DE4033388C3 - Layer system for gas sensors and method for its production - Google Patents
Layer system for gas sensors and method for its productionInfo
- Publication number
- DE4033388C3 DE4033388C3 DE4033388A DE4033388A DE4033388C3 DE 4033388 C3 DE4033388 C3 DE 4033388C3 DE 4033388 A DE4033388 A DE 4033388A DE 4033388 A DE4033388 A DE 4033388A DE 4033388 C3 DE4033388 C3 DE 4033388C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- layer system
- oxides
- mixed
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4075—Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Die Erfindung geht aus von einem Schichtsystem und einem Verfahren zur Herstellung von Schichtsystemen für Gassensoren nach der Gattung des Hauptanspruchs. Derartige Schichtsysteme sind zum Beispiel aus der DE-PS 28 52 647 bekannt.The invention is based on a layer system and a method for the production of layer systems for gas sensors of the type of the main claim. Such layer systems are, for example, from DE-PS 28 52 647 known.
Es hat sich jedoch gezeigt, daß eine poröse Deckschicht allein die Elektrodenschicht nicht immer ausreichend gegen Schadstoffe aus dem Abgas wie beispielsweise Silizium, Phosphor, Zink, Blei und deren Verbindungen schützen kann. In der EP-A2-03 31 513 wurde daher vorge schlagen, Erdalkalimetalloxide auf die Oberfläche oder in die Poren der Deckschicht einzubringen. Dadurch werden die gasförmigen organi schen oder anorganischen Siliziumverbindungen aufgefangen und in stabile Verbindungen umgewandelt, die die Sensorfunktion nicht be einträchtigen. Erdalkalimetalloxide können zwar den Schadstoff Sili zium unter Bildung hochschmelzender Reaktionsprodukte gut abfangen, Blei jedoch nur in Gegenwart anderer Reaktionspartner wie z. B. Si lizium und dies dann auch nur unter Bildung niedrig schmelzender Reaktionsprodukte, die zu einem Verstopfen der Poren in der Schutz schicht und somit zu einer Beeinträchtigung der Sensorempfindlich keit führen.However, it has been shown that a porous cover layer alone Electrode layer is not always sufficient against pollutants from the Exhaust gas such as silicon, phosphorus, zinc, lead and their Can protect connections. In EP-A2-03 31 513 was therefore pre beat, alkaline earth metal oxides on the surface or in the pores the top layer. As a result, the gaseous organi trapped or inorganic silicon compounds and in stable connections converted, the sensor function not be compromise. Alkaline earth metal oxides can cause the pollutant sili trap cium well to form high-melting reaction products, Lead, however, only in the presence of other reactants such as. B. Si silicon and then only with the formation of low-melting Reaction products that clog the pores in the protection layer and thus sensitive to impairment of the sensor lead.
Beim Motoreinlauf nach der Fahrzeugherstellung kann der Schadstoff Silizium, insbesondere durch Entweichen aus Dichtungsteilen auftreten, wogegen beim Dauerbetrieb Schadstoffe überwiegend aus Kraftstoff- und Öladditiven vorkommen können, wie z. B. Blei, Phosphor, Zink, in Sonderfällen auch Silizium.When entering the engine after vehicle manufacture, the pollutant can Silicon, especially by escaping from sealing parts occur, whereas pollutants predominantly occur during continuous operation Fuel and oil additives can occur, such as. B. lead, Phosphorus, zinc, in special cases also silicon.
Aus der EP-A 2-03 73 745 ist es weiterhin bekannt, die Elektrodenschicht von Brennstoffzellen oder Gassensoren gegenüber silizium- und/oder aluminiumhaltigen Verbindungen des Meßgases dadurch zu schützen, daß eines oder mehrere Oxide bzw. Verbindungen, die beim Erhitzen Oxide bilden, der Metalle aus der Gruppe Ce, Sm, Mg, Be, Ca, Sr, Ti, Zr, Hf, Y, La, Ce, Pr, Nb, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Th, U, aufgebracht werden.From EP-A 2-03 73 745 it is also known that Electrode layer of fuel cells or gas sensors opposite Silicon and / or aluminum-containing compounds of the measuring gas to protect by one or more oxides or compounds, which form oxides when heated, the metals from the group Ce, Sm, Mg, Be, Ca, Sr, Ti, Zr, Hf, Y, La, Ce, Pr, Nb, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Th, U, are applied.
