DE4116857A1

DE4116857A1 - Magnetmaterial mit thmn(pfeil abwaerts)1(pfeil abwaerts)(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-kristallstruktur und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE4116857A1
Application number: DE19914116857
Authority: DE
Inventors: Kurt Dipl Ing Schnitzke; Ludwig Dipl Phys Dr Schultz
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1991-05-23
Filing date: 1991-05-23
Publication date: 1992-11-26

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Magnetmaterial mit ThMn₁₂-Kristallstruktur auf Basis des Stoffsystems R-Me1-Me2, wobei die Komponenten
R mindestens eines der Seltenen Erdmetalle Pr, Nd, Tb, Dy, Ho, Er,
Me1 mindestens eines der Elemente Fe, Co, Ni und
Me2 mindestens ein Element aus wenigstens einer der Neben gruppen IVa, Va, VIa, VIIa des Periodensystems der Ele mente
sind. Ein solches Magnetmaterial ist z. B. aus "J. Magn. Magn. Mat.", Vol. 94, 1991, Seiten L6 bis L10 bekannt. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Magnetmaterials.

Seit einigen Jahren sind Magnetwerkstoffe auf Basis von Stoff systemen bekannt, die ein Seltenes Erdmetall und mindestens ein Übergangsmetall enthalten und sich durch hohe intrinsische Koerzitivfeldstärken H_ci und hohe Energieprodukte (B _* H)_max auszeichnen. Hauptvertreter sind als binäres Stoffsystem Co-Sm und als ternäres Stoffsystem bisher Nd-Fe-B. Ihre hartmagne tischen Eigenschaften beruhen dabei auf intermetallischen Ver bindungen mit einer hohen magnetischen Anisotropie und einer hohen Gefügeausbildung in den jeweiligen Werkstoffen.

Darüber hinaus sind auch ternäre, Bor-freie Magnetwerkstoffe bekannt geworden, die mit der tetragonalen ThMn₁₂-Struktur kristallisieren (vgl. die eingangs genannte Literaturstelle aus "J. Magn. Magn. Mat."). Diese Magnetwerkstoffe basieren auf einem Stoffsystem R-Me1-Me2, wobei R ein Seltenes Erdme tall sowie Me1 und Me2 verschiedene Übergangsmetalle sind. Bei geeigneter Elementwahl für diese Komponenten können Magnet werkstoffe erhalten werden, die eine verhältnismäßig hohe Sät tigungsmagnetisierung, eine ausgeprägte magnetokristalline Anisotropie und eine verhältnismäßig hohe Curietemperatur auf weisen, so daß diese Werkstoffe für permanentmagnetische An wendungen in Frage kommen. Die Herstellung entsprechender Ma gnetwerkstoffe kann z. B. unter Anwendung einer sogenannten Rascherstarrungstechnik oder einer Technik des mechanischen Legierens (vgl. z. B. "Appl. Phys. Lett.", Vol. 56, No. 9, Febr. 1990, Seiten 868 bis 870) erfolgen. Ein Hauptvertreter eines entsprechenden hartmagnetischen Materials ist das Sm-Fe-Ti. Würde man jedoch in diesem System das Seltene Erd metall Sm durch eines der Seltenen Erdmetalle Pr, Nd, Tb, Dy, Ho oder Er ersetzen, so zeigt sich, daß der entsprechende ma gnetische Werkstoff weichmagnetische Eigenschaften besitzt.

Ferner wird seit kurzem bei den dreikomponentigen Magnetwerk stoffen auch das quasi-binäre Stoffsystem (Sm-Fe)·N_y disku tiert. Dieser Werkstoff besitzt die bekannte rhomboedrische Th₂Zn₁₇-Kristallstruktur. Zu seiner Herstellung wird zunächst das binäre Sm₂Fe₁₇ als Ausgangsmaterial erschmolzen. Das so erhaltene Vorprodukt wird dann in einer N₂- oder NH₃-Atmosphä re erhitzt, wobei sich die gewünschte hartmagnetische Phase durch Einbau von N-Atomen in die Kristallstruktur des Vorpro duktes bildet (vgl. z. B. "J. Magn. Magn. Mat.", Vol. 87, 1990, Seiten L251 bis L254). Dabei lassen sich bis etwa 2,7 N-Atome in jede Einheitszelle der Kristallstruktur einbauen. Weil bei diesem Einbau der N-Atome keine Änderung des Gittertyps, son dern lediglich eine Aufweitung desselben erfolgt, wird dieses dreikomponentige Stoffsystem auch als "quasi-binär" angesehen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nun, ein Magnetmate rial mit den eingangs genannten Komponenten anzugeben, das hartmagnetische Eigenschaften mit einer hohen intrinsischen Koerzitivfeldstärke H_ci, insbesondere von über 5 kA/cm, zeigt und das sich auf verhältnismäßig einfache Weise ausbilden läßt.

