DE4124808A1

DE4124808A1 - Air supply module - for maintaining controlled positive pressure within enclosure, partic. clean-room environment by adjustment of inlet flow area

Info

Publication number: DE4124808A1
Application number: DE4124808A
Authority: DE
Inventors: Istvan Doemeny
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1991-07-26
Filing date: 1991-07-26
Publication date: 1993-01-28

Abstract

Pressure module, for producing a flow (44) in a work-room (46), comprises a pressure chamber (18,18') from which a gaseous medium is flowable into the work-room (46), and the pressure chamber (18,18') is arranged to be upstream of an intermediate pressure chamber (22,22') from when downstream wall (30,60,80). The medium flows into the work-room (46) via a plurality of openings (34; 63,63',65,65'; 88,83', 85,85'), so that the wall (30,60,80) on each side of which a pressure module (10,10') abuts a further pressure module (10',10), extending outwards, and that each side of the intermediate pressure chamber (22,22') possesses a side opening (38,38') so that technically a flow connection (48,50) exists between the intermediate pressure chambers (22,22') of adjoining pressure modulus (10,10'). USE/ADVANTAGE - Simple, rapid response adjustment of a medium flow (air) into a positive pressure work enclosure, partic. a clean room environment, by adjustment of the inlet flow area.

Description

Die Erfindung betrifft ein Druckmodul zum Erzeugen einer Strömung in einem Arbeitsraum, mit einer Druckkammer, aus der unter Druck ein gasförmiges Medium in den Arbeitsraum abströmbar ist.The invention relates to a printing module for generating a Flow in a work space, with a pressure chamber from which a gaseous medium can flow into the work space under pressure is.

Eine Arbeitskabine mit einem derartigen Druckmodul ist aus der DE-A-38 11 780 bekannt. A work cabin with such a printing module is out known from DE-A-38 11 780.

Bei der daraus bekannten Arbeitskabine ist ein Arbeitsraum vorhanden, in dem eine von oben nach unten gerichtete laminare Strömung vorhanden ist. Diese laminare Strömung wird von einem am oberen Ende der Arbeitskabine angeordneten Druckmodul erzeugt, in dem als Druckquelle ein Gebläse angeordnet ist, das ein gasförmiges Medium, beispielsweise Luft, über ein Filter flächig verteilt laminar in den Arbeitsraum einströmen läßt.In the working cabin known from it there is a working room present, in which a top-down laminar Flow is present. This laminar flow is from one pressure module arranged at the upper end of the work cabin generated in which a blower is arranged as a pressure source, which is a gaseous medium, for example air, via a Flow the laminar filter into the work area leaves.

Derartige Druckmodule finden Einsatz in der sogenannten Rein raum-Technik, beispielsweise bei der Herstellung von Chips in der Computerindustrie oder bei mikrobiologischen Arbeits prozessen.Such printing modules are used in the so-called Rein Raum-Technik, for example in the production of chips in the computer industry or in microbiological work processes.

Bei der eingangs genannten Arbeitskabine handelt es sich um eine einzelne Kabine, in der am oberen Ende ein einziges Druckmodul angeordnet ist. Bei der Fertigung von Halbleiter bauelementen oder auch bei industriell durchgeführten mikro biologischen Vorgängen, beispielsweise in der pharmazeutischen Industrie, finden zahlreiche Arbeitsabläufe hintereinander statt, die allesamt in Reinräumen stattfinden müssen. Daher ist es notwendig geworden, Arbeitsräume von mehreren Metern Länge unter Reinraumbedingungen zu schaffen, in denen die aufeinanderfolgenden Arbeitsgänge durchgeführt werden. Dazu ist es bekannt geworden, mehrere Druckmodule nebeneinander anzuordnen.The work cabin mentioned at the beginning is a single cabin in the one at the top Pressure module is arranged. In the manufacture of semiconductors components or also with industrially implemented micro biological processes, for example in the pharmaceutical Industry, find numerous work processes in a row instead, which must all take place in clean rooms. Therefore it has become necessary to have working spaces of several meters Create length under clean room conditions where the successive operations. To it has become known to have several print modules side by side to arrange.

Dabei treten nun Probleme dahingehend auf, daß in dem Bereich, in dem die Druckmodule nebeneinanderliegen, diese geschlossene Außenwände aufweisen, die eine endliche Dicke, beispielsweise 2 bis 3 cm aufweisen, so daß dann bei zwei benachbarten Druck modulen Bereiche von etwa 6 cm entstehen, an denen keine nach unten gerichtete Strömung erzeugt werden kann. Dadurch entstehen strömungsfreie Bereiche zwischen zwei benachbarten, nach unten in den Arbeitsraum gerichteten laminaren Strömungen, die zu Verwirbelungen im Übergangsbereich von einem zum anderen Druckmodul sorgen.Problems now arise that in the area in which the print modules lie side by side, these closed Have outer walls that have a finite thickness, for example Have 2 to 3 cm, so that then at two adjacent pressure Modular areas of about 6 cm arise, on which none follow flow directed below can be generated. This creates flow-free areas between two neighboring, down laminar flows directed into the work area leading to Swirls in the transition area from one to the other Ensure pressure module.

Ferner entstehen erhebliche Störungen, falls die Druckquelle eines Druckmodules ausfällt und der im Bereich dieses Druck moduls resultierende Druckabfall dafür sorgt, daß Strömungs komponenten in Querrichtung zum Ort des Druckabfalls von der von einem benachbarten Druckmodul ausgesandten von oben nach unten gerichteten laminaren Strömung erfolgen, da dieser Druckabfall auf die benachbarten Strömungen eine Sogwirkung ausübt. Es sollen aber in der Reinraumtechnik gerade Strömungs komponenten in Querrichtungen auf jeden Fall vermieden werden, denn dadurch ist es möglich, daß Substanzen, die an einem Arbeitsplatz im Druckbereich eines Druckmodules frei werden können, in den Bereich eines anderen Druckmodules gelangen können und dort für Verunreinigungen sorgen. So ist es bei spielsweise möglich, daß im Durchlaufbetrieb im Bereich eines Druckmodules bei Ätzvorgängen an einem Mikrochip kleinste Partikel frei werden, die jedoch normalerweise von der von oben nach unten gerichteten laminaren Strömung sofort abgeführt werden. Fällt nun beispielsweise ein dieser Station nachgeord netes Druckmodul aus, so kann von dem vorgeordneten Druckmodul in den damit verbundenen Unterdruckbereich des nachfolgenden Druckmodules Luft gesaugt werden, so daß dann diese Partikel in eine nachfolgende Arbeitsstation überbracht werden können und dort Verunreinigungen verursachen. Somit kann bei Anein anderreihung von zahlreichen Druckmodulen der Ausfall eines einzigen Druckmodules das Abschalten einer gesamten Anlage notwendig machen bis das entsprechende Druckmodul repariert oder ausgetauscht ist.Furthermore, there is considerable interference if the pressure source of a print module fails and that in the area of this print module resulting pressure drop ensures that flow components in the transverse direction to the location of the pressure drop from the emitted from an adjacent printing module from the top to the top laminar flow directed below because this Pressure drop on the neighboring currents has a suction effect exercises. In clean room technology, however, it should be just flow components in transverse directions are definitely avoided, because it is possible that substances that are on a Free workspace in the print area of a print module can get into the area of another print module can and cause contamination there. So it is with possible, for example, that in continuous operation in the area of a Smallest print modules during etching processes on a microchip Particles are released, but usually from above downward laminar flow immediately dissipated will. If, for example, a station falls after this netes print module, so from the upstream print module in the associated vacuum area of the following Air pressure modules are sucked so that these particles can be transferred to a subsequent work station and cause pollution there. Thus, with Anein sequence of numerous print modules the failure of one single pressure module to switch off an entire system make necessary until the corresponding pressure module is repaired or is replaced.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher hier Abhilfe zu schaffen, und ein Druckmodul derart zu verbessern, daß die Arbeitsfähigkeit einer Reihe an aneinandergereihten Arbeits modulen auch dann aufrecht erhalten bleibt, sofern eins oder mehrere dieser aneinandergereihten Druckmodule ausfallen.The object of the present invention is therefore to remedy this create, and to improve a printing module such that the Ability to work a series of work in a row modules is maintained even if one or several of these lined up printing modules fail.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Druckkammer in Abströmrichtung eine Zwischendruckkammer nach geordnet ist, aus deren abströmseitiger Wand das Medium über zahlreiche Öffnungen in den Arbeitsraum strömt, daß sich diese Wand an jeweils der Seite, an der dieses eine Druckmodul an ein weiteres Druckmodul grenzt bis zur Außenseite hin erstreckt, und daß an der jeweiligen Seite der Zwischendruckkammer eine seitliche Öffnung vorgesehen ist, so daß eine strömungstech nische Verbindung zwischen den Zwischendruckkammern benachbarter Druckmodule herstellbar ist.According to the invention the object is achieved in that the Pressure chamber downstream of an intermediate pressure chamber is ordered, from the downstream wall of the medium Numerous openings flow into the work area that this Wall on the side on which this one printing module another printing module borders to the outside, and that on the respective side of the intermediate pressure chamber lateral opening is provided so that a flow-resistant African connection between the intermediate pressure chambers adjacent Printing modules can be produced.

