DE3125971A1 - ELECTROCHEMICAL DEVICE, SUITABLE AS A MEASURING PROBE FOR DETERMINING A GAS PRESSURE AND THE USE THEREOF - Google Patents

ELECTROCHEMICAL DEVICE, SUITABLE AS A MEASURING PROBE FOR DETERMINING A GAS PRESSURE AND THE USE THEREOF

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DE3125971A1
DE3125971A1 DE19813125971 DE3125971A DE3125971A1 DE 3125971 A1 DE3125971 A1 DE 3125971A1 DE 19813125971 DE19813125971 DE 19813125971 DE 3125971 A DE3125971 A DE 3125971A DE 3125971 A1 DE3125971 A1 DE 3125971A1
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fluorides
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electrolyte
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DE19813125971
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Louis Cot
Gerard Couturier
Yves Danto
Paul Hagenmuller
Abdel Illah Hakam
Michel Kleitz
Claude Lucat
Joseph Portier
Jean Salardenne
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4073Composition or fabrication of the solid electrolyte
    • G01N27/4074Composition or fabrication of the solid electrolyte for detection of gases other than oxygen

Description

Die Erfindung betrifft eine neue potentiometrische Vorrichtung, die insbesondere als Fühler oder Aufnehmer (im folgenden als Meßfühler bezeichnet) zur Bestimmung des Partialdrucks einer Gasart geeignet ist. Sie betrifft insbesondere eine potentiometrische Vorrichtung vom iestelektrolyt-Typ mit Bezugssystem.The invention relates to a new potentiometric device, in particular as sensors or sensors (hereinafter referred to as measuring sensors) for determining the partial pressure one type of gas is suitable. In particular, it relates to a potentiometric device of the electrolyte type with reference system.

Sie betrifft auch die Anwendungen dieser Meßfühler zur Analyse oder zur Bestimmung von Gas, insbesondere zur Kontrolle von gasförmigen Abströmen von Industrieanlagen oder Verbrennungsgas, insbesondere im Hinblick auf die Regulierung ihrer Zus ammens et zung.It also relates to the uses of these sensors for analyzing or determining gas, in particular for checking purposes of gaseous effluents from industrial plants or combustion gas, especially with regard to the regulation of their composition.

Die potentiometrischen Vorrichtungen der in Präge kommenden Art können wie folgt schematisch dargestellt werden:The potentiometric devices of the coming into imprint Art can be represented schematically as follows:

Bezugssystem Reference system

Me, X(P ref)
Bezugselektrode
Me, X (P ref)
Reference electrode

(A) X(A) X

JPestelek-JPestelek-

trolyttrolyte

X, Me1 (Pmes) Arbeitselektrode X, Me 1 (Pmes) working electrode

i.Meßsystem i.Measuring system

In diesem Schema sind Me und Me1 elektronische Leiter, A ist ein Material mit Ionenleitfähigkeit und X ist die bewegliche Species in der elektrochemischen Kette.In this scheme, Me and Me 1 are electronic conductors, A is an ionically conductive material, and X is the mobile species in the electrochemical chain.

Das elektrochemische Bezugssystem im Kontakt mit dem Elektrolyten ermöglicht die Erzeugung eines Partialdrucks einer Gasart, die als Bezug (Pref) dient. Die Arbeitselektrode, die sich ebenfalls in Kontakt mit dem Elektrolyten befindet, befindet sich in dem zu untersuchenden Gasmilieu und besteht aus einem für die Gase dieses Milieus porösen Material.The electrochemical reference system in contact with the electrolyte enables the generation of a partial pressure of a type of gas, which serves as a reference (pref). The working electrode, which is also in contact with the electrolyte, is located in the gas environment to be examined and consists of a material that is porous for the gases in this environment.

Die Anwesenheit gasförmiger Species im oxidierten Zustand und im reduzierten Zustand im Kontakt mit der Arbeitselektrode einerseits und der Bezugselektrode andererseits führt zum Auftreten einer Potentialdifferenz, die der Kernst'sehen Gleichung genügt, wonachThe presence of gaseous species in the oxidized state and in the reduced state in contact with the working electrode on the one hand and the reference electrode on the other hand results to the occurrence of a potential difference which the core see Equation suffices, according to which

τ? vn ^ ET Ln p ref E = Eo + ^^ τ? v n ^ ET Ln p ref E = Eo + ^^

In dieser Pormel weisen die Symbole folgende Bedeutungen auf;In this formula the symbols have the following meanings;

Eo = konstanter Term E = elektromotorische Kraft in Volt R = Konstante für ideale Gase T = Temperatur in Grad KelvinEo = constant term E = electromotive force in volts R = constant for ideal gases T = temperature in degrees Kelvin

JB1 β Faraday-Zahl, wobei η die Anzahl der Elektronen darstellt, die zur Reaktion mit der Arbeitselektrode notwendig sind,JB 1 β Faraday number, where η represents the number of electrons that are necessary for reaction with the working electrode,

Pref = Druck der mobilen Species in dem Bezugssystem, ·Pref = pressure of the mobile species in the frame of reference,

Pmes = Druck der mobilen Species in der Meßsystem.Pmes = pressure of the mobile species in the measuring system.

Wenn der Bezugsdruck und die Temperatur bekannt sind, ermöglicht die Ablesung des Potentials die Bestimmung des Partialdrucks der zu untersuchenden Gasart.If the reference pressure and temperature are known, reading the potential enables the partial pressure to be determined the type of gas to be examined.

Es versteht sich, daß für Anwendungszwecke im großen Maß= stab in der Industrie zur Analyse verschiedener Gase die in Frage kommenden Vorrichtungen &xte Leistungsfähigkeiten aufweisen und leicht einzusetzen sein müssen.It is understood that for applications in large measure various gases = bar in the industry for analyzing the candidate devices and have xte efficiencies and be easy to use.

Jedoch genügen die bis zum heutigen Tage empfohlenen Vorrichtungen zur Analyse von Gasen nicht in ausreichender Weise diesen Erfordernissen.However, the devices recommended to date are sufficient for the analysis of gases does not adequately meet these requirements.

Insbesondere ermöglichen sie nicht die Analyse verschiedener Gase. Darüber hinaus funktionieren sie im allgemeinen nurIn particular, they do not allow the analysis of different gases. In addition, they generally only work

ι ί,νυ ιι ί, νυ ι

bei erhöhten Temperaturen. So müssen die Meßfühler, wie sie in dem Werk "Solid Electrolytes", P. Hagenmuller, W. Van Goöl, Academic Press 1978, Seite 4-97» beschrieben werden, in denen man die Ionenleitfähigkeit von Zirkon ausnutzt, auf Temperaturen in der Größenordnung von 500 0C gebracht werden.at elevated temperatures. The sensors, as described in the work "Solid Electrolytes", P. Hagenmuller, W. Van Goöl, Academic Press 1978, pages 4-97, in which the ionic conductivity of zirconium is used, must be set to temperatures of the order of magnitude of 500 0 C are brought.

Im Rahmen der Erfindung durchgeführte Arbeiten führten zu der Feststellung, daß es möglich ist, die Nachteile der üblichen bekannten Vorrichtungen, durch Verwendung bestimmter fluorierter anionischer Leiter als Elektrolyte überwunden werden können.Work carried out in the context of the invention led to the finding that it is possible to overcome the disadvantages of common known devices, overcome by using certain fluorinated anionic conductors as electrolytes can be.

In überraschender Weise wurde gefunden, daß selbst bei Umgebungsbzw. Raumtemperatur bestimmte anionische fluorierte Leiter mit einer erhöhten Leitfähigkeit durch das 1T~"-Ion die Bestimmung anderer Species insbesondere solcher wie Sauerstoff ermöglichen. Die durchgeführten Untersuchungen haben tatsächlich gezeigt, daß die elektrischen Eigenschaften einer Vorrichtung, die diese Elektrolytart enthält, modifiziert werden und daß das Potential, das sich einstellt, in vorteilhafter Weise deutlich der Nernst'sehen Gleichung, die vorstehend angegeben wurde, genügt (es sei festgestellt, daß dieses Gesetz nur in einem bestimmten Bereich von Pmes gilt, daß Jedoch die in Betracht gezogene Vorrichtung auch außerhalb dieses Bereichs verwendet werden kann).Surprisingly, it was found that even with ambient or. Anionic fluorinated conductors determined at room temperature with an increased conductivity due to the 1T ~ "ion enable the determination of other species, especially such as oxygen. The investigations carried out have indeed shown that the electrical properties of a device containing this type of electrolyte be modified and that the potential that is established can be clearly seen in an advantageous manner according to the Nernst equation, which has been stated above is sufficient (it should be noted that this law is only applicable in a certain range of Pmes it is true, however, that the device under consideration can also be used outside this range).