Diese Aufgabe wird für das Magnetmaterial mit den eingangs ge nannten Komponenten erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in der ThMn₁₂-Kristallstruktur unter Aufweitung derselben Atome eines Elementes X gebunden sind, so daß das Material dann zumindest weitgehend die Zusammensetzung

(R(Me1,Me2)₁₂) · X_y

aufweist, wo bei X eines der Elemente N, C oder H ist.

Die Erfindung geht dabei von der überraschenden Erkenntnis aus, daß sich nicht nur die Th₂Zn₁₇-Phase von Sm-haltigen Ma gnetwerkstoffen durch eine Nitrierung magnetisch härten läßt, sondern daß auch in eine weichmagnetische ThMn₁₂-Phase eines Magnetwerkstoffes auf Basis des genannten Stoffsystems R-Me1-Me2 N- oder C- oder H-Atome so eingebaut werden können, daß ein quasi-ternärer Werkstoff mit hartmagnetischen Eigen schaften gewonnen wird.

Besonders vorteilhaft läßt sich das erfindungsgemäße Magnetma terial dadurch herstellen, daß die drei Komponenten R, Me1 und Me2 des Magnetmaterials in Form mindestens eines Ausgangspul vers mittels eines mechanischen Legierens, mindestens einer Wärmebehandlung und einer Anordnung in einer die X-Komponente enthaltenden Gasatmosphäre in das Magnetmaterial mit der ge wünschten

(R(Me1,Me2)₁₂) · X_y-Phase

überführt werden. Ein solches Verfah ren läßt sich mit bekannten Mitteln verhältnismäßig einfach durchführen, um die geforderten hartmagnetischen Eigenschaften des Materials zu erhalten. Mit dem Prozeß des an sich bekann ten mechanischen Legierens durch Mahlen ist dabei vorteilhaft ein Vorprodukt mit einer Mikrostruktur des herzustellenden Endproduktes auszubilden. In diesem so strukturierten Vorpro dukt kann dann verhältnismäßig leicht und reproduzierbar bei erhöhter Temperatur der Einbau der N- bzw. C- bzw. H-Atome er folgen. Das Verfahren ist auch einstufig durchzuführen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Magnetmate rials bzw. des Verfahrens zu dessen Herstellung gehen aus den jeweils abhängigen Ansprüchen hervor.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie len noch weiter erläutert, wobei auf die Diagramme der Zeich nung Bezug genommen wird. Dabei sind in Fig. 1 Röntgendif fraktogramme für verschiedene Stufen der Herstellung eines er findungsgemäßen Magnetmaterials wiedergegeben. Aus Fig. 2 ge hen zwei zuzuordnende Hysteresiskurven hervor.

Für das nachfolgend beschriebene Ausführungsbeispiel sei die Herstellung einer hartmagnetischen Phase mit der Zusammenset zung (Nd₁₅Fe₇₀V₁₅)·N_y mit einer ThMn₁₂-Kristallstruktur ange nommen. Um zu einem Material dieser Phase zu gelangen, wird zunächst ein Vorprodukt mit einer entsprechenden Kristall struktur unter Anwendung eines Mahlprozesses erstellt. Hierzu wird von Pulvern aus oder mit den beteiligten Komponenten aus gegangen. Entweder werden elementare Pulver verwendet, oder es können auch die beteiligten Elemente in Form von Legierungen und/oder Verbindungen vorliegen. Eine entsprechende Vorlegie rung wäre z. B. NdFe. Die pulverförmigen Ausgangskomponenten mit vorbestimmten, allgemein geläufigen Partikelgrößen werden in eine geeignete Mahlvorrichtung gegeben, wie sie von Verfah ren des mechanischen Legierens her prinzipiell bekannt ist (vgl. z. B. "Metall. Trans.", Vol. 5, August 1974, Seiten 1929 bis 1934). Dabei ist das Mengenverhältnis der einzelnen Antei le durch die vorbestimmte resultierende atomare Konzentration des herzustellenden Vorproduktes bestimmt. So ist eine Einwaa ge (in Atom-%) vorgesehen, die der Legierung Nd₁₅Fe₇₀V₁₅ zu mindest weitgehend entspricht. Die insbesondere elementaren Pulver der beteiligten Komponenten werden dann dem Mahlprozeß mit Hilfe von gehärteten Stahlkugeln in einem z. B. Ar-gefüll ten Stahlbehälter unterzogen. Die Mahldauer t_m des Mahlpro zesses hängt insbesondere von den Mahlparametern ab. Wichtige Parameter sind der Kugeldurchmesser, die Kugelanzahl sowie die verwendeten Materialien der Mahlvorrichtung. Auch die Mahlge schwindigkeit und das Verhältnis der Stahlkugeln zu der Pul vermenge sind weitere Parameter, welche die notwendige Mahl dauer bestimmen. Im allgemeinen liegt die Mahldauer t_m zwi schen einer und 100 Stunden. Eine Mahldauer von ein bis drei Tagen ist als vorteilhaft anzusehen. Gegebenenfalls kann der Mahlprozeß auch bei erhöhter Temperatur vorgenommen werden.

