DE4113587C2

DE4113587C2 - Beschleunigungsfühler

Info

Publication number: DE4113587C2
Application number: DE4113587A
Authority: DE
Inventors: Fumito Uemura; Satoshi Komurasaki
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-04-27
Filing date: 1991-04-25
Publication date: 1996-02-29
Anticipated expiration: 2011-04-26
Also published as: US5239869A; DE4113587A1; JPH049721A; KR930008302B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Beschleunigungsfühler und genauer einen Beschleunigungsfühler für die Erfassung des Klopfens bei einer Verbrennungskraftmaschine.

Ein herkömmlicher beispielsweise aus US-A-4,190,782 bekannter Beschleunigungsfühler für die Erfassung von Klopfen bei einer Verbrennungskraftmaschine umfaßt ein Gehäuse, das adaptiert ist, um starr an einer Maschine befestigt zu werden, und einen Beschleunigungswandler, der in dem Gehäuse angeordnet ist, zur Erfassung der Beschleunigung des Gehäuses, die dem Klopfen der Maschine entspricht. Das Gehäuse umfaßt einen Grundteil und eine Abdeckung, die fest zusammen verbunden sind. Die Wandleranordnung umfaßt eine Scheibenmembran und ein piezoelektrisches Element, das konzentrisch am Mittelpunkt der Membran angebracht ist, zur Erfassung deren Durchbiegung zur Erzeugung eines der Beschleunigung des Gehäuses entsprechenden Signals. Die Membran wird starr durch das Gehäuse an ihrem äußeren kontinuierlichen Umfangskantenbereich gehaltert. Typischerweise ist der Umfangskantenbereich fest zwischen den Kanten des Grundteils und der Abdeckung des Gehäuses eingeklemmt, die mechanisch mittels Verstemmen miteinander verbunden sind.

Die Empfindlichkeit der Beschleunigungswandleranordnung, die die Membran und das piezoelektrische Element umfaßt, ist am besten bei der Resonanzfrequenz f₀, die durch den Durchmesser und die Dicke der Membran und das piezoelektrische Element festgelegt ist, woraufhin das Ausgangssignal der Wandleranordnung bei seinem Maximum ist. Die Resonanzfrequenz f₀ ist eine wichtige Größe des Beschleunigungsfühlers und es ist erforderlich, daß die Abweichung der Resonanzfrequenz f₀ von einem Detektor zum anderen minimiert ist.

Ein anderer wichtiger Faktor der Veränderung der Resonanzfrequenz f₀ der Beschleunigungswandleranordnung ist die Genauigkeit der konzentrischen Positionierung des piezoelektrischen Elements in Bezug auf die Membran. Falls das piezoelektrische Element mit der Membran mit fehlausgerichteten Mittelpunkten verbunden wird, weicht die Resonanzfrequenz f₀ von einem Detektor zum anderen ab.

Bei dem oben beschriebenen herkömmlichen Beschleunigungsfühler wird das scheibenförmige piezoelektrische Element einfach auf die kreisförmige Membran geklebt, so daß sie recht einfach an einer exzentrischen Stelle angebracht werden, was die Abweichung der Resonanzfrequenz f₀ groß und häufig macht.

Die DE 38 17 354 A1 offenbart einen Beschleunigungssensor mit

- einem Gehäuse, das für eine Befestigung an einem Gegenstand ausgestaltet ist, dessen Beschleunigung zu erfassen ist, und
- einer Wandleranordnung, die zur Erfassung der Beschleunigung in dem Gehäuse angeordnet ist und die
- eine im wesentlichen scheibenförmige Membran die mit dem Gehäuse derart verbunden ist, daß die durch die auf das Gehäuse einwirkende Beschleunigung durchbiegbar ist, und
- ein im wesentlichen scheibenförmiges Element aufweist, das an der Membran derart angebracht ist, daß es entsprechend der Durchbiegung der Membran durchbiegbar ist, und das ein der Durchbiegung entsprechendes Signal erzeugt.

Auch bei diesem Beschleunigungssensor ist die Resonanzfrequenz als wichtige Größe des Beschleunigungsfühlers aufgrund der Bauart Schwankungen unterworfen, die die Einsetzbarkeit des Beschleunigungsfühlers, insbesondere aber dessen Meßgenauigkeit erheblich beeinflussen.