Eine derartige Vorrichtung ermöglicht es so, Messungen von Partialdrücken von Gasarten, die sie umgeben, durchzuführen.Such a device enables measurements of To perform partial pressures of gas types that surround them.

Ein Ziel der Erfindung ist daher die Bereitstellung einer neuen potentiometrischen Vorrichtung, die geeignet ist als elektrochemischer Meßfühler zur Messung von Partialdrücken von Gasarten, die es insbesondere ermöglicht, Messungen von verschiedenen Gasen durchzuführen und dies in einem großenIt is therefore an object of the invention to provide a new potentiometric device useful as a electrochemical sensor for measuring partial pressures of gas types, which in particular enables measurements of to carry out different gases and this in one big one

Temperaturb©r©ieh und Tort@ilb.iLft b®i Ein weiteres 2i©l das1 Erfindung ist di©Temperaturb © r © ieh and Tort@ilb.iLft b®i Another 2i © l the 1 invention is di ©

von Bauweisen für dies© Meßfühler,, die für di© in Betrachtof construction methods for this © sensor, those for di © into consideration

gesogene Anwendung geeignet sind«sucked application are suitable «

Gemäß einem weiteren Merkmal betrifft die Erfindung auch die Verwendung dieser Vorrichtungen sur Analyse von verschiedenen Gasen, insbesondere zur Kontrolls oder Steuerung der gasförmigen Abströme von Industrieanlagen oder auch zur Untersuchung der Zusammensetzung von Gasen, di© aus Bxplo-According to a further feature, the invention also relates to the use of these devices sur analysis of various Gases, in particular for monitoring or controlling the gaseous effluents from industrial plants or also for Investigation of the composition of gases, di © from Bxplo-

eine Arbeitselektrod®9 die gegenüber den zu untersuchenden Gasen porös ist, einan !©stelektrolyton und ©iae Bezugselektrode, und ist charakterisiert dadurch,, daß sie als Elektrolyten mindestens einen anionischen fluorierten (oder das entsprechende Oseyfluorid) Leiter enthält mit einer Leitfähigkeit, die auf der Mobilität des HT^Ions beruht, wobei dieser Leiter geeignet ist, die Diffusion oder die "Verdünnung" einer anderen Gasspecies,, insbesondere von Sauerstoff oder Sauerstoffion©n9 derart sicherzustellen daß beim Betrieb der Vorrichtung elektrochemische Ketten in Reihe gebildet werden, von denen zumindest eine die Leitfähigkeit des üT'-Xons ausnützt und zu einer f©stens beaogen auf S1^2 konstanten Spannung führt und von denen mindestens eine andere basiert auf dem Eindringen der Ionenart9 die bis zu einer bestimmten Tiefs in den anioniachen Leiter diffundiert oder sich verdünnt (was insbesondere für das O ~"=Ion gilt) und zu einer Spannung in Funktion der in Kontakt mit der Elektrode befindlichen Gasart führtοa working electrode® 9, which is porous to the gases to be examined, an adjacent electrolyte and a reference electrode, and is characterized by the fact that it contains at least one anionic fluorinated (or the corresponding osey fluoride) conductor as an electrolyte, with a conductivity that corresponds to the mobility of the HT ^ ion based, which conductor is capable of diffusion or the "dilution" of other gas species ,, in particular oxygen or oxygen ion © n 9 so ensure that electrochemical operation of the device chains are formed in series, one of which at least one utilizes the conductivity of the üT'-Xons and a f © sten s beaogen on S 1 ^ 2 constant voltage leads and of which at least one other is based diffuses on the penetration of the ion type 9 up to a certain lows in the anioniachen conductor or dilutes (which applies in particular to the O ~ "= ion) and to a voltage as a function of that in contact with the The type of gas in the electrode ο

O I ΔΟΌ I IOI ΔΟΌ I I

Der als Elektrolyt in der erfindungsgemäßen Vorrichtung eingesetzte anionische fluorierte Leiter besteht vorteilhaft aus festen Lösungen von mindestens zwei Fluoriden, die Fluoride mit Leer- oder Fehlstellen bilden (oder den entsprechenden Oxyfluoriden).The one used as an electrolyte in the device according to the invention Anionic fluorinated conductor consists advantageously of solid solutions of at least two fluorides, the fluorides with voids or defects (or the corresponding oxyfluorides).

Derartige feste Lösungen von Fluoriden mit Leer- bzw. Fehlstellen sind insbesondere vom Typ solcher, die den Gegenstand der FR-Patentanmeldung 2 330 127 (veröffentlicht) bilden. In diesen Fluoriden (oder diesen Oxyfluoriden) resultieren die Leer- oder Fehlstellen aus dem Ersatz eines ersten Fluorids innerhalb der möglichen Grenzen fester Lösungen zwischen den in Frage kommenden Fluoriden, durch mindestens ein anderes Fluorid, das ein Kation mit einer von dem ersten unterschiedlichen Wertigkeit aufweist.Such solid solutions of fluorides with voids or defects are in particular of the type which forms the subject of FR patent application 2 330 127 (published). In these fluorides (or these oxyfluorides) the voids or defects result from the replacement of a first fluoride within the possible limits of solid solutions between the fluorides in question, by at least one other Fluoride which has a cation with a valence different from the first.

In vorteilhafter Weise funktioniert eine derartige Vorrichtung bereits beginnend mit Raum- bzw. Umgebungstemperatur und erfordert keine Erwärmungseinrichtung, wie die Meßgeräte unter Verwendung von Zirkon, die auf Temperaturen in der Größenordnung von 500 C gebracht werden müssen. Sie kann jedoch auch entweder bei Temperaturen, die unterhalb oder bei Temperaturen, die oberhalb der Raumtemperatur liegen, funktionieren.Such a device works in an advantageous manner starting with room or ambient temperature and does not require a heating device like the meters using zirconium, which must be brought to temperatures of the order of 500 C. she can but also either at temperatures that are below or at temperatures that are above room temperature, function.

Interessanterweise läßt sich auch feststellen, daß die für ihre Verwirklichung verwendeten Materialien geringe Kosten verursachen und handelsüblich sind. Sie können sehr leicht eingesetzt werden bei mäßigen Temperaturen (100 0C) und bei Umgebungs-Atmosphäre.It is also interesting to note that the materials used to make them are inexpensive and commercially available. They can be used very easily at moderate temperatures (100 ° C.) and in an ambient atmosphere.

Außerdem gibt eine derartige Vorrichtung eine Spannung ab, die ein leicht mit wenig kostspieligen Vorrichtungen meßbarerIn addition, such a device emits a voltage which is easily measurable with less expensive devices

Parameter ist. Darüber hinaus wird es durch diese Vorrichtung möglich, wichtige Spannungsänderungen zu messen. Im Falle von Sauerstoff beispielsweise stellt man Änderungen von einigen Hundertstel Millivolt im Bereich von 10"" Atmo sphären bis zur Atmosphäre (etwa 0,98 χ 10 bis etwa 0,98 bar) fest, ein Bereich, der für die Steuerung von Explosionsmotoren besonders interessant ist.Parameter is. In addition, this device makes it possible to measure important voltage changes. in the In the case of oxygen, for example, changes of a few hundredths of a millivolt in the range of 10 "" Atmo are seen spheres up to the atmosphere (about 0.98 χ 10 to about 0.98 bar) solid, an area used for controlling explosion engines is particularly interesting.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung werden die !fluoride mit Fehl- bzw. Leerstellen, die zur Bildung des Elektrolyten verwendet werden, gebildet aus zwei Fluoriden MF und M1F und entsprechen der allgemeinen Formel (I):According to one embodiment of the invention, the fluorides with defects or vacancies, which are used to form the electrolyte, are formed from two fluorides MF and M 1 F and correspond to the general formula (I):

M1-z H'z »χ + . (y - χ) M 1-z H 'z »χ + . (y - χ)

worin M und M' jeweils ein geeignetes Kation zur Bildung der Fluoride mit Fehl- bzw- Leerstellen und geeigneter Wirksamkeit bei der Arbeitstemperatur geeignet sind, wobei die Wertigkeiten χ und y der Kationen unterschiedlich sind| ζ eine Zahl ist, ausgewählt aus einem Gebiet, das eine Funktion des Kationenpaars M und M5 ist und dessen Grenzen durch die Grenzen der möglichen festen Lösungen zwischen MF und M8F auferlegt sind.where M and M 'are each a suitable cation for the formation of the fluorides with defects or vacancies and suitable effectiveness at the working temperature, the valencies χ and y of the cations being different | ζ is a number selected from a region that is a function of the cation pair M and M 5 and the limits of which are imposed by the limits of the possible fixed solutions between MF and M 8 F.