Am Ende des Mahlprozesses liegt dann ein Mahlgut aus den be teiligten drei Komponenten Nd, Fe und V vor, das zumindest weitgehend amorph sein kann. Gegebenenfalls ist das Mahlgut auch zumindest teilweise kristallin. In diesem Mahlgut muß noch die gewünschte ThMn₁₂-Kristallstruktur mit einer vorbe stimmten, im Hinblick auf das herzustellende Magnetmaterial optimierten Korngröße eingestellt werden. Die Korngröße (Größe der Kristallite in den Körnern) sollte dabei zwischen 20 nm und 500 nm liegen. Hierzu wird eine Wärmebehandlung unter Schutzgas oder im Vakuum bei einer Temperatur T1 zwischen 400°C und 1000°C, vorzugsweise zwischen 600°C und 750°C durchgeführt. Die Dauer dieser Wärmebehandlung liegt dabei zwischen 1 min und 10 h, vorzugsweise zwischen 10 min und 1 h. Diese Wärmebehandlung führt zum einen zur Kristallisation der Nd₂(Fe,V)₁₂-Phase und zum anderen zur Einstellung einer sehr feinen Mikrostruktur, die zur magnetischen Härtung in diesem Material vorteilhaft ist. Am Ende dieser Wärmebehandlung liegt dann ein entsprechendes Vorprodukt mit der Nd₂(Fe,V)₁₂-Phase vor, die weichmagnetische Eigenschaften zeigt.

Dieser Sachverhalt ist bei einem Vergleich der beiden Röntgen diffraktogramme (Röntgenbeugungsspektren) ersichtlich, die in Fig. 1 als Kurven A und B wiedergegeben sind. In dem Dia gramm ist auf der Abszisse der Beugungswinkel 2 Theta (R in Grad) eingetragen, während in Richtung der Ordinate die zuge hörige Intensität I (jeweils im selben Maßstab in willkürli chen Einheiten der Zählrate pro Sekunde) aufgetragen ist. Die in dem Diagramm der Fig. 1 wiedergegebene Kurve A zeigt dabei das Röntgenbeugungsspektrum für das Vorprodukt der Zusammen setzung Nd₁₅Fe₇₀V₁₅ nach dem mechanischen Legieren und nach einer Glühung bei 675°C. Kurve B ist ein bekanntes Standard- Röntgendiffraktogramm für eine ThMn₁₂-Kristallstruktur (vgl. z. B. "J. Less-Common Met.", Vol. 136, 1988, Seiten 207 bis 215 oder die eingangs genannte Literaturstelle aus "J. Magn. Magn. Mat." 94). Aus dieser Kurve B gehen die für diese Kristall struktur charakteristischen Reflexe hervor. Diese Reflexe tre ten auch bei dem experimentell ermittelten Röntgendiffrakto gramm gemäß Kurve A an denselben Stellen (Winkeln) auf.