Durch Vorsehen einer Zwischendruckkammer mit einer abström seitigen Wand, die sich bis an die Außenseite erstreckt und durch das Vorsehen der seitlichen Öffnung wird bei Aneinander reihen mehrerer Druckmodule durch die dann direkt aneinan dergrenzenden abströmseitigen Wände eine durchgehende Abström fläche erzielt, so daß die eingangs erwähnten strömungstechni schen Problemen an den Stoßseiten benachbarter Druckmodule beseitigt sind und eine durchgehende gleichförmige, von oben nach unten gerichtete laminare Strömung, in den Arbeitsraum erzielt wird. Dadurch, daß durch die seitlichen Öffnungen die Zwischendruckkammern nebeneinander angeordneter Druckmodule strömungstechnisch in Verbindung stehen, ist ein Druckausgleich in den Zwischenkammern möglich, so daß, falls beispielsweise die Druckquelle eines Druckmodules ausfällt, und dadurch ein Druckabfall in dessen Zwischendruckkammer erfolgt, ein Ausgleich dadurch möglich, das Medium aus Zwischendruckkammern benach barter Druckmodule in diese Zwischendruckkammer einströmt und dadurch ein Druckausgleich stattfinden kann. Die aus den zahlreichen Öffnungen durch die abströmseitige Wand in den Arbeitsraum abströmende Strömung wird dadurch in ihrer Strö mungsrichtung nicht beeinflußt, sondern allenfalls um ein geringes Maß geringer, was jedoch innerhalb gewisser Toleranz grenzen die Arbeitsmöglichkeiten im Arbeitsraum nicht beein flußt, so daß trotz des Ausfall einer Druckquelle eines Druck moduls unverändert weitergearbeitet werden kann. Dieser Abfall kann beispielsweise auch dann dadurch wieder ausgeglichen werden, daß die Druckleistung der verbleibenden Druckmodule entsprechend erhöht wird.By providing an intermediate pressure chamber with an outflow side wall that extends to the outside and by the provision of the side opening when together rows of several printing modules through the then directly together the bounding downstream walls a continuous outflow Area achieved so that the flow technology mentioned above problems on the butt sides of adjacent print modules are eliminated and a continuous uniform, from above downward laminar flow, into the work space is achieved. The fact that through the side openings Intermediate pressure chambers of pressure modules arranged side by side The fluidic connection is pressure equalization possible in the intermediate chambers, so that if, for example the pressure source of a print module fails, and thereby one Pressure drop in its intermediate pressure chamber takes place, a compensation thereby possible to adjacent the medium from intermediate pressure chambers barter pressure modules flows into this intermediate pressure chamber and this allows pressure equalization to take place. The from the numerous openings through the downstream wall in the Flow flowing out of the work space becomes thereby in its flow direction not influenced, but at most by one small amount less, but within a certain tolerance do not limit the work opportunities in the work space flows so that despite the failure of a pressure source a pressure module can be continued unchanged. This waste can also be compensated for by this, for example that the printing performance of the remaining printing modules is increased accordingly.

Somit wird die Aufgabe vollkommen gelöst.The task is thus completely solved.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die abström seitige Wand der Zwischenkammer ein Lochmuster mit veränderbarer Öffnungsquerschnittfläche auf.In a further embodiment of the invention, the outflow side wall of the intermediate chamber a perforated pattern with changeable Opening cross-sectional area.

