DE4034085C1

DE4034085C1 -

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Publication number: DE4034085C1
Application number: DE4034085A
Authority: DE
Inventors: Gerhard 6100 Darmstadt De Welzig; Friedrich Dipl.-Phys. Dr. 6470 Buedingen De Preisser
Original assignee: Degussa GmbH
Current assignee: Evonik Operations GmbH
Priority date: 1990-10-26
Filing date: 1990-10-26
Publication date: 1991-11-14
Anticipated expiration: 2010-10-27
Also published as: EP0483596B1; YU169091A; CS324991A3; ATE111589T1; DE59102927D1; EP0483596A1; CZ282179B6

Abstract

The vacuum furnace (1) contains a thermally insulated treatment chamber (5), in which the workpieces are arranged on a charge support (30) inside the useful space (27). Outside the treatment chamber, there is a blower (19) for gas circulation and a heat exchanger (26) for gas cooling. The workpieces are heated by heating pipes (31) which are arranged around the useful space inside the treatment chamber. The heating pipes serve simultaneously as gas supply pipes in the convective heating of the workpieces and the subsequent gas chilling. To this end, the gas supply pipes are provided in the region of the useful space with radial openings (32). The furnace guarantees a particularly homogeneous chilling of the workpieces in the entire useful space by an intermediate bottom (10) with a central gas passage opening (11) for optimising the flow conditions and by the possibility of blowing onto the workpieces simultaneously radially and axially, it being possible periodically to change the direction of the axial blowing. To this end, the gas supply pipes are equipped with additional gas outlet openings (34, 35) and closure elements (36, 37) and the walls of the treatment chamber are provided with closable gas outlet openings (13, 15). <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft einen Vakuumofen zur Wärmebehandlung metallischer WerkstückeThe invention relates to a vacuum furnace for Heat treatment of metallic workpieces

mit einer mit Heizeinrichtungen ausgerüsteten Behandlungskammer, die thermisch isolierte Wände mit verschließbaren Gasaustrittsöffnungen besitzt und einen Nutzraum mit Mantel- und Stirnflächen enthält, der von parallel zur Hauptachse der Kammer ausgerichteten Gaszuführungen umgeben ist, die im Bereich der Mantelflächen des Nutzraumes radial nach innen gerichtete Düsenbohrungen aufweisen,
mit einem außerhalb der Behandlungkammer angeordneten Gebläse und einem Wärmetauscher, wobei die Druckseite des Gebläses über einen Gasverteilungsraum mit den Gaszuführungsrohren und der Ansaugstutzen des Gebläses während der Heizphase direkt mit der Behandlungskammer und während der Kühlphase mit dem Wärmetauscher verbunden sind.with a treatment chamber equipped with heating devices, which has thermally insulated walls with closable gas outlet openings and contains a usable space with jacket and end faces, which is surrounded by gas inlets aligned parallel to the main axis of the chamber, which have radially inwardly directed nozzle bores in the area of the jacket surfaces of the usable room ,
with a blower arranged outside the treatment chamber and a heat exchanger, the pressure side of the blower being connected directly to the treatment chamber and to the heat exchanger during the heating phase via a gas distribution space with the gas supply pipes and the intake manifold of the blower.

In der DE-PS 28 39 607 oder DE 39 10 234 C1 wird ein gattungsgemäßer Vakuumofen beschrieben. Er besteht aus einem zylindrischen Druckgehäuse, in dem sich eine thermisch isolierte Behandlungskammer mit Heizeinrichtungen befindet. In DE-PS 28 39 607 or DE 39 10 234 C1 is a generic Vacuum oven described. It consists of one cylindrical pressure housing, in which there is a thermal insulated treatment chamber with heating devices located.

Zur Wärmebehandlung werden die Werkstücke im Nutzraum der Behandlungskammer auf einem Chargenträger angeordnet und entweder unter Vakuum oder unter gleichzeitiger Umwälzung eines Arbeitsgases auf die Austenitisierungstemperatur aufgeheizt. Die Umwälzung des Arbeitsgases erfolgt dabei mittels eines außerhalb der Behandlungskammer angeordneten Gebläses, das das Gas aus der Behandlungskammer absaugt und über einen Gasverteilungsraum und davon ausgehende Gaszuführungsrohre unter Druck in die Behandlungskammer zurückbläst. Die Gaszuführungsrohre sind parallel zur Hauptachse der Behandlungskammer angeordnet und umgeben den Nutzraum mit den Werkstücken. Im Bereich des Nutzraumes weisen die Gaszuführungsrohre Düsenbohrungen zur Beblasung der Werkstücke mit dem Arbeitsgas auf.The workpieces are used in the work space for heat treatment the treatment chamber on a batch carrier arranged and either under vacuum or under simultaneous circulation of a working gas on the Austenitizing temperature heated. The upheaval the working gas takes place by means of an outside the treatment chamber arranged blower that the Sucks gas out of the treatment chamber and over one Gas distribution room and starting from it Gas supply pipes under pressure in the Blows back treatment chamber. The gas supply pipes are parallel to the main axis of the treatment chamber arranged and surround the usable space with the Workpieces. In the area of the usable space Gas supply pipes nozzle holes for blowing the Workpieces with the working gas.

Zur Kühlung oder Abschreckung der Werkstücke wird der Ansaugstutzen des Gebläses von der Behandlungskammer abgetrennt und mit dem außerhalb der Behandlungskammer liegenden Wärmetauscher verbunden. Gleichzeitig werden Gasaustrittsöffnungen in den thermisch isolierten Wänden der Behandlungskammer freigegeben, so daß das Arbeitsgas jetzt aus der Behandlungskammer austreten und nach Passieren des Wärmetauschers vom Gebläse als Kühlgas wieder in die Behandlungskammer geblasen werden kann.For cooling or quenching the workpieces, the Intake of the fan from the treatment chamber separated and with the outside of the treatment chamber lying heat exchanger connected. Be at the same time Gas outlet openings in the thermally insulated Walls of the treatment chamber released, so that Now escape working gas from the treatment chamber and after passing the heat exchanger from the blower as Cooling gas is blown back into the treatment chamber can be.

Alternativ zu der in der DE-PS 28 39 807 beschriebenen radialen Beblasung sind auch einseitig axiale Beblasungen, einseitig axiale Beblasungen kombiniert mit radialer Beblasung (DE-PS 32 08 574) und allseitige Beblasungen der Werkstücke bekannt. Alternatively to that described in DE-PS 28 39 807 radial blowing is also axial on one side Blowing, combined axial blowing on one side with radial blowing (DE-PS 32 08 574) and All-round blowing of the workpieces is known.

