DE4109684A1

DE4109684A1 - CONTACTING DEVICE FOR TEST PURPOSES

Info

Publication number: DE4109684A1
Application number: DE4109684A
Authority: DE
Inventors: Manfred Prokopp
Original assignee: atg electronic GmbH
Current assignee: ATG Luther and Maelzer GmbH
Priority date: 1990-07-25
Filing date: 1991-03-23
Publication date: 1992-01-30
Anticipated expiration: 2011-03-24
Also published as: DE4109684C2; DE59106652D1

Description

Die Erfindung betrifft eine Kontaktierungsvorrich tung, insbesondere für Prüfzwecke, mit mehreren in einem Prüffeld entlang von zwei quer, insbesondere senkrecht, zueinander verlaufenden Koordinaten ver fahrbaren Positioniergliedern, die je einen auf eine gewünschte Kontaktstelle eines Prüflings auf setzbaren Kontaktfinger aufweisen, wobei zwei Kon taktfinger ein Sondenpaar bilden, das Bestandteil eines Prüfstromkreises ist.The invention relates to a contacting device tion, in particular for test purposes, with several in a test field along two across, in particular vertical, mutually ver coordinates mobile positioning elements, each one on a desired contact point of a test object have settable contact fingers, two con tact fingers form a pair of probes, the component of a test circuit.

Es ist bekannt, zum Beispiel als kaschierte Leiter platten ausgebildete Prüflinge insbesondere vor ih rer Bestückung mit elektronischen Bauteilen einer Prüfung auf Kurzschluß, Isolationswiderstand und/oder Leiterbahnwiderstand zu unterziehen. Hierzu werden -insbesondere bei Großserien- soge nannten Adapter eingesetzt, die eine Vielzahl von Federkontaktstiften aufweisen, welche die Verbin dung eines Prüffeldkontaktrasters zu Kontaktstellen des Prüflings herstellen, welche außerhalb dieses Rasters liegen. Da die Entwicklung und Herstellung derartiger Adapter hohe Kosten mit sich bringt, werden bei Kleinserien und zum Beispiel für den Test von Prototypen Kontaktierungsvorrichtungen eingesetzt, die verfahrbare Sondenpaare aufweisen. Jede Sonde besteht aus einem entlang zweier senk recht aufeinander stehender Koordinaten verfahrba ren Positionierglied, das einen Kontaktfinger auf weist. Hieraus resultiert auch die Benennung "Fin gertester" für eine derartige Vorrichtung. Dieser Kontaktfinger wird nach Anfahren der gewünschten Position abgesenkt, so daß er auf die entsprechende Kontaktstelle des Prüflings aufsetzt. Die beiden, dem Sondenpaar zugeordneten Kontaktfinger sind Be standteil eines Prüfstromkreises, der zum Beispiel eine Hochvolt- und/oder Hochstrommessung oder aber auch eine Impedanzmessung ermöglicht. Die für den Prüfvorgang von den Kontaktfingern anzufahrenden Positionen werden von einem Rechner vorgegeben, in dem das Prüfprogramm gespeichert ist.It is known, for example, as a laminated conductor flat trained test specimens, especially in front of them Equipped with electronic components Short circuit test, insulation resistance and / or to subject conductor resistance. For this - especially with large series - so-called called adapters used, which a variety of Have spring contact pins, which the Verbin of a test field contact grid to contact points of the device under test, which outside of this Grid. Because the development and manufacture such an adapter entails high costs, are used in small series and for example for the Testing prototype contacting devices used that have movable probe pairs. Each probe consists of one along two sinks Coordinates of quite coherent coordinates Ren positioning member that a contact finger on points. The name "Fin gertester "for such a device. This Contact finger is the desired after moving off Lowered position so that it is on the appropriate Contact point of the test piece. The two, the contact fingers assigned to the pair of probes are Be part of a test circuit, for example a high-voltage and / or high-current measurement or also allows an impedance measurement. The one for the Test process to be started by the contact fingers Positions are specified by a computer, in which the test program is saved.

Da selbst relativ einfach aufgebaute Prüflinge, zum Beispiel mit nur einer relativ kleinen Anzahl von Leiterbahnen versehene Leiterplatten, eine nicht unerhebliche Anzahl von Prüfschritten und damit Po sitionsveränderungen der Kontaktfinger erfordert, ergeben sich sehr lange Prüfzeiten. Relativ kurze Prüfzeiten lassen sich mit den eingangs erwähnten Adaptern erzielen, da die einzelnen Feder kontaktstifte dieser Adapter auf eine Vielzahl von Kontaktstellen des Prüflings gleichzeitig aufset zen, so daß - für die Prüfung - nur noch zwischen den einzelnen Federkontaktstiften eine Messung durch mittels Prüfprogramm vorgenommener Umschaltung er folgen muß. Derartige Adapter sind jedoch - wie ein gangs schon erwähnt - extrem teuer und dahin nicht für jeden Anwendungsfall wirtschaftlich geeignet.Because even relatively simple test objects, for Example with only a relatively small number of Printed circuit boards with printed circuit boards, one not insignificant number of test steps and thus Po changes in the position of the contact fingers required, there are very long test times. Relatively short Test times can be with the mentioned Achieve adapters because the single spring pins of this adapter to a variety of Place the test item's contact points at the same time zen, so that - for the test - only between the individual spring contact pins changeover made by means of a test program must follow. However, such adapters are - like a already mentioned - extremely expensive and not there economically suitable for every application.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Kontaktierungsvorrichtung der eingangs genann ten Art zu schaffen, die lange Prüfzeiten vermei det. Überdies soll eine hohe Meßsicherheit gewähr leistet sein.The invention is therefore based on the object a contacting device of the beginning to create the kind that avoids long test times det. In addition, a high level of measurement reliability is to be ensured accomplishes.

Dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch mehrere Sondenpaare, deren Positionierglieder unab hängig voneinander entlang der Koordinaten verfahr bar sind. Mithin ist der Gegenstand der Erfindung nicht auf ein Sondenpaar beschränkt. Durch die er findungsgemäße Vielzahl der Sondenpaare können gleichzeitig mehrere Prüfstromkreise ausgebildet werden, so daß - trotz gleichbleibender Anzahl der Prüfschritte - die Prüfzeit erheblich verkürzt wird. Da die Positionierglieder der Sondenpaare unabhan gig voneinander verfahrbar sind, können stets der art geeignete Kontaktstellen des Prüflings angefah ren werden, daß sich insgesamt ein optimierter Meßablauf einstellt. Grundsätzlich ist es möglich, die mit Kontaktfinger versehenen Positionierglieder mit konventionellen Antriebseinrichtungen zu ver fahren. Hier sei beispielsweise ein mit Kugelum laufspindel versehener Antrieb genannt, das heißt, das einzelne Positionierglied wird linear geführt und entlang der Führung mittels der Kugelumlauf spindel verlagert. Vorzugsweise kommen dabei Regel einrichtungen zum Einsatz. Die Ist-Position des Po sitionierglieds wird insbesondere mit Hilfe eines Heidenhain-Linear-Glasmaßstabs ermittelt und -ent sprechend vom Rechner vorgegebener Soll-Position korrigiert, so daß sich keine Regeldifferenz ein stellt.According to the invention, this object is achieved by several pairs of probes, the positioning elements of which move dependent on each other along the coordinates are cash. The subject of the invention is therefore not limited to a pair of probes. Through which he variety of probe pairs according to the invention can Several test circuits are formed at the same time be so that - despite a constant number of Test steps - the test time is significantly reduced. Since the positioning members of the probe pairs are independent are movable from each other, can always suitable contact points of the test object were approached ren that an overall optimized Sets measurement sequence. Basically, it is possible the positioning elements provided with contact fingers ver with conventional drive devices drive. Here is one with a ball, for example called drive spindle provided, that is, the individual positioning element is guided linearly and along the guide by means of the ball recirculation spindle displaced. Rule is preferred facilities for use. The actual position of the bottom Sitioning member is particularly with the help of a Heidenhain linear glass scale determined and ent speaking of the target position specified by the computer corrected so that there is no control difference poses.