Diese Maßnahme hat nun den beachtlichen Vorteil, daß ein Druckabfall oder auch ein Druckanstieg durch eine Fehlfunktion der Druckquelle eines Druckmodules noch zusätzlich dadurch ausgeglichen werden kann, daß die Öffnungsquerschnittsfläche entsprechend verändert wird. Findet beispielsweise ein Druck abfall aufgrund einer nachlassenden Leistung der Druckquelle eines Druckmodules statt, so kann die Öffnungsquerschnittsfläche um einen entsprechenden Anteil vergrößert werden, so daß sich dem abfallenden Druck ein geringerer Strömungswiderstand aufgrund der vergrößerten Abströmquerschnittsfläche entgegen stellt, so daß die Abströmgeschwindigkeit aufrecht erhalten werden kann.This measure now has the considerable advantage that a Pressure drop or an increase in pressure due to a malfunction the pressure source of a pressure module can be compensated for that the opening cross-sectional area is changed accordingly. Finds a print, for example drop due to deteriorating pressure source performance of a pressure module instead, the opening cross-sectional area be increased by a corresponding proportion so that the lower pressure a lower flow resistance due to the enlarged discharge cross-sectional area poses so that the outflow velocity is maintained can be.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Quer schnittsfläche der Durchtrittsöffnungen eines Druckmodules in Abhängigkeit vom Druck in der Druckkammer eines benachbarten Druckmodules steuerbar.In a further embodiment of the invention, the cross is intersection of the passage openings of a printing module depending on the pressure in the pressure chamber of an adjacent one Print modules controllable.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß auf besonders einfache und wirkungsvolle Weise ein optimaler Ausgleich bei einem Störfall eines Druckmodules möglich ist. Aufgrund strömungs technischer Gegebenheiten findet ein Druckausgleich in einer Zwischendruckkammer eines Druckmodules im wesentlichen durch das benachbarte Druckmodul statt. Wird nun der Druck in der Druckkammer eines Druckmodules erfaßt und dort eine störbedingte Druckänderung festgestellt, so kann durch eine Veränderung des Durchtrittsquerschnittes des benachbarten oder der benach barten Druckmodule die in Querrichtung gerichtete Strömung zum Ausgleich in das Druckmodul, in dem die Störung stattfindet, unterstützt werden, so daß dieser Ausgleich sehr rasch statt findet. Es ist selbstverständlich auch möglich, den Durchtritts querschnitt des Druckmoduls, bei dem die Störung auftritt, zugleich zu verändern.This measure has the advantage of being particularly simple and effective way an optimal balance with one Malfunction of a print module is possible. Due to flow technical conditions find a pressure equalization in one Intermediate pressure chamber of a pressure module essentially through the neighboring print module instead. If the pressure in the Pressure chamber of a pressure module detected and there a fault-related Pressure change detected, can be caused by a change the passage cross-section of the neighboring one or the neighboring one bart pressure modules the cross-directional flow to compensate for the pressure module in which the fault occurs, be supported so that this compensation takes place very quickly finds. It is of course also possible to pass through cross section of the print module in which the fault occurs, change at the same time.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist ein Steuer gerät vorgesehen, das derart steuert, daß die Querschnittsfläche des einen Druckmoduls bei einem Druckabfall in der Druckkammer eines anderen Druckmoduls derart verringert wird, das Medium anteilig aus der Zwischenkammer des einen Druckmoduls in die Zwischenkammer des anderen Druckmoduls strömt und von dort in den Arbeitsraum austritt.In a further embodiment of the invention is a tax device provided that controls such that the cross-sectional area of a pressure module in the event of a pressure drop in the pressure chamber another printing module is reduced in such a way, the medium proportionately from the intermediate chamber of a pressure module into the Intermediate chamber of the other pressure module flows and from there in exits the workspace.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß der häufigst vorkommende Störfall, nämlich der Druckabfall, durch Ausfall der Druckquelle in einem Druckmodul sehr rasch erfaßt werden kann, nämlich bereits in der Druckkammer, die ja vor der Zwischendruckkammer und noch vor Durchströmen des Mediums durch einen Filter angeordnet ist, so daß sehr rasch die Querschnittsfläche im benachbarten Druckmodul verändert werden kann, so daß ebenfalls rasch dann der Druckausgleich zwischen benachbarten Zwischen druckkammern möglich ist, so daß sich das Ereignis des Ausfalls der Druckquelle des einen Druckmodules nicht voll während einer Übergangsphase auf die in den Arbeitsraum austretende Strömung auswirkt, sondern diese Anpassungsphase mit Druck ausgleich auf einen solchen kurzen Zeitraum beschränkt ist, daß überhaupt keine merkbare Veränderungen in den Strömungs verhältnissen in der Arbeitskammer stattfinden.This measure has the advantage that the most common Incident, namely the pressure drop due to failure of the pressure source can be detected very quickly in a printing module, namely already in the pressure chamber, which is in front of the intermediate pressure chamber and before the medium flows through a filter is arranged so that the cross-sectional area in the neighboring print module can be changed so that also then quickly the pressure equalization between neighboring intermediate pressure chambers is possible, so that the event of failure the pressure source of the one pressure module is not full during a transition phase to the one emerging in the work space Flow affects, but this adjustment phase with pressure compensation is limited to such a short period of time, that no noticeable changes in the flow conditions take place in the Chamber of Labor.

Dadurch ist dann ausgeschlossen, daß bei einem Störfall im Zeitpunkt der Anpassung der Druckverhältnisse ein erhöhtes Risiko an dem Herstellen von Ausschußteilen besteht.This then rules out that in the event of a malfunction in Time of adjustment of the pressure conditions an increased There is a risk of manufacturing reject parts.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die im Ar beitsraum von jedem Druckmodul erzeugte Strömung mittels Senso ren erfaßbar, und bei einer Druckänderung eines Druckmoduls wird die Querschnittsdurchtrittsfläche zumindest eines benachbarten Druckmoduls soweit verändert, daß eine möglichst ausgeglichene Strömung benachbarter Druckmodule in den Arbeitsraum erreichbar ist. In a further embodiment of the invention, the Ar flow of space generated by each pressure module using Senso ren detectable, and when a pressure change of a pressure module the cross-sectional passage area of at least one neighboring one Modified pressure module so far that a balanced as possible Flow of neighboring pressure modules in the work area can be reached is.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß durch die Sensoren im Arbeitsraum direkt die Strömungsverhältnisse unterhalb jedes Druckmodules erfaßbar sind, so daß direkt ermittelt werden kann, wie lange und in welchem Ausmaße eine Steuerung notwendig ist, um eine gleichmäßige ausgeglichene Strömung im Arbeitsraum wieder herzustellen.This measure has the advantage that the sensors in Work space directly the flow conditions below each Pressure modules can be detected so that they can be determined directly how long and to what extent control is necessary is to ensure an even, balanced flow in the work area restore.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die abström seitige Wand der Zwischendruckkammer zwei benachbarte Lochbleche auf, die relativ zueinander verstellbar sind, wodurch die Querschnittsfläche der Durchtrittsöffnungen veränderbar ist.In a further embodiment of the invention, the outflow side wall of the intermediate pressure chamber two adjacent perforated plates on that are adjustable relative to each other, whereby the Cross-sectional area of the passage openings is changeable.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß durch technisch einfache Mittel rasch und einfach eine Verstellung der Querschnittsfläche möglich ist.This measure has the advantage of being technically simple The cross-sectional area can be adjusted quickly and easily is possible.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die abström seitige Wand der Zwischendruckkammer Strömungskanäle mit veränderlichem Querschnitt auf.In a further embodiment of the invention, the outflow side wall of the intermediate pressure chamber with flow channels variable cross section.