Davon ausgehend liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Beschleunigungsfühler zu schaffen, der hinsichtlich seiner Resonanzfrequenz geringeren Schwankungen unterliegt und dadurch eine erhöhte Meßgenauigkeit erreicht.

Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß eine Positioniereinrichtung an der Membran und dem piezoelektrischen Element vorgesehen ist, durch die das piezoelektrische Element mittig auf der Membran ausrichtbar ist.

Im Hinblick auf die obige Aufgabe umfaßt der Beschleunigungsfühler ein Gehäuse, das dafür vorgesehen ist, starr an einem Gegenstand, dessen Beschleunigung zu erfassen ist, wie etwa einer Verbrennungskraftmaschine angebracht zu werden, und eine Wandleranordnung, die in dem Gehäuse angeordnet ist, zur Erfassung der Beschleunigung des Gehäuses. Die Wandleranordnung umfaßt eine im wesentlichen scheibenförmige Membran mit einem im wesentlichen kreisförmigen Zentralbereich, flexibel in Reaktion auf die Beschleunigung des Gehäuses. Ein im wesentlichen scheibenförmiges piezoelektrisches Element ist an dem Zentralbereich der Membran befestigt, zur Erfassung der Durchbiegung des Zentralbereichs der Membran und Erzeugung eines die Beschleunigung an dem Gehäuse repräsentierenden Signals. Der Beschleunigungsfühler umfaßt ferner eine Positioniereinrichtung, die an der Membran und dem piezoelektrischen Element angeordnet ist, um zur Positionierung des piezoelektrischen Elements in Bezug auf den Zentralbereich der Membran verwendet zu werden.

Die Positioniereinrichtung kann einen Positioniervorsprung umfassen, der an der Membran angeordnet und mit dem piezoelektrischen Element in Eingriff bringbar ist. Der Vorsprung kann im Mittelpunkt der Membran angeordnet und mit einer zentralen Bohrung im piezoelektrischen Element in Eingriff bringbar sein oder kann in einem Ring angeordnet sein, um so mit einer äußeren Peripheriekante des piezoelektrischen Elements in Eingriff bringbar zu sein.

Alternativ kann die Positioniereinrichtung eine innere Oberfläche zentraler Bohrungen in der Membran und dem piezoelektrischen Element oder eine äußere Umfangskante des Zentralbereichs der Membran und eine äußere Kante des piezoelektrischen Elements umfassen.

Ferner umfaßt ein Verfahren zur Positionierung eines piezoelektrischen Elements in Bezug auf eine Membran eines Beschleunigungsfühlers die Schritte des Einsetzens eines Positionierstiftes in die zentrale Bohrung der Membran, so daß zumindest ein Ende des Stiftes aus der Membran hervorragt, und Plazieren des piezoelektrischen Elements auf der Membran, wobei das hervorstehende Ende des Stiftes in die zentrale Bohrung des piezoelektrischen Elements eingesetzt ist.

Alternativ können Positionierstifte um die äußere Kante des Zentralbereichs der Membran angeordnet werden, so daß zumindest ein Ende des Stifts aus der Membran hervorragt, und das piezoelektrische Element wird auf der Membran plaziert, wobei die äußere Kante des piezoelektrischen Elements in Kontakt mit dem hervorstehenden Ende der Positionierstifte gebracht wird.

Die vorliegende Erfindung geht aus der folgenden detaillierten Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die bei liegenden Zeichnungen genauer hervor, in denen zeigt:

Fig. 1 eine teilweise geschnittene Ansicht eines Beschleunigungsfühlers;

Fig. 2 eine ebene Ansicht, die die Beschleunigungswandleranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung, dargestellt in Fig. 1, darstellt;

Fig. 3 eine Seitenschnittansicht entlang der Linie III-III in Fig. 2;

Fig. 4 eine ebene Ansicht, ähnlich zu Fig. 2, die jedoch ein weiteres Ausführungsbeispiel der Beschleunigungsfühlanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

Fig. 5 eine Seitenschnittansicht entlang der Linie V-V in Fig. 4;