Insbesondere ist jedoch vorgesehen, daß die Posi tionierglieder als Läufer eines Linearmotors mit flächenhaftem, das Prüffeld in beiden Koordinaten übergreifendem Ständer ausgebildet sind. Mithin handelt es sich hierbei um einen flächenhaft wir kenden Linearmotor, bei dem der Läufer sowohl in x- als auch in y-Richtung eines kartesischen Koordina tensystems verfahrbar ist. Diese als Linearmotor ausgebildete Antriebseinrichtung hat den Vorteil eines äußerst geringen Verschleißes bei höchster Positioniergenauigkeit. Den einzelnen Positionier gliedern eines derartigen flächenhaften Linearmo tors können einzelne Bereiche des Prüffelds zuge ordnet sein, in denen sie sich bewegen. Es läßt sich dann jedoch nicht mit jedem Positionierglied jede beliebige Position auf dem Prüffeld anfahren. Dies ist jedoch bei einer geeigneten Prüfprogramm steuerung auch nicht erforderlich. Alternativ ist es jedoch auch möglich, sämtliche Positionierglie der über die gesamte Ausdehnung des Prüffelds ver fahren zu können, wobei - zu ihrer unabhängigen An steuerung - ein geeigneter Ansteuercode verwendet wird. Diese Ausgestaltung ist - gegenüber dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel - noch universel ler.In particular, however, it is provided that the Posi tioning elements as a rotor of a linear motor area, the test field in both coordinates overlapping stand are formed. Hence it is an areal we linear motor, in which the rotor both in x- as well as in the y direction of a Cartesian coordina tensystems is movable. This as a linear motor trained drive device has the advantage extremely low wear at the highest Positioning accuracy. The individual positioning structure such a flat linear mo Individual areas of the test field can be closed order in which they move. It leaves but then not with every positioning element Approach any position on the test field. However, this is with a suitable test program control also not required. Alternative is however, it is also possible to do all positioning which ver over the entire extent of the test field to drive, whereby - to their independent approach control - a suitable control code is used becomes. This configuration is - compared to the previous one described embodiment - still universal ler.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin dung sind mindestens zwei das Prüffeld überspan nende Traversen vorgesehen, wobei jeweils minde stens zwei Positionierglieder an jeder Traverse an geordnet sind, sowie die Positionierglieder entlang jeder Traverse in Richtung der einen Koordinate und die Traverse quer dazu entlang der anderen Koordi nate verfahrbar sind. Mithin liegt eine Anordnung vor, die mit einer aus der Werkzeugmaschinentechnik bekannten Kreuzschlittenausbildung vergleichbar ist. Erfindungsgemäß besteht jedoch die Besonder heit, daß jeder Traverse mindestens zwei Positio nierglieder zugeordnet sind, welche unabhängig von einander angesteuert werden können. Die jeweils ei ner Traverse zugehörigen Positionierglieder lassen sich somit unabhängig voneinander entlang einer Ko ordinate (Längserstreckung der Traverse) verfahren. Quer zu dieser Bewegungsrichtung ist die Traverse verlagerbar, so daß jeder Punkt des Prüffelds an fahrbar ist. Mithin wird - vom Prüfprogramm - die Traverse bei jeder Positionierung in eine vorgege bene Position gefahren, so daß für diesen Prüf schritt die eine der Koordinaten festliegt. Die beiden oder mehreren Positionierglieder lassen sich gleichzeitig - unabhängig voneinander - in die ge wünschten Positionen steuern, um ihre Kontaktfinger auf die Kontaktstellen des Prüflings zur Ausbildung der Prüfstromkreise aufzusetzen. Da die Kontakt stellen der Prüflinge - insbesondere wenn es sich um Leiterplatten handelt - von Haus aus oftmals in ei nem Koordinatenraster angeordnet sind, ist es kein Nachteil, daß sich die beiden Positionierglieder zwar entlang einer Koordinate unabhängig voneinan der positionieren lassen, jedoch im Hinblick auf die andere Koordinate die gleiche Position einneh men. Stets lassen sich durch ein entsprechendes Prüfprogramm daher bei jedem Prüfschritt mehrere Prüfstromkreise gleichzeitig ausbilden.According to a preferred embodiment of the inven At least two are spanned the test field traverses are provided, with at least at least two positioning links on each crossbar are arranged, as well as along the positioning members each traverse in the direction of a coordinate and the traverse across it along the other Koordi nate are movable. So there is an order before that with one from machine tool technology known cross slide training comparable is. According to the invention, however, there is something special that each traverse has at least two positions are assigned to members which are independent of can be controlled each other. Each egg Leave the positioning members belonging to the traverse thus independently along a Ko ordinate (longitudinal extension of the traverse). The traverse is transverse to this direction of movement relocatable so that every point of the test field is mobile. Therefore - from the test program - the Traverse with each positioning in a given bene position so that for this test step one of the coordinates is fixed. The two or more positioning elements can be at the same time - independently of one another - into the ge desired positions to control their contact fingers to the contact points of the candidate for training of the test circuits. Because the contact place the examinee - especially when it comes to Printed circuit boards act - often inherently in an egg nem coordinate grid, it is not Disadvantage that the two positioning members along a coordinate independently of each other the position, but with regard to the other coordinate is in the same position men. You can always use an appropriate one Test program therefore several for each test step Form test circuits at the same time.