In einem weiteren Verfahrensschritt wird anschließend das so gewonnene pulverförmige Vorprodukt mit der Nd(Fe,V)₁₂-Phase in einer stickstoffhaltigen Atmosphäre, beispielsweise in N₂ oder NH₃, geglüht. Die hierfür zu wählende Temperatur T2 sollte oberhalb von 300°C und unterhalb von 700°C, vorzugsweise zwischen 500°C und 600°C liegen. Im allgemeinen ist für die se Wärmebehandlung eine Dauer zwischen 1 min und 50 h, vor teilhaft zwischen 10 min und 10 h vorzusehen. Hierbei erfolgt ein Einbau von Stickstoff-Atomen in das Kristallgitter. Dies geschieht unter Aufweitung der ThMn₁₂-Kristallstruktur ohne Änderung des Gittertyps und ohne Änderung der Mikrostruktur. Dieser Sachverhalt ist bei einem Vergleich des in Fig. 1 als Kurve C wiedergegebenen Röntgendiffraktogrammes mit den Dif fraktogrammen gemäß den Kurven A und B erkennbar. Kurve C ist dabei eine Meßkurve für ebenfalls das der Kurve A zugrundege legte Magnetmaterial, jedoch nach einer Nitrierung in N₂ bei 550°C. Auch aus dieser Meßkurve sind die eine ThMn₁₂-Kri stallstruktur charakterisierenden Reflexe ersichtlich.

Darüber hinaus sind in dem sich für das gewählte konkrete Aus führungsbeispiel ergebenden Röntgendiffraktogramm gemäß Kurve C noch weitere Reflexe auszumachen, die einem NdN-Anteil in dem Magnetmaterial zuzuordnen sind. Betrachtet man nämlich das bekannte, in Fig. 1 als Kurve D wiedergegebene Standard-Rönt gendiffraktogramm für NdN (vgl. z. B. "Powder Diffraction File (Alphabetic Index, Inorganic Phases)", International Centre for Diffraction Data (JCPDS), USA, 1983, Seite 527), so sind dessen charakteristische Reflexe auch in der Meßkurve C er kennbar. Die gleichzeitige Ausbildung von NdN mit dem erfin dungsgemäßen Magnetmaterial ist jedoch an sich unerwünscht. Man kann aber die sich bildende Menge an NdN durch eine geeig nete Führung des Herstellungsprozesses minimieren. Hierzu sollte z. B. ein Überschuß an Nd vermieden werden. Dies kann beispielsweise durch Herabsetzung des Nd-Anteils im Mahlgut mittels Erhöhung des V-Anteils bei gleichbleibendem Fe-Gehalt erfolgen.

Die sich bei den Prozeßabschnitten gemäß den Meßkurven A und C ergebenden Hysteresiskurven sind in dem Diagramm der Fig. 2 wiedergegeben. In diesem Diagramm sind in Richtung der Abszis se die magnetische Feldstärke H (in kA/cm) und in Ordinaten richtung die Magnetisierung J, d. h. die magnetische Polarisa tion (in T) aufgetragen. Die mit E bezeichnete Hysteresiskurve ist dabei dem ternären Vorprodukt Nd₁₅Fe₇₀V₁₅ zuzuordnen, das nach dem Mahlprozeß und einer Wärmebehandlung bei 675°C ge wonnen wurde. Nachdem dieses Vorprodukt während 0,5 h bei 550°C in einer stickstoffhaltigen Atmosphäre nitriert wurde, ergab sich ein Endprodukt, dessen Hysteresiskurve in dem Dia gramm der Figur mit F bezeichnet ist. Wie aus dem Verlauf der Kurven E und F abzulesen ist, hat die erfindungsgemäße Nitrie rung eine deutliche Zunahme der Koerzitivfeldstärke H_ci auf 6 kA/cm zur Folge.

Nachfolgend sind einige bei 20°C gemessene Magnetdaten (In trinsische Koerzitivfeldstärke H_ci, Remanenz J_r, Energiepro dukt (B _* H)_max) für das erfindungsgemäße Magnetmaterial (Nd₁₅Fe₇₀V₁₅)·N_y angegeben, wobei verschiedene Temperaturen T1 zur Einstellung der ThMn₁₂-Kristallstruktur in dem ternären Vorprodukt und T2 bei Glühung in einer N₂-Atmosphäre vorgese hen wurden.

Tabelle

Für die konkreten Ausführungsbeispiele wurde als Magnetmate rial (Nd₁₅Fe₇₀V₁₅)·N ausgewählt. Die erfindungsgemäßen Maß nahmen sind jedoch nicht auf diese konkrete Zusammensetzung des Magnetmaterials beschränkt, sondern lassen sich entspre chend für alle Magnetmaterialien der Zusammensetzung

(R(Me1,Me2)₁₂) · N_y

verwenden, wobei für die einzelnen Komponen ten R, Me1 und Me2 folgendes gelten soll: R ist mindestens eines der Seltenen Erdmetalle Pr, Nd, Tb, Dy, Ho, Er. Dabei können auch mehrere dieser Elemente gemeinsam die Komponente R bilden. Ein entsprechendes Beispiel wäre:

R = Nd₁ - _αPr_α mit 0 < α < 1.