Auch diese Maßnahme hat den Vorteil, daß sehr rasch und fein dosiert die Querschnittsfläche regulierbar ist.This measure also has the advantage of being very quick and fine the cross-sectional area is adjustable.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weisen dazu die Strömungskanäle membranartige Wände auf, die sich zwischen zwei Lochwänden erstrecken und die derart ausgestaltet sind, daß bei einer Druckänderung in der Druckkammer sich die membran artigen Wände derart bewegen, daß durch Einschnüren oder Aufweiten sich der Durchströmungsquerschnitt entsprechend ändert. In a further embodiment of the invention, the Flow channels on membrane-like walls between themselves extend two perforated walls and which are designed such that with a change in pressure in the pressure chamber, the membrane move like walls so that by constriction or The flow cross-section widen accordingly changes.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine direkte Kopplung der membranartigen Kanäle mit der Druckkammer eine rasche Anpassung ermöglicht, so daß auch kurzzeitige Druckschwankungen rasch ausgeglichen werden können. So ist es beispielsweise möglich, die Außenseite der membranartigen Wände der Strömungskanäle drucktechnisch mit der Druckkammer zu verbinden, so daß je nach Steuerungsrichtung bei einem Druckabfall sich die Strö mungskanäle aufweiten und bei einer Druckerhöhung die Strömungs kanäle durch Einschnüren verengen. Es ist dabei auch selbst verständlich wieder möglich, diese Veränderung eines Druck modules mit Veränderung in der Druckkammer eines benachbarten Druckmodules zu koppeln.This measure has the advantage that a direct coupling of the membrane-like channels with the pressure chamber a quick adjustment enables so that even short-term pressure fluctuations quickly can be compensated. For example, it is possible the outside of the membrane-like walls of the flow channels to connect with the pressure chamber, so that depending according to the direction of control when the pressure drops, the flow expansion channels and if the pressure increases, the flow narrow the channels by constricting them. It is also there understandably possible again, this change in pressure modules with change in the pressure chamber of an adjacent one To couple print modules.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist eine Steuerung vorgesehen, die Betriebsparameter der zusammensetzbaren Druck module erfaßt und bei Veränderungen der Betriebsparameter eines oder mehrerer Druckmodule zumindest die Abströmöffnungen der anderen Druckmodule in den Arbeitsraum diesen Veränderungen derart anpaßt, daß im Arbeitsraum eine möglichst ausgeglichene Strömung erzeugt wird.A control is in a further embodiment of the invention provided the operating parameters of the composable pressure module detected and when changes in operating parameters one or more pressure modules at least the outflow openings of the other pressure modules in the workspace these changes adapts in such a way that the workspace is as balanced as possible Flow is generated.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine andauernde Erfassung der Betriebsparameter aller gekoppelter Druckmodule möglich ist, und dann jeweils den Störfällen sehr rasch die entsprechen den Durchtrittsquerschnitte der Zwischendruckkammern angepaßt werden können, so daß vollautomatisch auch bei mehreren oder zeitlich versetzt auftretenden Störfällen derart ausgeglichen werden kann, daß im Arbeitsraum die optimalen Strömungsver hältnisse vorherrschen. Dadurch kann dann im industriellen Non-Stop-Betrieb, beispielsweise bei der Herstellung einer Charge an Mikrochips oder bei der Herstellung einer bestimmten Menge eines Medikamentes aufgrund aufeinanderfolgender biotech nologischer Vorgänge, ein solcher Arbeitszyklus vollständig ablaufen, ohne daß dieser unterbrochen werden muß, sofern eine Störung auftritt. Ist dann ein solcher Arbeitsrhythmus vollständig abgelaufen, kann dann im Rahmen einer Inspektion oder Wartung das oder die entsprechenden Druckmodule ausge tauscht oder repariert werden.This measure has the advantage that a continuous recording the operating parameters of all coupled print modules possible is, and then very quickly correspond to the major accidents adapted to the passage cross sections of the intermediate pressure chambers can be, so that fully automatically with several or Compensated for accidents occurring at different times can be that in the work area the optimal flow ver relationships prevail. This can then in industrial Non-stop operation, for example in the manufacture of a Batch of microchips or in the manufacture of a particular Amount of a drug due to consecutive biotech biological processes, such a work cycle completely expire without this having to be interrupted, provided a malfunction occurs. Then is such a rhythm of work completely expired, can then be inspected or maintenance of the corresponding print module or modules exchanged or repaired.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung erfaßt dazu die Steuerung Betriebsparameter der Druckquelle, insbesondere von Gebläsen und/oder den Druck in der Druckkammer und/oder die Strömungsgeschwindigkeit im Arbeitsraum unterhalb eines jeweili gen Druckmodules.In a further embodiment of the invention, the Control operating parameters of the pressure source, in particular of Blower and / or the pressure in the pressure chamber and / or the Flow velocity in the work area below a respective gene print modules.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß durch technisch sehr einfach zu bewerkstelligenden Erfassungsvorgänge entscheidende Betriebs parameter erfaßt werden können, die eine Störung sofort erkennen lassen und die zugleich hinreichend Information über den Ausgleich der Störung geben. So ist beispielsweise der Druck abfall in der Druckkammer ein verläßliches und rasch erfaßbares Maß für eine Störung in der Druckquelle und die Strömungsge schwindigkeit im Arbeitsraum eine durch Strömungssensoren einfach erfaßbare Meßgröße, die zuverlässige Aussagen darüber ermöglicht, ob die Strömungsverhältnisse im Arbeitsraum ent sprechend ausgeglichen sind. Es ist dann beispielsweise möglich, die durch die Strömungssensoren erfaßbaren Änderungen zu registrieren und die zu diesem Zeitpunkt gefertigten Bauteile einer zusätzlichen Kontrolle zu unterwerfen.This measure has the advantage that it is technically very simple crucial operations to be accomplished parameters can be detected that recognize a fault immediately leave and the at the same time sufficient information about the Give compensation for the disturbance. This is the pressure, for example drop in the pressure chamber a reliable and quickly detectable Measure of a disturbance in the pressure source and the flow ge speed in the work area through flow sensors Easily ascertainable measurand, the reliable statements about it enables whether the flow conditions in the work area ent are speaking balanced. It is then possible, for example, the changes detectable by the flow sensors register and the components manufactured at that time to be subjected to an additional control.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach stehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen und in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the above and the following standing features to be explained not only in each specified combination, but also in other combinations and can be used alone, without the scope of the to leave the present invention.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand einiger ausgewählter Ausführungsbeispiele in Zusammenhang mit den beiliegenden Zeichnungen näher beschrieben und erläutert. Es zeigen:The invention is selected below on the basis of a few Embodiments in connection with the accompanying Drawings described and explained in more detail. Show it:

Fig. 1 stark schematisiert einen Schnitt zweier nebeneinan der angeordneter erfindungsgemäßer Druckmodule; FIG. 1 is a highly schematic a section of two nebeneinan of arranged printing modules according to the invention;

Fig. 2 eine Seitenansicht des in Fig. 1 auf der linken Seite dargestellten Druckmoduls in Richtung eines Pfeiles II; FIG. 2 shows a side view of the printing module shown on the left in FIG. 1 in the direction of an arrow II;

Fig. 3 einen vergrößerten Detailschnitt eines weiteren Ausführungsbeispieles zweier nebeneinander an geordneter Druckmodule, wobei der in Fig. 3 gezeigte kreisförmige Ausschnitt dem in Fig. 1 mit ge strichelten Linien kreisförmigen Ausschnitt ent spricht, und Fig. 3 is an enlarged detail section of another embodiment of two side by side on ordered print modules, the circular section shown in Fig. 3 speaks ent in Fig. 1 with ge dashed lines circular section, and

Fig. 4 einen der Fig. 3 entsprechenden Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispieles von zwei nebeneinan der angeordneten Druckmodulen. Fig. 4 is a section of Fig. 3 corresponding to another embodiment of two side by side of the arranged print modules.

In Fig. 1 sind zwei identisch ausgebildete Druckmodule 10, 10′ dargestellt, die über später noch zu erläuternde Art und Weise über zwei Seitenwände an einer Ebene 40 (strichpunktierte Linie) aneinandergefügt sind. In Fig. 1, two identically designed printing modules 10 , 10 'are shown, which are joined together in a manner to be explained later on two side walls on a plane 40 (dash-dotted line).

Da beide Druckmodule 10, 10′ identisch aufgebaut sind, wird nachfolgend der detaillierte Aufbau des Druckmodules 10 be schrieben, wobei dieses gleichermaßen für das Druckmodul 10′ gilt, in dem dem Druckmodul 10 entsprechende Bauteile mit gleichen Bezugsziffern, jedoch jeweils mit einem Strich versehen sind.Since both printing modules 10 , 10 'are constructed identically, the detailed structure of the printing module 10 will be described below, this also applies to the printing module 10 ', in which the printing module 10 corresponding components with the same reference numerals, but each with a dash .

Das Druckmodul 10 weist ein etwa quaderförmiges Gehäuse 12 auf, in dessen oberer Kammer 14 ein Gebläse 16 angeordnet ist.The pressure module 10 has an approximately cuboid housing 12 , in the upper chamber 14 of which a fan 16 is arranged.