Aus der US-P 42 72 349 ist der Einsatz einer äußeren Schutzschicht aus Al2O3 bekannt, die als Getter gegen Katalysatorgifte, im besonderen gegenüber Phosphor, wirkt.From US-P 42 72 349 the use of an outer protective layer made of Al 2 O 3 is known which acts as a getter against catalyst poisons, in particular against phosphorus.
Die US 45 26 844 beschreibt komplexe Verbindungen vom Nasicon-Typ sowie ein spezielles Herstellungsverfahren für die genannten Nasiconverbindungen, wobei die Erhöhung der Natrium-Leitfähigkeit wesentlich ist. Dies ist auch die für die Anwendung der beschriebenen Verbindungen als Festelektrolyt in der Natrium-Schwefel-Batterie wichtigste Eigenschaft. Beschrieben wird auch die Verwendung als Natriumsensor, sowie für andere Anwendungen, die einen Natrium- oder anderen metallischen Leiter beinhalten, wie zum Beispiel eine Brennstoffzelle. Mischoxid-Getterstoffe für Sauerstoffsensoren werden nicht beschrieben.US 45 26 844 describes complex connections of the Nasicon type and a special manufacturing process for the above Nasicon compounds, increasing sodium conductivity is essential. This is also the one described for the application of the Solid electrolyte compounds in the sodium-sulfur battery most important property. The use as is also described Sodium sensor, as well as for other applications that have a sodium or other metallic conductors, such as one Fuel cell. Mixed oxide getter materials for oxygen sensors not described.
Der Artikel "Solid state ionics" von M. D. Ingram und C. A. Vincent in Chemistry in Britain, März 1984, ist eine Übersicht über Festelektroyte vom Nasicon- und Lisicon-Typ. Hierzu werden historische, theoretische sowie Anwendungsfragen abgehandelt. Der Übersichtsartikel gibt keine Hinweise zur Verwendung von Mischoxid-Getterstoffen für Kfz-Abgase.The article "Solid state ionics" by M. D. Ingram and C. A. Vincent in Chemistry in Britain, March 1984, is an overview of Fixed electrolytes of the Nasicon and Lisicon type. To do this historical, theoretical and application questions dealt with. Of the Review articles provide no guidance on the use of Mixed oxide getter materials for automotive exhaust gases.
Die DE-OS 33 16 909 beschreibt Mischkristalle als ionenleitende Festelektrolyte für elektrochemische Zellen.DE-OS 33 16 909 describes mixed crystals as ion-conducting Solid electrolytes for electrochemical cells.
Aus dem Artikel "Potentiometric gas sensor for carbon dioxide using solid elektrolyte" von T. Maruyama in: Solid state ionics 23 (1987) werden Nasiconverbindungen beschrieben, zum Beispiel Beta-Tonerde, als Festelektrolyte für Kohlendioxid-Sensoren. Es handelt sich wiederum um Nasicon-Verbindungen als Festelektrolyte, nicht jedoch um Mischoxide mit Getterwirkung für Kfz-Abgase.From the article "Potentiometric gas sensor for carbon dioxide using solid electrolyte "by T. Maruyama in: Solid state ionics 23 (1987) Nasicon compounds are described, for example beta alumina, as solid electrolytes for carbon dioxide sensors. It is about again about Nasicon compounds as solid electrolytes, but not about Mixed oxides with getter effect for automotive exhaust gases.
