DE4018784A1 - Oberflaechenwellen-reflektorfilter - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Reflektorfilter mit Eingangs­ wandler, mit Ausgangswandler und mit Reflektorstrukturen, die für den Weg akustischer Oberflächenwellen zwischen Eingangs­ wandler und Ausgangswandler in Reihe hintereinander geschaltet wirksam sind und die diese akustischen Wellen zwischen Ein­ gangswandler und Ausgangswandler in einer Richtung mehrmals umlenken.

Mehr ins einzelne gehend betrifft die vorliegende Erfindung ein Filter mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Patentan­ spruchs 1.

Aus den Druckschriften US-A-44 84 160 und 45 20 330 sowie aus IEE Trans. Ultrasonics, Band 35 (1988) S.61 ff. sind einschlä­ gige Oberflächenwellen-Reflektorfilter bekannt, wobei die letztgenannte Druckschrift solche mit mehreren Spuren und mit Multistrip-Kopplern beschreibt. Diese Reflektorfilter arbeiten mit Oberflächenwellen, die in den Reflektorstrukturen um nahe bei 90° liegendem Winkel, jedoch verschieden von 90°, umge­ lenkt werden und auf diesem Wege vom Eingangswandler zum Aus­ gangswandler gelangen.

Wegen der bei diesen Reflektorfiltern auftretenden Temperatur­ abhängigkeit der Winkelgenauigkeit der Reflexion der Ober­ flächenwellen ist bereits in einer älteren, nicht vorver­ öffentlichten Patentanmeldung P 39 37 871.3 (89 P 1949 DE) ein dort beschriebener, Aufbau vorgeschlagen worden, bei dem derartige Temperaturabhängigkeiten sich gegenseitig aus­ kompensieren. Weitere Vorteile dieses in der älteren Anmel­ dung vorgeschlagenen Reflektorfilters sind, daß dieses Filter bei vorgegebenen Anforderungen bezüglich der Selektivität nur minimale Größe des notwendigen Substratkörpers erfordert und das Filter ein Minimum an Verlusten der Signal­ energie (low loss) hat. Ein solches Filter hat ein nur gerin­ ges akustisches Übersprechen bzw. guten Nutzsignal-/Störsig­ nalabstand.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, bei einem Filter dieser älteren Patentanmeldung zu erreichen, daß der Nutzsig­ nal-/Störsignal-Abstand noch weiter verbessert ist.

Diese Aufgabe wird mit einem akustischen Oberflächenwellen- Reflektorfilter gelöst, das die Merkmale des Anspruchs 1 um­ faßt. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen eines solchen Fil­ ters gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Im Sinne der Erfindung sind unter "Oberflächenwellen" solche Wellen im engeren Sinne und auch solche akustischen Wellen zu verstehen, die nahe der Oberfläche eines Festkörpers in diesem verlaufen. Unter "Oberflächenwellen" sind im Sinne der Erfin­ dung unter anderem auch Rayleighwellen, Bleusteinwellen, SSBW-Wellen (surface skimming bulk waves) und dergleichen zu verstehen, deren jeweiliges Auftreten eine Frage der Orientie­ rung der Kristallrichtung des Substrats in Bezug zur Anordnung der Oberflächenwellen-Strukturen ist.

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, vorzugsweise zwei, jedoch gegebenenfalls auch mehr als zwei Oberflächenwellen-Re­ flektorfilter des Prinzips der obengenannten älteren Patentan­ meldung als Teilfilter des erfindungsgemäßen gesamten Filters miteinander elektrisch parallel geschaltet zu koppeln. Diese z. B. zwei parallel geschalteten Reflektorfilter eines gesamten Filters der vorliegenden Erfindung können auf der Oberfläche ein und desselben Substrats realisiert sein. Es kann jedoch auch von Vorteil sein, zwei aufgetrennten Substr­ aten angeordnete einzelne Reflektorfilter der älteren Erfin­ dung miteinander parallel zu schalten. In beiden Fällen müssen sich jedoch diese beiden Filter in (einer) Einzelheit(en) un­ terscheiden (sonst aber, insbesondere hinsichtlich der Anord­ nung, Positionierung und Ausführung der Ein- und Ausführung der Ein- und Ausgangswandler jedes der Teilfilter, gleich sein), die aus den Patentansprüchen hervorgehen und die noch nachfolgend näher erläutert werden.