Das Gebläse 16 ist an seiner Druck abgebenden Seite mit einem unterhalb der Kammer 14 angeordneten Druckkammer 18 verbunden. Das Gebläse 16 füllt somit die Druckkammer 18 mit einem Medium, beispielsweise Luft, wie dies in Fig. 1 durch Pfeile 20 an gedeutet ist. Dadurch wird in der Druckkammer 18 ein bestimmter Druck aufgebaut.The blower 16 is connected on its pressure-releasing side to a pressure chamber 18 arranged below the chamber 14 . The fan 16 thus fills the pressure chamber 18 with a medium, for example air, as indicated by arrows 20 in FIG. 1. As a result, a certain pressure is built up in the pressure chamber 18 .

Der Druckkammer 18 nachgeschaltet ist eine Zwischendruckkammer 22, wobei das Medium beim Übergang von der Druckkammer 18 zur Zwischendruckkammer 22 ein Filter 24 durchströmt ist.Downstream of the pressure chamber 18 is an intermediate pressure chamber 22, wherein the medium during the transition from the pressure chamber 18 to the intermediate pressure chamber 22, a filter 24 is passed through.

Der Aufbau des Filters 24 richtet sich nach dem Einsatzzweck des Druckmodules, sorgt beispielsweise bei Einsatz in einem Reinraum dafür, daß die das Filter 24 verlassende Luft ent sprechend diesen Vorgaben "rein" ist.The structure of the filter 24 depends on the application of the pressure module, ensures, for example when used in a clean room, that the air leaving the filter 24 is "pure" accordingly to these specifications.

Die Zwischendruckkammer 22 ist auf ihrer abströmseitigen Seite mit einer Wand 30 versehen, die im in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel aus einem Lochblech 32 besteht, das mit zahlreichen Öffnungen 34 versehen ist. Das Ausmaß der Wand 30 in der in Fig. 1 dargestellten Horizontalebene ist dabei derart, daß sich die Wand 40 bis an die Außenseite der in Fig. 1 dargestellten Seitenwände 26 und 28 erstreckt.The intermediate pressure chamber 22 is provided on its downstream side with a wall 30 which, in the exemplary embodiment shown in FIG. 1, consists of a perforated plate 32 which is provided with numerous openings 34 . The extent of the wall 30 in the horizontal plane shown in FIG. 1 is such that the wall 40 extends to the outside of the side walls 26 and 28 shown in FIG. 1.

Aus Fig. 1 und 2 ist zu erkennen, daß die Seitenwand 28 im Bereich unterhalb der Unterkante des Filters 24 offen ist, wodurch eine etwa rechteckförmige Öffnung 38 gebildet ist, die somit die gesamte Seitenwand der Zwischendruckkammer 22 auf Seiten der Seitenwand 28 des Gehäuses 12 freigibt.It can be seen from FIGS. 1 and 2 that the side wall 28 is open in the region below the lower edge of the filter 24 , as a result of which an approximately rectangular opening 38 is formed, which thus covers the entire side wall of the intermediate pressure chamber 22 on the side of the side wall 28 of the housing 12 releases.

Bei dem in Fig. 1 an der Seitenwand 28 des Druckmoduls 10 anliegenden Druckmoduls 10′ ist auf dessen in der Darstellung von Fig. 1 linken Seitenwand 26′ eine entsprechende Öffnung 38′ vorgesehen, die ebenfalls rechteckförmig und gleich groß wie die Öffnung 38 ist, so daß durch die nebeneinander an geordneten der beiden Druckmodule 10, 10′, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist, eine durchgehende Zwischendruckkammer gebildet ist, die sich aus den beiden Zwischendruckkammern 22 und 22′ zusammensetzt.Attached in which, in Fig. 1 on the side wall 28 of the print module 10 print module 10 'is on the left in the illustration of FIG. 1, the side wall 26' is provided a corresponding opening 38 ', which is also rectangular in shape and the same size as the opening 38, so that through the side by side of the two pressure modules 10 , 10 ', as shown in Fig. 1, a continuous intermediate pressure chamber is formed, which is composed of the two intermediate pressure chambers 22 and 22 '.

In Fig. 1 ist auf der rechten Seite dargestellt, daß auch die gegenüberliegende Seitenwand 28′ des Druckmoduls 10′ im Bereich der Zwischenkammer 22′ geöffnet werden kann, wie dies in Fig. 1 durch ein Teilstück 36 angedeutet ist, das abnehmbar ist, so daß dann an das Druckmodul 10′ ein weiteres Druckmodul angelegt werden kann. Selbstverständlich ist dies auch auf der in der Darstellung von Fig. 1 linken Seite des Druckmodules 10 möglich, d. h. es können letztendlich eine beliebige Reihe an Druckmodulen 10, 10′ . . . nebeneinander angeordnet werden, wobei deren Zwischenkammern 22, 22′, . . . strömungstechnisch durchgehend miteinander verbunden sind. In Fig. 1 it is shown on the right side that the opposite side wall 28 'of the pressure module 10 ' in the region of the intermediate chamber 22 'can be opened, as indicated in Fig. 1 by a portion 36 which is removable, so that then another printing module can be applied to the printing module 10 '. Of course, this is also possible on the left-hand side of the print module 10 in the illustration of FIG. 1, ie ultimately any number of print modules 10 , 10 'can be used. . . be arranged side by side, the intermediate chambers 22 , 22 ',. . . are connected to one another in terms of flow technology.

Wie besonders eindrucksvoll aus Fig. 1 zu entnehmen, stoßen die gegenüberliegenden Lochbleche 32 der Druckmodule 10, 10′ auf Höhe der Ebene 40 direkt aneinander, so daß eine gleichmäßig durchgehende abströmseitige Wand der Zwischendruckkammern 22, 22′ gebildet wird, wodurch die Luft, die von den Gebläsen 16 und 16′ in die jeweiligen Druckkammern 18, 18′ eingedrückt wird, nach Durchströmen der Filter 24, 24′ die Zwischendruck kammern 22, 22′ gleichmäßig ausfüllt, insbesondere auch im Bereich der Ebene 40, so daß dann eine gleichmäßig von oben nach unten gerichtete laminare Strömung in den Arbeitsraum 46 austritt, wie dies durch Pfeile 44 veranschaulicht ist.As can be seen particularly impressively from Fig. 1, the opposing perforated plates 32 of the pressure modules 10 , 10 'directly at the level 40 , so that a uniformly continuous downstream wall of the intermediate pressure chambers 22 , 22 ' is formed, whereby the air of the fans 16 and 16 'in the respective pressure chambers 18 , 18 ' is pressed, after flowing through the filter 24 , 24 ', the intermediate pressure chambers 22 , 22 ' fills evenly, especially in the area of level 40 , so that then a uniform of Laminar flow directed upwards downwards into the work space 46 , as illustrated by arrows 44 .

Die Druckmodule 10, 10′ sind dabei am oberen Ende des Arbeits raumes 46 angeordnet, an dessen unterem Ende die Arbeitsvorgänge stattfinden, und an dessen unterem Ende auch die von den Druck modulen ausgesandte Luft wieder abgesaugt wird. Je nach Ar beitsweise kann dann diese Luft wieder den Gebläsen 16, 16′ rückgeführt werden oder abgeführt und von den Gebläsen 16, 16′ jeweils Frischluft angesaugt werden. Es ist dann selbst verständlich, daß Seitenwände den Arbeitsraum begrenzen, was hier aus darstellerischen Gründen weggelassen wurde.The pressure modules 10 , 10 'are arranged at the upper end of the working space 46 , at the lower end of which the operations take place, and at the lower end of which the air emitted by the pressure modules is extracted again. Depending on the working method, this air can then be returned to the blowers 16 , 16 'or discharged and fresh air can be drawn in from the blowers 16 , 16 '. It is then self-evident that side walls limit the work space, which has been omitted here for illustrative reasons.