Das beanspruchte Schichtsystem mit den Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß die Mischoxide die verschiedenen üblicherweise in Abgas auftretenden Schadstoffe, wie z. B. Silizium, Phosphor, Zink oder Blei, abfangen können. Durch die Kombination von Alkalimetallen einerseits und mindestens dreiwertigen Elementen aus der Gruppe Aluminium, Gallium, Bor, Yttrium, Scandium, Zirkonium und den Lanthaniden andererseits ergeben sich Mischoxide, deren Reaktionsfähigkeit und thermische Stabilität auf die Schadstoffe angepaßt werden kann. Die erfindungsgemäßen Mischoxid-Getter reagieren mit den Schadstoffen aus dem Abgas zu Reaktionsprodukten mit hohen Schmelzpunkten oberhalb der maximalen Anwendungstemperatur des Schichtsystems. Die hohe Affinität der Alkalioxide zu sauren Oxiden führt zu einer günstigen Getterwirkung gegenüber Silizium und Phosphor. Durch den amphoteren bzw. schwach sauren Charakter der mindestens dreiwertigen Mischoxid-Partner ergibt sich insbesondere auch die Getterwirkung für zweiwertige Schadstoffe, wie beispielsweise Blei oder Zink.The claimed layer system with the features of the main claim has the advantage that the mixed oxides the different Pollutants usually occurring in exhaust gas, such as. B. silicon, Intercept phosphorus, zinc or lead. By combining Alkali metals on the one hand and at least trivalent elements from the group aluminum, gallium, boron, yttrium, scandium, zirconium and the lanthanides, on the other hand, result in mixed oxides Responsiveness and thermal stability to the pollutants can be adjusted. The mixed oxide getters according to the invention react with the pollutants from the exhaust gas to form reaction products with high melting points above the maximum application temperature of the layer system. The high affinity of alkali oxides for acidic Oxides lead to a favorable getter effect compared to silicon and Phosphorus. Due to the amphoteric or weakly acidic character of at least trivalent mixed oxide partner results in particular also the getter effect for divalent pollutants, such as for example lead or zinc.
Gegenüber den bekannten Schadstoff-Gettern ermöglicht es die Erfin dung somit, ein breiteres Schadstoffspektrum abzudecken.Compared to the known pollutant getters, Erfin enables this thus to cover a broader spectrum of pollutants.
Durch die in den Unteransprüchen und in den Verfahrensansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbes serungen des im Hauptanspruch angegebenen Schichtsystems möglich. Besonders vorteilhaft ist es, die Mischoxide durch Imprägnieren aus einer bevorzugt wäßrigen Lösung, zum Beispiel der Nitrate oder Chloride, oder aus Lösungen von metallorganischen Verbindungen auf zubringen. Die Verbindungen der Alkalimetalle und der drei- oder höherwertigen Elemente werden so ausgewählt, daß sie sich bei Tem peraturen knapp oberhalb der Anwendungstemperatur des Sensors zer setzen, wobei die Mischoxide in sehr fein verteilter, hochreaktiver Form entstehen. Das Imprägnierverfahren bietet den weiteren Vorteil, daß zusätzlich zu den Mischoxiden gleichzeitig Katalysatorsubstanzen zur Einstellung der Sensor-Regellage in die poröse Deckschicht ein gebracht werden können, insbesondere Edelmetall-Katalysatoren, wie Platin, Palladium, Rhodium o.a.By in the subclaims and in the procedural claims Measures listed are advantageous further training and verbs Possible changes of the layer system specified in the main claim. It is particularly advantageous to impregnate the mixed oxides a preferably aqueous solution, for example the nitrates or Chlorides, or from solutions of organometallic compounds bring to. The compounds of the alkali metals and the three or higher-quality elements are selected so that they are at Tem temperatures just above the application temperature of the sensor set, the mixed oxides in very finely divided, highly reactive Form. The impregnation process offers the further advantage that in addition to the mixed oxides at the same time catalyst substances to adjust the sensor control position in the porous cover layer can be brought, in particular noble metal catalysts, such as Platinum, palladium, rhodium or similar
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform werden die Misch oxide als zusätzliche Schichten auf das fertiggesinterte Schicht system Festelektrolyt, Elekrodenschicht, poröse Deckschicht oder auf das noch ungesinterte Schichtsystem aufgebracht, das anschließend zusammen mit dieser zusätzlichen Schicht gesintert wird. Dabei kann die zusätzliche, mischoxidhaltige Schicht direkt auf die Elektroden schicht, auf die poröse Deckschicht oder aber als Zwischenschicht zwischen der porösen Deckschicht und einer weiteren porösen Deck schicht aufgebracht werden.According to a further advantageous embodiment, the mix oxides as additional layers on the finished sintered layer system solid electrolyte, electrode layer, porous cover layer or on the still unsintered layer system applied, which then is sintered together with this additional layer. It can the additional layer containing mixed oxide directly on the electrodes layer, on the porous cover layer or as an intermediate layer between the porous cover layer and another porous cover layer can be applied.