Eine bevorzugte Gruppe von festen Lösungen mit Fehl- bzw. Leerstellen dieser Art wird gebildet aus Fluoriden MF2 und M0F5 und entspricht der allgemeinen Formel (II);A preferred group of solid solutions with defects or vacancies of this type is formed from fluorides MF2 and M 0 F 5 and corresponds to the general formula (II);

M1-z M'z F2 + ζ (II) M 1-z M ' z F 2 + ζ (II)

In dieser Formel liegt ζ vorteilhaft zwischen 0 und 0,5 und bevorzugt bei 0,20 bis 0,3O5 und M und M' sind zweiwertige bzw. dreiwertige Kationen=,In this formula, ζ is advantageously between 0 and 0.5 and preferably 0.20 to 0.3O 5 and M and M 'are divalent or trivalent cations =,

3 Ί Z b 3 Υ 13 Ί Z b 3 Υ 1

~ 12 -~ 12 -

Verbindungen dieser Gruppe sind z, B. Fluoride mit Fehlbzw. Leerstellen, worin M und M1 Fb bzw. Bi sind.Compounds of this group are, for example, fluorides with Fehlbzw. Spaces where M and M 1 are Fb and Bi, respectively.

Eine andere bevorzugte Gruppe von festen Lösungen wird
gebildet ausgehend von Fluoriden MF und M1F, und weist die
Formel (III) auf:
Another preferred group of solid solutions is
formed starting from fluorides MF and M 1 F, and has the
Formula (III) on:

U1-z n ζ *1+2z UJ"L; U 1-z n ζ * 1 + 2z UJ "L;

worin M ein einwertiges Kation ist, M1 ein dreiwertiges Kation ist und ζ eine Zahl von 0,50 bis 0,75 darstellt.wherein M is a monovalent cation, M 1 is a trivalent cation, and ζ represents a number from 0.50 to 0.75.

M wird vorzugsweise ausgewählt aus der Gruppe von Ag, Au,
Tl, Eb, K und M1 aus der Gruppe von Bi, As oder Sb.
M is preferably selected from the group of Ag, Au,
Tl, Eb, K and M 1 from the group of Bi, As or Sb.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfaßt
der Elektrolyt ein Fluorid mit Fehl- bzw. Leerstellen, resultierend aus drei Fluoriden MFx, M-F und M11F mit der allgemeinen Formel (IV): 12
According to a further embodiment of the invention comprises
the electrolyte is a fluoride with defects or vacancies, resulting from three fluorides MF x , MF and M 11 F with the general formula (IV): 12

worin M, M1 und M" jeweils ein Kation darstellen, das geeignet ist zur Bildung von Fluoriden mit Fehl- bzw. Leerstellen mit ausreichender Leitfähigkeit bei den Einsatztemperaturen} x, y,, und y2 die Wertigkeiten der Kationen darstellen, wobei mindestens eine dieser Wertigkeiten von den anderen unterschiedlich ist;where M, M 1 and M ″ each represent a cation which is suitable for the formation of fluorides with vacancies or vacancies with sufficient conductivity at the operating temperatures} x, y 1 and y 2 represent the valencies of the cations, at least one this valence is different from the others;

Zy, und Zo zwei Zahlen sind, ausgewählt aus einem Gebiet, das eine Funktion der Gruppe der Kationen M, M1 und M11 darstellt und dessen Grenzen auferlegt sind durch die Grenzen der festen Lösungen, die möglich sind zwischen MF , M1F und M"FZy, and Zo are two numbers selected from a region which is a function of the group of cations M, M 1 and M 11 and the limits of which are imposed by the limits of the solid solutions possible between MF, M 1 and F M "F

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden die Kationen der Fluoride mit Fehl- "bzw. Leerstellen ausgewählt aus der Gruppe von Li+, Na+, K+ Eb+, Cs+, Ag+, Tl+, Im+, Mg2+, Ca2+, Sr2+, SBa2+, Cd2+, Cu2+, Zn2+, Pb2+, Sn2+, Al3+, Ga3+, In5+, Sc3+, Y3+, Lanthaniden (La3+ bis Lu3+), Sb3+, Bi3+, Ti+, Zr , Hf , Te , I3+ und vorzugsweise aus der Gruppe von K+, Eb+, Cs+, Ag+, Tl+, HH4 +, Sr2+, Ba2+, Cd2+, Cu2+, Zn2+, Fb2+, Sn2+, La3+, Sb3+, Bi3+, Te4+, I5+.According to a further embodiment of the invention, the cations of the fluorides with vacancies or vacancies are selected from the group of Li + , Na + , K + Eb + , Cs + , Ag + , Tl + , Im + , Mg 2+ , Ca 2+ , Sr 2+ , SBa 2+ , Cd 2+ , Cu 2+ , Zn 2+ , Pb 2+ , Sn 2+ , Al 3+ , Ga 3+ , In 5+ , Sc 3+ , Y 3 + , Lanthanides (La 3+ to Lu 3+ ), Sb 3+ , Bi 3+ , Ti + , Zr, Hf, Te, I 3+ and preferably from the group of K + , Eb + , Cs + , Ag + , Tl + , HH 4 + , Sr 2+ , Ba 2+ , Cd 2+ , Cu 2+ , Zn 2+ , Fb 2+ , Sn 2+ , La 3+ , Sb 3+ , Bi 3+ , Te 4 + , I 5+ .

Allgemein werden die Kationen derart ausgewählt, daß die Leitfähigkeit des resultierenden Leiters bei den Einsatztemperaturen ausreichend ist (allgemein geht man davon aus, daß eine Leitfähigkeit industriell verwertbar ist, wenn sie über etwa 10 ' J-I cm ' bei der Temperatur, bei der man arbeiten will, liegt).In general, the cations are selected so that the conductivity of the resulting conductor is sufficient at the temperatures of use (it is generally assumed that a conductivity is industrially useful if it is above about 10 'JI cm' at the temperature at which one wishes to work , lies).

Wie in der vorstehend genannten FR-Patentanmeldung angegeben, weisen die Fluoride mit Fehl- bzw. Leerstellen in vorteilhafter Weise eine erhöhte Leitfähigkeit pro F""-Ion auf. Diese Leitfähigkeit kann gesteigert werden durch Erhöhung der Anzahl der Fehl- bzw. Leerstellen im anionischen Untergitter des ersten Fluoride. Man kann sie noch verbessern, wenn man Fluoride einsetzt, die Kationen mit einer starken Polarisierbarkeit besitzen, wie beispielsweise Tl+, Sn2+, Pb, Bi3+.As indicated in the aforementioned FR patent application, the fluorides with defects or vacancies advantageously have an increased conductivity per F "" ion. This conductivity can be increased by increasing the number of defects or vacancies in the anionic sublattice of the first fluoride. It can be improved further if fluorides are used which have cations with a strong polarizability, such as Tl + , Sn 2+ , Pb, Bi 3+ .

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist in verschiedenen Formen ausführbar, was ein breites Anwendungsgebiet in der Industrie ermöglicht.The device according to the invention can be implemented in various forms, which has a wide field of application in industry enables.

Spezieller kann man sie in Form von Keramiken oder dünnen Schichten oder auch von dicken oder dichten Schichten herstellen. More specifically, they can be made in the form of ceramics or thin layers, or thick or dense layers.

Um die erfindungsgemäß verwendeten fluorierten anionischen Leiter in Form von Keramiken als Elektrolyte zu erzielen5 In order to achieve the fluorinated anionic conductors used according to the invention in the form of ceramics as electrolytes 5

J ι zoa / ιJ ι zoa / ι

bedient man sich vorteilhaft des in der FR-Patentanmeldung 2 330 12 7 beschriebenen Verfahrens.one uses advantageously that in the FR patent application 2 330 12 7 described procedure.