Solche gattungsgemäßen Vakuumöfen werden insbesondere für das Härten von Werkzeugen und Bauteilen aller Art aus verschiedenen Stahlsorten benutzt. Sie sind auch für andere Wärmebehandlungen wie z. B. Glühen und Löten einsetzbar.Such generic vacuum furnaces are particularly for hardening tools and components of all kinds made of different types of steel. You are too for other heat treatments such as B. Annealing and soldering applicable.

Die Qualität der Wärmebehandlung hängt im wesentlichen von der Art des Kühlvorganges ab. Während der Kühlung der Werkstücke im Gasstrom muß eine größtmögliche Homogenität, d. h. eine möglichst geringe Temperaturdifferenz der Werkstücke untereinander, erreicht werden. Insbesondere bei großen Nutzraumabmessungen ist dies durch die bekannten Arten der Beblasung nicht mehr gewährleistet. Die Eigenschaften der wärmebehandelten Teile hängen mehr oder weniger stark von ihrer Positionierung im Nutzraum ab. Außerdem ist ein Einfluß der Bauteilformen und -größen auf das Behandlungsergebnis feststellbar.The quality of the heat treatment essentially depends depends on the type of cooling process. During cooling the workpieces in the gas flow must be as large as possible Homogeneity, d. H. the lowest possible Temperature difference between the workpieces, can be achieved. Especially with large ones Usable space dimensions are due to the known types the blowing is no longer guaranteed. The Properties of the heat-treated parts depend more or less strongly from their positioning in the Usable space. In addition, the Component shapes and sizes on the treatment result noticeable.

Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, durch verbesserte Gasführung während des Abkühlprozesses die Gleichmäßigkeit des Behandlungsergebnisses für alle Teile einer Charge zu erhöhen und eine optimale Anpassung der Kühlung an unterschiedliche Bauteilformen und -größen zu ermöglichen.It is therefore the object of the present invention through improved gas flow during the Cooling process the uniformity of the Treatment result for all parts of a batch increase and an optimal adaptation of the cooling different component shapes and sizes enable.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,According to the invention, this object is achieved by

daß in der Behandlungskammer senkrecht zur Hauptachse ein Zwischenboden mit zentraler Gasdurchtrittsöffnung eingezogen ist, der von der Behandlungskammer einen dem Gebläse und Gasverteilungsraum zugewandten Gasleitraum abtrennt,
daß jedes Gaszuführungsrohr zwei zusätzliche radial nach innen gerichtete Gasausströmöffnungen aufweist, von denen eine im Bereich des Gasleitraumes und die zweite an dem dem Gasverteilungsraum abgewandten Ende des Gaszuführungsrohres außerhalb des Bereiches der Nutzraum-Mantelflächen angebracht ist,
daß die beiden zusätzlichen Gasausströmöffnungen eines Gaszuführungsrohres durch Verschlußelemente geöffnet und geschlossen werden können,
und daß die verschließbaren Gasaustrittsöffnungen sowohl in den Seitenwänden des Gasleitraumes als auch in der dem Gasverteilungsraum abgewandten Wand der Behandlungskammer angebracht sind.that an intermediate floor with a central gas passage opening is drawn into the treatment chamber perpendicular to the main axis and separates a gas guiding space facing the blower and gas distribution space from the treatment chamber,
that each gas supply pipe has two additional radially inward gas outflow openings, one of which is provided in the area of the gas guide space and the second is located on the end of the gas supply pipe facing away from the gas distribution space outside the area of the usable space jacket surfaces,
that the two additional gas outflow openings of a gas supply pipe can be opened and closed by closure elements,
and that the closable gas outlet openings are provided both in the side walls of the gas guide space and in the wall of the treatment chamber facing away from the gas distribution space.

In diesem erfindungsgemäßen Vakuumofen wird eine hohe Gleichmäßigkeit des Abkühlvorganges für alle Werkstücke einer Charge dadurch erzielt, daß die Werkstücke während der Kühlphase gleichzeitig radial und axial beblasen werden können. Dabei kann durch entsprechendes wechselweises Öffnen und Schließen der zwei Verschlußelemente für die Gasausströmöffnungen die Richtung der axialen Beblasung mehrmals während eines Kühlvorganges geändert werden.In this vacuum oven according to the invention, a high Uniformity of the cooling process for everyone Workpieces of a batch achieved in that the Workpieces radial at the same time during the cooling phase and can be blown axially. It can by corresponding alternate opening and closing of the two closure elements for the gas outlets the direction of axial blowing several times during of a cooling process can be changed.

Besonders vorteilhaft erweist es sich für den erfindungsgemäßen Vakuumofen, wenn die Gaszuführungsrohre entsprechend der DE-PS 37 36 502 als Heizelemente ausgebildet werden. It proves to be particularly advantageous for the vacuum furnace according to the invention, if the Gas supply pipes according to DE-PS 37 36 502 are designed as heating elements.

Dazu werden die Rohre im Bereich des Nutzraumes aus Heizleitermaterial gefertigt und an externe Stromquellen angeschlossen. Die Heizrohre werden durch keramische Isolierstücke von den übrigen Rohrleitungsteilen galvanisch getrennt.For this, the pipes in the area of the usable space are made Heating conductor material manufactured and to external Power sources connected. The heating pipes are through ceramic insulating pieces from the rest Pipeline parts galvanically isolated.

Das Problem der Anpassung der Kühlbedingungen an unterschiedliche Werkstückformen und -größen wird mit dem erfindungsgemäßen Vakuumofen in einfacher Weise dadurch gelöst, daß das Verhältnis des axialen zu radialem Volumenstrom auch noch während der Wärmebehandlung durch nur teilweises Öffnen und Schließen der Gasausströmöffnungen der Zuführungsrohre auf beliebige Werte eingestellt werden kann. Das wird vorteilhafterweise dadurch ermöglicht, daß die Verschlußelemente für die beiden Gasausströmöffnungen eines Zuführungsrohres gebildet werden durch zwei im Zuführungsrohr gleitende Rohrstücke, die durch ein starres Gestänge miteinander verbunden sind. The problem of adapting the cooling conditions different workpiece shapes and sizes the vacuum furnace according to the invention in a simple manner solved in that the ratio of the axial to radial volume flow even during the Heat treatment by only partially opening and Closing the gas outlet openings of the feed pipes can be set to any values. It will advantageously enables that the Closure elements for the two gas outflow openings of a feed tube are formed by two in Feed pipe sliding pipe pieces through a rigid linkage are interconnected.