Als besonders vorteilhaft hat sich das Lithium-Aluminium-Oxid, Li2O · Al2O3 erwiesen. Weitere, besonders bevorzugte lithium haltige Mischoxide sind:The lithium aluminum oxide, Li 2 O.Al 2 O 3, has proven to be particularly advantageous. Other particularly preferred mixed oxides containing lithium are:
(2) Li₂O · Ga₂O₃
(3) 2 Li₂O · Al₂O₃ · Ga₂O₃
(4) 0,02 Li₂O · 0,98 Al₂O₃
(5) 0,98 Li₂O · 0,02 Al₂O₃
(6) Li₂O · 0,9 Al₂O₃ · 0,1 B₂O₃
(7) Li₂O · Ln₂O₃ (Ln = La, Nd, Sm, En, Gd, Dy, Er, Yb)
(8) Li₂O · Y₂O₃
(9) Li₂O · ZrO₂ (ZrO₂ mit 1,5-2 Gew.-% HfO₂)
(10) 3 Li₂O · 2 ZrO₂ (ZrO₂ mit 1,5-2 Gew.-% HfO₂)
(11) Li₂O · Na₂O · 22 Al₂O₃
(12) Li₂O · Sc₂O₃
(13) 0,1 Li₂O · 0,1 Y₂O₃ · 0,8 ZrO₂.(2) Li₂O · Ga₂O₃
(3) 2 Li₂O · Al₂O₃ · Ga₂O₃
(4) 0.02 Li₂O · 0.98 Al₂O₃
(5) 0.98 Li₂O · 0.02 Al₂O₃
(6) Li₂O · 0.9 Al₂O₃ · 0.1 B₂O₃
(7) Li₂O · Ln₂O₃ (Ln = La, Nd, Sm, En, Gd, Dy, Er, Yb)
(8) Li₂O · Y₂O₃
(9) Li₂O · ZrO₂ (ZrO₂ with 1.5-2% by weight HfO₂)
(10) 3 Li₂O.2 ZrO₂ (ZrO₂ with 1.5-2% by weight HfO₂)
(11) Li₂O · Na₂O · 22 Al₂O₃
(12) Li₂O · Sc₂O₃
(13) 0.1 Li₂O · 0.1 Y₂O₃ · 0.8 ZrO₂.
Ein weiteres bevorzugtes Mischoxid ist Natrium-β-Tonerde, Na2 · 11 Al2O3.Another preferred mixed oxide is sodium β-alumina, Na 2 · 11 Al 2 O 3 .
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können in vorteilhafter Weise Schichtsysteme für Abgassensoren, die den Sauerstoffgehalt bestim men, d. h. für Lambda-Sonden, hergestellt werden. Nach dem Verfahren lassen sich jedoch auch Schichtsysteme für andere Abgassensoren her stellen, z. B. für CO-, (NO)x- oder (CH)n-Sensoren. Die danach hergestellten Abgassensoren sind gegenüber Schadstoffen aus dem Ab gas weitgehend unempfindlich.Layer systems for exhaust gas sensors which determine the oxygen content, ie for lambda probes, can advantageously be produced by the method according to the invention. However, layer systems for other exhaust gas sensors can also be produced by the method, e.g. B. for CO, (NO) x - or (CH) n sensors. The exhaust gas sensors then manufactured are largely insensitive to pollutants from the exhaust gas.