Die vorliegende Erfindung beruht auf einer derartigen elek­ trischen Parallelschaltung (und den weiteren Maßnahmen), bei der durch phasenentgegengesetzte Addition der Störsignale jedes einzelnen der beiden Teil-Filter, diese im Ausgang des erfindungsgemäßen gesamten Filters kompensiert werden, jedoch das Nutzsignal der beiden miteinander parallel geschalteten Reflektorfilter sich addiert. Dabei spielt eine wesentliche Rolle, daß die beiden Filter prinzipiell gleich, d. h. bis auf einen jeweiligen Unterschied miteinander identisch sind, so daß bzw. damit die im jeweiligen Filter durch Übersprechen vom Eingang zum Ausgang übertragenen Störsignale (bis auf ihre je­ weilige Phase, mit der sie am Ausgang des Filters auftreten) identisch sind. So können z. B. die Eingangswandler der beiden miteinander parallel geschalteten Teil-Filter vom Eingang des gesamten erfindungsgemäßen Filters her gesehen phasengleich parallel geschaltet sein und man sieht eine solche elektrische Verbindung der jeweiligen Ausgangswandler dieser beiden Teil- Filter vor, die, bezogen auf den Ausgang des gesamten Filters phasenentgegengesetzt ist. Dann heben sich die unvermeidlich übertragenen Störsignale im Ergebnis gegeneinander auf. Damit sich jedoch nicht auch das Nutzsignal aufhebt, unterscheiden sich diese beiden Teil-Filter darin, daß zwischen Eingangs­ wandler und Ausgangswandler des einen Teil-Filters im Ver­ gleich mit dem anderen Teil-Filter für das jeweilige Nutzsig­ nal ein akustischer Wegunterschied des (2n-1)-fachen der halben Wellenlänge der akustischen Welle (des Nutzsignals) im Substratmaterial der Filters vorliegt, wobei n eine natürliche Zahl, vorzugsweise 1, ist. Eine Alternative zu dieser Variante der Erfindung ist diejenige, bei der die elektrische Verbin­ dung der Ausgänge der Ausgangswandler der beiden Teil-Filter phasengleich ist und die Eingangswandler, bezogen auf den Ein­ gang des gesamten Filters, zueinander phasenentgegengesetzt verbunden sind.

Fig. 1 zeigt ein Filter gemäß Fig. 3 der älteren Anmeldung.

Die dort beschriebene Ausführungsform eines Oberflächenwellen­ filters, das bei der vorliegenden Erfindung als Teil-Filter vorteilhaft zu verwenden ist. Für die Erfindung als Teil-Fil­ ter zu verwenden, kommen aber auch die übrigen Ausführungs­ formen der Fig. 1, 2 und 4 der älteren Anmeldung ohne wei­ teres in Betracht. Dabei ist zu beachten, daß ein Filter gemäß Fig. 4 (hier enthalten in Fig. 3) der älteren Anmeldung "Zwillingsausbildungen" (5, 7, 8 und 5 ₁, 7₁ und 8₁) der akusti­ schen Wege des Nutzsignals hat, so daß die oben für die vorlie­ gende Erfindung angegebene Bemessungsregel für den Wegunter­ schied (2n-1) mal der halben Wellenlänge für das eine Teil- Filter gegenüber dem anderen Teil-Filter im erfindungsgemäßen gesamten Filter für diese beiden obengenannten "Zwillingswege" eingehalten sein muß.

Das als ein Ausführungsbeispiel für ein Teil-Filter der vor­ liegenden Erfindung in Fig. 1 dargestellte Filter weist die zwei interdigitalen Wandlerstrukturen 3 und 4 auf, von denen z. B. der Wandler 3 als Eingangswandler und der Wandler 4 als Ausgangswandler benutzt wird. Mit 6 ₁ und 6₂ sind die für den Zickzack-Weg notwendigen Reflektorstrukturen mit dem oben an­ gegebenen spitzen Reflexionswinkel, d. h. mit etwas schräg gestellten Reflektorfingern bezeichnet.

Mit 13 und 14 sind (zusätzlich) Reflektorstrukturen bezeichnet, die den Wandler 3 bzw. den Wandler 4 zu einem Uni­ direktional-Wandler machen, wie dies auch aus der Fig. 1 zu entnehmen ist.

Auch als Teil-Filter für die vorliegende Erfindung kann wenig­ stens der eine dieser zwei Reflektoren 6 ₁ und/oder 6₂ gewich­ tet und/oder dispersiv ausgebildet.

Gemäß der Beschreibung der älteren Anmeldung ist der jeweilige Reflexionswinkel größer als etwa 155°, jedoch kleiner als 180° gewählt. Der aus Fig. 1 ersichtliche Zick-Zack-Weg ermöglicht minimale Größe des Substrats und garantiert ein Mi­ nimum an Temperaturabhängigkeit eines solchen Filters, obwohl ansonsten in anisotropem Substrat erhebliche Temperaturabhän­ gigkeit der Reflexionswinkel für akustische Wellen besteht.

Mit E ist in Fig. 1 die Haupt-Wellenausbreitungsrichtung des (Eingangs-) Wandlers 3 und mit A die des (Ausgangs-) Wandlers 4 bezeichnet. Mit 2 ist das Substrat bezeichnet.

Hinsichtlich weiterer Einzelheiten zu einem Filter nach Fig. 1, d. h. zu einem Teil-Filter für ein erfindungsgemäßes Gesamt-Filter sei auf die in der älteren Anmeldung enthaltene Beschreibung zu den Ausführungsbeispielen hingewiesen, die dort als Fig. 1 bis 4 dargestellt sind. Die Beschreibung der älteren Anmeldung ist hiermit zum Inhalt der vorliegenden Erfindungsbeschreibung gemacht.

Fig. 2 zeigt ein erfindungsgemäßes gesamtes Filter, und zwar mit zwei Teil-Filtern 100, 100 gemäß Fig. 1, und zwar in einer ersten Variante mit elektrisch phasen­ entgegengesetzter Parallelschaltung der Ausgangswand­ ler bei phasengleicher Parallelschaltung der Eingangs­ wandler.

In Fig. 2 ist das Substrat mit 2, 2 bezeichnet. Für das eine Teilfilter 100 ist für den Eingangswandler das Bezugszei­ chen 3 und für den Ausgangswandler das Bezugszeichen 4 ge­ wählt. Mit 6 ₁ und 6 ₂ sind die zugehörigen Reflektoren und mit 5, 7 und 8 die angegebenen akustischen Teilwege des Nutzsig­ nals im Teil-Filter 100 bezeichnet. Das andere Teil-Filter 100 hat den Eingangswandler 3′, den Ausgangswandler 4′, und die Reflektorstrukturen 6′₁ und 6′₂. Mit 103 und mit 103 sind die nicht auf Masse liegenden elektrischen Verbindungsleitun­ gen zwischen dem Filtereingang IN und der "heißen" Sammelschie­ ne der Eingangswandler 3, 3′ bezeichnet. Die jeweils andere Sammelschiene der Wandler 3, 3′ liegt (wie angedeutet) auf Masse. Ersichtlich sind die Eingangswandler 3, 3′ elektrisch phasengleich parallelgeschaltet. Mit 104 und 104′ sind die entsprechenden Verbindungsleitungen zwischen dem Filter-Aus­ gang OUT und den "heißen" Sammelschienen der Ausgangswandler 4 und 4′ bezeichnet. Oie jeweils anderen Sammelschienen der Aus­ gangswandler 4, 4′ liegen (wie angedeutet) auf Masse. In der Fig. 2 ist die elektrisch phasenentgegengesetzte Parallel­ schaltung der Ausgangswandler 4 und 4′ ersichtlich. Mit 201 und 201′ ist elektrisches und/oder akustisches Übersprechen innerhalb des Teil-Filters 100 bzw. innerhalb des Teil-Filters 100 angedeutet.

Die bei diesem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 vorgesehene phasenentgegengesetzte Parallelschaltung der Ausgangswandler 4, 4′ (bei phasengleicher Parallelschaltung der Eingangswand­ ler 3, 3′) ergibt eine gegenseitige Aufhebung der Störsignale der Wege 201 und 201′ am Ausgang OUT des Filters, wobei jedoch für die Erfindung vorausgesetzt ist, daß die Anordnung und Po­ sitionierung einerseits der Wandler 3 und 4 zueinander und an­ dererseits der Wandler 3′ und 4′ zueinander so identisch ist, daß Phasenunterschiede zwischen den Wegen 201 und 201′ prak­ tisch nicht auftreten.

Damit dieses gegenseitige Aufheben jedoch für die Nutzsignale der Wege 5, 7, 8 einerseits gegenüber den Wegen 5′, 7′, 8′ andererseits nicht auftritt, ist der eine dieser akustischen Wege um das (2n-1)-fache der halben Wellenlänge der akusti­ schen Welle unterschiedlich groß gewählt, wobei n = 1 bevor­ zugt ist. In der Fig. 2 ist dieser Längenunterschied durch den Versatz der Reflektorstruktur 6′₂ im Teilfilter 100′ ge­ genüber der Positionierung der Reflektorstruktur 6 ₂ im Teil- Filter 100 kenntlich gemacht. Wegen des doppelten Weges der reflektierten Strahlung ist dort ein Versatz von einem Viertel der Wellenlänge vorzusehen. Um dieses Maß ist die Reflektor­ struktur 6′₂ in Fig. 2 (gegenüber der Reflektorstruktur 6 ₂) nach links verschoben. Es ist dies ein wenig auffallender Un­ terschied der Teil-Filter 100 und 100′ voneinander, der aber zusammen mit der schon erwähnten identischen Anordnung und Positionierung der Wandler 3, 4 bzw. 3′, 4′ für die Erfindung wichtig ist.

Der Wegunterschied für das Nutzsignal kann auch durch Ver­ kürzung des Weges im Teil-Filter 100′ bewirkt sein. Es kann auch vorgesehen sein, daß die Reflektorstruktur 6′₁ entspre­ chend verschoben positioniert ist. Im übrigen können diesbe­ züglich das Teil-Filter 100 und das Teil-Filter 100′ miteinan­ der vertauscht sein.

Eine Variation der Erfindung besteht darin, die Eingangswand­ ler 3, 3′ der beiden Teilfilter bezogen auf den Eingang IN phasenentgegengesetzt parallel zu schalten und die Ausgangs­ filter 4, 4′ phasengleich parallel zu schalten in bezug auf den Ausgang OUT. Auch in diesem Falle ist die Einhaltung der oben erörterten Bedingungen bezüglich der Anordnung und Po­ sitionierung der Wandler 3 und 4 bzw. 3′ und 4′ zueinander wichtig, damit dort keine gegenseitigen Phasenunterschiede auftreten.

Ansich kann die Erfindung auch dadurch realisiert werden, daß gerade diese Übertragungswege 201 und 201′ des Störsignals einen 180°-Phasenunterschied aufweisen und die Wandler 3 und 3′ bzw. 4 und 4′ sind bezogen auf den Eingang und den Ausgang des Filters in identischer Weise jeweils parallel geschaltet. Diese mögliche weitere Ausführungsform der Erfindung ist aber auf jeden Fall nicht in allen Fällen so günstig, wie die Aus­ führungen mit phasengleicher/phasenentgegengesetzter Parallel­ schaltung der Eingangswandler/Ausgangswandler (wie in Fig. 2 dargestellt).

Die voranstehend beschriebenen Variationen der Erfindung können noch in weiter zweierlei Weise realisiert sein, nämlich man ordnet die Strukturen der beiden Teil-Filter 100, 100′ auf ein und demselben Substrat 2, 2′ an, wie dies die Fig. 2 zeigt. Die gestrichelte Linie 105 deutet jedoch darauf hin, daß auch zwei einzelne Substrate 2 und 2′ vorgesehen sein kon­ nen. Diese bezüglich ihres Substrats voneinander getrennten Teilfilter 100, 100′ können in einer entsprechenden Schaltungs­ anordnung auch räumlich voneinander getrennt angeordnet sein, nämlich solange, wie die für die Erfindung oben beschriebenen Bedingungen, insbesondere auch hinsichtich der Wege 201 und 201′, eingehalten sind. Bei räumlicher Trennung ist zu beach­ ten, daß auch weitere Fremdeinflüsse, z. B. Magnetfelder, die Einhaltung der oben angegebenen Bedingungen bezüglich der Wege 201 und 201′ beeinträchtigen können.

Die Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform mit zwei Teil-Filtern 200, 200′, die jedes für sich einem Filter der Ausführungsform der Fig. 4 der älteren Anmeldung gleich sind. Das Teil-Filter 200 hat die mit der Fig. 1 übereinstimmenden Einzelheiten, die die schon zur Fig. 1 beschriebenen Bezeichnungen haben. Mit 6 ₁₁ und 6₁₂ sind zwei weitere Reflektorstrukturen bezeich­ net, die statt der Reflektorstrukturen 13 und 14 vorgesehen sind. Die Reflektorstrukturen 6 ₁₁ und 6₁₂ reflektieren in genau der gleichen Weise wie die Reflektorstrukturen 6 ₁ und 6₂ die vom Eingangswandler 3 in der Haupt-Wellenausbreitungs­ richtung E verlaufende akustische Strahlung mit dem zusätz­ lichen Nutzsignalweg 5 ₁, 7₁ und 8₁. Gemäß der älteren Anmel­ dung superponieren sich die Nutzsignale der Wege 5, 7 und 8 einerseits und 5₁, 7₁, und 8₁ andererseits in dem Ausgangs­ wandler 4 zum Ausgangs-Nutzsignal.

Das zweite Teil-Filter 200′ der Ausführungsform der Fig. 3 ist bis auf den erfindungsgemäß vorgesehenen Weglängenunter­ schied für das Nutzsignal identisch mit dem Teil-Filter 200. Die mit "′" versehenen Bezugszeichen der Einzelheiten des Teil-Filters 200′ haben die Bedeutung der entsprechenden Einzelheiten des Teil-Filters 200. Auch für die Teil-Filter 200 und 200′ gilt, daß die Anordnung und Positionierung der Eingangswandler und Ausgangswandler (3 und 4 bzw. 3′ und 4′) zueinander identisch ist und daß der Nutzsignalweg im Teil- Filter 200′ sich um das (2n-1)-fache der halben Wellenlänge der akustischen Welle unterscheidet, wobei im vorliegenden Falle dieser Unterschied für die beiden Nutzsignalwege der Teilfilter 200 und 200′ erfüllt sein muß, d. h., daß die Nutz­ signalwege 5′, 7′ und 8′ einerseits und 5′₁, 7′₁ und 8′₁ einander gleich sind (oder sich nur um ganze Vielfache der Wellenlänge unterscheiden) sich aber von den Nutzsignalwegen 5, 7 und 8 bzw. 5 ₁, 7 ₁ und 8 ₁ (die vorzugsweise wiederum gleich lang sind oder sich um nur ganze Vielfache der Wellenlänge unterschei­ den) um jeweils das (2n-1)-fache der halben Wellenlänge der akustischen Welle im Material des Substrats unterscheiden.

Konstruktive Aufbauten der Teil-Filter 100, 100′ bzw. 200, 200′ können vorzugsweise wie den Ausführungen der Fig. 5 und 6 der älteren Anmeldung entsprechend realisiert sein.

Auch bei der vorliegenden Erfindung können in dem gesamten erfindungsgemäßen Filter (Fig. 2 und 3) in den Teil-Filtern die Eingangswandler und Ausgangswandler in Richtung ihrer jeweiligen Haupt-Wellenausbreitungsrichtung lateral gegenein­ ander versetzt angeordnet sein, um auch auf diese Weise Über­ sprechen durch Querwellen zu mimieren. Die Eingangswandler und/oder Ausgangswandler können unidirektional wirkende Wand­ ler sein, wie in Fig. 2. Auch bei der vorliegenden Erfindung können Zusatzmetallisierungsflächen auf der Oberfläche des Substrats außerhalb der Wandler und Reflektorstrukturen zur Egalisierung der Wellen-Ausbreitungsbedingungen vorgesehen sein. Mit der Maßnahme, auf der Oberfläche des Substrats ein­ ander gegenüberliegende Kanten der Sammelschienen von Wandlern und/oder Reflektoren mit geriffelter Struktur zu versehen, so daß Totalreflexion einer akustischen Welle an einer derarti­ gen geriffelten Kante ausgeschlossen ist, kann auch für die vorliegende Erfindung von Vorteil sein.

Die Parallelschaltungen sind jeweils unsymmetrisch. Die Ein­ gangs- bzw. Ausgangswandler können auch für symmetrischen Ein­ gang IN bzw. Ausgang OUT verbunden und geschaltet sein.

Claims (5)

1. Oberflächenwellen-Reflektorfilter mit einer Filterstruktur eines Filters nach Patent .... (Patentanmeldung P 39 37 871.3 = 89 P 1949), wobei eine solche Filterstruktur (100, 100′, 200, 200′) einen Eingangswandler (3, 3′) mit einer Haupt-Wellenausbreitungsrichtung (E), Ein- und Aus­ gangswandler (4, 4′) mit einer Haupt-Wellenausbreitungsrich­ tung (A), ein Substrat (2), auf dessen Oberfläche diese Eingangs- und Ausgangswandler derart angeordnet sind, daß kein Zusammenfallen von Eingangswandler-Haupt-Wellenausbreitungs­ richtung (E) und Ausgangswandler-Haupt-Wellenausbreitungs­ richtung (A) vorliegt, mit mindestens zwei hinsichtich des akustischen Weges (6, 7, 8..) des Nutzsignals zwischen Ein­ gangswandler (3) und Ausgangswandler (4) hintereinander ge­ schalteten Reflektoren (6 ₁, 6₂...) die zu den Wandlern (3, 4,...) und zueinander derart angeordnet sind, daß die akustische Welle zwischen den Wandlern (3, 4, ...) der Anzahl der Reflektoren entsprechend häufige einzelne hintereinander­ geschaltete Richtungsänderungen hat und die Richtungs­ änderung der akustischen Welle in einem jeweiligen solchen Re­ flektor größer als 155° und kleiner als 180° ist, aufweist, gekennzeichnet dadurch ,
daß für weiter verbesserten Nutzsignal-/Störsignalabstand zwei derartige Filterstrukturen mit gleichem Aufbau als Teil- Filter (100, 100′, 200, 200′) elektrisch parallel geschaltet sind derart,
daß die jeweiligen Ausgangs- (bzw. Eingangs-) Wandler (4, 4′) bzw. (3, 3′) phasenentgegengesetzt elektrisch miteinander ver­ bunden sind und die Eingangs- (bzw. Ausgangs-) Wandler (3, 3′) bzw. (4, 4′) phasengleich elektrisch miteinander verbunden sind, daß der akustische Weg (5′, 7′, 8′) des Nutzsignals zwischen Eingangswandler und Ausgangswandler (3′, 4′) in dem einen Teil-Filter (100′, 200′) durch Position der Reflektoren (6′₂, 6′₁₂) um das (2n-1)-fache der halben Wellenlänge der akustischen Welle im Material des Substrats bei der Mitten­ frequenz des Filters unterschiedlich ist gegenüber dem aku­ stischen Weg (5, 7, 8) des Nutzsignals im anderen Teil-Filter (100, 200) und
daß die Anordnung und Position von Eingangswandler und Aus­ gangswandler (3, 4) zueinander im einen Teil-Filter (100, 200) identisch ist mit der Zueinanderanordnung und -position von Eingangswandler und Ausgangswandler (3′, 4′) im anderen Teil- Filter (100′, 200′).

2. Reflektorfilter nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch , daß (13, 14,...) unidirektional wirksame Eingangs-/Ausgangs­ wandler vorgesehen sind.

3. Reflektorfilter nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch , daß zwei Teil-Filter (200, 200′) mit jeweils doppeltem aku­ stischen Weg (5, 7, 8) und (5 ₁, 7 ₁ und 8 ₁) vorgesehen sind (Fig. 3).

4. Reflektorfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch , daß die Strukturen beider Teil-Filter (100, 100′) auf einem einstückigen Substrat (2 mit 2′) vorgesehen sind.

5. Reflektorfilter nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, gekennzeichnet dadurch , daß jedes der Teil-Filter (200, 200′) auf je einem eigenen Substrat (2 und 2′) realisiert ist und diese Teil-Filter nur elektrisch zusammengeschaltet verbunden sind.