Tritt nun beispielsweise ein Störfall dahingehend auf, daß das Gebläse 16 des Druckmodules 10 ausfällt, so kann Medium 42 aus der Zwischendruckkammer 22′ in die Zwischendruckkammer 22 strömen, wie dies durch einen Pfeil 50 angedeutet ist und dort für einen Druckausgleich sorgen, so daß dann die durch die Wände 30, 30′ durchtretenden Luftmengen eine gleichbleibende laminare Strömung im Arbeitsraum 46 erzeugen. If, for example, a malfunction occurs in such a way that the fan 16 of the pressure module 10 fails, medium 42 can flow from the intermediate pressure chamber 22 'into the intermediate pressure chamber 22 , as indicated by an arrow 50 and there ensure pressure equalization, so that then through the walls 30 , 30 'passing air volumes produce a constant laminar flow in the work space 46 .

Gleichermaßen ist ein Ausgleich in umgekehrter Richtung möglich, d. h. fällt das Gebläse 16′ aus, so kann Medium 42 von der Zwischendruckkammer 22 in die Zwischendruckkammer 22′ strömen, wie dies durch einen Pfeil 48 angedeutet ist.Equally, compensation in the reverse direction is possible, ie if the fan 16 'fails, medium 42 can flow from the intermediate pressure chamber 22 into the intermediate pressure chamber 22 ', as indicated by an arrow 48 .

Es ist selbstverständlich auch ein Druckausgleich dann möglich, falls ein Gebläse aufgrund einer Steuerungsstörung nun plötzlich ein Übermaß an Druck erzeugt.It is of course also possible to equalize the pressure if a blower suddenly due to a control malfunction creates an excess of pressure.

In Fig. 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel von Druckmodulen 10, 10′ dargestellt, die sich jedoch lediglich in der Ausge staltung der abströmseitigen Wand 60, 60′ unterscheiden, so daß für die anderen Bauteile gleiche Bezugsziffern wie bei dem in Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel verwendet wird.In Fig. 3, another embodiment of pressure modules 10 , 10 'is shown, which, however, differ only in the design of the downstream wall 60 , 60 ', so that the same reference numerals for the other components as in Figs. 1 and 2 illustrated embodiment is used.

Der in Fig. 3 dargestellte kreisförmige Ausschnitt dieses Ausführungsbeispiels entspricht dem in Fig. 1 mit gestrichelten Linien gezeigten Ausschnitt, zeigt also den Ausschnitt, an dem die Wände 60, 60′ im Bereich der Ebene 40 aneinanderstoßen, an derer die beiden Druckmodule 10, 10′ aneinandergelegt sind. Aus Fig. 3 ist zu entnehmen, daß die abströmseitige Wand 60 (dies gilt auch gleichermaßen für die identisch ausgebildete Wand 60′) der Zwischendruckkammer 22 (bzw. 22′) aus einem oberen Lochblech 62 und einem identisch ausgebildeten unteren Lochblech 64 aufgebaut ist. Die Öffnungen 63 des oberen Loch bleches 62 sind identisch und lagegleich zu den Öffnungen 65 im unteren Lochblech 64.The circular section of this exemplary embodiment shown in FIG. 3 corresponds to the section shown in dashed lines in FIG. 1, that is to say shows the section at which the walls 60 , 60 'abut one another in the area of the plane 40 , on which the two printing modules 10 , 10 'Are put together. From Fig. 3 it can be seen that the downstream wall 60 (this also applies equally to the identically designed wall 60 ') of the intermediate pressure chamber 22 (or 22 ') is constructed from an upper perforated plate 62 and an identically designed lower perforated plate 64 . The openings 63 of the upper perforated plate 62 are identical and in the same position as the openings 65 in the lower perforated plate 64 .

Ist die Stellung der beiden Lochbleche 62, 64 wie in Fig. 3 auf der linken Hälfte dargestellt, liegen die Öffnungen 63, 65 deckungsgleich aufeinander, so daß ein maximaler Strömungs querschnitt von der Zwischendruckkammer 22 in den Arbeitsraum 46 möglich ist, wie dies durch einen Pfeil 68 angedeutet ist.Is the position of the two perforated plates 62 , 64 as shown in Fig. 3 on the left half, the openings 63 , 65 are congruent with each other, so that a maximum flow cross-section from the intermediate pressure chamber 22 in the working space 46 is possible, as by a Arrow 68 is indicated.

Im normalen störungsfreien Betrieb befinden sich sämtliche Lochbleche 62, 64 der nebeneinander angeordneten Druckmodulen in der in Fig. 3 auf der linken Seite dargestellten Verschiebe stellung.In normal, trouble-free operation, all perforated plates 62 , 64 of the pressure modules arranged next to one another are in the shift position shown in FIG. 3 on the left-hand side.

Findet nun ein Störfall statt, bei dem in der Zwischendruck kammer 22 ein Druckabfall resultiert, also beispielsweise fällt das Gebläse 16 aus, so wird der Druck P₁ in der Zwischendruck kammer zunächst geringer als der Druck P₂ in der benachbarten Zwischendruckkammer 22′.Now there is a malfunction in which a pressure drop results in the intermediate pressure chamber 22 , for example, the fan 16 fails, the pressure P ₁ in the intermediate pressure chamber is initially lower than the pressure P ₂ in the adjacent intermediate pressure chamber 22 '.

Dadurch, daß die benachbarten Zwischendruckkammern 22, 22′ über die seitlichen Öffnungen 38, 38′ verbunden sind, kann ein Druckausgleich dahingehend stattfinden, daß Medium von der Zwischendruckkammer 22′ in die Zwischendruckkammer 22 strömt, wie dies in Fig. 3 durch Pfeile 72 angedeutet ist.Characterized in that the adjacent intermediate pressure chambers 22 , 22 'are connected via the lateral openings 38 , 38 ', a pressure compensation can take place in such a way that medium flows from the intermediate pressure chamber 22 'into the intermediate pressure chamber 22 , as indicated by arrows 72 in FIG. 3 is.