Hierzu sei darauf hingewiesen, daß man ein gesiebtes Gemisch (vorzugsweise 100 ii bzw. um) von einfachen Fluoriden, die vorzugsweise mindestens ein Kation mit starker Polarisierbarkeit oder besser nur Kationen mit starker Polarisierbarkeit enthalten, verwendet. Das erhaltene definierte Produkt wird anschließend gepreßt und bei einer Temperatur gefrittet bzw. gesintert, die ausreicht, daß die Kompaktheit bzw. die Dichte des erhaltenen Materials sehr hoch ist, insbesondere über 95 Das Sintern bewirkt man bei normalem Druck unter inerter (beispielsweise Ng) oder besser fluorierender (beispielsweise HF) Atmosphäre, um jegliches Hydrolyserisiko zu vermeiden. Die Arbeitsbedingungen werden derart gewählt, daß die erhaltenen Materialien einen hohen Reinheitsgrad aufweisen.It should be pointed out that a sieved mixture (preferably 100 μl or μm) of simple fluorides, which preferably contain at least one cation with strong polarizability or, better still, only cations with strong polarizability, is used. The defined product obtained is then pressed and fritted or sintered at a temperature which is sufficient for the compactness or density of the material obtained to be very high, in particular over 95 % ) or better fluorinated (e.g. HF) atmosphere to avoid any risk of hydrolysis. The working conditions are chosen so that the materials obtained have a high degree of purity.

Die Herstellung dieser Leiter in der Form von dünnen Schichten führt man vorteilhaft nach üblichen Abscheidetechniken von dünnen Schichten durch, vorteilhaft nach den Techniken, die in der veröffentlichten FR-Zusatzanmeldung 2 403 652 (Anmeldung 77 28113) zur FR Anmeldung 2 330 127 (Anm. 75 33244) beschrieben werden, die speziell anionische fluorierte Leiter, wie vorstehend genannt, in der Strukturform dünner Schichten betrifft.The production of these conductors in the form of thin layers is advantageously carried out using customary deposition techniques of thin layers, advantageously according to the techniques described in published FR additional application 2 403 652 (Application 77 28113) to FR application 2 330 127 (note 75 33244) are described, the specially anionic fluorinated conductors, as mentioned above, in the structural form of thin layers.

Man kann insbesondere eine thermische Verdampfung im Vakuum der Fluoride durchführen, deren jeweilige Kationen den vorstehend angegebenen Oharakteristika entsprechen. Man kann entweder durch Verdampfen der Verbindung aus einem einzigen Tiegel vorgehen, oder durch Coverdampfung einfacher Fluoride arbeiten, was bevorzugt ist.In particular, it is possible to carry out thermal evaporation in vacuo of the fluorides, the respective cations of which correspond to the above correspond to the specified O characteristics. One can either by vaporizing the compound from a single Proceed with a crucible, or work by co-evaporation of simple fluorides, which is preferred.

Im letzteren Falle werden die Ausgangsfluoride, die in den jeweiligen Anteilen eingesetzt werden, die die Bildung der gewünschten festen Lösungen mit Fehl- bzw. Leerstellen ermöglichen, jeweils in Tiegel eingesetzt, die sich in einem Baum "befinden, in dem ein Hochvakuum geschaffen wird.In the latter case, the starting fluorides that are in the respective proportions are used that enable the formation of the desired solid solutions with defects or voids, each used in crucibles that are in a tree "in which a high vacuum is created.

Man bewirkt die Coverdampfung der Fluoride durch Erwärmen der jeweiligen Tiegel auf für diesen Zweck geeignete Temperaturen. Die gebildeten Dämpfe der Fluoride scheiden sich an einem isolierenden Substrat ab, das sich auf ihrem Wege befindet. Für bestimmte Verbindungen kann es günstig sein, das Substrat zu erwärmen. Die Abseheidungsgeschwindigkeit wird derart gewählt, daß die gebildete Dünnschicht optimale Eigenschaften aufweisen kann5 sie hängt von der Natur der abgeschiedenen Verbindung ab.The fluorides are co-evaporated by heating the respective crucibles to temperatures suitable for this purpose. The fluoride vapors formed are deposited on an insulating substrate, which is on their way is located. For certain connections it can be beneficial to heat the substrate. The deposition rate is chosen so that the thin film formed can have optimal properties5 it depends on the nature of the separated compound.

Um Abscheidungen von Fluoriden mit Fehl- bzw. Leerstellen zu erzielen, können zahlreiche andere Techniken angewendet werden. Genannt seien die Entspannungsverdampfung bzw. Flash-Verdampfung, die elektronische Bombardierung, die kathodische oder ionische Zerstäubung, die chemischen Methoden usw.. Eine Beschreibung dieser Methoden findet sich beispielsweise in "Handbook of thin film Technology" von L. I. Moussel und R. Glang, herausgegeben von der Mac Graw Hill Book Company.Numerous other techniques can be used to achieve deposition of fluorides with vacancies will. The expansion evaporation or flash evaporation, the electronic bombing, the cathodic or ionic sputtering, the chemical methods, etc. A description of these methods can be found for example in "Handbook of Thin Film Technology" by L. I. Moussel and R. Glang, edited by Mac Graw Hill Book Company.

Varianten oder Anpassungen dieser Methoden oder anderer Methoden, die noch bekannt sind zur Abscheidung dünner Schichten in allgemeiner Form lassen sich leicht vom Fachmann zur Erzielung fester Lösungen mit Fehl- bzw. Leerstellen in Form von dünnen Schichten gemäß der Erfindung durchführen. Variants or adaptations of these methods or of other methods that are still known for the deposition of thinner Layers in general form can easily be found by the person skilled in the art in order to achieve solid solutions with defects or voids perform in the form of thin layers according to the invention.

ι ζ D a / ιι ζ D a / ι

Gemäß einer anderen Ausführungsform führt man diese Anordnungen in dicken bzw. dichten Schichten aus, wobei man eine Paste herstellt, die aus jedem der Bauelemente besteht, die man nach Siebdrucktechniken auf einen Kanevas bzw. auf ein Sieb aufbringt, worauf man einen Glüh- bzw. Erhitzungsarb e its gang durchführt. According to another embodiment, these arrangements are carried out in thick or dense layers, producing a paste consisting of each of the components that it is applied to canvas or a sieve using screen printing techniques, whereupon an annealing or heating process is carried out.

Die Wahl des fluorierten anionischen Leitermaterials und der Verwxrklichungsform der potentiometrischen Vorrichtung im Zustand von Keramiken, dünnen Schichten oder dicken bzw. dichten Schichten erfolgt unter Berücksichtigung der experimentellen Bedingungen für den angestrebten Verwendungszweck.The choice of fluorinated anionic conductor material and the form of the potentiometric device in the state of ceramics, thin layers or thick or dense layers is carried out taking into account the experimental Conditions for the intended use.

Bei dieser Wahl spielen auch verschiedene leicht vom Fachmann abzuschätzende Faktoren eine Holle. Beispielsweise seien erwähnt die chemische Stabilität des den Elektrolyten bildenden Materials gegenüber einem zu analysierenden Gas (sein Verhalten gegenüber einer oxidierenden oder reduzierenden Atmosphäre: PbP2» ThF^ sind beispielsweise vorteilhaft mit einem oxidierenden Gas und PbSnIV zur Bewirkung von Messungen mit einem reduzierenden Gas)f sein Schmelzpunkt der natürlich mit den experimentellen Temperaturen verträglich sein sollte und allgemein die Stabilität der elektrochemischen Größen des Elektrolyten (das Gebiet der elektrochemischen Stabilität, das heißt, der Hicht-Dissoziation muß verträglich sein mit den durch einen vorgegebenen Bezug gelieferten Spannungen) .Various factors that can easily be assessed by a person skilled in the art also play a role in this choice. Examples which may be mentioned the chemical stability of the electrolyte-forming material to a gas to be analyzed (its behavior to an oxidizing or reducing atmosphere: PBP2 'ThF ^ are advantageous, for example with an oxidizing gas and PbSnIV for effecting measurements with a reducing gas) be f Melting point, which should of course be compatible with the experimental temperatures and, in general, the stability of the electrochemical quantities of the electrolyte (the area of electrochemical stability, i.e. the Hicht dissociation must be compatible with the voltages provided by a given reference).

Die Wahl dieses Materials wird auch beeinflußt durch die Durchführungsform der Vorrichtung, die am geeignetsten erscheint. The choice of this material is also influenced by the mode of implementation of the device which appears most suitable.

So ist es im Falle der Ausarbeitung von Vorrichtungen in der Form von dünnen Schichten besonders vorteilhaft, als Elektrolyt einen fluorierten binären anionischen Leiter zuThus, in the case of devising devices in the form of thin layers, it is particularly advantageous than Electrolyte to a fluorinated binary anionic conductor

verwenden und dies insbesondere, um Dissoziationsrisiken zu vermeiden.and in particular to avoid the risk of dissociation.