Me1 ist mindestens eines der Elemente Fe, Co, Ni. Bei spielsweise kann Fe partiell durch Co substituiert sein. Ein entsprechendes Beispiel wäre:

Mel = Fe₁-_β Co_β mit 0 < β < 1.

Me2 ist mindestens ein Element aus wenigstens einer der Nebengruppen IVa, Va, VIa, VIIa des Periodensystems der Elemente. Insbesondere sind die Elemente Ti, V, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W geeignet. Auch hier kann sich die Komponente Me2 aus mehreren dieser Elemente zusammenset zen. Ein Beispiel wäre:

Me2 = V₁-_γCr_γ mit 0 < γ < 1.

Die Anteile der R-Komponente und der (Me1,Me2)-Komponente innerhalb des erfindungsgemäßen Magnetmaterials müssen auch nicht exakt denen der jeweiligen ThMn₁₂-Kristallstruktur entsprechen. Vielmehr sind davon auch Abweichungen der R und der (Me1,Me2)-Komponente um jeweils etwa ± 40 Atom-% möglich, ohne daß die magnetischen Daten des erfindungsge mäßen Magnetmaterials sich wesentlich änderten. Innerhalb der Legierungskomponente (Me1,Me2) sollen die Anteile von Me1 und Me2 so aufgeteilt sein, daß gilt: Für

[(Me1)₁₀₀_-z(Me2)_z] ist 5z40 (in Atom-%).

Somit liegen z. B. bei dem erfindungsgemäßen Magnetmaterial (Nd_δFe_εV_z · n_y die Grenzen für δ, ε und ζ bei

7 δ 19,
50 ε 90,
7 ζ 30 (jeweils in Atom-%).

Die Nitrierung zur magnetischen Härtung des erfindungsgemäßen Magnetmaterials braucht nicht unbedingt in einer N₂-Atmosphäre zu erfolgen, sondern man kann diese z. B. auch in einer NH₃-Atmosphäre vornehmen. Mit einer solchen Nitrierung lassen sich im allgemeinen bis etwa 4 N-Atome pro Einheitszelle der ThMn₁₂-Kristallstruktur einbauen. Zur magnetischen Härtung ist ein Einbau von mindestens 1,5 N-Atomen pro Einheitszelle er forderlich. Dies ist ohne weiteres bei den angegebenen Glüh temperaturen und bei einem hinreichenden N-Angebot der Atmo sphäre zu erreichen.

In entsprechender Weise läßt sich das erfindungsgemäße Magnet material auch durch einen Einbau von C-Atomen oder von H-Ato men magnetisch härten. Hierzu kann z. B. eine CH₄- oder C₂H₂-Atmosphäre bzw. eine H₂-Atmosphäre vorgesehen werden. Die da bei einzuhaltenden Temperaturverhältnisse entsprechen denen bei der vorbeschriebenen Nitrierung. Auch die Zahl der pro Einheitszelle einzubauenden C-Atome bzw. H-Atome liegt in der selben Größenordnung. Der Index y des erfindungsgemäßen Ma gnetmaterials (R(Me1,Me2)₁₂)·X_y ist somit durch die Anzahl der im Gitter im Hinblick auf den angestrebten magnetischen Här tungseffekt zu besetzenden Plätze mit den jeweiligen Atomen festgelegt.

Gemäß den vorstehend erläuterten Ausführungsbeispielen wurde davon ausgegangen, daß die Herstellung eines erfindungsgemäßen Magnetmaterials im wesentlichen als ein Prozeß von drei auf einanderfolgenden Prozeßstufen verläuft, nämlich daß

1. durch Mahlen der Ausgangspulver ein feines Legierungspulver erzeugt wird,
2. dieses Legierungspulver anschließend bei einer Temperatur T1 wärmebehandelt wird, um ein pulverförmiges Vorprodukt mit der ThMn₁₂-Kristallstruktur zu erhalten, und
3. dieses Vorprodukt schließlich einer Glühung bei einer Tem peratur T2 in einer N- oder C- oder H-haltigen Atmosphäre zur Überführung in den hartmagnetischen Zustand unterzogen wird.