Fig. 6 eine ebene Ansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Membran des Beschleunigungswandlers gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 7 eine ebene Ansicht, ähnlich zu Fig. 2, die jedoch ein weiteres Ausführungsbeispiel der Beschleunigungswandleranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

Fig. 8 eine Seitenschnittansicht entlang der Linie VIII-VIII in Fig. 7;

Fig. 9 eine ebene Ansicht, ähnlich zu Fig. 2, die jedoch ein weiteres Ausführungsbeispiel der Beschleunigungswandleranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

Fig. 10 eine Schnittseitenansicht entlang der Linie X-X in Fig. 9;

Fig. 11 eine vergrößerte Ansicht des Positioniervorsprunges;

Fig. 12 ein Diagramm, das die Ausgangssignalcharakteristika in Bezug auf die Frequenz der Wandleranordnung dargestellt in den Fig. 9 bis 11, darstellt;

Fig. 13 eine ebene Ansicht der Beschleunigungswandleranordnung eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;

Fig. 14 eine Schnittseitenansicht entlang der Linie XIV-XIV in Fig. 13;

Fig. 15 eine vergrößerte ebene Ansicht des Vorsprungs der Membran, dargestellt in Fig. 13;

Fig. 16 eine Schnittseitenansicht des Vorsprungs, dargestellt in Fig. 15;

Fig. 17 ein Diagramm, das die Ausgangssignalcharakteristika in Bezug auf die Frequenz der Wandleranordnung, dargestellt in den Fig. 13 bis 16, darstellt;

Fig. 18 eine ebene Ansicht des Beschleunigungswandlers gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 19 eine Schnittseitenansicht entlang der Linie XIX-XIX in Fig. 18.

Fig. 1 zeigt einen Beschleunigungsfühler, der ein Gehäuse 1 umfaßt, das ein metallisches Grundteil 2 mit einer Schraube 3 und einem Flansch 4 und eine Plastikkappe 5 mit einem Flansch 6 aufweist. Das Grundteil 2 ist dafür angepaßt, um mittels der Schraube 3 an einem Gegenstand, dessen Beschleunigung zu erfassen ist, etwa einer Verbrennungskraftmaschine (nicht dargestellt) befestigt zu werden. Der Beschleunigungsfühler umfaßt ferner eine Beschleunigungswandleranordnung 7, die in dem Gehäuse 1 angeordnet ist, zur Erfassung der Beschleunigung der Verbrennungskraftmaschine (nicht dargestellt) und damit des Gehäuses 1. Die Wandleranordnung 7 ist auf einer ringförmigen ebenen Oberfläche plaziert, die durch eine Stufe 8 am Grundteil 2 innerhalb des Flansches 4 festgelegt ist. Die Kappe 5 ist fest an dem Grundteil 2 durch Verstemmen des Flansches 4 des Grundteils 2 über den Flansch 6 der Kappe 5 befestigt, wobei der Kantenbereich der Wandleranordnung 7 fest zwischen den Kappenflansch 6 über eine Federscheibe 6a und die Stufe 8 des Grundteils 2 zwischengelegt ist.

Die Wandleranordnung 7 umfaßt eine im wesentlichen scheibenförmige metallische Membran 11 und ein im wesentlichen scheibenförmiges piezoelektrisches Element 12, das an der Membran 11 angebracht ist, zur Erfassung der Durchbiegung der Membran 11 und zur Erzeugung eines elektrischen Signals, das die Beschleunigung des an der Maschine (nicht dargestellt) angebrachten Gehäuses 1 darstellt. Das Signal vom piezoelektrischen Element 12 wird über eine Zuleitung 13, die an dem piezoelektrischen Element 12 angeschlossen ist, und einen Ausgangsanschluß 14 weitergeleitet, der in die Plastikkappe 5 eingeschmolzen ist.