Bevorzugt läßt sich jedes Positionierglied und/oder jede Traverse mittels einer separaten Antriebsein richtung verfahren. Dabei können die - zuvor bereits erwähnten - konventionellen Antriebseinrichtungen verwendet werden. Diese sind vorzugsweise als Ser vomotoren ausgebildet und mit den Kugelumlaufspin deln versehen. Insbesondere ist es jedoch auch mög lich als Antriebseinrichtungen Linearmotoren zu verwenden. Diese arbeiten entlang einer Koordinate, das heißt, der Traverse ist für ihre Verlagerung ein Linearmotor und den an der Taverse angeordneten Positioniergliedern ein oder mehrere andere Linear motoren zugeordnet. Auch hier ist es möglich, min destens zwei Positionierglieder über einen Linear motor anzusteuern, sofern diese durch eine ge eignete Steuerungskodierung getrennt voneinander betätigbar sind.Preferably, each positioning member and / or each traverse by means of a separate drive direction. You can do this - previously mentioned - conventional drive devices be used. These are preferably Ser trained by motors and with the ball orbital spin provided. In particular, however, it is also possible Lich as drive devices to linear motors use. These work along a coordinate, that is, the traverse is for their displacement a linear motor and the one arranged on the traverse Positioning elements one or more other linear motors assigned. It is also possible here to min at least two positioning elements via a linear to control the motor, provided that this is done by a ge suitable control coding separately can be operated.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Positionier glieder derart angeordnet sind, daß mit ihren Kon taktfingern die Vorder- und Rückseite des Prüflings kontaktierbar ist. Dieses bringt insbesondere bei beidseitig kaschierten Leiterplatten den Vorteil, daß gleichzeitig eine Vielzahl von Prüfungen statt finden kann, ohne daß sich die Positionierglieder gegenseitig behindern. Ferner ist durch die beid seitige Kontaktierung sichergestellt, daß durch die Kontaktierungskräfte kein Durchbiegen der Leiter platten auftritt, da diese ja dann von beiden Sei ten wirken.It is particularly advantageous if the positioning members are arranged so that with their Kon the front and back of the device under test is contactable. This particularly teaches PCBs laminated on both sides have the advantage that a variety of exams take place simultaneously can find without the positioning members hinder each other. Furthermore, the two sided contacting ensured that by the Contacting forces no bending of the conductor flat occurs, since this then of both be act.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, daß zur gleichzeitigen Prüfung von Vorder- und Rückseite des Prüflings diesem jeweils mindestens zwei Traversen zugeordnet sind. Insofern können die jeder Seite des Prüflings zugeordneten beiden Tra versen jeweils zwei Prüfstromkreise auf jeder Seite ausbilden, sofern jede Traverse zwei Kontaktfinger aufweist. Bei einer größeren Anzahl von Traversen bzw. von den Traversen zugeordneten Kontaktfingern, läßt sich die Anzahl der Prüfstromkreise pro Prüf schritt noch erhöhen. Auch ist es insbesondere bei durchkontaktierten Leiterplatten möglich, daß zwi schen Kontaktfingern unterschiedlicher Seiten des Prüflings Prüfstromkreise gebildet werden.According to a further embodiment, that for simultaneous testing of front and At least the back of the device under test two trusses are assigned. As such, they can two tra. assigned to each side of the test object There are two test circuits on each side train, provided each traverse has two contact fingers having. With a larger number of trusses or from the contact fingers assigned to the trusses, can the number of test circuits per test increase step. It is also particularly at plated-through circuit boards possible that between contact fingers on different sides of the DUT test circuits are formed.

Besonders bevorzugt ist es, wenn die Positionier glieder entlang vertikaler Ebenen verfahrbar sind. Dieses unterstellt, daß der Prüfling senkrecht an geordnet wird. Ein als Leiterplatte ausgebildeter Prüfling wird somit in vertikaler Position angeord net und dann - insbesondere beidseitig - mit den Kon taktfingern beaufschlagt. Diese senkrechte Anord nung des Prüflings hat neben der besonders günsti gen Zugänglichkeit ferner den Vorteil, daß die Schwerkraft keine Verformung der oft relativ dünn wandigen Leiterplatten bewirken kann. Insofern er gibt sich eine sehr eng tolerierte Positionier genauigkeit und Kontaktfindung, was die Meßsicher heit erheblich erhöht. It is particularly preferred if the positioning are movable along vertical planes. This assumes that the test object is perpendicular is ordered. A trained as a printed circuit board The device under test is thus arranged in a vertical position net and then - especially on both sides - with the Kon tact fingers. This vertical arrangement In addition to the particularly favorable test sample gene accessibility also the advantage that the Gravity no deformation of the often relatively thin walled circuit boards can cause. In so far he gives itself a very tightly tolerated positioning Accuracy and contact making what the measurement is sure of significantly increased.

Insbesondere ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die die Antriebseinrichtungen derart ansteuert, daß die Positionierglieder und/oder Sondenpaare kolli sionsfrei möglichst kurze Wege von Prüfschritt zu Prüfschritt zurücklegen.In particular, a control device is provided which controls the drive devices in such a way that the positioning members and / or probe pairs colli The shortest possible distances from test step to zero Complete the test step.

Ferner ist es besonders vorteilhaft, wenn die Steuereinrichtung mehr als zwei Positionierglieder gleichzeitig derart ansteuert, daß bei einer Posi tionierung alle gewünschten Kombinationen von Prüf stromkreisen zwischen den zugehörigen Kontakt fingern gebildet und ausgewertet werden. Hierdurch ist es möglich, daß -ohne eine Neupositionierung vorzunehmen- durch die Vielzahl der auszubildenden Prüfstromkreiskombinationen eine optimale Prüfung und in sofern eine extrem hohe Prüfsicherheit er zielbar ist. Durch die Auswahl geeigneter Prüf stromkreise lassen sich Rückschlüsse auf den Prüf lingszustand erzielen, ohne daß es einer Messung bedarf. Diese sogenannte Erstellung von kombinato rischen Prüfergebnissen reduziert die Anzahl der Prüf- und Positionierschritte und damit die Prüf zeit.It is also particularly advantageous if the Control device more than two positioning elements simultaneously controlled in such a way that at a posi all desired combinations of tests circuits between the associated contact fingers are formed and evaluated. Hereby it is possible that - without repositioning due to the large number of trainees Test circuit combinations an optimal test and in so far as an extremely high level of test reliability is aimable. By choosing suitable test circuits can draw conclusions on the test Achieve the state of being without making a measurement requirement. This so-called creation of Kombinato test results reduce the number of Test and positioning steps and thus the test time.

Vorzugsweise ist vorgesehen, daß das Prüffeld in virtuelle Bereiche unterteilt ist, wobei jedem Be reich mindestens ein Sondenpaar zugeordnet ist. Diese Segmentierung erlaubt es, die jedem Bereich (Segment) zugeordneten Kontaktfinger optimal zu nutzen. Vorzugsweise werden die Bereiche des Prüf felds unterschiedlich groß ausgewählt. Dabei ist die Größe des jeweiligen Bereichs umgekehrt propor tional der Anzahl der zu kontaktierenden Kontakt stellen. Dies hat zur Folge, daß mit relativ vielen Kontaktstellen versehene Bereiche des Prüffelds aufgrund der Unterteilung in entsprechend viele Be reiche gegenüber mit weniger Kontaktstellen verse henen Bereichen des Prüffelds, wobei die zuletzt genannten Bereiche entsprechend größer gewählt sind, in etwa gleicher Prüfzeit geprüft werden. Da mit läßt sich die Prüfung des gesamten Prüflings in optimal kurzer Zeit durchführen. Ferner kann jedem Bereich eine spezielle Prüfsoftware zugeordnet sein, so daß die Koordination der Bewegungen der Kontaktfinger bereichsweise optimal gesteuert wird.It is preferably provided that the test field in virtual areas is divided, each Be at least one pair of probes is richly assigned. This segmentation allows any area (Segment) optimally assigned contact fingers use. Preferably the areas of the test fields of different sizes selected. It is the size of the respective area is inversely proportional tional the number of contacts to be contacted put. This means that with a relatively large number Areas of the test field provided with contact points due to the division into a corresponding number of Be rich verse with fewer contact points areas of the test field, the most recent mentioned areas chosen accordingly larger are checked in approximately the same test time. There can be used to test the entire test object in perform optimally short time. Furthermore, everyone Area assigned a special test software be so that the coordination of the movements of the Contact fingers is optimally controlled in some areas.