Bei geeigneter Wahl der Länge der Rohrstücke und ihres Abstands voneinander können die beiden Gasausströmöffnungen eines Zuführungsrohres wechselweise durch axiale Verschiebung der Verschlußanordnung zwischen zwei Endpositionen geöffnet und geschlossen werden. Dadurch ist es möglich, die Richtung der axialen Beblasung zu ändern. Je nach Richtung der axialen Beblasung gibt es zwei verschiedene Kühlphasen. In Kühlphase 1 erfolgt die axiale Beblasung vom Gasleitraum her durch die zentrale Gasaustrittsöffnung des Zwischenbodens hindurch. In Kühlphase 2 erfolgt die axiale Beblasung der Werkstücke in umgekehrter Richtung, wobei das Arbeitsgas dann durch die zentrale Gasdurchtrittsöffnung des Zwischenbodens aus dem Nutzraum abgesaugt wird. Der Zwischenboden sorgt in diesem Fall für eine optimale Gasströmung im Nutzraum, wodurch eine hervorragende Homogenität der Temperatur während des gesamten Kühlvorganges erreicht wird.With a suitable choice of the length of the pipe sections and their The two can be spaced apart Gas outlet openings of a feed pipe alternately by axial displacement of the Lock arrangement between two end positions be opened and closed. That’s it possible to change the direction of axial blowing. There are two depending on the direction of the axial blowing different cooling phases. This takes place in cooling phase 1 axial blowing from the gas control space through the central gas outlet opening of the mezzanine through. The axial blowing takes place in cooling phase 2 the workpieces in the opposite direction, the Working gas then through the central Gas passage opening of the intermediate floor from the Vacuum space is extracted. The mezzanine provides in this case for an optimal gas flow in the Usable space, ensuring excellent homogeneity of the Temperature reached during the entire cooling process becomes.

Darüber hinaus ermöglicht eine solche Verschlußanordnung bei geeigneter Dimensionierung von Rohrstücklängen und Abstand die kontinuierliche Verstellung der axialen Volumenströme während des Betriebes und auch das gleichzeitige Verschließen beider Gasausströmöffnungen zur völligen Abschaltung der axialen Beblasung.It also enables such Lock arrangement with suitable dimensioning of Pipe length and distance the continuous Adjustment of the axial volume flows during the Operation and also the simultaneous closing both gas outlets for complete shutdown axial blowing.

Die Verstellung der Verschlußanordnungen erfolgt vorteilhafterweise mit Verstelleinrichtungen, die die Rohre axial verschieben können. The locking arrangements are adjusted advantageously with adjustment devices that the Can move pipes axially.

Besonders günstig ist es, das an dem dem Gasverteilungsraum abgewandten Ende der Verschlußanordnung befindliche Rohrstück axial zu verschließen. Die Gaszuführungsrohre können dann an ihrem Ende offen bleiben. Durch diese Maßnahme übt das in die Zuführungsrohre gepreßte Arbeitsgas ständig eine axiale Kraft auf die Verschlußanordnungen und ihre Verstelleinrichtungen aus. Es ist möglich, die Verstelleinrichtungen so anzuordnen, daß diese axiale Kraft als Zugkraft wirksam wird. Die Verstelleinrichtungen können dann mit den Verschlußanordnungen durch einfache Seile oder Ketten verbunden werden: Gleiches gilt für die Verbindung der beiden Rohrstücke einer Verschlußanordnung untereinander. Eine knicksteife Auslegung dieser Verbindungen bis zu Arbeitstemperaturen von 1200°C ist in diesem Fall nicht mehr notwendig.It is particularly cheap that the Gas distribution room facing away from the end Closure arrangement located pipe section axially close. The gas supply pipes can then on remain open to their end. With this measure, this is practiced working gas pressed into the supply pipes constantly an axial force on the locking arrangements and their adjustment devices. It is possible that Adjustment devices to be arranged so that they are axial Force acts as a pulling force. The Adjustment devices can then with the Locking arrangements using simple ropes or chains be connected: The same applies to the connection of the two pipe sections of a closure arrangement among themselves. A rigid design of this Connections up to working temperatures of 1200 ° C is no longer necessary in this case.

In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Vakuumofens werden die Verschlußelemente für die beiden Gasausströmöffnungen eines Zuführungsrohres gebildet durch ein im Zuführungsrohr gleitendes Schließrohr, das zwei zu den Gasausströmöffnungen korrespondierende Öffnungen aufweist und das zwischen diesen Öffnungen im Bereich der Düsenbohrungen des Zuführungsrohres ein axiales Langloch enthält, dessen Breite dem Durchmesser der Bohrungen entspricht. In a further embodiment of the vacuum furnace according to the invention Closure elements for the two gas outflow openings of a feed tube formed by an im Feed tube sliding lock tube, the two to the Corresponding openings for gas outflow openings and that between these openings in the area the nozzle bores of the feed pipe an axial Includes elongated hole, the width of which corresponds to the diameter of the Holes.

Dieses Schließrohr wird im Gaszuführungsrohr so orientiert, daß das Langloch die Düsenbohrungen freigibt.This lock tube is so in the gas supply tube oriented that the elongated hole the nozzle holes releases.

Wie bei der zuvor besprochenen Verschlußanordnung aus zwei Rohrstücken und einer Verbindungsstange können mit diesem Schließrohr die beiden Gasausströmöffnungen der Gaszuführungsrohre durch axiale Verschiebung wechselweise geöffnet und geschlossen werden.As with the closure arrangement discussed previously two pieces of pipe and a connecting rod can the two gas outlets with this closing tube of the gas supply pipes by axial displacement can be opened and closed alternately.

Der Volumenstrom der axialen Beblasung läßt sich auch in diesem Fall noch während des Betriebes des Ofens durch entsprechende Verschiebung des Schließrohres einstellen. Darüber hinaus ist es mit dem Schließrohr auch möglich, den radialen Volumenstrom zu verändern. Zu diesem Zweck sind vorzugsweise die zu den Gasausströmöffnungen korrespondierenden Öffnungen der Schließrohr in einer Richtung tangential um die Breite des Langloches vergrößert.The volume flow of the axial blowing can also be in this case, while the furnace is still in operation by moving the locking tube accordingly to adjust. In addition, it is with the locking tube also possible to change the radial volume flow. For this purpose, it is preferred that the Corresponding openings of the gas outflow openings Locking tube tangential in one direction Width of the elongated hole increased.

Somit kann durch Drehung des Schließrohres um seine Achse der radiale Volumenstrom von seinem Maximalwert bis auf Null heruntergeregelt werden.Thus, by rotating the lock tube around its Axis the radial volume flow from its maximum value are brought down to zero.

Die Verstellung der Schließrohr erfolgt vorteilhafterweise mit Verstelleinrichtungen, die die Rohre sowohl axial verschieben als auch um ihre Längsachse um einen Winkel verdrehen können, der dem radialen Öffnungswinkel der Düsenbohrungen entspricht.The locking tube is adjusted advantageously with adjustment devices that the Both move axially and around their pipes Can rotate the longitudinal axis by an angle that the corresponds to the radial opening angle of the nozzle bores.