Dies wird noch dadurch begünstigt, daß das untere Lochblech 64′ der Wand 60′ um ein gewisses Maß horizontal verschoben wurde, so daß sich der Durchtrittsquerschnitt der Wand 60′ insgesamt gesehen verringert hat, wie dies durch einen Pfeil 70 in Fig. 3 dargestellt ist. Daher stellt die Wand 60′ mit verringertem Strömungsquerschnitt 70 dem Medium, das aus der Zwischendruckkammer 22′ in den Arbeitsraum 46 ausströmen möchte, einen erhöhten Widerstand entgegen, was ein Übertritt von Medium aus der Zwischendruckkammer 22′ in die Zwischendruck kammer 22 fördert. This is further favored by the fact that the lower perforated plate 64 'of the wall 60 ' has been horizontally displaced to a certain extent, so that the passage cross section of the wall 60 'has decreased overall, as shown by an arrow 70 in FIG. 3 . Therefore, the wall 60 'with a reduced flow cross-section 70 the medium from the intermediate pressure chamber 22' would like to flow out into the working space 46, an increased resistance to, promoting a transfer of medium from the intermediate pressure chamber 22 'in the intermediate pressure chamber 22nd

Demzufolge ist ein sehr rascher Druckausgleich im Störfall möglich, der alsbald zu einem solchen Ausgleich führt, daß die Austrittsgeschwindigkeit V₁ des Mediums aus der Zwischen druckkammer 22 in den Arbeitsraum 46 etwa gleich der Austritts geschwindigkeit V₂ des Mediums aus der Zwischendruckkammer 22′ in den Arbeitsraum 46 ist, so daß im Arbeitsraum 46 etwa gleiche ausgeglichene Strömungsverhältnisse herrschen. Aufgrund strömungstechnischer Gegebenheiten ist immer ein gewisser Druckabfall in Richtung der Zwischendruckkammer 22 vorhanden, die nicht mehr durch deren Druckkammer mit Druck versorgt wird, wobei dies jedoch im Arbeitsraum 46 dadurch nicht mehr feststellbar ist, da entsprechend die Durchtrittsquerschnitte 68, 70 angepaßt wurden. Die Verschiebung des Lochbleches 64′ richtet sich nach der Größe des Druckabfalles.Accordingly, a very rapid pressure compensation in the event of a fault is possible, which soon leads to such a compensation that the exit speed V _{1 of} the medium from the intermediate pressure chamber 22 in the working space 46 is approximately equal to the exit speed V ₂ of the medium from the intermediate pressure chamber 22 'in the Working space 46 is so that there are approximately the same balanced flow conditions in the working space 46 . Due to fluidic conditions, there is always a certain pressure drop in the direction of the intermediate pressure chamber 22 , which is no longer supplied with pressure by its pressure chamber, but this is no longer ascertainable in the working space 46 , since the passage cross sections 68 , 70 have been adjusted accordingly. The displacement of the perforated plate 64 'depends on the size of the pressure drop.

In Fig. 4 ist ein weiteres erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel der Ausgestaltung einer Wand 80 bzw. 80′ am Austrittsende von Zwischendruckkammer 22, 22′ dargestellt, wobei der in Fig. 4 dargestellte Ausschnitt ebenfalls den Bereich umfaßt, an dem zwei benachbarte Druckmodule über eine Ebene 40 aneinander liegen, d. h. also die bis an die Außenseite reichenden Wände 80, 80′ aneinanderstoßen.In FIG. 4 a further inventive embodiment of the configuration of a wall is shown 80 and 80 'at the exit end of the intermediate pressure chamber 22, 22', wherein the section shown in Fig. 4 also includes the area where two adjacent printing modules on a plane 40 lie against each other, that is, the walls 80 , 80 'reaching to the outside meet.

Die Wand 80 (und das gilt identisch für die Wand 80′) besteht aus einem oberen Lochblech 32 und einem unteren Lochblech 34, die mit identischen deckungsgleichen Öffnungen 83 bzw. 85 versehen sind. Die Lochbleche 82 und 83 sind über Seitenwände 86, 88 verbunden, so daß dadurch die Wand 80 als Hohlkörper ausgebildet ist. Die gegenüberliegenden Öffnungen 83, 84 sind über Strömungskanäle 89 in Form von elastischen Kunststoff röhrchen verbunden, deren Endseiten mit einem Ringwulst 91, 92 versehen sind, der jeweils auf der Außenseite der Lochbleche 82, 84 dichtend anliegen. Der durch die hohlkörperartige Wand 80 (dies gilt auch gleichermaßen für die Wand 80′) gebildete Innenraum ist über eine Leitung 94 mit einem Druckregler 96 verbunden, der wiederum mit einem Steuergerät 98 verbunden ist. Das Steuergerät 98 ist mit den Gebläsen der Druckmodule verbunden und erfaßt über einen Sensor 100 deren Betriebspara meter, beispielsweise bei elektromotorisch betriebenen Gebläsen, ob deren Motor läuft oder nicht. Ferner ist das Steuergerät 98 über Leitungen 105, 107 mit hier nicht dargestellten Druck sensoren verbunden, die den Druck in den Druckkammern 18, 18′ der jeweiligen Druckmodule erfassen.The wall 80 (and this applies identically to the wall 80 ') consists of an upper perforated plate 32 and a lower perforated plate 34 , which are provided with identical congruent openings 83 and 85 , respectively. The perforated plates 82 and 83 are connected via side walls 86 , 88 , so that the wall 80 is thereby formed as a hollow body. The opposite openings 83 , 84 are connected via flow channels 89 in the form of elastic plastic tubes, the end sides of which are provided with an annular bead 91 , 92 , each of which rests sealingly on the outside of the perforated plates 82 , 84 . The interior formed by the hollow body-like wall 80 (this also applies equally to the wall 80 ') is connected via a line 94 to a pressure regulator 96 , which in turn is connected to a control unit 98 . The control unit 98 is connected to the blowers of the pressure modules and detects their operating parameters via a sensor 100 , for example in the case of blowers operated by an electric motor, whether their motor is running or not. Furthermore, the control unit 98 is connected via lines 105 , 107 to pressure sensors, not shown here, which detect the pressure in the pressure chambers 18 , 18 'of the respective pressure modules.

Das Steuergerät 98 ist ferner über Leitungen 101, 103 mit Strömungssensoren 102 bzw. 104 verbunden, die im Arbeitsraum 46 jeweils unterhalb des entsprechenden Druckmodules angeordnet sind.The control unit 98 is also connected via lines 101 , 103 to flow sensors 102 and 104 , respectively, which are arranged in the working space 46 below the corresponding pressure module.

In Fig. 4 ist eine Situation dargestellt, in der aufgrund eines Störfalles der Druck P₁ in der Darstellung von Fig. 4 links dargestellten Druckmodul größer ist als ein Druck P₂ im benachbarten Druckmodul.In FIG. 4 illustrates a situation in which a malfunction due to the pressure P ₁ in the representation of FIG. 4 print module shown on the left is greater than a pressure P ₂ in the adjacent printing module.