Ebensogut ist es jedoch auch möglich, mindestens zwei dieser Prozeßstufen gleichzeitig durchzuführen. So können das Mahlen gemäß Stufe 1 und die Wärmebehandlung gemäß Stufe 2 miteinan der kombiniert werden. Auch lassen sich die Stufen 2 und 3 zu sammenlegen, so daß dann für die Temperatur T1 die Temperatur T2 zu wählen ist und die Wärmebehandlung gemäß Stufe 2 bereits in der besonderen Gasatmosphäre gemäß Stufe 3 vorgenommen wird.

Als weitere Alternative zur Durchführung des Herstellungsver fahrens besteht auch die Möglichkeit, alle drei Prozeßstufen gleichzeitig ablaufen zu lassen. Ein derartiger Prozeß kann als ein "Gaslegieren" angesehen werden.

Claims

1. Magnetmaterial mit ThMn₁₂-Kristallstruktur auf Basis des Stoffsystems R-Me1-Me2, wobei die Komponenten
R mindestens eines der Seltenen Erdmetalle Pr, Nd, Tb, Dy, Ho, Er,
Me1 mindestens eines der Elemente Fe, Co, Ni und
Me2 mindestens ein Element aus wenigstens einer der Nebengrup pen IVa, Va, VIa, VIIa des Periodensystems der Elemente sind, dadurch gekennzeichnet, daß in der ThMn₁₂-Kristallstruktur unter Aufweitung derselben Atome eines Elementes X gebunden sind, so daß das Material dann zu mindest weitgehend die Zusammensetzung (R(Me1,Me2)₁₂) · X_yauf weist, wobei X eines der Elemente N, C oder H ist.

2. Magnetmaterial nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Anteile der drei Komponen ten R, Me1 und Me2 innerhalb des Magnetmaterials von einer der ThMn₁₂-Kristallstruktur entsprechenden Zusammensetzung jeweils um höchstens ± 40 Atom-% abweichen.

3. Magnetmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anteile der Komponenten Me1 und Me2 innerhalb der Legierungskomponente (Me1, Me2) einer Zusammensetzung ((Me1)_100-2(Me2)_z) entspricht, für die gilt: 5 z 40 (in Atom-%).

4. Magnetmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß mindestens eine der drei Komponenten R, Me1 und Me2 aus zwei Elementen aus der jeweiligen Elementengruppe zusammengesetzt ist.

5. Verfahren zur Herstellung des Magnetmaterials nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn zeichnet, daß die drei Komponenten R, Me1 und Me2 des Magnetmaterials in Form mindestens eines Ausgangspulvers mittels eines mechanischen Legierens, mindestens einer Wärme behandlung und einer Anordnung in einer die X-Komponente ent haltenden Gasatmosphäre in das Magnetmaterial mit der ge wünschten (R(Me1,Me2)₁₂) · X_y-Phaseüberführt werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß elementare Pulver der Komponenten R, Me1 und Me2 als Ausgangspulver vorgesehen werden.

7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß Pulver einer Vorlegierung aus minde stens zwei der Komponenten R, Me1 und Me2 als Ausgangpulver vorgesehen werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, gekenn zeichnet durch dreistufigen Prozeßablauf, wobei nach dem mechanischen Legieren eine Wärmebehandlung bei einer Temperatur T1 zur Einstellung der ThMn₁₂-Kristallstruktur in einem pulverförmigen Vorprodukt vorgesehen wird und dieses Vorprodukt anschließend in der die X-Komponente enthaltenden Gasatmosphäre bei einer Temperatur T2 geglüht wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekenn zeichnet, daß zwei der Prozeßstufen gleichzeitig durchgeführt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, ge kennzeichnet durch einen einstufigen Pro zeßablauf, wobei für die einzige Wärmebehandlung eine Tempe ratur T2 vorgesehen wird.

11. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch ge kennzeichnet, daß für die Wärmebehandlung zur Einstellung der ThMn₁₂-Kristallstruktur eine Temperatur T1 vorgesehen wird, die zwischen 400°C und 1000°C, vorzugswei se zwischen 600°C und 750°C liegt.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß für die Glühung in der die X-Komponente enthaltenden Gasatmosphäre eine Tempe ratur T2 vorgesehen wird, die zwischen 300°C und 700°C, vor zugsweise zwischen 500°C und 600°C liegt.