Auch bei diesen Schließrohren ist es günstig, sie an ihrem dem Gasverteilungsraum abgewandten Ende zu verschließen. With these locking tubes, too, it is cheap to put them on their end facing away from the gas distribution space close.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.The invention is based on the Drawings closer to an embodiment explained.

Es zeigenShow it

Fig. 1 Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Vakuumofen während der Heizphase. Fig. 1 longitudinal section through a vacuum oven according to the invention during the heating phase.

Fig. 2 Längsschnitt des Vakuumofens während Kühlphase 2. Fig. 2 a longitudinal section of the vacuum furnace during the cooling phase 2.

Fig. 3 Längsschnitt des Vakuumofens während Kühlphase 1. Fig. 3 shows a longitudinal section of the vacuum furnace during cooling Phase 1.

Fig. 4 Gaszuführungsrohr und Verschlußanordnung in verschiedenen Stellungen. Fig. 4 gas supply pipe and closure arrangement in different positions.

Fig. 5 Gaszuführungsrohr und Schließrohr in verschiedenen Stellungen. Fig. 5 gas supply pipe and closing pipe in different positions.

Fig. 1 zeigt den Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Vakuumofen in vertikaler Aufstellung. In anderen Ausführungsformen sind auch horizontale Aufstellungen möglich. Fig. 1 shows the longitudinal section through a vacuum furnace according to the invention in a vertical position. In other embodiments, horizontal configurations are also possible.

Der Vakuumofen (1) besteht aus einem Druckzylinder (2), der oben und unten durch Klöpperböden verschlossen ist. Der untere Klöpperboden dient gleichzeitig als Tür (3) und kann zur Chargierung des Ofens abgesenkt werden.The vacuum furnace ( 1 ) consists of a pressure cylinder ( 2 ), which is closed at the top and bottom by dished ends. The lower dished end also serves as a door ( 3 ) and can be lowered to charge the furnace.

Der Ofen (1) enthält eine Behandlungskammer (5), ein oberhalb der Kammer angeordnetes Gebläse (19) mit Gasverteilungsraum (21) und einen Wärmetauscher (26) zwischen der Oberkante der Behandlungskammer (5) und dem Gasverteilungsraum (21) zur Kühlung des Arbeitsgases während des Kühlvorganges. Der Ofen weist weiterhin diverse Schiebedurchführungen (17, 18, 40) in der Ofenwandung für die Betätigung von Verschlußklappen und Schiebern zur Steuerung der Gasströme auf. Die Hauptachse der Behandlungskammer fällt mit der Längsachse (4) des Ofens zusammen.The furnace ( 1 ) contains a treatment chamber ( 5 ), a fan ( 19 ) with a gas distribution chamber ( 21 ) and a heat exchanger ( 26 ) between the upper edge of the treatment chamber ( 5 ) and the gas distribution chamber ( 21 ) for cooling the working gas during the cooling process. The furnace also has various sliding bushings ( 17, 18, 40 ) in the furnace wall for the actuation of shutters and slides for controlling the gas flows. The main axis of the treatment chamber coincides with the longitudinal axis ( 4 ) of the furnace.

Die Behandlungskammer (5) wird von Seitenwänden (6), Bodenplatte (9) und Deckplatte (7) gebildet, die alle aus hochtemperaturbeständigem und thermisch isolierendem Material bestehen. Die Kammer (5) enthält einen für die Wärmebehandlung der Werkstücke nutzbaren Raum (27), der von gedachten Mantel- (28) und Stirnflächen (29) begrenzt wird, die parallel bzw. senkrecht zur Hauptachse (4) der Behandlungskammer (5) angeordnet sind. The treatment chamber ( 5 ) is formed by side walls ( 6 ), base plate ( 9 ) and cover plate ( 7 ), all of which consist of high-temperature-resistant and thermally insulating material. The chamber ( 5 ) contains a space ( 27 ) which can be used for the heat treatment of the workpieces and which is delimited by imaginary jacket ( 28 ) and end faces ( 29 ) which are arranged parallel or perpendicular to the main axis ( 4 ) of the treatment chamber ( 5 ) are.

Zur Optimierung der Strömungsverhältnisse in der Behandlungskammer (5) ist in die Kammer oberhalb des Nutzraumes (27) ein erfindungsgemäßer Zwischenboden (10) mit einer zentralen Gasdurchtrittsöffnung (11) senkrecht zur Hauptachse der Kammer eingezogen. Der Zwischenboden (10) trennt von der Behandlungskammer einen Gasleitraum (12) ab. Die Deckplatte (7) der Behandlungskammer ist auch gleichzeitig Deckplatte des Gasleitraumes (12) und besitzt eine zentrale Absaugöffnung (8), die mittels einer Schieberanordnung (22) an den Absaugstutzen (20) des Gebläses (19) angeschlossen werden kann. In den Seitenwänden (6) der Behandlungskammer befinden sich erfindungsgemäß oberhalb des Zwischenbodens (10) vier Gasaustrittsöffnungen (13) und in der Bodenplatte eine zentral angeordnete Austrittsöffnung (15). Diese Gasaustrittsöffnungen können durch Klappen (14, 16) verschlossen werden. Im geöffneten Zustand schaffen diese Gasaustrittsöffnungen, wie in Fig. 2 dargestellt, eine Verbindung vom Gasleitraum (12) zum Wärmetauscher (26), bzw., wie in Fig. 3 dargestellt, vom Nutzraum (27) um die Behandlungskammer herum zum Wärmetauscher.To optimize the flow conditions in the treatment chamber ( 5 ), an intermediate floor ( 10 ) according to the invention with a central gas passage opening ( 11 ) is drawn into the chamber above the useful space ( 27 ) perpendicular to the main axis of the chamber. The intermediate floor ( 10 ) separates a gas guiding space ( 12 ) from the treatment chamber. The cover plate ( 7 ) of the treatment chamber is also the cover plate of the gas guide space ( 12 ) and has a central suction opening ( 8 ) which can be connected to the suction nozzle ( 20 ) of the fan ( 19 ) by means of a slide arrangement ( 22 ). According to the invention, four gas outlet openings ( 13 ) are located in the side walls ( 6 ) of the treatment chamber above the intermediate floor ( 10 ) and a centrally arranged outlet opening ( 15 ) in the base plate. These gas outlet openings can be closed by flaps ( 14, 16 ). In the open state, these gas outlet openings, as shown in FIG. 2, create a connection from the gas guide space ( 12 ) to the heat exchanger ( 26 ), or, as shown in FIG. 3, from the useful space ( 27 ) around the treatment chamber to the heat exchanger.