In vorteilhaften, erfindungsgemäßen Vorrichtungen besteht die Bezugselektrode aus einem Gemisch von Metallpulver und seinem Fluor id (Pb, PbF2; Bi, BiF,; Sn, SnF2), wobei ihre Isolation durch ein Einhüllen in ein Epoxyharz sichergestellt wird. Die ionisch leitenden Materialien, die bereits genannt wurden, werden in Keramikform verwendet. Die Arbeitselektrode besteht aus einer dünnen Schicht von Edelmetall, abgelagert durch kathodisches Zerstäuben. Man bedient sich vorteilhaft des Platins, wegen seiner katalytischen Wirksamkeit. Silberlackkontakte (laque d1argent) ermöglichen den Zugang zu den Elektroden.In advantageous devices according to the invention, the reference electrode consists of a mixture of metal powder and its fluoride (Pb, PbF 2 ; Bi, BiF ,; Sn, SnF 2 ), its insulation being ensured by being encased in an epoxy resin. The ionically conductive materials that have already been mentioned are used in ceramic form. The working electrode consists of a thin layer of precious metal deposited by cathodic sputtering. It is advantageous to use platinum because of its catalytic effectiveness. Silver lacquer contacts (laque d 1 argent) allow access to the electrodes.

Andere Charakteristika und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung und den Beispielen, die auf die beigefügten Figuren Bezug nehmen:Other characteristics and advantages of the invention result can be derived from the following description and the examples which refer to the attached figures:

Die Figuren 1 und 2 stellen Bauweisen für die erfindungsgemäßen Vorrichtungen in keramischer Form bzw. in Dünnschicht= form dar; die Figur ^ ist die Inderungskurve der Spannung eines Meßfühlers in Funktion des Drucks von H2, HF bzw. Luft; Figur M- stellt die Inderungskurve der Spannung des gleichen Meßfühlers und eines anderen Meßfühlers in Funktion des O2-Drucks dar, und die Figur 5 stellt die Änderung der Spannung in Funktion der Zeit für drei Fluorwasserstoff-Partialdrücke eines Meßfühlers gemäß der Erfindung dar. Figures 1 and 2 represent construction methods for the devices according to the invention in ceramic form or in thin-film form; the figure ^ is the change curve of the voltage of a sensor as a function of the pressure of H 2 , HF or air; Figure M- shows the change in voltage of the same probe and another probe as a function of O 2 pressure, and Figure 5 shows the change in voltage as a function of time for three hydrogen fluoride partial pressures of a probe according to the invention.

Beispiel 1example 1

Herstellung einer potentiometrischen Vorrichtung in Form einer Keramik: Bi, BiF^ZPbSnF2,/Pt.Manufacture of a potentiometric device in the form of a ceramic: Bi, BiF ^ ZPbSnF 2 , / Pt.

In ein geschlossenes Neopren-Hohr mit einer Dicke von 0,5 mm, einem Innendurchmesser von 5 && und einer Länge von 40 mm, bringt man PbSnF^-Pulver ein. Das PbSnF^ wird in Lösung in Wasser hergestellt, nach der von C. Lucat (The"se d'Etat Universite de Bordeaux I, 1980) beschriebenen Methode. In dem PbSnIV wird eine Höhlung von 20 mm Länge und 3 w& Durchmesser gebildet. Diese Höhlung wird mit einem Gemisch gefüllt, entsprechend etwa 90 Gew.-% Wismuth als Pulver und Wismuthfluorid, BiP^· Das Neopren-Rohr wird anschließend in dichter Weise geschlossen. Es wird in eine Einheit mit isostatischem Druck unter 3 kb Druck bei 100 0G während 1 Stunde eingebracht .PbSnF ^ powder is placed in a closed neoprene tube with a thickness of 0.5 mm, an inner diameter of 5 && and a length of 40 mm. The PbSnF ^ is prepared in solution in water, after C. Lucat (The "se d'Etat Universite de Bordeaux I, 1980) method described. In the PbSnIV a cavity of 20 mm in length and 3 w diameter is formed. This cavity is filled with a mixture, corresponding to about 90 wt .-% bismuth as a powder and Wismuthfluorid, BiP ^ · The neoprene tube is then closed in a sealed manner. It is in one unit with isostatic pressure below 3 kb 0 pressure at 100 G introduced for 1 hour.

Nach dem öffnen des Neopren-Rohrs wird ein Sammler (Kollektor) an den Bezug mittels Silberlack geklebt. Der obere Teil des Meßfühlers wird anschließend mit Epoxyharz umhüllt. Anschließend wird eine Platinschicht auf dem Elektrolyten durch kathodische Zerstäubung abgeschieden. Ein elektrischer Eontakt wird dann an die Platinelektrode befestigt. Die Vorrichtung wird schließlich in ein Metallrohr eingeschlossen, das am unteren Ende geöffnet ist.After opening the neoprene tube, a collector (collector) glued to the cover with silver lacquer. The upper part the probe is then coated with epoxy resin. Then a layer of platinum is applied to the electrolyte deposited cathodic sputtering. An electrical contact is then attached to the platinum electrode. The device is finally enclosed in a metal tube that is open at the bottom.

Diese Vorrichtung wird durch die Pigur 1 dargestellt, worin 1 das Neopren-Eohr, 2 PbSnIV in Pulverform, 3 das Gemisch Bi/BiF,, 4- den Sammler bzw. Kollektor, 5 das Epoxyharz, 6 die Pl at ins chi cht mit dem elektrischen Kontakt, und 9 das Metallrohr darstellen.This device is represented by Pigur 1, in which 1 the neoprene ear, 2 PbSnIV in powder form, 3 the mixture Bi / BiF ,, 4- the collector or collector, 5 the epoxy resin, 6 the pl at in the chi cht with the electrical contact, and 9 that Represent metal pipe.

Beispiel 2Example 2

Herstellung eines Meßfühlers in Form von übereinander gelagerten dünnen SchichtenManufacture of a sensor in the form of superimposed thin layers

Der durch die Figur 2 dargestellte Meßfühler wird dadurch hergestellt, daß man zuerst durch thermisches Verdampfen Fb (Bezugselektrode a) auf einem isolierenden Substrat d, beispielsweise Glas, abscheidet und anschließend im gleichen Vakuum den Elektrolyten b (FbPg oder FbSnF^) abscheidet. Die die Bezugselektrode bildende Schicht und die den Elektrolyten bildende Schicht werden mit einer Schutzumhüllung e umhüllt, wobei ein Fenster offengelassen wird, wo man die Flatinschicht c abscheidet. Die verschiedenen Schichten weisen Dicken von 0,5 bis 2 Aim bzw. λΐ auf. Nach beendeter Abscheidung befestigt man die elektrischen Verbindungen an den Elektroden.The sensor shown in Figure 2 is made by first thermal evaporation Fb (reference electrode a) is deposited on an insulating substrate d, for example glass, and then in the same Vacuum separates the electrolyte b (FbPg or FbSnF ^). The layer forming the reference electrode and the layer forming the electrolyte are covered with a protective cover e, leaving a window open where the flatin layer c is deposited. The different layers have thicknesses of 0.5 to 2 Aim or λΐ. After finished Deposition attaches the electrical connections to the electrodes.

Beispiel 3Example 3

Untersuchung der Anwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtungen als Meßfühler zur GasanalyseInvestigation of the use of the devices according to the invention as measuring sensors for gas analysis

Die untersuchte- Vorrichtung besteht aus einer Arbeitselektrode aus Fiatin, die porös für Gas ist. Diese Elektrode umhüllt einen Leiter aus Fluorionen. Man verwendet ein Material mit starker Ionenleitfähigkeit, wie FbSnF^,The device under investigation consists of a working electrode made of fiatin, which is porous to gas. This electrode surrounds a conductor made of fluorine ions. One uses a Material with strong ionic conductivity, such as FbSnF ^,

O 77' TiL0 23 ♦ *2 47* ^-ese Elektrolyten weisen aufgrund der Anwesenheit von polarisierbaren Ionen, wie Sn + und Fb +, und aufgrund des Vorhandenseins von Zwischengitterplatz-Fluor und Fehl- bzw. Leerstellen bei Raumtemperatur eine Ionenleitfähigkeit auf, die der von Oxiden deutlich überlegen ist. Als Beispiele werden in der nachstehenden Tabelle I die bei Umgebungsbedingungen gemessenen Leitfähig keiten angegeben.O 77 ' TiL 0 23 ♦ * 2 47 * ^ - ese electrolytes have ionic conductivity at room temperature due to the presence of polarizable ions such as Sn + and Fb + , and due to the presence of interstitial fluorine and vacancies, which is clearly superior to that of oxides. The conductivities measured under ambient conditions are given as examples in Table I below.