Nach einem besonderen Ausführungsbeispiel der Er findung ist vorgesehen, daß die Bereiche als über die Breite beziehungsweise Länge des Prüffelds ver laufende Streifen ausgebildet sind. Die Grenzen der Bereiche, insbesondere der Streifen, können auf Konstanten X- beziehungsweise Y-Koordinaten liegen.According to a special embodiment of the Er Invention is envisaged that the areas as above the width or length of the test field ver running strips are formed. The limits of Areas, especially the stripes, can be on Constants are X and Y coordinates.

Vorzugsweise können sich benachbarte Bereiche mit ihren Randzonen überlappen. In diesen Überlappungs bereichen stehen für den Fall, daß jedem Bereich ein Sondenpaar zugeordnet ist, vier Kontaktfinger gleichzeitig zur Verfügung. Vorzugsweise ist dann eine Kollisionssoftware vorgesehen, die eine Kolli sion der Kontaktfinger im Überlappungsbereich ver hindert. Eine entsprechende Kollisionssoftware ist selbstverständlich auch jedem Bereich als solchen zugeordnet, um die zugehörigen Kontaktfinger ohne Kollision zu verfahren. Adjacent areas can preferably also be used overlap their peripheral zones. In this overlap areas stand in the event that each area a pair of probes is assigned to four contact fingers available at the same time. Then preferably collision software is provided that a collision sion of the contact fingers in the overlap area prevents. Appropriate collision software is of course every area as such assigned to the associated contact fingers without Collision procedure.

Eine optimale Positionierung der Kontaktfinger ist möglich, wenn die Positionierglieder Schwenkarme aufweisen, an denen die Kontaktfinger angeordnet sind. Die Positionierglieder lassen sich in Rich tung der X- und Y-Koordinate verfahren. Relativ zu den Positioniergliedern kann der jeweilige Schwenk arm verschwenkt werden, wobei der Schwenkwinkel vorzugsweise 360°, also ein Vollkreis, beträgt. Der Schwenkarm jedes Positionierglieds ist vorzugsweise derart angeordnet, daß er in einer parallel zur Ebene des Prüffelds liegenden Ebene verschwenkbar ist. Eine Verschwenkung des Schwenkarms hat zur Folge, daß der am freien Ende des Schwenkarms ange ordnete Kontaktfinger sowohl eine Bewegung entlang der X-Koordinate als auch eine Bewegung entlang der Y-Koordinate durchführt. Durch eine entsprechende Abstimmung zwischen den Steuerdaten für das Posi tionierglied und für den zugehörigen Schwenkarm kann innerhalb kürzester Zeit und auf sehr kurzem Wege jede zu kontaktierende Kontaktstelle angefah ren werden. Bei engen Abständen lassen sich stets günstige Schwenkwinkel bestimmen. Dies gilt sowohl innerhalb der Bereiche (Segmente) als auch in über lappenden Randzonen oder Grenz- beziehungsweise Eckbereichen.An optimal positioning of the contact fingers is possible if the positioning links swivel arms have on which the contact fingers are arranged are. The positioning elements can be set in Rich traverse of the X and Y coordinates. In relation to the positioning members can swivel arm are pivoted, the pivot angle preferably 360 °, ie a full circle. The Swivel arm of each positioning member is preferred arranged so that it is in a parallel to the Level of the test field is pivotable level is. A pivoting of the swivel arm has the Consequence that the at the free end of the swivel arm arranged contact fingers both a movement along the X coordinate as well as a movement along the Y coordinate is carried out. By an appropriate Coordination between the tax data for the Posi tioning member and for the associated swivel arm can be done in a very short time and in a very short time Approached each contact point to be contacted will be. With narrow distances you can always determine favorable swivel angle. This applies to both within the areas (segments) as well as over overlapping edge zones or border respectively Corner areas.

Um jeden Punkt auf einfache Weise innerhalb eines Bereichs beziehungsweise Streifens anfahren zu kön nen, wird vorzugsweise die Breite des Bereichs be ziehungsweise Streifens kleiner als die Reichweite des an dem zugehörigen Schwenkarm angeordneten Kon taktfinger gewählt. Dies soll für ein stillstehen des Positionierglied gelten.To each point in a simple manner within a Area or strip NEN, the width of the area is preferably be or strip less than the range the Kon arranged on the associated swivel arm tact finger selected. This is supposed to stand still for one of the positioning element apply.

Die Zeichnung veranschaulicht die Erfindung anhand von zwei Ausführungsbeispielen. Und zwar zeigt:The drawing illustrates the invention with reference to of two embodiments. That shows:

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine Kontaktierungsvorrichtung, Fig. 1 is a schematic plan view of a contacting device,

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht einer Kontaktierungsvorrichtung, Fig. 2 is a schematic sectional view of a contacting device,

Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf ein wei teres Ausführungsbeispiel einer Kontak tierungsvorrichtung, Fig. 3 is a schematic plan view tierungsvorrichtung a white teres embodiment of a Kontakt,

Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf ein wei teres Ausführungsbeispiel einer Kontak tierungsvorrichtung und Fig. 4 is a schematic plan view of a white teres embodiment of a contact device and

Fig. 5 ein Beispiel für eine optimale Verfahr barkeit der Kontaktfinger einer Kontak tierungsvorrichtung gemäß Fig. 4. Fig. 5 shows an example for an optimal traversing bility of the contact fingers a Kontakt tierungsvorrichtung of FIG. 4.

Die Fig. 1 zeigt eine schematische Ansicht einer Kontaktierungsvorrichtung 1, wobei nur die für die Erfindung wesentlichen Komponenten dargestellt sind. Insofern sind ebenfalls für die Funktion die ser Vorrichtung erforderliche, jedoch für die Er findung unwesentliche Teile weggelassen. Fig. 1 shows a schematic view of a contacting device 1, wherein only the essential components for the invention are shown. In this respect, necessary for the function of this water device, but for the invention he insignificant parts are omitted.