Wie am besten aus Fig. 2 und 3 hervorgeht, umfaßt die scheibenförmige Membran II der Beschleunigungswandleranordnung 7 einen im wesentlichen kreisförmigen Zentralbereich 15, der flexibel in Reaktion auf die Beschleunigung des Gehäuses 1 ist und ein daran befestigtes piezoelektrisches Element 12 aufweist. Die Membran 11 umfaßt ferner einen ringförmigen äußeren Bereich 16, der einstückig um den Zentralbereich 15 herum angeordnet ist und der nicht an dem piezoelektrischen Element 12 befestigt ist. Wie in Fig. 1 dargestellt, ist der äußere Bereich 15 der Membran 11 starr mit dem Gehäuse 1 durch Einklemmen zwischen dem Kappenflansch 4 über die Federscheibe 6a und der Grundteilstufe 8 verbunden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung besitzen die Membran 11 und das piezoelektrische Element 12 Positionieroberflächen 21 und 22, die beim konzentrischen Positionieren des piezoelektrischen Elements 12 in Bezug auf den Zentralbereich 15 der Membran 11 zu verwenden sind. Bei dem in Fig. 2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel wird die Positionieroberfläche 21 auf der Membran 11 durch eine äußere Oberfläche eines Vorsprungs 23 gebildet, der im Mittelpunkt der Membran 11 ausgebildet ist. Die positionierende Oberfläche 22 am piezoelektrischen Element 12 wird durch eine innere Oberfläche einer kreisförmigen Bohrung 24 festgelegt, die im Mittelpunkt des Elements 12 ausgebildet ist. Die Bohrung 24 ist so bemessen, daß sie den Vorsprung 23 ohne wesentliches Spiel zwischen den Positionieroberflächen 21 und 22 aufnimmt.

Während des Zusammenbaus der Beschleunigungswandleranordnung 7 wird ein Klebemittel (nicht dargestellt) auf entweder die Membran 11 oder das piezoelektrische Element 12 aufgebracht und die Membran 11 und das Element 12 werden zusammengefügt, wobei der Vorsprung 23 an der Membran 11 durch die Bohrung 24 des piezoelektrischen Elements 12 geführt und aufgenommen wird, wodurch das Element 12 präzise konzentrisch in Bezug auf die Membran 11 positioniert wird.

Die Fig. 4 und 5 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Wandleranordnung 25 des Beschleunigungsfühlers gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der eine Membran 26 eine zentrale Bohrung 27 mit einer inneren Oberfläche 28 aufweist, die eine Positionieroberfläche festlegt, und ein piezoelektrisches Element 29 eine zentrale Bohrung 30 mit einer inneren Oberfläche 21 aufweist, die eine weitere Positionieroberfläche festlegt. Diese zentralen Bohrungen 27 und 29 haben gleiche Durchmesser. Während des Zusammenbaus wird eine Lehre 32 mit einem Positionierstift 33, der einen etwas kleineren Durchmesser als die Bohrungen 27 und 30 besitzt, verwendet. Die Membran 26 wird auf der Lehre 32 plaziert, so daß der Positionierstift 33 in die zentrale Bohrung 27 der Membran 26 eingeführt ist und daß zumindest ein Ende des Positionierstiftes 33 aus der Membran 26 herausragt. Dann wird ebenfalls das piezoelektrische Element 29 auf der Membran 26 plaziert, wobei das herausragende Ende des Positionierstiftes 23 in die zentrale Bohrung 30 des piezoelektrischen Elements 29 eingeführt wird. Da die Membran 26 und das piezoelektrische Element 29 durch den gemeinsamen Positionierstift 33, der sich durch die zentralen Bohrungen 27 und 30 erstreckt, geführt werden, sind sie präzise konzentrisch bezogen aufeinander positioniert. Der Positionierstift 33 wird aus den Bohrungen 21 und 30 entfernt, nachdem das Klebmittel (nicht dargestellt) zwischen der Membran 26 und dem Element 29 ausgehärtet ist.

Die Fig. 6 bis 8 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Wandleranordnung 34 für den Einsatz in dem Beschleunigungsfühler gemäß der vorliegenden Erfindung. Die dargestellte Wandleranordnung 34 umfaßt eine zahnradförmige Membran 35, die einen im wesentlichen kreisförmigen Zentralbereich 36, auf dem das piezoelektrische Element 37 befestigt ist, und einen äußeren Bereich in Form einer Vielzahl von radialen Armen 38 besitzt, die jeweils ein äußeres Ende aufweisen, das starr mit dem Gehäuse 1 durch Einklemmen zwischen dem Kappenflansch 4 über die Federscheibe 6a und der Grundteilstufe 8 verbunden ist. Der Zentralbereich 36 besitzt einen Durchmesser im wesentlichen gleich dem Durchmesser des piezoelektrischen Elements 37, wie in Fig. 7 und 8 dargestellt. Daher kann eine genaue konzentrische Positionierung des piezoelektrischen Elements 37 auf dem Zentralbereich 36 der Membran 35 während des Aufklebens relativ einfach erzielt werden durch den Einsatz von Positionierstiften 39 (Fig. 7 und 8), die an einer Lehre angebracht sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Positionieroberflächen ein äußerer Umfang des kreisförmigen Zentralbereichs 36 und der äußere Umfang des piezoelektrischen Elements 37.