Tabelle ITable I.

massiv dünne Schichtenmassive thin layers

PbP2 ΙΟ"6 -H-"1 cm'1 1(T5 -Π-1 cm-1 PbP 2 ΙΟ " 6 -H-" 1 cm ' 1 1 (T 5 -Π- 1 cm- 1

5 1" Λ $ 1 5 1 " Λ $ 1

PbSnF^ 10~5 -Π- "1 <ώ~Λ Λ0~$ Λ."1 cmPbSnF ^ 10 ~ 5 -Π- " 1 <ώ ~ Λ Λ0 ~ $ Λ." 1 cm

Zu dem System Arbeitselektrode/Festelektrolyt fügt man eine Vorrichtung, die als elektrochemischer Bezug dient, wobeiman Elektroden des Typs Fb/PbF2i Sn/SnJVj» Bi/Bii1, verwendet.A device that serves as an electrochemical reference is added to the working electrode / solid electrolyte system, using electrodes of the Fb / PbF 2 i Sn / SnJVj >> Bi / Bii 1 type.

Die Verwendung des Meßfühlers bei etwa Umgebungs- bzw. Raumtemperatur vermeidet bestimmte Umwandlungen, die in einem ionischen Leitermaterial auftreten könnten (allotrope Umwandlung, Umwandlung vom Typ Ordnung-Unordnung bzw. Orientierung/Desorientierung, Zelldeformation, Ablösung der Elektrode, wenn das Material nicht ausreichend elastisch ist).The use of the sensor at around ambient or room temperature avoids certain transformations that could occur in an ionic conductor material (allotropic transformation, Conversion of the order-disorder type or orientation / disorientation, cell deformation, detachment of the electrode, if the material is not sufficiently elastic).

Alle Messungen des Potentials wurden mittels eines Elektrometers (Typ Keittley 6028) bei 101^ SL Eingangsimpedanz durchgeführt. Die Temperaturmessungen wurden mittels eines Thermoelements' durchgeführt.All measurements of the potential were carried out by means of an electrometer (type Keittley 6028) at 10 1 ^ SL input impedance. The temperature measurements were carried out using a thermocouple.

In der nachstehenden Tabelle II sind die Werte, berechnet oder gemessen bei Raumtemperatur, angegeben (bezüglich der elektrochemischen Kette vom Typ Sn/Snl^/Pb^..χ11^1^(Ί+χ)^1^ ist der theoretische Wert mit Vorsicht zu betrachten, da zwar die Bildungsenthalpie von SnFg bekannt ist, die vonIn the following Table II the values, calculated or measured at room temperature, are given (with respect to the electrochemical chain of the type Sn / Snl ^ / Pb ^ .. χ 11 ^ 1 ^ (Ί + χ) ^ 1 ^ is the theoretical value with To be considered with caution, since the enthalpy of formation of SnFg is known, that of

Je<iocl1 nur grob abgeschätzt werden konnte).J e <iocl1 could only be roughly estimated).

Schließlich ergibt der Kontakt Ag/PbSnF^. nicht a priori eine elektromotorische Kraft (f.e.m.). Man kann jedoch von nun an davon ausgehen, daß der Betrieb des Gasmeßfühlers ein elektrochemisches Ungleichgewicht einleiten kann, dasFinally, the contact results in Ag / PbSnF ^. not a priori an electromotive force (f.e.m.). However, from now on it can be assumed that the operation of the gas sensor can initiate an electrochemical imbalance that

ausreicht, um ein Äquivalent einer Akkumulatorladung hervorzurufen. sufficient to produce an equivalent of one battery charge.

in diesem Pail sind von vornherein zwei Möglichkeiten zu ■berücksichtigen: Die Bildung von Ag2^' was zu einer elektromotorischen Kraft in der Größenordnung von 600 mV führen würde, oder die Bildung von AgF, was zu einer elektromotorischen Kraft von 1,27 V führen würde.In this Pail, two possibilities must be taken into account from the outset: the formation of Ag2 ^ ', which would lead to an electromotive force in the order of magnitude of 600 mV, or the formation of AgF, which would lead to an electromotive force of 1.27 V. .

Es sei darauf hingewiesen, daß diese beiden Werte für die elektromotorische Kraft solche sind, die auftreten wurden wenn eines der Silberfluoride mit Bleifluorid verbunden würde.It should be noted that these two values for the electromotive force is that which would occur if any of the silver fluorides were combined with lead fluoride.

In der letzten Spalte der Tabelle II sind die erhaltenen Spannungen aufgeführt, wenn der Meßfühler in Luft von Atmosphärendruck bei Raumtemperatur eingeführt wird.In the last column of Table II are those obtained Voltages listed when the probe is inserted in air at atmospheric pressure at room temperature.

Die folgende Tabelle III betrifft die Untersuchungsbedingungen und die erhaltenen Ergebnisse bei der Analyse verschiedener Gastypen, d. h. eines oxidierenden Gases (C^), eines reduzierenden Gases (ILj), von Fluorwasserstoff gas und von gasförmigen Gemischen von HF oder H2 in Luft.The following Table III relates to the test conditions and the results obtained when analyzing various types of gas, ie an oxidizing gas (C ^), a reducing gas (ILj), hydrogen fluoride gas and gaseous mixtures of HF or H 2 in air.

Tabelle IITable II

MeßfühlerProbe

ΔΗ-theoretische gemessene elektromotor!- elektromotorische Kraft ■sehe KraftΔΗ-theoretical measured electric motor! - electromotive force ■ see force

Bi, BiP5 Bi, BiP 5

80Ö kJZMol bzw.
200 k cal/Mol
80Ö kJZMol or
200 k cal / mole

PbP2 PbP 2

-621,6 k?/Mol bzw. -146 k calZMol -317 mV-621.6 k? / Mol or -146 k calZ mol -317 mV

350 - 370 mV350-370 mV

Bi, BiBi, Bi

BiP5 BiP 5

-800 kJZMol bzw.
-200 k calZ Mol
-800 kJZMol or
-200 k calZ mol

PbSnPPbSnP

-124-5,3 kJZMol bzw. -296,5 k calZ Mol -323 mV-124-5.3 kJZ mol or -296.5 k calZ mol -323 mV

350 - 370 mV350-370 mV

„„
^
""
^

^0,23*2,47/^^ 0.23 * 2.47 / ^

AgZPbSnP4ZPtAgZPbSnP 4 ZPt

SnPSnP

-623,7 kJZMol bzw. -915,6 kJ/Mol bzw. -148,5 k cal/Mol -218 k calZMol-623.7 kJ / mol or -915.6 kJ / mol or -148.5 k cal / mole -218 k cal / mol

AgPAgP

PbSnP,PbSnP,

-185,6 kJ/Mol bzw. -1253,7 kJZMol bzw. -44-,2 k cal/Mol -298,5 k calZMol mY -185.6 kJ / mol or -1253.7 kJ / mol or -44-.2 k cal / mol -298.5 k cal / mol mY

-1,27 v-1.27 BC

- 60° mV - 60 ° mV

50 - 100 mV50-100 mV

Tabelle IIITable III

MeßfühlerProbe

Bi, BBi, B

untersuchtes Gasexamined gas

Tempe- Abfall ratur (0C)Temperature drop ( 0 C)

DruckbereichPressure area

110110

mV/ 0,98.10"2 bar * 0,9 8 bar Dekade (10-2 &tm> ^ ,, atm#) mV / 0.98.10 " 2 bar * 0.9 8 bar decade (10 -2 &tm> ^ ,, atm #)

,23*2,4-7, 23 * 2.4-7

in Luft HP in Luftin air HP in air

120120

25 2525 25

"2 " 2

38,5 mV 0,98.1038.5 mV 0.98.10

(10~2 atm.(10 ~ 2 atm.

bar ■> 0,98 barbar ■> 0.98 bar

1 atm.) 1 bis 106 ppm/Luft 1 bis 10^ ppm/Luft1 atm.) 1 to 10 6 ppm / air 1 to 10 ^ ppm / air

.AgZPbSnF4 .AgZPbSnF 4

°2° 2

HFHF

25 90 9025 90 90

15 mV/ 0,98.10~2 * 0,98 bar 215 mV / 0.98.10 ~ 2 * 0.98 bar 2

Dekadedecade

(1Q(1Q

-2-2

mV/ 0,98.10""2 » 1,27.10"1 bar Dekade (1Q-2 ^1 ^ 10-1) -17,5mV/ 0,98.10"2 ·» 0,98 bar DekademV / 0.98.10 "" 2 »1.27.10" 1 bar decade (1Q -2 ^ 1 ^ 10 -1) -17.5mV / 0.98.10 " 2 ·» 0.98 bar decade

(10(10

-2-2

Die Inderungskurven der Spannung in Punktion mit dem Druck von Luft, HF bzw. EU bei 90 0C sind in der Figur 3 angegeben und die Funktion des Sauerstoffdrucks bei 25 0C und 120 0C in der Figur 4·.The Inderungskurven the voltage in the puncture with the pressure of air, HF or EU at 90 0 C are shown in Figure 3 and the function of the oxygen pressure at 25 0 C and 120 0 C in the figure 4 ·.