Die Kontaktierungsvorrichtung 1 weist ein Prüffeld 2 auf, das der Aufnahme eines Prüflings 3 dient (Fig. 2). Bei dem Prüfling 3 handelt es sich vor zugsweise um eine mit Leiterbahnen versehene Lei terplatte 4. Diese Leiterplatte 4 ist mit einer Vielzahl von Bohrungen zur Aufnahme von elektroni schen Bauteilen versehen (nicht dargestellt). Vor dem Bestücken der Leiterplatte 4 wird diese im Prüffeld 2 einer Isolations-, Kurzschluß- und/oder Widerstandsprüfung unterzogen, so daß nur die Lei terplatten 4, die einwandfreie Funktionen aufwei sen, in einem weiteren Bearbeitungsschritt mit Bau elementen bestückt werden. Die defekten Leiterplat ten 4 werden ausgesondert und gegebenenfalls einer Fehlerbehebung unterzogen.The contacting device 1 has a test field 2 which serves to receive a test object 3 ( FIG. 2). The device under test 3 is preferably a circuit board provided with conductor tracks 4 . This circuit board 4 is provided with a plurality of holes for receiving electronic components (not shown). Before the circuit board 4 is populated, it is subjected to an insulation, short-circuit and / or resistance test in the test field 2 , so that only the circuit boards 4 which have perfect functions are equipped with construction elements in a further processing step. The defective printed circuit boards 4 are sorted out and, if necessary, corrected.

Um die genannte elektrische Prüfung durchführen zu können, weist die Kontaktierungsvorrichtung 1 ent lang von zwei, senkrecht zueinander verfahrbaren Koordinaten x, y verfahrbare Positionierglieder 5 auf. Hierzu wird das Prüffeld 2 von zwei Traversen 6 überspannt, wobei jede Traverse 6 in ihren Endbe reichen 7 und 8 an Führungen 9 gelagert ist. Mit tels einer nicht näher dargestellten Antriebsein richtung läßt sich daher jede Traverse 6 entlang der Koordinate x verfahren.In order to be able to carry out the electrical test mentioned, the contacting device 1 has positioning members 5 that can be moved along two coordinates x, y that can be moved perpendicular to one another. For this purpose, the test field 2 is spanned by two trusses 6 , each truss 6 in its end regions 7 and 8 being supported on guides 9 . With means of a drive device, not shown, each cross member 6 can therefore be moved along the coordinate x.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich sind an jeder Traverse 6 mindestens zwei Positionierglieder 5 verfahrbar angeordnet. Die Längserstreckung jeder Traverse 6 verläuft in Richtung der Koordinate y, so daß die Positionierglieder 5 in Richtung dieser Koordinate verlagerbar sind. Für das Verfahren der Positio nierglieder 5 sind wiederum nicht näher darge stellte Antriebseinrichtungen vorgesehen.As can be seen from FIG. 1, at least two positioning members 5 are arranged to be movable on each cross member 6 . The longitudinal extent of each cross member 6 runs in the direction of the coordinate y, so that the positioning members 5 can be displaced in the direction of this coordinate. For the method of positioning nierglieder 5 again not shown Darge provided drive means are provided.

Gemäß Fig. 2 weist jedes Positionierglied 5 einen Kontaktfinger 10 auf, der - beim Verfahren des zuge hörigen Positioniergliedes 5 vom Prüfling 3 beab standet ist und - nach Erreichen der gewünschten Po sition des Positionierglieds 5 - zur Kontaktierung auf eine gewünschte Kontaktstelle des Prüflings 3 aufgesetzt werden kann. Insofern ist jeder Kontakt finger in Richtung der Koordinate z verlagerbar.Referring to FIG. 2, each positioning member 5 has a contact finger 10 which - beab in the method of the supplied hearing positioning member 5 from the test piece 3 is standet and - after reaching the desired Po sition of the positioning member 5 - to make contact to a desired contact point of the DUT 3 placed can be. In this respect, each contact finger can be moved in the direction of the coordinate z.

Es ist insbesondere der Fig. 2 zu entnehmen, daß die den Prüfling 3 bildende Leiterplatte 4 in ver tikaler Stellung, das heißt, also mit vertikaler Leiterplattenebene, in der Kontaktierungsvorrich tung 1 zur Durchführung der Prüfung angeordnet wird. Hierzu sind geeignete Befestigungsmittel 11 vorgesehen, die während des Prüfvorgangs die Lei terplatte 4 halten.It can be seen in particular in FIG. 2 that the device under test 3 forming the circuit board 4 in ver tical position, that is, with a vertical circuit board level, in the Kontaktierungsvorrich device 1 is arranged to carry out the test. For this purpose, suitable fastening means 11 are provided which hold the printed circuit board 4 during the testing process.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß von den mit Kontaktfingern 10 versehenen Positioniergliedern 5 mehrere Sondenpaare 12 gebildet werden. Dies ist beispielsweise in der Fig. 1 angedeutet; dort bil den die oberen beiden Positionierglieder 5 der bei den Traversen 6 ein erstes Sondenpaar 12 und die unteren beiden Positionierglieder 5 ein zweites Sondenpaar 12. Es ist jedoch - je nach dem vorlie genden Programmprüfungsschritt - möglich, daß die beiden Positionierglieder 5 derselben Traverse 6 für diesen bestimmten Programmschritt ein Sonden paar 12 bilden (dies ist in der Fig. 1 mit gestri chelten Doppelfeilen gekennzeichnet).It is provided according to the invention that a plurality of pairs of probes 12 are formed by the positioning members 5 provided with contact fingers 10 . This is indicated, for example, in FIG. 1; there bil the upper two positioning members 5 of the first pair of probes 12 in the traverses 6 and the lower two positioning members 5 a second pair of probes 12 . However, it is possible, depending on the program testing step, that the two positioning members 5 of the same cross member 6 form a pair of probes 12 for this specific program step (this is indicated in FIG. 1 by double files with a dashed line).