Die Fig. 9 bis 11 zeigen eine weitere Beschleunigungswandleranordnung 42, die in dem Beschleunigungsfühler gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann. Bei diesem Ausführungsbeispiel umfaßt die Wandleranordnung 42 eine Membran 43 mit vier Vorsprüngen 44, die radial innere Oberflächen 45 aufweisen, die entlang einer äußeren Umfangskante eines kreisförmigen Zentralbereichs 46 der Membran 43 angeordnet sind. Wenn ein piezoelektrisches Element 47 auf die Membran 43 aufgeklebt wird, wird eine äußere Umfangskante des piezoelektrischen Elements 47, die als Positionieroberfläche dient, geführt und durch die inneren Oberflächen 45 positioniert, die als Positionieroberflächen an der Membran 43 dienen. Während dieses Ausführungsbeispiel wirksam zur Positionierung des piezoelektrischen Elements 47 in Bezug auf die Membran 43 ist, sind die Frequenzcharakteristika des Ausgangssignals der Wandleranordnung 42 wie durch eine Kurve a mit einer Störung a₁ in Fig. 12 dargestellt, die angibt, wie das Ausgangssignal der Wandleranordnung 42 sich ändert, wenn sich die Frequenz ändert.

Die Fig. 13 bis 16 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem eine Membran 50 ähnlich der Zahnradförmigen Membran 35, dargestellt in den Fig. 6 bis 8, vier Positioniervorsprünge 51 am äußeren Umfang des Zentralbereichs 52 der Membran 50 oder um das piezoelektrische Element 53 herum besitzt. Die Positioniervorsprünge 51 besitzen die Form von Haken, die sich von der äußeren Kante des Zentralbereichs 52 der Membran 50 erstrecken und im wesentlichen senkrecht zu der Seite gebogen sind, auf der das piezoelektrische Element 53 angebracht ist. Der Wandler dieses Ausführungsbeispiels zeigt eine Frequenzcharakteristik eines Ausgangssignals, wie durch eine Kurve b in Fig. 17 dargestellt ist, die die Störungen b₁ und b₂ besitzt.

Die Fig. 18 und 19 zeigen einen weiteren Beschleunigungswandler 55, dessen Positioniervorsprung einen einzelnen ringförmigen Vorsprung 56 umfaßt, der entlang einer äußeren Peripheriekante eines piezoelektrischen Elements 57 angeordnet ist. Die Ausgangssignalfrequenzkurve dieses Wandlers 55 besitzt ebenfalls eine Störung.

Wie zuvor beschrieben wurde, umfaßt gemäß der vorliegenden Erfindung der Beschleunigungsfühler eine Positioniereinrichtung, die an der Membran und dem piezoelektrischen Element angeordnet ist, um für die Positionierung des piezoelektrischen Elements in Bezug auf den Zentralbereich der Membran verwendet zu werden. Die Positioniereinrichtung kann einen Positioniervorsprung umfassen, der an der Membran angeordnet und mit dem piezoelektrischen Element in Eingriff zu bringen ist. Der Vorsprung kann am Mittelpunkt der Membran angeordnet und mit einer zentralen Bohrung im piezoelektrischen Element in Eingriff bringbar sein oder kann in einem Ring angeordnet sein, um so mit einer äußeren Peripheriekante des piezoelektrischen Elements in Eingriff gebracht zu werden. Alternativ kann die Positioniereinrichtung innere Oberflächen zentraler Bohrungen in der Membran und dem piezoelektrischen Element oder eine äußere Umfangskante des zentralen Bereiches der Membran und eine äußere Kante des piezoelektrischen Elements umfassen. Dementsprechend ist es bei dem Beschleunigungsfühler gemäß der vorliegenden Erfindung einfach, die Membran und das piezoelektrische Element genau auszurichten und der Beschleunigungsfühler besitzt einen einfachen Aufbau.

