers eingekoppelt wird. Da das Reflexionsvermögen des Auskoppelspiegels üblicherweise 4% bis 30% beträgt, kann also mehr als 70% der Seeding-Laser-Leistung in den Resonator eingestrahlt werden.
Verglichen mit der Einkoppelung über den Endspiegel reduziert sich die benötigte Seeding-Laser-Leistung auf etwa 20%, verglichen mit der Einkoppelung über den Polarisator auf etwa 10-3 der bisher benötigten Leistung. Bei den beiden oben dargestellten Methoden der Einkoppelung des Seeding- Laser-Lichtes in den Resonator des gütegeschalteten Lasers werden zwei optische Dioden benötigt. Bei der hier vorgestellten Anordnung wird nur noch eine optische Diode benötigt.

Claims (2)

1. Anordnung zur Einkoppelung der Seeding-Laser-Strahlung in den Resonator eines gütegeschalteten Festkörper-Lasers.
2. Anordnung zur Einkoppelung der Seeding-Laser-Strahlung nach Anspruch 1, wobei die Einkoppelung über den Resonator- abgewandten Polarisator der optischen Diode, die üblicherweise zwischen dem Resonator und dem nachgeschalteten Verstärker eingebaut ist, erfolgt. Dabei verhindert die optische Diode sowohl, daß Licht vom Verstärker in den Resonator, als auch, daß Licht aus dem Resonator in den Seeding-Laser gelangt.
DE19914127407 1991-08-19 1991-08-19 Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers Withdrawn DE4127407A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914127407 DE4127407A1 (de) 1991-08-19 1991-08-19 Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914127407 DE4127407A1 (de) 1991-08-19 1991-08-19 Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4127407A1 true DE4127407A1 (de) 1993-02-25

Family

ID=6438621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19914127407 Withdrawn DE4127407A1 (de) 1991-08-19 1991-08-19 Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4127407A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015082004A1 (de) 2013-12-05 2015-06-11 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Verstärkeranordnung und treiberlaseranordnung für eine euv-lichtquelle damit
DE102015108101B3 (de) * 2015-05-21 2016-05-25 Deutsche Telekom Ag Verfahren und System zur optischen Datenübertragung
US10186827B2 (en) 2014-07-11 2019-01-22 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Amplifying pulsed laser radiation for EUV radiation production
US10638589B2 (en) 2015-11-27 2020-04-28 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Amplifying laser pulses having different wavelengths for EUV radiation generation

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3410051A1 (de) * 1984-03-19 1985-09-19 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Verfahren und einrichtung zum synchronen modenkoppeln der longitudinalen lasermoden eines halbleiterdiodenlasers

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3410051A1 (de) * 1984-03-19 1985-09-19 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Verfahren und einrichtung zum synchronen modenkoppeln der longitudinalen lasermoden eines halbleiterdiodenlasers

Non-Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CROMWELL, E. *
et.al.: Efficient operation of a cavity dumped Q-switched and mode-locked YAG laser. In: Optics Communications, Vol.62, No.9, 1987, S.185-189 *
et.al.: Ultranarrow bandwidth VUV-XUV laser system. In: Rev.Sci.Instrum. 60, (9) Sept. 1989,S.2888-2892 *
FRY, Edward S.: Single frequency operation of an injection-seeded Nd:YAG laser in high noise and vibration environments. In: Applied Optics, Vol.30, No.9, 20. March 1991, S.1015-1017 *
MILLER, R.J.Dwayne *
PARK, Y.K: et.al: Single Axial Mode Operation of a Q-Switched Nd:YAG Oscillator by Injection *
RAHN, Larry A.: Feedback stabilization of an injection-seeded Nd:YAG laser. In: Applied Optics, Vol.24, No.7, 1. April 1985, S.940-942 *
TEETS, Richard E.: Feedback to Maintain Injection Locking of Nd: YAG Lasers. In: IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. QE-20, No.4, April 1984,S.326-328 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015082004A1 (de) 2013-12-05 2015-06-11 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Verstärkeranordnung und treiberlaseranordnung für eine euv-lichtquelle damit
US10186827B2 (en) 2014-07-11 2019-01-22 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Amplifying pulsed laser radiation for EUV radiation production
DE102015108101B3 (de) * 2015-05-21 2016-05-25 Deutsche Telekom Ag Verfahren und System zur optischen Datenübertragung
EP3096472A1 (de) 2015-05-21 2016-11-23 Deutsche Telekom AG Verfahren und system zur optischen datenübertragung
US10638589B2 (en) 2015-11-27 2020-04-28 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Amplifying laser pulses having different wavelengths for EUV radiation generation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3643648C2 (de) Laserdiodengepumpter Festkörper-Laser mit resonatorinterner Frequenzverdopplung
EP0314171B1 (de) Modengekoppelter Laser
DE60017576T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur laserverstärkung mit hoher impulsfolgefrequenz
EP2810345A1 (de) Co2-laser mit schneller leistungssteuerung
DE60034589T2 (de) Modengekoppelter dünner scheibenlaser
EP1194987B1 (de) Laservorrichtung
EP1157301A1 (de) Optische modulationseinrichtung
DE60309313T2 (de) Festkörperlaser, gepumpt von einer Laserdiode mit einem konvergenten Bündel
US8233509B2 (en) Laser system with picosecond pulse emission
DE112006003003B4 (de) CO2-Laser mit gütegeschalteter Injektionsverriegelung und mit gütegeschalteter Resonatorspeicherung zur Erzeugung extremer UV-Strahlung
DE2020104C3 (de) Verstärkerkettenstufe für Laserlichtimpulse
EP0977328B1 (de) Rauscharmer frequenzvervielfachter Laser mit Strahlseparator
DE102012212672B4 (de) Laseroszillator und Verfahren zum gleichzeitigen Erzeugen zweier Laserstrahlen unterschiedlicher Wellenlängen
DE4127407A1 (de) Anordnung zum einkoppeln eines injection-seeding-laserstrahls in den resonator eines guetegeschalteten festkoerper-lasers
DE4130802A1 (de) Festkoerper-laseroszillator
DE1234340C2 (de) Anordnung zur verbesserung der monochromasie eines optischen senders oder verstaerkers fuer kohaerente elektromagnetische strahlung
EP0680118A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung kurzer Laserpulse
GB1395093A (en) Laser oscillator for producing band-width-limited pulses
DE4008226C2 (de)
DE4228541C1 (de) Festkörperringlaser
DE102021202391A1 (de) Frequenzumwandelndes Lasergerät
DE4141052A1 (de) Festkoerperlaser
DE10009380A1 (de) Faserverstärker
DE102010023756A1 (de) Lasersystem mit spektraler Filterung
DE4101521A1 (de) Verfahren zur wellenlaengenselektion bei einfrequenz-mikrokristall-lasern

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: AMLER, HANS, 8560 LAUF, DE

8141 Disposal/no request for examination