Durch die Vielzahl der Sondenpaare 12 ist innerhalb eines Positionierschritts eine entsprechende Anzahl von Prüfstromkreisen ausbildbar. Unter Prüf stromkreis ist hier eine elektrische Prüfung ent lang eines Strompfades zu verstehen, der - von einer nicht dargestellten Auswerteelektronik kommend - zu einem der Positionierglieder 5 führt, über den Prüfling 3 verläuft und über das zum betrachtenden Sondenpaar 12 zugehörige Positionierglied 5 zur Auswerteelektronik zurückführt. Ein weiterer, ent sprechender Prüfstromkreis wird zwischen den ver bleibenden Positioniergliedern 5 ausgebildet, so daß - je nach Anzahl der Positionierglieder 5 und damit der möglichen Prüfstromkreise gleichzeitig eine Vielzahl von Prüfungen durchführbar sind. In nerhalb eines Prüfschritts ist es selbstverständ lich auch möglich, daß zwischen den einzelnen Posi tioniergliedern 5 unterschiedliche Prüfstromkreise ausgebildet werden; mithin die verschiedenen Kombi nationen von Prüfstromkreisen hergestellt und meß technisch ausgewertet werden. So kann zum Beispiel das in der Fig. 1 oben rechts dargestellte Posi tionierglied 5 sowohl mit dem auf gleicher y-Koor dinate liegenden Positionierglied 5 in einem Prüf stromkreis liegen und anschließend dann ein Prüf stromkreis zwischen dem zuerst erwähnte Positio nierglied 5 und einem der Positionierglieder 5 der linksseitigen Traverse 6 gebildet werden. Ist dies erfolgt, so bleibt noch eine weitere Möglichkeit, nämlich ein Prüfstromkreis mit dem verbleibenden Positionierglied 5 der linksseitigen Traverse 6 zu erzeugen. Hieraus wird deutlich, daß nicht nur eine besonders komplexe Prüfung möglich ist, die eine hohe Meßsicherheit garantiert, sondern daß es nicht erforderlich ist, bei der Umschaltung zur Ausbil dung der verschiedenen Prüfstromkreise eine Neupo sitionierung der Positionierglieder 5 vorzunehmen.Due to the large number of pairs of probes 12 , a corresponding number of test current circuits can be formed within one positioning step. Under test circuit here is an electrical test ent to understand a current path, which - coming from an evaluation electronics, not shown - leads to one of the positioning elements 5 , runs over the test object 3 and leads back to the evaluation electronics via the positioning element 5 associated with the pair of probes 12 to be considered. Another, accordingly speaking test circuit is formed between the remaining positioning elements 5 , so that - depending on the number of positioning elements 5 and thus the possible test circuits, a large number of tests can be carried out simultaneously. In a test step, it is of course also possible that 5 different test circuits are formed between the individual positioning members; consequently, the various combinations of test circuits are manufactured and technically evaluated. For example, the Posi shown on the right in FIG. 1 above can tionierglied 5 with both the y-coor at the same dinate lying positioning member 5 circuit are located in a test and then subsequently circuit a test nierglied between the first-mentioned positio 5 and one of the positioning members 5 of the left-hand traverse 6 are formed. If this has taken place, there is still another possibility, namely to generate a test circuit with the remaining positioning element 5 of the cross member 6 on the left. From this it is clear that not only a particularly complex test is possible, which guarantees a high level of measurement certainty, but that it is not necessary to re-position the positioning elements 5 when switching over to training the various test circuits.

Die Fig. 2 zeigt, daß sowohl der Vorderseite 13 als auch der Rückseite 14 der Leiterplatte 4 je weils mit Positioniergliedern 5 versehene Traversen 6 zugeordnet sind. Beispielsweise ist es möglich, der Vorder- und der Rückseite 13, 14 des Prüflings 3 jeweils zwei Traversen 6 mit jeweils zwei Posi tioniergliedern 5 zuzuordnen. Es liegt jedoch auch im Rahmen der Erfindung, mehr als zwei Positionier glieder 5 an einer Traverse 6 vorzusehen und/oder jede Seite des Prüflings 3 mit mehr als zwei Tra versen 6 auszustatten. Fig. 2 shows that both the front 13 and the back 14 of the circuit board 4 are each assigned with positioning members 5 cross members 6 . For example, it is possible to assign two trusses 6 , each with two positioning members 5 , to the front and rear sides 13 , 14 of the test specimen 3 . However, it is also within the scope of the invention to provide more than two positioning members 5 on a cross member 6 and / or to equip each side of the test specimen 3 with more than two cross members 6 .

Zur Positionierung der Positionierglieder 5 sind - wie bereits erwähnt - Antriebseinrichtungen vorge sehen, mit denen einerseits die Traversen 6 und an dererseits die Positionierglieder 5 verfahren wer den können. Wesentlich ist, daß sich die Positio nierglieder 5 stets unabhängig voneinander verfah ren lassen. Dies bedeutet, daß die quasi entlang einer gemeinsamen Achse (Koordinate y) verlagerba ren Positionierglieder 5 einer Traverse 6 unabhän gig voneinander in die jeweils gewünschte Position gebracht werden können. Ferner sind auch die Tra versen 6 - nicht abhängig davon, ob sie auf der gleichen Seite oder auf unterschiedlichen Seiten des Prüflings 3 angeordnet sind - unabhängig vonein ander verlagerbar.To position the positioning members 5 - as already mentioned - drive devices are provided with which on the one hand the cross members 6 and on the other hand the positioning members 5 can move who can. It is essential that the positioning elements 5 can always be proceeded independently of one another. This means that the quasi along a common axis (coordinate y) relocating positioning members 5 of a cross member 6 can be brought independently of each other in the desired position. Furthermore, the traverses 6 - not dependent on whether they are arranged on the same side or on different sides of the test specimen 3 - can be moved independently of one another.

Als Antriebseinrichtungen kommen vorzugsweise Ser vomotoren in Frage. Diese sind innerhalb eines Re gelkreises angeordnet, so daß die von einem Rechner der Kontaktierungsvorrichtung 1 vorgegebene Soll- Position durch einen Soll/Ist-Vergleich exakt ange fahren werden kann. Zur Ermittlung der Istposition ist vorzugsweise ein (nicht dargestellter) Heiden hain-Linear-Glasmaßstab vorgesehen.Ser motors are preferred as drive devices. These are arranged within a re gelkreises, so that the target position specified by a computer of the contacting device 1 can be driven exactly by a target / actual comparison. To determine the actual position, a Heiden Hain linear glass scale (not shown) is preferably provided.

Nach einem besonders bevorzugten Ausführungsbei spiel sind als Antriebseinrichtungen Linearmotoren verwendet. Mithin lassen sich sowohl die Traversen 6 unabhängig voneinander mit Linearmotoren entlang der Koordinate x und die einzelnen Positionierglie der 5 entlang der Längserstreckung der zugehörigen Traversen 6 unabhängig voneinander verfahren.According to a particularly preferred embodiment, linear motors are used as drive devices. Consequently, both the traverses 6 can be moved independently of one another with linear motors along the coordinate x and the individual positioning elements of FIG. 5 along the longitudinal extent of the associated traverses 6 independently of one another.

Die Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Kontaktierungsvorrichtung 1, bei der Positio nierglieder 5 sowohl in Richtung der x- als auch der y-Koordinate mittels eines flächenförmig arbei tenden Linearmotors verfahren werden können. Hierzu bilden die Positionierglieder 5 die Läufer des Li nearmotors, während der Ständer flächenhaft das Prüffeld 2 in Richtung der beiden Koordinaten x und y übergreift. Durch geeignete Ansteuerung, insbe sondere codierte Ansteuerung, der einzelnen Posi tionierglieder 5 lassen sich diese unabhängig von einander in jede beliebige Position innerhalb des Prüffelds 2 bringen. Sowohl in x- als auch in y- Richtung kann jedes Positionierglieder 5 stufenlos verfahren werden. Fig. 3 shows a further embodiment of a contacting device 1 , can be moved in the positioning elements 5 both in the direction of the x and the y coordinate by means of a flat working linear motor. For this purpose, the positioning members 5 form the rotor of the linear motor, while the stator spans the test field 2 in the direction of the two coordinates x and y. By suitable control, in particular special coded control, the individual positioning members 5 , these can be brought independently of one another into any position within the test field 2 . Each positioning element 5 can be moved continuously in both the x and y directions.