Es wird ausgegangen von einem Schichtsystem nach DE-PS 28 52 647. Die Figur zeigt ein Schichtsystem mit einer üblichen Festelektro lyt-Keramik 10 aus mit Yttrium voll- oder teilstabilisiertem Zirko niumdioxid, einer darüber aufgebrachten Cermet-Elektrode 11 aus 60 Vol.-% Platin und 40 Vol.-% Y2O3-stabilisiertem ZrO2-Pulver sowie einer porösen Deckschicht 12 aus 75 Gew-% ZrO2/25 Gew-% Al2O3. Mit 13 ist vereinfacht eine der in der gesinterten Schicht 12 in großer Zahl vorhandenen Poren bezeichnet, deren Durchmesser im Bereich von 0,2 bis 15 µm liegt. Das Schichtsystem wird entsprechend den Angaben aus der DE-PS 28 52 647 gesintert.It is based on a layer system according to DE-PS 28 52 647. The figure shows a layer system with a conventional solid electrolytic ceramic 10 made of zirconium dioxide fully or partially stabilized with yttrium, a cermet electrode 11 made of 60% by volume applied thereover. platinum and 40 vol .-% Y 2 O 3 -stabilized ZrO 2 powder and a porous layer 12 of 75 wt% ZrO 2/25 wt% Al 2 O 3. With 13 , one of the pores present in large numbers in the sintered layer 12 is referred to in simplified form, the diameter of which is in the range from 0.2 to 15 μm. The layer system is sintered in accordance with the information from DE-PS 28 52 647.
Das oben beschriebene gesinterte Schichtsystem 10, 11, 12 wird in eine äquimolekulare Lösung von LiNO3 und Al (NO3)3 drei Minu ten lang bei Raumtemperatur getaucht. Anschließend wird etwa 10 Minuten lang abtropfen gelassen. Die poröse Deckschicht 12 kann während des Prozeßablaufs durch Kapillarkräfte praktisch vollständig getränkt werden. In einem nächsten Verfahrensschritt wird das Schichtsystem 10, 11, 12 bei 1000°C zwei Stunden lang an Luft ge tempert, damit sich aus den Nitraten das Lithium-Aluminium-Mischoxid in und auf der porösen Deckschicht 12 bilden kann.The sintered layer system 10 , 11 , 12 described above is immersed in an equimolecular solution of LiNO 3 and Al (NO 3 ) 3 for three minutes at room temperature. The mixture is then drained for about 10 minutes. The porous cover layer 12 can be practically completely impregnated by capillary forces during the process. In a next process step, the layer system 10 , 11 , 12 is tempered in air at 1000 ° C. for two hours so that the lithium aluminum mixed oxide can form in and on the porous cover layer 12 from the nitrates.
Das solchermaßen mit Mischoxid modifizierte Schichtsystem kann nun zur Herstellung eines Abgassensors für Sauerstoff, Kohlenmonoxid, Stickoxide oder Kohlenwasserstoffe eingesetzt werden.The layer system modified in this way with mixed oxide can now for the production of an exhaust gas sensor for oxygen, carbon monoxide, Nitrogen oxides or hydrocarbons are used.