Claims

1. Beschleunigungsfühler mit

- einem Gehäuse (1), das für eine Befestigung an einem Gegenstand ausgestaltet ist, dessen Beschleunigung zu erfassen ist, und
- einer Wandleranordnung (7), die zur Erfassung der Beschleunigung in dem Gehäuse angeordnet ist und folgendes aufweist:
- eine im wesentlichen scheibenförmige Membran (11; 26; 35; 43), die mit dem Gehäuse derart verbunden ist, daß sie durch die auf das Gehäuse einwirkende Beschleunigung durchbiegbar ist, und
- ein im wesentlichen scheibenförmiges piezoelektrisches Element (12; 29; 37; 46), das an der Membran derart angebracht ist, daß es entsprechend der Durchbiegung der Membran durchbiegbar ist, und das ein der Durchbiegung entsprechendem Signal erzeugt,

dadurch gekennzeichnet, daß

- eine Positioniereinrichtung (23, 24; 28, 31; 45, 47) an der Membran (11; 26; 35; 43) und dem piezoelektrischen Element (12; 29; 37; 46) vorgesehen ist, durch die das piezoelektrische Element mittig auf der Membran ausrichtbar.

2. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinrichtung einen Vorsprung (23; 38; 51; 56) umfaßt, der an der Membran (11; 26; 35; 43) angeordnet ist und mit dem piezoelektrischen Element (12; 29; 37; 46) in Eingriff bringbar ist.

3. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (23) im Mittelpunkt der Membran (II) angeordnet ist und das piezoelektrische Element (12) eine zentrale Bohrung (24) aufweist, die mit dem Vorsprung in Eingriff bringbar ist.

4. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (38; 51; 56) mit einer äußeren Umfangskante des piezoelektrischen Elements (37; 53; 57) in Eingriff bringbar ist.

5. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung eine Vielzahl von Vorsprüngen (38; 51) umfaßt, die im zusammengebauten Zustand entlang einer äußeren Umfangskante des piezoelektrischen Elements (37; 53) angeordnet sind.

6. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung einen einzelnen ringförmigen Vorsprung (56) umfaßt, der im zusammengebauten Zustand entlang einer äußeren Umfangskante des piezoelektrischen Elements (57) angeordnet ist.

7. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinrichtung eine innere Oberfläche (28) einer zentralen Bohrung (27), die im Mittelpunkt der Membran (26) angeordnet ist, und eine innere Oberfläche (21) einer zentralen Bohrung (30) umfaßt, die im Mittelpunkt des piezoelektrischen Elements (29) angeordnet ist.

8. Beschleunigungsfühler nach Anspruch 1, 2, 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinrichtung eine äußere Umfangskante des Zentralbereichs (36) der Membran (35) und eine äußere Umfangskante (38) des piezoelektrischen Elements (37) umfaßt.

9. Verfahren zur Positionierung eines piezoelektrischen Elements in bezug auf eine Membran eines Beschleunigungsfühlers nach Anspruch 7 mit den Schritten:
Einführen eines Positionierstiftes (33) in die zentrale Bohrung (27) der Membran (26), so daß zumindest ein Ende des Stiftes aus der Membran herausragt; und
Plazieren des piezoelektrischen Elements (29) auf der Membran, wobei das herausragende Ende des Stiftes in die zentrale Bohrung (30) des piezoelektrischen Elements eingeführt wird.

10. Verfahren zur Positionierung eines piezoelektrischen Elements in bezug auf eine Membran eines Beschleunigungsfühlers nach Anspruch 8 mit den Schritten:
Plazieren von Positionierstiften (39) um die Umfangskante des Zentralbereichs (36) der Membran herum, so daß zumindest ein Ende der Stifte aus der Membran herausragt; und
Plazieren des piezoelektrischen Elements (37) auf der Membran, wobei die äußere Umfangskante des piezoelektrischen Elements in Kontakt mit den herausragenden Enden der Positionierstifte gebracht wird.