Die codierte Ansteuerung stellt sicher, daß von ei ner (nicht dargestellten) Steuereinrichtung des be reits erwähnten Rechners nur das jenige Positio nierglied 5 angesprochen wird, das verlagert werden soll. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ist eine derartige Kodierung bei Verwendung von Linear motoren ebenfalls vorgesehen, so daß die einer Tra verse 6 zugeordneten Positionierglieder 5 unabhän gig voneinander verlagerbar sind. Dies gilt auch für die unabhängige Verlagerung der Traversen 6 un tereinander.The coded control ensures that from egg ner (not shown) control device of the computer already mentioned, only that positioning element 5 is addressed that is to be relocated. In the embodiment of FIG. 1, such a coding is also provided when using linear motors, so that the positioning members 5 assigned to a verse 6 can be relocated independently of one another. This also applies to the independent displacement of the trusses 6 one below the other.

Die genannte Steuereinrichtung stellt durch ein ge eignetes Programm sicher, daß die Antriebseinrich tungen (seien sie nun als mit Kugelspindelantrieb versehene Servomotoren oder Linearmotoren) die Po sitionierglieder 5 und/oder die von diesen gebilde ten Sondenpaare 12 kollisionsfrei auf möglichst kurzem Wege die für den jeweiligen Prüfschritt er forderlichen Positionen einnehmen. Überdies ist si chergestellt, daß -für ein besonders effektives Ar beiten -mehr als zwei Positionierglieder gleichzei tig derart in Position gebracht werden, daß bei ei nem einzigen Positionierschritt alle gewünschten Kombinationen von Prüfstromkreisen zwischen den zu gehörigen Kontaktfingern 10 gebildet und ausgewer tet werden. Insofern kann in manchen Fällen durch eine entsprechende Auswertung aufgrund logischer Verknüpfung auf mögliche Fehler oder Funktionstüch tigkeiten geschlossen werden, ohne daß es hierzu einer Messung bedarf. Überdies stellt diese Vorge hensweise sicher, daß möglichst wenig Positionsän derungen für den Gesamtprüfvorgang einer Leiter platte 4 erforderlich sind. The control device mentioned ensures by means of a suitable program that the drive devices (whether they are servomotors or linear motors provided with a ball screw drive), the positioning elements 5 and / or the probe pairs 12 formed by these are collision-free in the shortest possible way for each Check step he take required positions. Moreover, si chergestellt that -for a particularly effective Ar -More BEITEN gleichzei tig brought in such position as two positioning members are to be formed in egg nem single positioning step all the desired combinations of test circuits between the associated contact fingers 10 and to ausgewer tet. In this respect, in some cases, an appropriate evaluation based on a logical link can be used to infer possible errors or functional functions without the need for a measurement. In addition, this approach ensures that as few changes to the position as possible for the overall testing process of a printed circuit board 4 are required.

Die Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, das sich gegenüber dem Ausführungs beispiel der Fig. 1 dadurch unterscheidet, daß die Positionierglieder 5 mit Schwenkarmen 20 versehen sind. Die einzelnen Positionierglieder 5 sind an Traversen 6 in Richtung der Y-Koordinate verfahr bar. Vorzugsweise sind jeder Traverse 6 zwei Posi tionierglieder 5 zugeordnet. Es können jedoch auch mehr als zwei gewählt werden. Die Traversen 6 las sen sich entlang der Führungen 9 in Richtung der X- Koordinate verfahren. Fig. 4 shows a further embodiment of the invention, which differs from the embodiment of FIG. 1 in that the positioning members 5 are provided with pivot arms 20 . The individual positioning members 5 can be moved on cross members 6 in the direction of the Y coordinate. Preferably, each cross member 6 are assigned two positioning members 5 . However, more than two can also be selected. The traverses 6 can be moved along the guides 9 in the direction of the X coordinate.

Jeder Schwenkarm 20 ist an seinem einen Ende am zu gehörigen Positionierglied 5 gelagert und in einer parallel zum Prüffeld 2 liegenden Ebene ver schwenkbar, wobei der Schwenkwinkel vorzugsweise 360° beträgt. Am freien Ende 21 jedes Schwenkarms 20 ist ein Kontaktfinger 10 angeordnet, der in Richtung der Z-Koordinate auf das Prüffeld 2 zum Kontaktieren einer Kontaktstelle eines Prüflings abgesenkt werden kann. Dabei besteht die Möglich keit, daß sich der Kontaktfinger 10 absenkt oder daß der gesamte Schwenkarm 20 oder die Positionier vorrichtung 5 verlagert wird.Each swivel arm 20 is supported at one end on the associated positioning member 5 and can be swiveled in a plane lying parallel to the test field 2 , the swivel angle preferably being 360 °. A contact finger 10 is arranged at the free end 21 of each swivel arm 20 and can be lowered in the direction of the Z coordinate onto the test field 2 for contacting a contact point of a test object. There is the possibility that the contact finger 10 lowers or that the entire pivot arm 20 or the positioning device 5 is shifted.

Die Fig. 5 verdeutlicht, daß stets günstige Schwenkwinkel der Schwenkarme 20 bei der Positio nierung zum Kontaktieren von Kontaktstellen durch fahren werden können. Soll beispielsweise mit dem Kontaktfinger 10 des Schwenkarms 20 die Kontakt stelle A und mit dem Kontaktfinger 10′ des Schwenk arms 20′ die Kontaktstelle B gemäß der in der Fig. 5 (linke Seite) dargestellten Stellungen der Posi tionierglieder 5 und 5′ angefahren werden, so wür den die beiden Schwenkarme 20 und 20′ miteinander kollidieren, wenn sie entlang der mit den Pfeilen gekennzeichneten Wege verschwenkt würden. Auf der rechten Seite der Fig. 5 ist dargestellt, wie eine Kollision mittels einer Kollisionssoftware verhin dert werden kann, wobei gleichzeitig günstige Wege und damit kurze Prüfzeiten realisiert werden. Die Kollisionssoftware vertauscht die Ansteuerung, in dem sie den Kontaktfinger 10 der Kontaktstelle B und den Kontaktfinger 10′ der Kontaktstelle A zu ordnet. Damit verkleinern sich die einzelnen Schwenkwinkel der Schwenkarme 20 und 20′ erheblich, wobei gleichzeitig keine Kollision mehr stattfinden kann. Fig. 5 illustrates that always favorable pivoting angle of the pivot arms 20 can be run through the positioning for contacting contact points. If, for example with the contact fingers 10 of the pivot arm 20, the contact point A and the contact fingers 10 'of the pivot arms 20', the contact point B as shown in Fig. 5 (left side) positions shown Posi tionierglieder be approached 5 and 5 ', the two swivel arms 20 and 20 'would collide with one another if they were swiveled along the paths marked with the arrows. On the right-hand side of FIG. 5 it is shown how a collision can be prevented by means of a collision software, at the same time realizing cheap routes and thus short test times. The collision software swaps the control by assigning the contact finger 10 to contact point B and contact finger 10 'to contact point A. The individual swivel angles of the swivel arms 20 and 20 'thus decrease considerably, with no collision taking place at the same time.