Claims (12)
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4033388A DE4033388C3 (en) | 1990-10-20 | 1990-10-20 | Layer system for gas sensors and method for its production |
JP03515437A JP3105247B2 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | Layer system for gas sensor and its production method |
DE59107046T DE59107046D1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | LAYER SYSTEM FOR GAS SENSORS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF. |
ES91916309T ES2082227T3 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | STRATIFIED SYSTEM FOR GAS SENSORS, AND PROCEDURE FOR THEIR OBTAINING. |
BR919107029A BR9107029A (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | LAYER SYSTEM FOR GAS SENSORS AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION |
EP91916309A EP0553110B1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | Laminated system for gas sensors, and a process for producing it |
KR1019930700999A KR100190208B1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | Laminated system for gas sensors and process for producing it |
US08/039,059 US5368713A (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | Laminated system for gas sensors and process for producing it |
PCT/DE1991/000749 WO1992007253A1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | Laminated system for gas sensors, and a process for producing it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4033388A DE4033388C3 (en) | 1990-10-20 | 1990-10-20 | Layer system for gas sensors and method for its production |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4033388A1 DE4033388A1 (en) | 1992-04-23 |
DE4033388C2 DE4033388C2 (en) | 1993-03-04 |
DE4033388C3 true DE4033388C3 (en) | 1998-01-29 |
Family
ID=6416707
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4033388A Expired - Fee Related DE4033388C3 (en) | 1990-10-20 | 1990-10-20 | Layer system for gas sensors and method for its production |
DE59107046T Expired - Lifetime DE59107046D1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | LAYER SYSTEM FOR GAS SENSORS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59107046T Expired - Lifetime DE59107046D1 (en) | 1990-10-20 | 1991-09-21 | LAYER SYSTEM FOR GAS SENSORS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF. |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5368713A (en) |
EP (1) | EP0553110B1 (en) |
JP (1) | JP3105247B2 (en) |
KR (1) | KR100190208B1 (en) |
BR (1) | BR9107029A (en) |
DE (2) | DE4033388C3 (en) |
ES (1) | ES2082227T3 (en) |
WO (1) | WO1992007253A1 (en) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4131503A1 (en) * | 1991-09-21 | 1993-04-01 | Bosch Gmbh Robert | EXHAUST GAS SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
JP2748809B2 (en) * | 1992-12-10 | 1998-05-13 | 株式会社デンソー | Gas detector |
JPH06235715A (en) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Toyota Motor Corp | Oxygen concentration sensor |
GB2335043B (en) * | 1998-03-04 | 2002-05-22 | Eev Ltd | Gas sensors |
DE19932749B4 (en) * | 1998-07-23 | 2006-05-04 | Robert Bosch Gmbh | Layer system and method for its production and its use |
US6344174B1 (en) * | 1999-01-25 | 2002-02-05 | Mine Safety Appliances Company | Gas sensor |
JP4231587B2 (en) * | 1999-04-08 | 2009-03-04 | 日本特殊陶業株式会社 | Sensor device |
JP2000310610A (en) * | 1999-02-25 | 2000-11-07 | Denso Corp | Gas sensor element and production thereof |
DE19916798C2 (en) * | 1999-04-14 | 2001-10-18 | Daimler Chrysler Ag | Thin-film semiconductor gas sensor and method for the detection of gases |
JP2001281214A (en) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Gas sensor and sensor unit to use the same |
DE10058014C2 (en) * | 2000-11-23 | 2002-12-12 | Bosch Gmbh Robert | Sensor element of a gas sensor |
US6544405B2 (en) * | 2000-12-15 | 2003-04-08 | Delphi Technologies, Inc. | Sensor coating inhibiting glass formation |
US7041256B2 (en) * | 2001-01-30 | 2006-05-09 | Industrial Scientific Corporation | Poison resistant combustible gas sensors and method for warning of poisoning |
DE10154638B4 (en) | 2001-11-07 | 2006-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Catalytically active layer |
JP3969274B2 (en) * | 2001-12-03 | 2007-09-05 | 株式会社デンソー | Gas sensor element and manufacturing method thereof |