Die Schieberanordnung (22) in der Absaugöffnung (8) der Deckplatte (7) der Behandlungskammer besteht, wie in DE-PS 39 10 234 beschrieben, aus zwei koaxialen Zylindern (23, 24) und weist zwei Schaltstellungen I und II auf. In Stellung I ist der innere Zylinder (23) - wie schon beschrieben - mit dem Absaugstutzen (20) des Gebläses (19) verbunden, während er in Stellung II, wie in Fig. 2 und 3 gezeigt, gegen eine Prallplatte (25) gefahren ist, die sich in dem von der Behandlungskammer (5) abgetrennten Gasleitraum (12) befindet. The slide arrangement ( 22 ) in the suction opening ( 8 ) of the cover plate ( 7 ) of the treatment chamber, as described in DE-PS 39 10 234, consists of two coaxial cylinders ( 23, 24 ) and has two switch positions I and II. In position I, the inner cylinder ( 23 ) - as already described - is connected to the suction nozzle ( 20 ) of the blower ( 19 ), while in position II, as shown in FIGS. 2 and 3, against a baffle plate ( 25 ) which is located in the gas guiding space ( 12 ) separated from the treatment chamber ( 5 ).

In dieser Schaltstellung der Schieberanordnung (22) ist somit die Absaugöffnung (8) in der Deckplatte (7) verschlossen und gleichzeitig der Absaugstutzen (20) des Gebläses mit dem zwischen Behandlungskammer (5) und Gasverteilungsraum (21) angeordneten Wärmetauscher (26) verbunden.In this switching position of the slide arrangement ( 22 ), the suction opening ( 8 ) in the cover plate ( 7 ) is closed and at the same time the suction connection ( 20 ) of the blower is connected to the heat exchanger ( 26 ) arranged between the treatment chamber ( 5 ) and the gas distribution space ( 21 ).

In Stellung I der Schieberanordnung preßt das Gebläse (19) das aus der Behandlungskammer (5) abgesaugte Arbeitsgas in den Gasverteilungsraum (21) und von dort in Gaszuführungsrohre (31), die parallel zur Hauptachse (4) in die Behandlungskammer (5) hineinreichen und zwischen der Mantelfläche (28) des Nutzraumes (27) und den Seitenwänden (6) der Kammer (5) bis nahe an die Bodenplatte (9) herangeführt sind. Die Gaszuführungsrohre (31) umgeben den Nutzraum in einer regelmäßigen Anordnung.In position I of the slider assembly, the blower (19) compresses the sucked from the treatment chamber (5) working gas into the gas distribution chamber (21) and from there into the gas supply pipes (31) which extend parallel to the main axis (4) in the treatment chamber (5) and between the outer surface ( 28 ) of the useful space ( 27 ) and the side walls ( 6 ) of the chamber ( 5 ) up to close to the base plate ( 9 ). The gas supply pipes ( 31 ) surround the usable space in a regular arrangement.

Zur radialen Beblasung der im Nutzraum auf einem Chargenträger (30) angeordneten Werkstücke sind die Gaszuführungsrohre (31) im Bereich der Mantelfläche (28) des Nutzraumes (27) mit radial nach innen gerichteten Düsenbohrungen (32) versehen.The gas supply pipes ( 31 ) are provided with radially inwardly directed nozzle bores ( 32 ) in the area of the lateral surface ( 28 ) of the work space ( 27 ) for the radial blowing of the workpieces arranged in the work space on a batch carrier ( 30 ).

In der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung sind die Gaszuführungsrohre im Bereich des Nutzraumes gleichzeitig als Heizelement ausgebildet. Dazu sind die Gaszuführungsrohre (31) in diesem Teil der Behandlungskammer aus Heizleitermaterial gefertigt und elektrisch gegenüber den restlichen Teilen der Zuführungsrohre unterhalb des Zwischenbodens durch Keramik-Rohrstücke (33) isoliert. In the present embodiment of the invention, the gas supply pipes in the area of the useful space are simultaneously designed as a heating element. For this purpose, the gas supply pipes ( 31 ) in this part of the treatment chamber are made of heating conductor material and are electrically insulated from the remaining parts of the supply pipes below the intermediate floor by ceramic pipe pieces ( 33 ).

Die axiale Beblasung der Werkstücke wird erfindungsgemäß durch jeweils zwei zusätzliche radiale Gasausströmöffnungen (34, 35) in jedem Gaszuführungsrohr (31) realisiert. Die Ausströmöffnungen liegen jeweils ober- und unterhalb der Stirnflächen des Nutzraumes. Die oberen Ausströmöffnungen (35) sind dabei noch oberhalb des Zwischenbodens (10) im Gasleitraum (12) angeordnet, während die unteren Gasauströmöffnungen (34) der Zuführungsrohre auf Höhe des Chargenträgers (30) angebracht sind.The axial blowing of the workpieces is achieved according to the invention by two additional radial gas outflow openings ( 34, 35 ) in each gas supply pipe ( 31 ). The outflow openings are located above and below the end faces of the usable space. The upper outflow openings ( 35 ) are arranged above the intermediate floor ( 10 ) in the gas guide space ( 12 ), while the lower gas outflow openings ( 34 ) of the supply pipes are located at the level of the batch carrier ( 30 ).

Mit der beschriebenen Gasausströmöffnungen (34, 35) können die Werkstücke im Nutzraum (27) abwechselnd axial beblasen werden. Hierzu werden die oberen und unteren Ausströmöffnungen wechselweise durch Verschlußelemente (36, 37) geöffnet und geschlossen. Das aus den Ausströmöffnungen austretende Arbeitsgas strömt zunächst ober- bzw. unterhalb der jeweils benachbarten Stirnfläche des Nutzraumes radial nach innen und wird dann von dem zur gegenüberliegenden Stirnfläche des Nutzraumes herrschenden Druckgefälle umgelenkt und bebläst die benachbarte Stirnfläche axial.With the gas outflow openings ( 34, 35 ) described, the workpieces in the usable space ( 27 ) can be alternately blown axially. For this purpose, the upper and lower outflow openings are alternately opened and closed by closure elements ( 36, 37 ). The working gas emerging from the outflow openings initially flows radially inward above or below the respectively adjacent end face of the usable space and is then deflected by the pressure gradient prevailing to the opposite end face of the usable space and blows axially on the adjacent end face.

Damit der Chargenträger (30) die axiale Beblasung der unteren Stirnfläche nicht behindert, ist er gasdurchlässig aus radialen Speichern aufgebaut.So that the batch carrier ( 30 ) does not hinder the axial blowing of the lower end face, it is made of radial accumulators in a gas-permeable manner.

Die Verschlußanordnung für die Ausströmöffnungen (34, 35) bestehen in dem vorliegenden Beispiel des erfindungsgemäßen Vakuumofens aus zwei in den Zuführungsrohren gleitenden Rohrstücken (36, 37), die durch eine Stange (38) starr miteinander verbunden sind. In the present example of the vacuum furnace according to the invention, the closure arrangement for the outflow openings ( 34, 35 ) consists of two pipe pieces ( 36, 37 ) sliding in the feed pipes, which are rigidly connected to one another by a rod ( 38 ).

Die starre Verbindung (38) der beiden Rohrstücke ist bis in den Gasverteilungsraum (21) hinein verlängert, wo die Verschlußanordnungen aller Gaszuführungsrohre durch einen gemeinsamen Rahmen (39) miteinander verbunden sind. An diesem Rahmen (39) greifen Verschiebeeinrichtungen (40) zum Öffnen und Schließen der Gasausströmöffnungen an.The rigid connection ( 38 ) of the two pipe sections is extended into the gas distribution space ( 21 ), where the closure arrangements of all gas supply pipes are connected to one another by a common frame ( 39 ). Sliding devices ( 40 ) for opening and closing the gas outflow openings act on this frame ( 39 ).

Fig. 4a) zeigt die Anordnung der Düsenbohrungen (32) und Gasausströmöffnungen (34, 35) längs eines Gaszuführungsrohres (31). Die Fig. 4b) bis 4d) zeigen einen Schnitt durch das Zuführungsrohr (31) mit der Verschlußanordnung bestehend aus den beiden Rohrstücken (36, 37) und der Verbindungsstange (38) in drei verschiedenen Stellungen. FIG. 4a) shows the arrangement of the nozzle bores (32) and gas exhaust ports (34, 35) along a gas supply pipe (31). The Fig. 4b) to 4d) show a section through the feed tube (31) with the closure assembly consisting of the two pipe sections (36, 37) and the connecting rod (38) in three different positions.

Die Länge der beiden Rohrstücke ist in dem vorliegenden Beispiel gleich dem doppelten Durchmesser der Gasausströmöffnungen (34, 35) gewählt und ihr Abstand entspricht dem Abstand der Ausströmöffnungen vermindert um deren Durchmesser.In the present example, the length of the two pipe pieces is chosen to be twice the diameter of the gas outflow openings ( 34, 35 ) and their distance corresponds to the distance between the outflow openings reduced by their diameter.

Aus der folgenden Tabelle können die zu den drei Stellungen b, c und d) der Schließanordnung gehörigen Schließzustände der Öffnungen des Gaszuführungsrohres entnommen werden. The following table shows the three Positions b, c and d) belonging to the locking arrangement Closed states of the openings of the gas supply pipe be removed.

Tabelle 1 Table 1

Durch entsprechende Zwischenstellungen kann der aus den Gasausströmöffnungen austretende Volumenstrom auf benötigte Werte eingestellt werden.By appropriate intermediate positions, the can volume flow exiting the gas outflow openings required values can be set.

In einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Vakuumofens sind die beiden separaten Rohrstücke (36, 37) durch ein einziges, langes Schließrohr (41) ersetzt. Das Schließrohr besitzt zum Öffnen und Schließen der Gasausströmöffnungen (34, 35) des Zuführungsrohres (31) Öffnungen (42, 43), deren Abtstand voneinander um das Doppelte des Durchmessers der Gasausströmöffnungen (34, 35) kleiner als der Abstand der Gasausströmöffnungen ist. Zur Freigabe der Düsenbohrungen (32) des Zuführungsrohres (31) weist das Schließrohr (41) zwischen den beiden Öffnungen (42, 43) ein axiales Langloch (44) auf, dessen Breite dem Durchmesser der Düsenbohrungen entspricht und dessen Länge gleich dem Abstand der äußersten Düsenbohrungen zuzüglich des Durchmessers einer Düsenbohrung und des doppelten Durchmessers der Gasausströmöffnungen ist. In another embodiment of the vacuum furnace according to the invention, the two separate tube pieces ( 36, 37 ) are replaced by a single, long closing tube ( 41 ). The closing tube has openings ( 42, 43 ) for opening and closing the gas outlet openings ( 34, 35 ) of the supply tube ( 31 ), the spacing of which from one another is twice the diameter of the gas outlet openings ( 34, 35 ) smaller than the distance between the gas outlet openings. To release the nozzle bores ( 32 ) of the feed tube ( 31 ), the closing tube ( 41 ) between the two openings ( 42, 43 ) has an axial elongated hole ( 44 ), the width of which corresponds to the diameter of the nozzle bores and the length of which corresponds to the distance from the outermost ones Nozzle holes plus the diameter of a nozzle hole and twice the diameter of the gas outflow openings.

Fig. 5 zeigt ein Gaszuführungsrohr (31) und ein dazugehöriges Schließrohr (41) in den zu Fig. 4 entsprechenden Arbeitsstellungen, für die auch Tabelle 1 gilt. FIG. 5 shows a gas supply pipe ( 31 ) and an associated closing pipe ( 41 ) in the working positions corresponding to FIG. 4, for which table 1 also applies.

Zur Regelung des radialen Volumenstromes sind die Öffnungen (42, 43) des Schließrohres tangential um die Breite des Langloches (44) vergrößert. Durch axiale Drehung des Schließrohres können somit die Düsenbohrungen (32) ohne Beeinflussung der Gasausströmöffnungen verschlossen werden.To regulate the radial volume flow, the openings ( 42, 43 ) of the closing tube are enlarged tangentially by the width of the elongated hole ( 44 ). By rotating the closing tube axially, the nozzle bores ( 32 ) can thus be closed without influencing the gas outflow openings.

Die Wärmebehandlung der Werkstücke läuft in dem erfindungsgemäßen Vakuumofen in drei Phasen ab, nämlich Heizphase, Kühlphase 1 und Kühlphase 2.The heat treatment of the workpieces runs in the vacuum furnace according to the invention in three phases, namely heating phase, cooling phase 1 and cooling phase 2.

Zur Chargierung des Ofens wird die Tür (3) mitsamt Chargenträger (30) und Bodenplatte (9) der Behandlungskammer (5) abgesenkt und der Chargenträger mit den Werkstücken beladen.To charge the furnace, the door ( 3 ) together with the batch carrier ( 30 ) and base plate ( 9 ) of the treatment chamber ( 5 ) is lowered and the batch carrier is loaded with the workpieces.

Nach Schließen der Ofentür wird der Ofen auf ca. 1 Pa evakuiert und anschließend mit Stickstoff geflutet. Danach beginnt die Heizphase.After closing the oven door, the oven is raised to approx. 1 Pa evacuated and then flooded with nitrogen. Then the heating phase begins.

Während der Heizphase ist der Absaugstutzen (20) des Gebläses (19) wie in Fig. 1 dargestellt mit der Behandlungskammer (5) verbunden, d. h. die Schieberanordnung (22) befindet sich in Schaltstellung I. Alle Gasaustrittsöffnungen (13, 15) der Behandlungskammer sind geschlossen, ebenso wie die oberen Gasausströmöffnungen (35) im Gasleitraum (12). During the heating phase, the suction nozzle ( 20 ) of the blower ( 19 ) is connected to the treatment chamber ( 5 ) as shown in FIG. 1, ie the slide arrangement ( 22 ) is in switch position I. All gas outlet openings ( 13, 15 ) of the treatment chamber closed, as well as the upper gas outflow openings ( 35 ) in the gas guide space ( 12 ).

Das Gebläse (19) wälzt das von den Heizrohren erhitzte Arbeitsgas über Gasverteilungsraum (21), Gaszuführungsrohre (31), Nutzraum (27) und Gasleitraum (12) im Ofen unter einem Druck von 0,2-0,3 MPa um. Die Strömungspfeile (45) in Fig. 1 verdeutlichen den Weg des Arbeitsgases beim Heizen. Nach ca. 1 Stunde Heizzeit ist die Austenitisierungstemperatur der Werkstücke erreicht und die Kühlung kann eingeleitet werden.The fan ( 19 ) circulates the working gas heated by the heating pipes via the gas distribution space ( 21 ), gas supply pipes ( 31 ), usable space ( 27 ) and gas guide space ( 12 ) in the furnace under a pressure of 0.2-0.3 MPa. The flow arrows ( 45 ) in Fig. 1 illustrate the path of the working gas during heating. After a heating time of approx. 1 hour, the austenitizing temperature of the workpieces is reached and cooling can be started.

Beim Kühlvorgang ist der Absaugstutzen (20) des Gebläses wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt mit dem Wärmetauscher (26) verbunden, d. h. die Schieberanordnung (22) befindet sich in Schaltstellung II und verschließt damit die Absaugöffnung (8) in der Deckplatte (7) der Behandlungskammer.During the cooling process, the suction nozzle ( 20 ) of the fan is connected to the heat exchanger ( 26 ) as shown in FIGS . 2 and 3, ie the slide arrangement ( 22 ) is in switch position II and thus closes the suction opening ( 8 ) in the cover plate ( 7 ) the treatment chamber.

Beim Abkühlen der Werkstücke wird abwechselnd zwischen Kühlphase 1 und Kühlphase 2 hin- und hergeschaltet. Während Kühlphase 2 sind, wie in Fig. 2 gezeigt, die Gasaustrittsöffnungen (13) des Gasleitraumes geöffnet und die oberen Gasausströmöffnungen (35) der Gaszuführungsrohre (31) ebenso wie die Gasaustrittsöffnung (15) in der Bodenplatte (9) geschlossen.When the workpieces cool down, the system alternates between cooling phase 1 and cooling phase 2. During cooling phase 2, as shown in FIG. 2, the gas outlet openings ( 13 ) of the gas guide space are opened and the upper gas outlet openings ( 35 ) of the gas supply pipes ( 31 ) as well as the gas outlet opening ( 15 ) in the base plate ( 9 ) are closed.

Die Beblasung der Werkstücke unter einem Druck von 0,6-1 MPa erfolgt jetzt radial und gleichzeitig axial aus den unteren Gasausströmöffnungen (34) von unten nach oben. The workpieces are now blown under a pressure of 0.6-1 MPa radially and simultaneously axially from the bottom gas outflow openings ( 34 ) from bottom to top.

Das Arbeitsgas verläßt die Behandlungskammer (5) durch die zentrale Gasdurchtrittsöffnung (11) des erfindungsgemäßen Zwischenbodens (10) und durch die Gasaustrittsöffnungen (13) des Gasleitraumes (12) und wird beim Vorbeiströmen am Wärmetauscher (26) gekühlt, bevor es vom Gebläse (19) angesaugt und erneut in die Behandlungskammer gepreßt wird (siehe Strömungspfeile (45) in Fig. 2).The working gas leaves the treatment chamber ( 5 ) through the central gas passage opening ( 11 ) of the intermediate floor ( 10 ) according to the invention and through the gas outlet openings ( 13 ) of the gas guide space ( 12 ) and is cooled as it flows past the heat exchanger ( 26 ) before it is blown by the blower ( 19 ) is sucked in and pressed again into the treatment chamber (see flow arrows ( 45 ) in FIG. 2).

Während Kühlphase 1 sind, wie in Fig. 3 gezeigt, die Gasaustrittsöffnungen (13) des Gasleitraumes (12) sowie die unteren Gasausströmöffnungen (34) der Zuführungsrohre (31) geschlossen, während die oberen Gasausströmöffnungen (35) der Zuführungsrohre ebenso wie die Gasaustrittsöffnung (15) in der Bodenplatte (9) der Behandlungskammer geöffnet sind. Die Werkstücke werden in dieser Kühlphase radial und gleichzeitig axial aus den oberen Gasausströmöffnungen von oben nach unten beblasen (siehe Strömungspfeile (45) in Fig. 3).During cooling phase 1, as shown in FIG. 3, the gas outlet openings ( 13 ) of the gas guide space ( 12 ) and the lower gas outlet openings ( 34 ) of the supply pipes ( 31 ) are closed, while the upper gas outlet openings ( 35 ) of the supply pipes as well as the gas outlet opening ( 15 ) are open in the base plate ( 9 ) of the treatment chamber. In this cooling phase, the workpieces are blown radially and simultaneously axially from the top gas outflow openings from top to bottom (see flow arrows ( 45 ) in FIG. 3).

Der gesamte Kühlvorgang dauert je nach Größe des Vakuumofens und je nach Werkstückart zwischen 30 und 60 Minuten. Während dieser Zeit wird mehrfach zwischen Kühlphase 1 und Kühlphase 2 hin- und hergeschaltet. Die Umschaltfrequenz liegt bei 1/min. Sie ist nach oben auf Wert von 2-3/min wegen der Trägheit der zu schaltenden Gasmassen begrenzt.The entire cooling process takes depending on the size of the Vacuum oven and between 30 and 60 minutes. During this time, there will be several times between Cooling phase 1 and cooling phase 2 switched back and forth. The switching frequency is 1 / min. It is after up to a value of 2-3 / min because of the inertia of the switching gas masses limited.

Ausschlaggebend für eine hervorragende Homogenität der Temperatur für alle Werkstücke im Nutzraum während des gesamten Kühlvorganges ist in dem erfindungsgemäßen Vakuumofen die gleichzeitige radiale und reversierbare axiale Beblasung der Werkstücke. Decisive for an excellent homogeneity of the Temperature for all workpieces in the work space during the entire cooling process is in the invention Vacuum oven the simultaneous radial and reversible axial blowing of the workpieces.

Durch den erfindungsgemäßen Zwischenboden wird die Gasströmung in der Behandlungskammer optimiert.Due to the intermediate floor according to the invention Optimized gas flow in the treatment chamber.

Versuche haben ergeben, daß das optimale Volumenstromverhältnis zwischen axialer und radialer Beblasung für viele Werkstückformen und -größen zwischen den Werten 20 : 80 bis 80 : 20 liegt. Das für die jeweilige Werkstückart optimale Verhältnis kann erfindungsgemäß noch während des Kühlvorganges durch nur teilweises Öffnen der Gasauströmöffnungen eingestellt werden.Experiments have shown that the optimal Volume flow ratio between axial and radial Blowing for many workpiece shapes and sizes lies between the values 20:80 to 80:20. That for them each workpiece type optimal ratio according to the invention during the cooling process only partial opening of the gas discharge openings can be set.

BezugsziffernlisteReference number list

1 Vakuumofen
2 Druckgehäuse
3 Klöpperboden, Ofentür
4 Längsachse des Ofens, Hauptachse der Behandlungskammer
5 Behandlungskammer
6 Seitenwand
7 Deckplatte
8 Absaugöffnung
9 Bodenplatte
10 Zwischenboden
11 zentrale Gasdurchtrittsöffnung
12 Gasleitraum
13 Gasaustrittsöffnung
14 Verschlußklappe
15 Gasaustrittsöffnung
16 Verschlußklappe
17, 18 Verschiebeeinrichtung
19 Gebläse
20 Ansaugstutzen
21 Gasverteilungsraum
22 Schieberanordnung
23 innerer Zylinder
24 äußerer Zylinder
25 Prallplatte
26 Wärmetauscher
27 Nutzraum
28 Mantelfläche
29 Stirnflächen
30 Chargenträger
31 Gaszuführungsrohr
32 Düsenbohrung
33 Isolierstück
34, 35 Gasausströmöffnung
36, 37 Rohrstück
38 Gestänge
39 Rahmen
40 Verschiebeeinrichtung
41 Schließrohr
42, 43 Öffnungen
44 Langloch
45 Strömungspfeile 1 vacuum oven
2 pressure housings
3 dished bottom, oven door
4 Longitudinal axis of the furnace, main axis of the treatment chamber
5 treatment chamber
6 side wall
7 cover plate
8 suction opening
9 base plate
10 intermediate floor
11 central gas passage opening
12 gas control room
13 gas outlet opening
14 flap
15 gas outlet opening
16 flap
17, 18 displacement device
19 blowers
20 intake manifolds
21 gas distribution room
22 slide arrangement
23 inner cylinder
24 outer cylinder
25 baffle plate
26 heat exchanger
27 usable space
28 lateral surface
29 end faces
30 batch carriers
31 gas supply pipe
32 nozzle bore
33 insulating piece
34, 35 gas outflow opening
36, 37 pipe section
38 rods
39 frames
40 shifting device
41 locking tube
42, 43 openings
44 slot
45 flow arrows

Claims

1. Vacuum furnace ( 1 ) for the heat treatment of metallic workpieces
with a treatment chamber equipped with heating devices ( 5 ), which has thermally insulated walls ( 6, 7, 9 ) with closable gas outflow openings ( 13, 15 ) and contains a usable space ( 27 ) with jacket and end faces ( 28, 29 ) that of Surrounded parallel to the main axis of the chamber are gas supply pipes ( 31 ), which have radially inwardly directed nozzle bores ( 32 ) in the area of the lateral surfaces ( 28 ) of the usable space,
with a fan ( 19 ) arranged outside the treatment chamber ( 5 ) and a heat exchanger ( 26 ), the pressure side of the fan directly via a gas distribution space ( 21 ) with the gas supply pipes ( 31 ) and the intake manifold ( 20 ) of the fan during the heating phase the treatment chamber ( 5 ) and are connected to the heat exchanger ( 26 ) during the cooling phase,
characterized,
that in the treatment chamber ( 5 ) perpendicular to the main axis ( 4 ) an intermediate floor ( 10 ) with a central gas passage opening ( 11 ) is drawn in, which from the treatment chamber ( 5 ) faces the blower ( 19 ) and gas distribution chamber ( 21 ) facing the gas duct ( 12 ) separates,
that each gas supply pipe (31) comprises two additional radially inwardly directed gas ejection ports, one of which opening (35) in the region of Gasleitraumes (12) and second (34) to the gas distribution space outside (12) end of the gas supply pipe (31) facing away from the area of the usable space jacket surfaces ( 28 ) is attached,
that the two additional gas outflow openings ( 34, 35 ) of a gas supply pipe ( 31 ) can be opened and closed by closure elements ( 36, 37 ),
and that the closable gas outlet openings ( 13, 15 ) are provided both in the side walls ( 6 ) of the gas guide space ( 12 ) and in the wall ( 9 ) of the treatment chamber ( 5 ) facing away from the gas distribution space ( 21 ).

2. Vacuum furnace according to claim 1, characterized in that the gas supply pipes ( 31 ) are simultaneously designed as heating elements.

3. Vacuum furnace according to claims 1 or 2, characterized in that the closure elements for the two gas outflow openings ( 34, 35 ) of a feed pipe ( 31 ) are formed by two tube pieces sliding in the feed pipe ( 36, 37 ), which are by a rigid linkage ( 38 ) are interconnected.

4. Vacuum furnace according to claim 3, characterized in that the interconnected pipe sections ( 36, 37 ) are provided with displacement devices ( 40 ) which can move the pipe sections axially.

5. Vacuum furnace according to claim 4, characterized in that the pipe section ( 36 ) located on the end of the feed pipe ( 31 ) facing away from the gas distribution chamber ( 21 ) is axially closed.

6. Vacuum furnace according to claim 1 or 2, characterized in that the closure elements for the two gas outflow openings ( 34, 35 ) of a supply pipe ( 31 ) are formed by a closing pipe ( 41 ) sliding in the supply pipe ( 31 ), which has two to the gas outflow openings ( 34, 35 ) has corresponding openings ( 42, 43 ) and which contains an axial elongated hole ( 44 ) between these openings in the region of the nozzle bores ( 32 ) of the feed pipe ( 31 ), the width of which corresponds to the diameter of the bores ( 32 ).

7. Vacuum furnace according to claim 6, characterized in that the openings ( 42, 43 ) of the closing tubes ( 41 ) corresponding to the gas outflow openings ( 34, 35 ) are enlarged tangentially in one direction by the width of the elongated hole ( 44 ).

8. Vacuum furnace according to claim 7, characterized in that the closing tubes ( 41 ) are provided with adjusting devices which both move the tubes axially and can also rotate about their longitudinal axis by an angle which corresponds to the radial opening angle of the nozzle bores ( 32 ).

9. Vacuum furnace according to claim 8, characterized in that the closing tubes ( 41 ) are closed at the end facing away from the gas distribution space ( 21 ).