Auch hier ist aufgrund der strömungstechnischen Verbindung der beiden Zwischendruckkammern 22, 22′ über die seitlichen Öffnungen 38, 38′ ein Druckausgleich durch Überströmen von Medium aus der Zwischendruckkammer 22 in die Zwischendruckkammer 22′, wie dies durch Pfeile 116, 117 dargestellt ist. Das Steuergerät 98 steuert nunmehr den Druckregler 96 derart, daß im Innenraum der Wand 80 ein solcher Druck vorherrscht, daß der Strömungskanal 89 bzw. das elastische Kunststoffröhrchen 90 eingeschnürt wird, wie dies durch Pfeile 112 dargestellt ist, so daß der Strömungsquerschnitt insgesamt eingeengt wird, wie dies durch einen Pfeil 110 dargestellt ist. Entsprechend steuert das Steuergerät 98 (hier nicht näher dargestellt) den Innenraum der Wand 80′ derart, daß sich das Röhrchen 90′ vollkommen entspannt, somit eine zylindrische Form einnimmt und dadurch einen maximalen Strömungsquerschnitt freigibt, wie dies durch einen Pfeil 114 dargestellt ist. Dadurch kann dann wiederum verstärkt Medium durch die Öffnungen in der Wand 80′ treten, so daß dann wiederum im Arbeitsraum 46 solche Strömungsverhältnisser erzeugt werden können, daß die Abström geschwindigkeiten V₁ im Bereich des Druckmodules 10 gleich sind wie die Abströmgeschwindigkeiten im Bereich des Druck modules 10′. Dies kann durch die Strömungssensoren 102 bzw. 104 erfaßt werden und dem Steuergerät 98 gemeldet werden. Es ist selbstverständlich auch möglich so zu arbeiten, daß die Druckregler 96, die für jede Wand 80, 80′ separat vorhanden sind, so arbeiten, daß im Normalzustand die Strömungskanäle 90, 90′ eingeschnürt sind, d. h. daß die Innenräume der ent sprechenden Wände 80, 80′ unter Druck gesetzt sind, und bei einem Druckabfall sich diese Röhrchen automatisch entspannen können.Again, due to the fluidic connection of the two intermediate pressure chambers 22 , 22 'via the side openings 38 , 38 ', a pressure compensation by overflow of medium from the intermediate pressure chamber 22 into the intermediate pressure chamber 22 ', as shown by arrows 116 , 117 . The control unit 98 now controls the pressure regulator 96 in such a way that a pressure prevails in the interior of the wall 80 that the flow channel 89 or the elastic plastic tube 90 is constricted, as shown by arrows 112 , so that the flow cross section is narrowed overall, as shown by an arrow 110 . Accordingly, the control device 98 (not shown here) controls the interior of the wall 80 'in such a way that the tube 90 ' relaxes completely, thus assumes a cylindrical shape and thereby releases a maximum flow cross-section, as shown by an arrow 114 . As a result, medium can then in turn step through the openings in the wall 80 ', so that such flow conditions can then again be generated in the working space 46 that the outflow velocities V ₁ in the area of the pressure module 10 are the same as the outflow velocities in the area of the pressure modules 10 ′. This can be detected by the flow sensors 102 and 104 and reported to the control unit 98 . It is of course also possible to work so that the pressure regulator 96 , which are provided separately for each wall 80 , 80 ', work in such a way that the flow channels 90 , 90 ' are constricted in the normal state, ie that the interiors of the corresponding walls 80 , 80 'are pressurized, and these tubes can automatically relax when the pressure drops.

In den zuvor erwähnten Ausführungsbeispielen wurden jeweils zwei benachbarte Druckmodule dargestellt. Es ist selbstverständ lich, daß diese Steuerung auch bei einer ganzen Reihe an nebeneinander angeordneten Druckmodulen durchführbar ist. Um den apparativen Aufwand beispielsweise im Zusammenhang mit der mit Fig. 4 dargestellten Variante in Grenzen zu halten, kann jeweils die Steuerung 98 so ausgelegt sein, daß jeweils unmittelbar benachbarte Druckmodule miteinander gekoppelt sind.In the previously mentioned exemplary embodiments, two adjacent printing modules were shown in each case. It is self-evident that this control can also be carried out with a whole series of printing modules arranged side by side. In order to keep the expenditure on equipment, for example in connection with the variant shown in FIG. 4, within limits, the control 98 can be designed in such a way that immediately adjacent pressure modules are coupled to one another.

Claims

1. Pressure module for generating a flow ( 44 ) in a working space ( 46 ) with a pressure chamber ( 18 , 18 '), from which a gaseous medium can be discharged under pressure into the working space ( 46 ), characterized in that the pressure chamber ( 18 , 18 ') an intermediate pressure chamber ( 22 , 22 ') is arranged in the outflow direction, from the downstream wall ( 30 , 60 , 80 ) of the medium through numerous openings ( 34 ; 63 , 63 ', 65 , 65 '; 83 , 83 ', 85 , 85 ') flows into the working space ( 46 ) that the wall ( 30 , 60 , 80 ) on each side on which the one pressure module ( 10 , 10 ') to another pressure module ( 10 ', 10 ) borders to the outside, and that the intermediate pressure chamber ( 22 , 22 ') has a lateral opening ( 38 , 38 ') on the respective side, so that a fluidic connection ( 48 , 50 ) between the intermediate pressure chambers ( 22 , 22 ') of adjacent printing modules ( 10 , 10 ') can be produced.

2. Printing module according to claim 1, characterized in that the wall ( 60 , 80 ) has a perforated pattern with a variable opening cross-sectional area.

3. Pressure module according to claim 2, characterized in that the cross-sectional area of the passage openings ( 63 , 65 ; 63 ', 65 ') of a pressure module ( 10 , 10 ') depending on the pressure (P ₁ , P ₂ ) in the pressure chamber ( 18 , 18 ') of an adjacent pressure module ( 10 ', 10 ) is controllable.

4. Pressure module according to claim 3, characterized in that a control device ( 98 ) is provided which controls such that the cross-sectional area of the downstream wall of an intermediate chamber ( 22 , 22 ') of a pressure module ( 10 , 10 ') at a pressure drop in the Pressure chamber ( 18 , 18 ') of another pressure module ( 10 ', 10 ) is reduced in such a way that medium proportionately from the intermediate chamber ( 22 , 22 ') of one pressure module ( 10 , 10 ') into the intermediate chamber ( 22 , 22 ' ) of the other pressure module ( 10 , 10 ') flows and exits from there into the work space ( 46 ).

5. Pressure module according to one of claims 2 to 4, characterized in that the flow generated by each pressure module ( 10 , 10 ') by means of sensors ( 102 , 104 ) can be detected in the working space ( 46 ), and that when a pressure change of a pressure module ( 10 , 10 ') at least the passage cross section of the downstream wall of the intermediate chamber ( 22 , 22 ') of an adjacent pressure module ( 10 , 10 ') is changed until a flow of adjacent modules ( 10 , 10 ') in the working space ( 46 ) is reached.

6. Pressure module according to one of claims 2 to 5, characterized in that the downstream wall ( 60 , 60 ') of an intermediate pressure chamber ( 22 , 22 ') has two perforated plates ( 62 , 64 , 62 ', 64' ) arranged adjacent to it are adjustable relative to each other in such a way that the passage area of the openings ( 63 , 65 ; 63 ', 65 ') can be changed.

7. Pressure module according to one of claims 2 to 5, characterized in that the wall ( 80 , 80 ') on the outflow side of the intermediate pressure chamber ( 22 , 22 ') has flow channels ( 89 ) with a variable cross section.

8. Pressure module according to claim 7, characterized in that the flow channels ( 89 ) have membrane-like walls which extend between two perforated walls ( 82 , 84 ; 82 ', 84 ') and that in the event of a pressure change in the pressure chamber ( 18 , 18th ') The flow cross section of the flow channels is changed by constricting or expanding the membrane-like walls.

9. Pressure module according to one of claims 2 to 8, characterized in that a controller ( 98 ) is provided, the operating parameters of the assembled pressure modules ( 10 , 10 ') is detected and when changing the operating parameters of one or more printing modules ( 10 , 10 ') Controls the passage cross-sections of the outflow openings of the intermediate pressure chamber ( 22 , 22 ') in the working space ( 46 ) in such a way that the most balanced flow possible is generated in the working space ( 46 ).

10. Work module according to claim 9, characterized in that the control ( 98 ) operating parameters of the pressure sources, in particular pressure blowers ( 16 , 16 ') and / or the pressure in the pressure chamber ( 18 , 18 ') and / or the flow rate ( V ₁ , V ₂ ) in the work area ( 46 ) below a respective pressure module ( 10 , 10 ').