In der Figur 3 wurden die Änderungskurven der Spannung (am Anschluß eines Meßfühlers Ag/PbSnF^/Pt bei 90 0C) in Funktion mit dem Druck des zu untersuchenden Gases bzw. von Luft, HF und Ho angegeben.In the figure 3 the change of the voltage curves are specified (at the terminal of a probe Ag / PbSnF ^ / Pt at 90 0 C) in function with the pressure of the gas to be examined, or of air, HF and Ho.

In der Figur M- ist die Änderungskurve der Spannung in Funktion des Säuerstoffdrucks einerseits bei 25 0C mit einem System Ag/PbSnF^/Pt und andererseits bei 120 0C mit einem System Sn-SnF2/Pb0 „,-,,TIiq 23^2In the figure M- is the change curve of the voltage as a function of the oxygen pressure on the one hand at 25 0 C with a system Ag / PbSnF ^ / Pt and on the other hand at 120 0 C with a system Sn-SnF 2 / Pb 0 ", -" TIiq 23 ^ 2

Die Figur 5 schließlich betrifft die Kinetik der Reaktion eines Meßfühlers Ag/PbSnF./Pt in Abhängigkeit vom Fluorwasserstoff gasdruck (bei 90 C).Finally, FIG. 5 relates to the kinetics of the reaction of a sensor Ag / PbSnF. / Pt as a function of the hydrogen fluoride gas pressure (at 90 C).

Die gesamt erhaltenen Ergebnisse zeigen, daß die erfindungsgemäßen "Vorrichtungen besonders geeignet zur Analyse verschiedener Gase sind.The overall results obtained show that the devices according to the invention are particularly suitable for analyzing various Gases are.

Sie sind insbesondere brauchbar zur Messung von Partialdrücken von Sauerstoff in einem Abgas aus Verbrennungsmotoren und allgemein zur Steuerung der Verbrennung von Kohlenwasserstoffen. They are particularly useful for measuring partial pressures of oxygen in an exhaust gas from internal combustion engines and in general for controlling the combustion of hydrocarbons.

Sie ermöglichen insbesondere die Analyse oder die Bestimmung verschiedener Gase wie Sauerstoff, Wasserstoff, Stickstoffoxide, Ammoniak, Fluor, Fluorwasserstoffgas und dies in vorteilhafter Weise in einem breiten Temperaturgebiet und insbesondere schon von Raumtemperatur an.In particular, they enable analysis or determination various gases such as oxygen, hydrogen, nitrogen oxides, ammonia, fluorine, hydrogen fluoride gas and this in more advantageous Way in a wide temperature range and especially from room temperature.

Die erfindungsgemäßen Meßfühler ermöglichen daher die Bestimmung zahlreicher umweltverschmutzender oder explosiver Species, beispielsweise:The sensors according to the invention therefore enable the determination numerous polluting or explosive species, for example:

- die Bestimmung von Wasserstoffaustritten aus Elektrolyseeinheiten von Wasser in Gruben (die Feststellungsschwelle liegt in der Größenordnung von ppm);- the determination of hydrogen leaks from electrolysis units of water in pits (the detection threshold is of the order of ppm);

- die Bestimmung von Fluorgasspuren in Anlagen zur Isotopentrennung von Uran unter Verwendung von Uranhexafluorid (der Meßfühler ermöglicht die Bestimmung einiger ppm Fluorwasserstoffgas in der Atmosphäre);- the determination of fluorine gas traces in plants for isotope separation of uranium using uranium hexafluoride (the probe enables the determination of a few ppm of hydrogen fluoride gas in the atmosphere);

- die Bestimmung von NH^, beispielsweise in Kühleinheiten.- the determination of NH ^, for example in cooling units.

Im Falle von NH, entsprechen Π000 ppm NH, in der Luft einer Änderung von etwa einigen Zehntel mV in der Spannung des Meßfühlers.In the case of NH, Π000 ppm NH corresponds to one in air Change of about a few tenths of a mV in the voltage of the probe.

Darüber hinaus ermöglichen es die Meßfühler, bleireiche Materialien zu verwenden. Dieses Charakteristikum macht sie besonders interessant zur kontinuierlichen Analyse von Gasen, die aus Explosionsmotoren entweichen, die mit einem Treibstoff betrieben werden, der Bleitetraäthyl enthält. Sie sind nicht empfindlich gegenüber der Anwesenheit dieses Elements, wie das Zirkonmeßgerät, das unter Bildung von Bleizirkonat zerstört wird.In addition, the sensors make it possible to use materials rich in lead. This characteristic makes them of particular interest for the continuous analysis of gases that escape from explosion engines with a fuel be operated, which contains tetraethyl lead. You are not sensitive to the presence of this element, like the zirconium measuring device, which produces lead zirconate gets destroyed.

Claims (10)