DE10260849B4 (en) * | 2002-12-23 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | probe |
US7211180B2 (en) | 2003-02-10 | 2007-05-01 | Robert Bosch Corporation | Contamination-resistant gas sensor element |
US8906214B2 (en) * | 2003-02-10 | 2014-12-09 | Robert Bosch Gmbh | Contamination-resistant gas sensor element |
US20090101502A1 (en) * | 2003-02-10 | 2009-04-23 | Robert Bosch Gmbh | Thermal Shock Resistant Gas Sensor Element |
CN100358834C (en) * | 2004-08-04 | 2008-01-02 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | High light output quick attenuation flash ceramic and its preparing method |
US9297791B2 (en) | 2012-12-20 | 2016-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Gas sensor with thermal shock protection |
US10234412B2 (en) | 2016-11-04 | 2019-03-19 | Msa Technology, Llc | Identification of combustible gas species via pulsed operation of a combustible gas sensor |
US10900922B2 (en) | 2018-07-17 | 2021-01-26 | Msa Technology, Llc | Power reduction in combustible gas sensors |
US11703473B2 (en) | 2019-12-11 | 2023-07-18 | Msa Technology, Llc | Operation of combustible gas sensor in a dynamic mode with a constant resistance setpoint |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4272349A (en) * | 1979-02-07 | 1981-06-09 | Toyota Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Catalyst supported oxygen sensor with sensor element having catalyst and protective layers and a method of manufacturing same |
DE2311165C2 (en) * | 1973-03-07 | 1983-02-17 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Electrochemical measuring sensor for the determination of the oxygen content in exhaust gases, mainly from internal combustion engines |
DE3316909A1 (en) * | 1983-05-09 | 1985-01-24 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Novel mixed crystals, method of producing and using them |
US4526844A (en) * | 1983-04-14 | 1985-07-02 | Westinghouse Electric Corp. | Rhombohedral nasicon compound and battery |
DE2852647C2 (en) * | 1978-12-06 | 1986-04-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Process for the production of a layer system on solid electrolytes for electrochemical applications |
EP0331513A2 (en) * | 1988-03-03 | 1989-09-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Oxygen sensor and method of producing the same |
EP0373745A2 (en) * | 1988-12-07 | 1990-06-20 | Westinghouse Electric Corporation | An electrochemical device containing a deposit of metal oxide or metal salt |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4021326A (en) * | 1972-06-02 | 1977-05-03 | Robert Bosch G.M.B.H. | Electro-chemical sensor |
JPS5273085A (en) * | 1975-12-15 | 1977-06-18 | Nippon Soken | Oxygen concentration detector |
JPS6214055A (en) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | Japan Electronic Control Syst Co Ltd | Oxygen sensor |
JPH0668480B2 (en) * | 1987-04-24 | 1994-08-31 | 日本碍子株式会社 | Electrode structure in oxygen sensor |
NL8702759A (en) * | 1987-11-19 | 1989-06-16 | Hoogovens Groep Bv | METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO-PERMEABLE MEMBRANE AND APPARATUS FOR APPLYING THIS MEMBRANE TO A CARRIER |
DE68927087T2 (en) * | 1988-11-01 | 1997-02-06 | Ngk Spark Plug Co | Oxygen-sensitive sensor and method for its production |
-
1990
- 1990-10-20 DE DE4033388A patent/DE4033388C3/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-21 ES ES91916309T patent/ES2082227T3/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-21 WO PCT/DE1991/000749 patent/WO1992007253A1/en active IP Right Grant
- 1991-09-21 US US08/039,059 patent/US5368713A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-21 EP EP91916309A patent/EP0553110B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-21 BR BR919107029A patent/BR9107029A/en not_active IP Right Cessation
- 1991-09-21 JP JP03515437A patent/JP3105247B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-21 KR KR1019930700999A patent/KR100190208B1/en not_active IP Right Cessation
- 1991-09-21 DE DE59107046T patent/DE59107046D1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2311165C2 (en) * | 1973-03-07 | 1983-02-17 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Electrochemical measuring sensor for the determination of the oxygen content in exhaust gases, mainly from internal combustion engines |