Die Fig. 4 zeigt noch eine weitere Besonderheit der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung auf, die -unabhängig von der Ausbildung der Sonden paare (also mit oder ohne Schwenkarm usw.) eine op timale Prüfung zuläßt. Hierzu ist das Prüffeld 2 in Bereiche 22, 23 und 24 unterteilt, wobei jedem Be reich 22, 23 und 24 mindestens ein Sondenpaar 12 zugeordnet ist. Die Bereiche 22, 23 und 24 sind mit jeweils einer Punkt-Linie voneinander abgegrenzt. Die Größe der Bereiche wird in Abhängigkeit von der Dichte der im jeweiligen Bereich liegenden Kontakt stellen gewählt, so daß es durchaus möglich ist, daß die Bereiche 22, 23 und 24 unterschiedliche Größe aufweisen. Es kann auch bei einer hohen Kon taktstellendichte bei einigen oder allen Bereichen vorgesehen sein, daß mehr als ein Sondenpaar 12 diesem jeweiligen Bereich zugeordnet ist. Die Son den jedes Sondenpaars können einer Traverse oder verschiedenen Traversen angehören. Insbesondere wird derart vorgegangen, daß die Bereiche 22, 23 und 24 als Streifen ausgebildet sind, wobei die Grenzen der Bereiche auf konstanten X- beziehungs weise Y-Koordinaten liegen. Fig. 4 shows yet another special feature of the contacting device according to the invention, which - regardless of the design of the probes pairs (that is, with or without a swivel arm, etc.) permits an optimal test. For this purpose, the test field 2 is divided into areas 22 , 23 and 24 , each area 22 , 23 and 24 being assigned at least one pair of probes 12 . The areas 22 , 23 and 24 are each delimited from one another by a dot line. The size of the areas is selected depending on the density of the contact points in the respective area, so that it is entirely possible that the areas 22 , 23 and 24 have different sizes. It can also be provided with a high contact point density in some or all areas that more than one pair of probes 12 is assigned to this particular area. The probes of each pair of probes can belong to one crossbar or different crossbars. In particular, the procedure is such that the areas 22 , 23 and 24 are designed as strips, the boundaries of the areas being at constant X or Y coordinates.

Betrachtet man zum Beispiel einen als Streifen 24 ausgebildeten Bereich der Fig. 4, der durch die beiden Strich-Linien zu den Nachbarbereichen abge grenzt ist, so wird deutlich, daß seine Breite kleiner als die Reichweite der zugehörigen Schwenk arme 20 bei stillstehendem Positionierglied 5 und/oder Traverse ist. Durch diese Wahl lassen sich auch ohne Verfahren der zugeordneten Traverse 6 alle in diesem Streifen liegenden Kontaktstellen anfahren oder es sind - für eine Optimierung - nur kleine Fahrstrecken der Traverse 6 durchzuführen, um dann auf kürzestem Wege beziehungsweise in kürzester Zeit die jeweils zu kontaktierende Kon taktstelle zu erreichen.For example, considering a formed as stripes 24 area of Fig. 4, which is bordered abge by the two dot chain lines to the neighboring regions, it is clear that its width is smaller than the range of the associated pivot arms 20 with a stationary positioning member 5 and / or traverse. With this choice, all the contact points in this strip can be approached without moving the assigned traverse 6 or, for optimization purposes, only small travels of the traverse 6 have to be carried out in order to then contact the contact point to be contacted in the shortest possible way or in the shortest possible time to reach.

Claims

1.Contacting device, in particular for test purposes, with a plurality of positioning members which can be moved in a test field along two transverse, in particular perpendicular, mutually extending coordinates, each of which has a contact finger which can be placed on a desired contact point of a test specimen, two contact fingers forming a pair of probes which A component of a test circuit is characterized by a plurality of pairs of probes ( 12 ) whose positioning elements ( 5 ) can be moved independently of one another along the coordinates (x, y).

2. Contacting device according to claim 1, characterized in that the positioning members ( 5 ) are designed as a rotor of a linear motor with a flat surface, the test field ( 2 ) in the direction of both coordinates (x, y) overlapping stand.

3. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized by at least two, the test field ( 2 ) spanning travers sen ( 6 ), wherein at least two positioning members ( 5 ) are arranged on each cross member ( 6 ) and the positioning members ( 5 ) along each traverse ( 6 ) in the direction of one coordinate (y) and the traverses ( 6 ) along the other coordinate (x) can be moved.

4. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that each positioning member ( 5 ) and / or each crossmember ( 6 ) can be moved by means of a separate drive device.

5. Contacting device according to one of the before forthcoming claims, characterized in that the drive devices out as servomotors forms are.

6. Contacting device according to one of the before forthcoming claims, characterized in that the drive devices as linear motors forms are.

7. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the positioning members ( 5 ) are arranged such that the front and back ( 13 , 14 ) of the test object ( 3 ) can be contacted with their contact fingers ( 10 ).

8. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that for simultaneous testing of the front and rear side ( 13 , 14 ) of the test object ( 3 ) these are each assigned to at least two trusses ( 6 ).

9. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the positioning members ( 5 ) along vertical planes NEN are movable.

10. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized by a control device which controls the drive devices in such a way that the positioning members ( 5 ) and / or probe pairs ( 12 ) are as short as possible from test step to test step.

11. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the control device controls more than two positioning members ( 5 ) simultaneously in such a way that all desired combinations of test circuits between the associated contact fingers ( 10 ), preferably with a reduction in the positioning Number of test steps based on the creation of combinatorial test results, are formed and evaluated.

12. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the test field ( 2 ) is divided into virtual areas ( 22 , 23 , 24 ), with each area ( 22 , 23 , 24 ) at least one pair of probes ( 12 ) assigned is.

13. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the areas ( 22 , 23 , 24 ) of the test field ( 2 ) are of different sizes.

14. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the size of the areas ( 22 , 23 , 24 ) is inversely proportional to the number of contact points of the respective area ( 22 , 23 , 24 ) to be contacted.

15. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the regions ( 22 , 23 , 24 ) are designed as strips ( 24 ) extending over the width or length of the test field ( 2 ).

16. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the boundaries of the areas ( 22 , 23 , 24 ) lie on constant X or Y coordinates.

17. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that adjacent areas ( 22 , 23 , 24 ) overlap with their edge zones.

18. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the positioning members ( 5 , 5 ') have pivot arms ( 20 , 20 ') on which the contact fingers ( 10 , 10 ') are arranged.

19. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that each swivel arm ( 20 , 20 ') in a parallel to the plane of the test field ( 2 ) lying ver is pivotable.

20. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the pivot angle of the pivot arm ( 20 , 20 ') carries 360 ° be.

21. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that the width of a strip ( 24 ) is selected to be smaller than the range of the contact finger ( 10 ) arranged on the associated swivel arm ( 20 ).