UND ZUGELASSENE VERTRETER VOR DEM EUROPAISCHEN PATENTAMTAND APPROVED REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE DR. WALTER KRAUS DIPLOMCHEMIKER · DR.-ΙΝβ. ANNEKÄTE WEISERT DIPL.-ΙΝΘ. FACHRICHTUNG CHEMIE IRMGARDSTRASSE 15 . D-BOOO MÜNCHEN 71 · TELEFON O8B/7O7O77-7B 7O78 ■ TELEX OB-2121B6 kpat dDR. WALTER KRAUS DIPLOMA CHEMIST DR.-ΙΝβ. ANNEKÄTE WEISERT DIPL.-ΙΝΘ. SPECIALIZATION CHEMISTRY IRMGARDSTRASSE 15. D-BOOO MUNICH 71 · TELEPHONE O8B / 7O7O77-7B 7O78 ■ TELEX OB-2121B6 kpat d TELEGRAMM KRAUSPATENTTELEGRAM CRAUS PATENT 29672967 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Paris/Frankr,CENTER NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Paris / France, Elektrochemische Vorrichtung, geeignet als Meßfühler zur Bestimmung eines Gasdrucks und deren VerwendungElectrochemical device, suitable as a measuring sensor for determining a gas pressure and its use Pat entansprüchePatent claims M.J Elektrochemie ehe Vorrichtung, enthaltend eine Arbeitselektrode, die für zu analysierende Gase porös ist, einen Pestelektrolyten und eine Bezugselektrode, dadurch gekennzeichnet, daß sie als Elektrolyten mindestens einen fluorierten anionischen Leiter (oder das entsprechende Oxyfluorid) mit einer Leitfähigkeit, basierend auf der Mobilität des !"""-Ions enthält, wobei dieser Leiter dazu geeignet ist, die Diffusion oder die "Verdünnung" einer anderen Gasspecies insbesondere von Sauerstoff oder von Sauerstoffionen derart zu ermöglichen, daß beim Betrieb der Vorrichtung elektrochemische Ketten in Reihe gebildetM. J Elektrochemie ehe device, comprising a working electrode which is porous for gases to be analyzed, a plague electrolyte and a reference electrode, characterized in that it contains at least one fluorinated anionic conductor (or the corresponding oxyfluoride) with a conductivity based on the electrolyte Mobility of the! """Ion, this conductor being suitable for allowing the diffusion or the" dilution "of another gas species, in particular oxygen or oxygen ions, in such a way that electrochemical chains are formed in series during operation of the device werden, von denen mindestens eine die Leitfähigkeit des F~"-Ions ausnutzt und zu einer festen konstanten Spannung, bezogen auf F~ führt, und mindestens eine andere auf dem Eindringen der Ionenspecies beruht, die bis zu einer gewissen Tiefe in den anionischen Leiter diffundiert oder sich verdünnt (was insbesondere im Falle des 0 ~- Ions zutrifft) und zu einer Spannung in Funktion der Gasart führt, die sich in Kontakt mit der Elektrode befindet. at least one of which uses the conductivity of the F ~ "ion and becomes a fixed constant voltage, based on F ~ leads, and at least one other is based on the penetration of the ion species, which up to one diffuses or dilutes to a certain depth in the anionic conductor (which is particularly the case in the case of the 0 ~ - Ions applies) and leads to a voltage as a function of the type of gas that is in contact with the electrode. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der eingesetzte fluorierte anionische Leiter aus festen Lösungen von mindestens zwei Fluoriden mit Fehl- bzw. Leerstellen (oder den entsprechenden Oxyfluoriden) besteht, worin die Fehl- bzw. Leerstellen von dem Ersatz eines ersten Fluorids innerhalb der möglichen Grenzen fester Lösungen zwischen den in Betracht kommenden Fluoriden durch mindestens ein anderes Fluorid stammen, das ein Kation mit einer von dem des ersten unterschiedlichen Wertigkeit aufweist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the fluorinated anionic conductor used consists of solid There are solutions of at least two fluorides with defects or vacancies (or the corresponding oxyfluorides), wherein the vacancies from the replacement of a first fluoride are more solid within the possible limits Solutions between the fluorides in question originate from at least one other fluoride, the one Has a cation with a valence different from that of the first. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fluoride mit Fehl- bzw. Leerstellen, die eingesetzt werden zur Bildung des Elektrolyten, gebildet sind ausgehend von zwei Fluoriden MF und M1F und der allgemeinen Formel I entsprechen:3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the fluorides with defects or vacancies, which are used to form the electrolyte, are formed starting from two fluorides MF and M 1 F and correspond to the general formula I: worin M und M1 jeweils ein geeignetes Kation zur Bildung von Fluoriden mit Fehl- bzw. Leerstellen mit ausreichender Leitfähigkeit bei den Einsatztemperaturen darstellen, wobei die Wertigkeiten χ und y dieser Kationen unterschiedlich sind,in which M and M 1 each represent a suitable cation for the formation of fluorides with defects or vacancies with sufficient conductivity at the operating temperatures, the valencies χ and y of these cations being different, ζ eine Zahl ist ausgewählt aus einem Gebiet, das eine Punktion des Kationenpaars M und M1 darstellt und dessen Grenzen durch die Grenzen der möglichen festen Lösungen zwischen MF und M1F auferlegt sind.ζ a number is selected from an area that represents a puncture of the cation pair M and M 1 and the limits of which are imposed by the limits of the possible solid solutions between MF and M 1 F. x y x y 4. Vorrichtung nach Anspruch 3> dadurch gekennzeichnet, daß die Lösungen mit Fehl- bzw. Leerstellen gebildet sind, ausgehend von Fluoriden MFp und M1F, und der allgemeinen Formel II entsprechen:4. Apparatus according to claim 3> characterized in that the solutions are formed with defects or voids, starting from fluorides MFp and M 1 F, and correspond to the general formula II: M1-z n\*2 +z <I3:> M 1-z n \ * 2 + z < I3: > worin ζ O bis 0,5 und vorzugsweise 0,20 bis 0,30 bedeutet und M und M1 zweiwertige bzw. dreiwertige Kationen und insbesondere Pb und Bi sind.wherein ζ is from 0 to 0.5 and preferably from 0.20 to 0.30 and M and M 1 are divalent and trivalent cations, respectively, and in particular Pb and Bi. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösungen mit Fehl- bzw. Leerstellen gebildet sind ausgehend von Fluoriden MF und M1F, und die allgemeine Formel III aufweisen:5. Apparatus according to claim 3, characterized in that the solutions with voids or voids are formed starting from fluorides MF and M 1 F, and have the general formula III: M1-z 11Vi+22 C111) M 1-z 11 Vi +22 C 111 ) worin M ein einwertiges Kation ist, M1 ein dreiwertiges Kation ist und ζ eine Zahl von 0,50 bis 0,75 ist, wobei M vorteilhaft ausgewählt ist aus der Gruppe von Ag, Au, Tl, Eb, K und M1 aus der Gruppe von Bi, As oder Sb.where M is a monovalent cation, M 1 is a trivalent cation and ζ is a number from 0.50 to 0.75, where M is advantageously selected from the group of Ag, Au, Tl, Eb, K and M 1 from Group of Bi, As or Sb. 6* Vorrichtung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrolyt ein Fluorid mit Fehl- bzw. Leerstellen enthält, das aus drei Fluoriden MF. M1F^ und M11F resultiert, entsprechend der allgemeinen Formel IV6 * Device according to claim 3 »characterized in that the electrolyte contains a fluoride with defects or vacancies, which consists of three fluorides MF. M 1 F ^ and M 11 F results, according to the general formula IV M1 - (, + Z2) "1Z1 M%2 »χ M 1 - (, + Z 2 ) " 1 Z 1 M % 2 » χ worin M, M1 und M" jeweils ein Kation darstellen, das geeignet ist zur Bildung von Fluoriden mit Fehl- bzw. Leerstellen mit ausreichender Leitfähigkeit bei den Einsatztemperaturen,where M, M 1 and M "each represent a cation which is suitable for the formation of fluorides with defects or vacancies with sufficient conductivity at the operating temperatures, x, jy. und yo die Wertigkeiten der Kationen darstellen, wobei mindestens eine dieser Wertigkeiten von den anderen unterschiedlich ist,x, jy. and yo represent the valencies of the cations, at least one of these valencies being different from the others, Zy, und Zp zwei Zahlen sind, ausgewählt aus einem Gebiet, das eine Funktion der Gruppe der Kationen M, M1 und M" darstellt und dessen Grenzen durch die Grenzen der möglichen festen Lösungen zwischen MF , M1F , «»„p auferlegt sind. y2 Zy, and Zp are two numbers selected from a region which is a function of the group of cations M, M 1 and M "and whose limits are imposed by the limits of the possible fixed solutions between MF, M 1 F,« »" p are. y 2 7. Vorrichtung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Kationen der Fluoride mit Fehl- bzw. Leerstellen ausgewählt sind aus der Gruppe von Li+, Na+, K+, Eb+, Cs+, Ag+, Tl+, MH^+, Mg2+, Ca2+, Sr2+, SBa2+, Cd2+, Cu2+, Zn2+, Fb2+, Sn2+, Al5+, Ga5+, In5+, Sc5+, Y3+, Lanthaniden (La5+ bis Lu3+), Sb3+, Bi3+, Ti4+, Zr4+, Hf4+, Te4+, I5+, und vorzugsweise aus der Gruppe von K+, Eb+, Gs+, Ag+, Tl+, NH+, Sr2+, Ba2+, Cd2+, Cu2+, Zn2+, Pb2+, Sn2+, La3+, Sb3+, Bi3+, Te4+, I5+.7. The device according to claim 3 »characterized in that the cations of the fluorides with defects or vacancies are selected from the group of Li + , Na + , K + , Eb + , Cs + , Ag + , Tl + , MH ^ + , Mg 2+ , Ca 2+ , Sr 2+ , SBa 2+ , Cd 2+ , Cu 2+ , Zn 2+ , Fb 2+ , Sn 2+ , Al 5+ , Ga 5+ , In 5+ , Sc 5+ , Y 3+ , lanthanides (La 5+ to Lu 3+ ), Sb 3+ , Bi 3+ , Ti 4+ , Zr 4+ , Hf 4+ , Te 4+ , I 5+ , and preferably from the group of K + , Eb + , Gs + , Ag + , Tl + , NH + , Sr 2+ , Ba 2+ , Cd 2+ , Cu 2+ , Zn 2+ , Pb 2+ , Sn 2+ , La 3+ , Sb 3+ , Bi 3+ , Te 4+ , I 5+ . 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in der Form von dicken Schichten, dünnen Schichten oder Keramiken.8. Device according to one of the preceding claims, in the form of thick layers, thin layers or Ceramics. 9- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bezugselektrode aus einem Gemisch von Metall und seinem Fluorid besteht, der Elektrolyt wie in einem der Ansprüche 1 bis 7 definiert ist und die Arbeitselektrode aus einem Edelmetall, insbesondere aus Platin, besteht.9- Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the reference electrode consists of a mixture of metal and its fluoride, the electrolyte as defined in one of claims 1 to 7 and the working electrode made of a noble metal, in particular made of platinum. 10. Verwendung einer Vorrichtung gemäß einem der .Ansprüche 1 bis 9 als Meßfühler zur Bestimmung des Partialdrucks einer Gasart zur Analyse oder Bestimmung von Gas wie O2, H2, Hi1 oder Luft.10. Use of a device according to one of .Ansprüche 1 to 9 as a sensor for determining the partial pressure of a type of gas for analyzing or determining gas such as O 2 , H 2 , Hi 1 or air.
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