DE2852647C2 (en) * | 1978-12-06 | 1986-04-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Process for the production of a layer system on solid electrolytes for electrochemical applications |
US4272349A (en) * | 1979-02-07 | 1981-06-09 | Toyota Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Catalyst supported oxygen sensor with sensor element having catalyst and protective layers and a method of manufacturing same |
US4526844A (en) * | 1983-04-14 | 1985-07-02 | Westinghouse Electric Corp. | Rhombohedral nasicon compound and battery |
DE3316909A1 (en) * | 1983-05-09 | 1985-01-24 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Novel mixed crystals, method of producing and using them |
EP0331513A2 (en) * | 1988-03-03 | 1989-09-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Oxygen sensor and method of producing the same |
EP0373745A2 (en) * | 1988-12-07 | 1990-06-20 | Westinghouse Electric Corporation | An electrochemical device containing a deposit of metal oxide or metal salt |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
Chemistry in Britain, 20(1984)3, S:235-239 9B/120 * |
HOLLEMAN-WIBERG: Lehrbuch der Anorganischen Chemie, Walter de Gruyter, Berlin, New York 1985, S. 881, 882, 933, 934, 948 * |
HUHEEY, J.E.: Inorganic Chemistry, Harper Inter- national Edition, New York (u.a.), 1978, S. 372 u. 373 * |
Solid State Ionics (1987), 23(1/2), S. 107-112 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2082227T3 (en) | 1996-03-16 |
KR100190208B1 (en) | 1999-06-15 |
US5368713A (en) | 1994-11-29 |
DE4033388C2 (en) | 1993-03-04 |
EP0553110B1 (en) | 1995-12-06 |
DE4033388A1 (en) | 1992-04-23 |
JP3105247B2 (en) | 2000-10-30 |
EP0553110A1 (en) | 1993-08-04 |
JPH06502014A (en) | 1994-03-03 |
BR9107029A (en) | 1993-08-17 |
DE59107046D1 (en) | 1996-01-18 |
WO1992007253A1 (en) | 1992-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4033388C3 (en) | Layer system for gas sensors and method for its production | |
EP0604468B1 (en) | Exhaust gas sensor | |
DE2206216C3 (en) | Sensors for the determination of the oxygen content in exhaust gases, mainly from internal combustion engines, as well as processes for the production of such sensors | |
DE2837118C2 (en) | Porous oxide electrodes for high temperature electrochemical cells | |
EP1546062A2 (en) | Electrolytic perovskites | |
DE4432749B4 (en) | Oxygen concentration detector and method for its production | |
DE19546481A1 (en) | Catalyst and process for its manufacture and use | |
DE102012210725A1 (en) | Sensor element for detecting at least one property of a sample gas in a sample gas space | |
DE3913596C2 (en) | ||
DE3490037C2 (en) | Electrode for solid electrolyte oxygen sensor | |
DE3737215C2 (en) | ||
DE60109285T2 (en) | LINKS DERIVED FROM LA2MO2O9 AND ITS USE AS ION LEADER | |
DE2619746A1 (en) | Electrochemical probe for measuring oxygen content in exhaust gases - esp. of vehicles, consists of tube with central electrode and conductive outer layer | |
DE102009031773B4 (en) | Potentiometric sensor for the combined determination of the concentration of a first and a second gas component of a gas sample, in particular for the combined determination of CO2 and O2, corresponding determination method and use thereof | |
DE19856369C2 (en) | Resistive gas sensor and method for its production | |
DE2838230B2 (en) | Oxygen sensor | |
WO1999019721A1 (en) | COMPOSITION STRUCTURE FOR NOx-SENSORS | |
EP1636135A1 (en) | Mixed metal oxides and use thereof in co2 sensors | |
DE3125971A1 (en) | ELECTROCHEMICAL DEVICE, SUITABLE AS A MEASURING PROBE FOR DETERMINING A GAS PRESSURE AND THE USE THEREOF | |
DE19503783C2 (en) | CO¶2¶ sensor | |
DE2841016A1 (en) | DEVICE FOR MONITORING A COMPONENT IN A FLUID MIXTURE | |
DE2945020A1 (en) | Porous stable zirconium di:oxide ceramic - contg. added titanium di:oxide to control porosity and pore size distribution | |
DE19526074C2 (en) | Process for producing a sintered, electrically insulating ceramic layer | |
DE4412540C2 (en) | Reference electrode for galvanic cells with a cation-conducting solid electrolyte | |
DE2632138A1 (en) | OXYGEN SENSOR TO MEASURE THE DIFFERENCE IN OXYGEN CONCENTRATION BETWEEN TWO GASES |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8305 | Restricted maintenance of patent after opposition | ||
D4 | Patent maintained restricted | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |