DE4016765A1 - Cvd-verfahren zur beschichtung ausgedehnter substrate - Google Patents
Cvd-verfahren zur beschichtung ausgedehnter substrateInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein CVD-Verfahren zur Beschichtung
ausgedehnter Substrate, wobei eine Anregung von Ausgangs
stoffen und die Beschichtung des Substrats in durch eine
Trennwand getrennten Bereichen stattfindet, die angeregten
Ausgangsstoffe durch eine Öffnung in der Trennwand vom
Anregungsbereich in den Beschichtungsbereich geleitet
werden und das Substrat relativ zu der Öffnung bewegt wird.
Beispiele für Anwendungen erfindungsgemäß hergestellter
Schichten aus dem optischen Bereich sind Interferenzfilter
für die Röhren von Projektions-Fernsehgeräten, Farbtrenn
filter für optische Systeme, Wärmereflexionsschichten für
Halogenlampen und Wellenleiter für optische Kommunikation.
Ein Verfahren der eingangs genannten Art ist aus
DE 39 26 023 A1 bekannt. Die Anregung einer Gaskomponente,
die keine abscheidungsfähigen Produkte bildet, erfolgt
dabei in einem Vorraum, der vom Substrat durch die
eigentliche Reaktionszone getrennt wird. Die andere
Komponente des Reaktionsgases wird seitlich in den
angeregten Gasstrom eingeführt, was zu asymmetrischen
Strömungsprofilen und damit ungleichmäßiger Abscheidung
führen kann, in Randbereichen zu unerwünschten Partikel
ausscheidungen Anlaß gibt und ein Zuwachsen des
Gaseinlasses prinzipiell nicht vermeidet. Dies ist
besonders ungünstig, da in den dargestellten Anordnungen
eine feste Verbindung zwischen Anregungseinheit und
Abscheidezone vorgesehen ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur
definierten Beschichtung von großflächigen, d. h.
ausgedehnten Substraten mit uniformen einphasigen und
mehrphasigen Schichten zu schaffen. Solche Schichten
können z. B. kristalline und amorphe Strukturen enthalten,
wie etwa Kristallite in Glas, z. B. Glaskeramik mit
submikroskopischen kristallinen Einlagerungen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei
einem Verfahren der eingangs genannten Art die angeregten
Ausgangsstoffe durch die Öffnung einer zwischen den beiden
Bereichen angeordneten Blende geleitet werden und eine
Bildung von Partikeln im Anregungsbereich unterdrückt oder
gefördert wird.
Zusammenfassend betrifft die Erfindung ein CVD-Verfahren
zur Beschichtung ausgedehnter Substrate, wobei eine Anre
gung von Ausgangsstoffen und die Beschichtung des
Substrats in räumlich getrennten Bereichen stattfindet,
die angeregten Ausgangsstoffe durch eine Öffnung einer
zwischen den beiden Bereichen angeordneten Blende vom
Anregungsbereich in den Beschichtungsbereich geleitet
werden, das Substrat relativ zu der Öffnung bewegt wird
und eine Bildung von Partikeln im Anregungsbereich
unterdrückt oder gefördert wird.
Die angeregten Ausgangsstoffe werden vorzugsweise durch
die Öffnung einer in die Trennwand eingesetzten, auswech
selbaren Blende in den Beschichtungsbereich geleitet.
Die Anregung der Ausgangsstoffe findet vorzugsweise
mittels Mikrowellen in einem Niederdruckplasma statt. Die
Anregung der Ausgangsstoffe kann aber auch mittels anderer
Energiequellen erfolgen, z. B. Laser, Glimmentladung oder
Lichtbogen.
Das Plasma brennt vorzugsweise unmittelbar über der
Blendenöffnung im Anregungsbereich.
Die gasförmigen Ausgangsstoffe werden vorzugsweise
wenigstens teilweise über eine Düse oder mehrere Düsen
direkt in das Plasma und in die Nähe der Blendenöffnung
geführt.
Die Beschichtung des gesamten Substrats wird vorzugsweise
durch eine Relativbewegung von Blendenöffnung und Substrat
erreicht.
Die Relativbewegung besteht vorzugsweise aus einer Kombi
nation einer Rotations- und einer Translationsbewegung.
Vorzugsweise werden mehrere Anregungs- und Gaszufuhr
einheiten zur Abscheidung verschiedener Materialien
gleichzeitig an mehreren Positionen einer mit Vakuum
beaufschlagten Substratkammer angeschlossen.
Dabei ist es zweckmäßig, daß das Substrat der Reihe nach
an verschiedenen Positionen vorbeigeführt wird und durch
eine Beschichtung mit verschiedenen Materialien eine
Schichtfolge, beispielsweise ein Interferenzfilter,
aufgebaut wird.
Eine mögliche Ausführungsform sieht vor, die Anregungs- und
Gaszufuhreinheiten auf einem Kreis anzuordnen und in
der Substratkammer mehrere Substrathalter auf einer Art
Karussell anzuordnen, so daß mehrere Substrate im Takt an
den Beschichtungspositionen vorbeigeführt und gleichzeitig
beschichtet werden.
Vorzugsweise wird beim erfindungsgemäßen Verfahren eine
Substratkammer verwendet, die einen Einschleuse- und
Entnahmemechanismus für Substrate besitzt und so einen
kontinuierlichen Betrieb ermöglicht.
Eine homogene Keimbildung in der Gasphase wird vorzugs
weise dadurch vermieden, daß das Plasma bis auf die
Blendenöffnung vollständig durch Kontakt mit Festkörper
oberflächen eingegrenzt wird.
Bei einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens wird durch Schaffung eines Anteils von freiem,
nicht an eine Festkörperoberfläche grenzendem Plasma
bereich eine homogene Keimbildung ermöglicht, und die
entstehenden Partikel werden in eine Matrix aus kompaktem
Schichtmaterial eingelagert.
Bei noch einer anderen Ausführungsform des erfindungs
gemäßen Verfahrens werden einzulagernde Partikel mit dem
Strom der Reaktionsgase über die Düse zugegeben und in
eine aufwachsende Schicht eingebaut.
Vorteile und Unterschiede des erfindungsgemäßen Verfahrens
gegenüber dem bekannten Verfahren:
- 1) Anregungs- und Reaktionszone sind durch die Blende vom Abscheide- und Substratraum getrennt.
- 2) Die Gasführung ist eindeutig definiert.
- 3) Ein Blendenwechsel ist leicht möglich.
- 4) Es können sowohl kompakte als auch poröse und partikeldurchsetzte Schichten hergestellt werden.
Diese und andere (im einzelnen angegebene) Gesichtspunkte
der Erfindung werden in den nachfolgenden Ausgestaltungen
der Erfindung offenbart und erläutert.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in einer Zeichnung
dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
In der Zeichnung zeigen
Fig. 1 und 2 je eine Vorrichtung zur Durchführung
eines Beschichtungsverfahrens schematisch
in Seitenansicht.
In Fig. 1 und 2 ist eine Düse 1 über eine Rohrleitung 2
mit einer üblichen Gasversorgung 3 für Reaktions- und
Trägergase verbunden. Die Gase werden über die Düse 1 in
einen Anregungsbereich 4, z. B. ein Plasma in einer
Reaktionskammer 5, geführt. Die Reaktionskammer befindet
sich in einem Mikrowellenapplikator 6, der über eine
Koppelstelle 7 mit einem Mikrowellenhohlleiter 8 zur
Energiezuführung verbunden ist. Stutzen 9 und 10 dienen
zum Anschluß von Mikrowellengeneratoren oder von Abstimm
elementen. Ein Abstimmelement 11 ist als Kurzschluß
schieber angedeutet. Über eine Rohrleitung 12 kann ein
weiteres Gas oder Gasgemisch aus einer üblichen
Gasversorgung 13, die eine Einheit mit der Gasversor
gung 3 bilden oder getrennt aufgebaut sein kann, außerhalb
des Anregungsbereichs 4 der Reaktionskammer 5 zugeführt
werden. Eine Trennwand 14 trennt die Reaktionskammer 5 von
einer Substratkammer 15. Eine Blendenöffnung in einer
Blende 16 stellt die Verbindung beider Kammern 5 und 15
her. In der gesamten Anordnung kann mittels einer an der
Substratkammer 15 angeschlossenen Pumpe 17 ein Unterdruck
erzeugt und aufrechterhalten werden. In der Substrat
kammer 15 befindet sich ein Substrat 18 auf einem
Substrathalter 19. Dieser Substrathalter ist mit einem
Bewegungsmechanismus 20 bis 23 verbunden. Ein Motor 20
ermöglicht über eine Achse 21 die Drehung des Substrats.
Die Achse 21 ist längenvariabel und erlaubt eine vertikale
Positionierung des Substrats. Die Baugruppe aus
Substrathalter 19 mit Substrat 18 sowie Motor 20 und
Achse 21 ist auf einer durch einen Motor 22 angetriebenen
Verschiebeeinheit 23 montiert und kann so horizontal
verfahren werden. In Fig. 2 ist zusätzlich ein
Quarzrohr 24 dargestellt, dessen Funktion später erläutert
wird.
Die beim erfindungsgemäßen Verfahren zu beschichtende
Oberfläche des Substrats ist im einfachsten Fall planar,
sie kann aber auch in später näher erklärter Form gekrümmt
sein. Die herzustellende Beschichtung ist im einfachsten
Fall über die Substratoberfläche homogen mit konstanter
Dicke. Es können aber auch Schichtdickenprofile erzeugt
werden. Die erreichbaren Profile sind abhängig von der
Substratform. Bei planaren Substraten beispielsweise sind
Profile der allgemeinen Form d=f (r) erzeugbar, wobei d
die Schichtdicke und f (r) eine Funktion des Abstandes r
von einem Mittelpunkt ist. Des weiteren ist eine Struktu
rierung der Beschichtung in Wachstumsrichtung möglich,
z. B. durch Dotierungsprofile oder eine Schichtenfolge
verschiedener Materialien.
Neben der definierten Einstellung des Schichtdicken
profils ist ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen
Verfahrens die Möglichkeit, sowohl kompakte amorphe bzw.
(poly)kristalline Schichten als auch Schichten mit einem
vorgebbaren Gehalt an Partikeln in einer kompakten
Matrix herzustellen. Das Material der eingelagerten
Partikel kann gleich dem oder verschieden von dem Material
der Matrix sein. Solche Einlagerungen können dienen zur
Änderung oder Erzeugung bestimmter physikalischer
Eigenschaften wie elektrische Leitfähigkeit, mechanische
Festigkeit, optische Absorption oder Lichtstreuung, die im
homogenen Material ohne eingelagerte Partikel in der Form
oder Ausprägung nicht vorhanden sind.
Jedes Beschichtungsverfahren ergibt durch den Beschich
tungsvorgang eine Rückwirkung bzw. Belastung des
Substrats, z. B. hohe thermische Belastung, Laser
bestrahlung, Beschuß mit energiereichen Elektronen, Ionen
oder Neutralteilchen oder auch Einwirkung von UV-Quanten
aus einem brennenden Plasma. Diese Belastungen können im
Einzelfall wünschenswerte, aber auch schädigende Auswir
kungen auf das Substrat haben. Das erfindungsgemäße
Verfahren besitzt den weiteren Vorzug, daß bei ihm die
energetische Kopplung zwischen Anregung und Temperatur
belastung des Substrats in weiten Grenzen durch zusätz
liche Heizung oder die Aufenthaltszeit unter der Blenden
öffnung definiert variiert werden kann.
Das bisher vor allem zur Herstellung von Glasfasern für
die optische Nachrichtentechnik angewendete Verfahren der
plasmaaktivierten chemischen Gasphasenabscheidung (PCVD)
ist zur Herstellung obengenannter dielektrischer optischer
Schichten besonders geeignet. Es zeichnet sich aus durch
die Möglichkeit, Mehrkomponentensysteme mit sehr guter
Reproduzierbarkeit bei hoher Wachstumsrate und geringer
Substrattemperatur auf unterschiedlichen Substraten
abzuscheiden. Ein wesentliches Problem für die Übertragung
dieses Verfahrens auf andere Anwendungen neben der
Faserherstellung ist die Beschränkung in der Substrat
geometrie. Dieses Problem wird durch die Erfindung
überwunden.
Der Grundgedanke der Erfindung ist die Erzeugung eines im
Vergleich zu den Substratabmessungen eng begrenzten
Beschichtungsbereichs, der dann über die Substrat
oberfläche derart verlagert und verfahren wird, daß eine
Beschichtung des gesamten Substrats mit dem gewünschten
Schichtprofil entsteht. Die Schichterstellung kann bei dem
erfindungsgemäßen Verfahren grob in vier Schritte unter
teilt werden:
- 1) Bereitstellung und Zuführung der Ausgangsstoffe,
- 2) Anregung der reaktionsfähigen Komponenten der Ausgangsstoffe,
- 3) Erzeugung des engen Beschichtungsbereichs,
- 4) Aufwachsen der Schicht auf dem Substrat.
Zu 1: Die Ausgangsstoffe werden in bekannter Weise
mittels einer konventionellen Gasversorgung dosiert und
einem Anregungsbereich zugeführt.
Zu 2: In diesem Anregungsbereich werden die gasför
migen Ausgangsstoffe z. B. durch ein Mikrowellen-Nieder
druckplasma angeregt.
Zu 3: Dieses so angeregte Gas wird durch eine Öffnung
in einer Trennwand zwischen einer den Anregungsbereich
enthaltenden Reaktionskammer und einer den Beschichtungs
bereich enthaltenden Substratkammer vom Anregungsbereich
in den Beschichtungsbereich geleitet. Die Öffnung in der
Trennwand wird nachfolgend kurz "Blendenöffnung" genannt.
Entsprechend dem Druckgefälle zwischen Gasversorgungs
ausgang und Pumpeneingang und dem Fließwiderstand der
verschiedenen Komponenten bildet sich zwischen den beiden
Bereichen je nach Gesamtgasfluß ein Druckunterschied aus.
Dieser führt zu einem, entsprechend der Größe der Blenden
öffnung, in seinem Querschnitt begrenzten Gasstrom durch
die Blendenöffnung in Richtung Substrat.
Zu 4: Auf der Substratoberfläche werden die
kondensierbaren Anteile des Gasstromes abgeschieden.
Im folgenden wird das Beispiel eines planaren Substrats
gewählt. Bei einem ruhenden Substrat bewirkt der Gasstrom
eine rotationssymmetrische Beschichtung, wobei der Mittel
punkt unter der Blendenöffnung liegt. Form und Breite des
Schichtprofils sind abhängig vom Durchmesser der Blenden
öffnung, dem Abstand zwischen Blendenöffnung und Substrat
sowie dem gewählten Gesamtgasfluß.
Dieses enge Beschichtungsprofil wird nun über den gesamten
zu beschichtenden Bereich hinwegbewegt. Im Prinzip ist
jede geeignete Relativbewegung von Blendenöffnung und
Substrat möglich. Als besonders günstig erscheint die
Kombination aus einer Drehung des Substrats um seinen
Mittelpunkt und einer Translation des Substrats an der
Blendenöffnung vorbei.
Dabei haben die beiden Bewegungen so zu erfolgen, daß die
Bewegung des Mittelpunktes der Drehung auf einer Geraden
(oder einem Kreisbogen mit großem Krümmungsradius)
erfolgt, die direkt oder in nur geringem Abstand an der
Blendenöffnung vorbeiführt. Mit anderen Worten, das
Beschichtungsprofil muß mindestens mit seinem Ausläufer
über den Drehpunkt geführt werden.
Die genannten Bewegungen führen wie folgt zu der gewünsch
ten Beschichtung der gesamten Fläche: Bei einer Drehung
des Substrats ohne Translation ergibt sich auf der Ober
fläche eine kreisförmige Beschichtungsspur, wenn Drehpunkt
und Blendenmittelpunkt nicht auf einer gemeinsamen Achse
liegen, wobei die Schichtdickenverteilung über dem Umfang
gleichmäßig ist. Bei gleichzeitiger Rotation und
Translation ergibt sich eine spiralförmige Beschichtung.
Eine Bewegung des Substrats vom Rand zum Drehpunkt hin an
der Blendenöffnung vorbei ergibt dabei eine enger werdende
Spirale, eine Verschiebung vom Drehpunkt zum Rand hin
entsprechend eine sich erweiternde Spirale. Die Steigung
der Spirale hängt ab vom Verhältnis der Winkel- zur
Vorschubgeschwindigkeit. Bei gegebenem statischem
Beschichtungsprofil kann durch geeignete Wahl der beiden
Geschwindigkeiten für jeden Punkt der Translation der
gewünschte Schichtdickenverlauf auf dem Substrat erreicht
werden. Für die gleichmäßige Beschichtung eines ebenen
Substrats muß der Vorschub zur Mitte hin schneller
erfolgen als bei der Beschichtung der Randbereiche.
Bei hoher Drehzahl verglichen mit den Vorschubgeschwindig
keiten (d. h. viele Beschichtungsumläufe an der Stelle r)
entstehen Beschichtungen, deren Dicke vom Drehwinkel
nahezu unabhängig ist. Durch Änderung der Schichtdicke im
Verlaufe der Translation etwa durch Änderung von
Geschwindigkeit oder Gesamtfluß, ergeben sich also
Profile, die nur vom Abstand r der Blendenöffnung zum
Drehpunkt abhängen (d=f (r), wie oben erwähnt).
Dabei kann der Drehpunkt durch entsprechende Halterung des
Substrats auf dem Drehteller auch asymmetrisch auf dem
Substrat oder sogar ganz außerhalb des Substrats liegen,
wenn z. B. mehrere kleine Substrate gleichzeitig auf einem
Substrathalter beschichtet werden.
Durch die Kombination von Dreh- und Linearbewegung kann
z. B. der zylinderförmige Kolben einer linearen
Halogenglühlampe außenbeschichtet werden. Dazu wird der
Lampenkolben durch eine Halterung mit seiner Achse paral
lel zur Ebene der Blendenöffnung ausgerichtet, so daß
diese Achse unter der Blendenöffnung entlangführt. Durch
Drehung der Lampe um die Kolbenachse wird eine über den
Umfang gleichmäßige Beschichtung erreicht. Durch Vorfahren
des Kolbens entlang seiner Achse wird der gesamte Kolben
an der Blendenöffnung vorbeigeführt und beschichtet.
Hierbei kann man durch Veränderung der Vorschubgeschwin
digkeit oder des Gasflusses sehr einfach Dickenprofile
entlang der Kolbenachse erzeugen, um z. B. bei Interferenz
filtern Winkeleffekte auszunutzen.
Durch die beiden angeführten Beispiele wird deutlich, daß
dieses Verfahren die Möglichkeit eröffnet, eine Vielzahl
von Substratformen in definierter Weise zu beschichten. Es
muß dabei nur gewährleistet sein, daß die Form des
Substrats ein gleichmäßiges Vorbeiführen der gesamten zu
beschichtenden Oberfläche an der Blendenöffnung nicht
verhindert. Innenräume und scharfe Kanten sind Beispiele
für solche Behinderungen.
Es folgen einige Anmerkungen zu einzelnen Komponenten und
Prozeßschritten.
Gaszuführung: Zur optimalen Anregung und
Ausbeute der gasförmigen Ausgangsstoffe kann es vorteil
haft sein, die Gase mittels einer Düse gleich in die Nähe
der Blendenöffnung zu führen. In diesem Fall kann eine
getrennte Zuführung von Gasen zum Zünden des Plasmas oder
zum Spülen nötig sein. Ein Pumpen an der Reaktionskammer
sowie eine Zufuhr von Spül- und Füllgasen in die
Substratkammer ist ebenfalls möglich.
Anregung des Gases: Um eine möglichst hohe
Konzentration an angeregten Spezies zum Substrat zu
bringen, ist es zweckmäßig, daß das Plasma ohne Zwischen
raum über der Blendenöffnung brennt. Dies hat den weiteren
Vorteil, daß alles Gas, das den Beschichtungsbereich
erreicht, durch das Plasma gegangen sein muß, und so ein
hoher Anregungswirkungsgrad erreicht wird. Auch ist zu
beachten, daß eine nahezu vollständige Zerlegung der
Ausgangsstoffe den Einsatz toxischer Ausgangsstoffe
wesentlich unproblematischer gestalten kann, wenn zwar der
Ausgangsstoff, nicht aber die entstehenden Endprodukte
gefährlich sind. Zur Lokalisierung des Plasmas über der
Blendenöffnung in der skizzierten Mikrowellen-
Hohlleiteranordnung hat es sich in manchen Fällen als
zweckmäßig erwiesen, eine Elektrode in geringer Höhe
(etwa 5 bis 15 mm) über der Blendenöffnung anzubringen.
Diese Elektrode ist als Rohr ausgebildet und wird zur
Zuführung der Gase benutzt.
Gasdurchtrittsblende: Um möglichst wenig Wechsel
wirkung der angeregten Gase mit dem Blendenmaterial zu
haben, sollte die Blende im Bereich der Öffnung möglichst
dünn sein, z. B. höchstens etwa 1 mm Dicke. Dabei kann der
Rand noch als eine Art Schneide ausgeführt werden, um den
Kontakt weiter zu reduzieren. Die Blende ist so ausge
führt, daß sie als Einheit leicht aus der Trennwand
herausgenommen und ersetzt werden kann. Der Durchmesser
der Blendenüffnung liegt je nach gefordertem Beschich
tungsprofil im Bereich 1 bis 10 mm. Für die Realisierung
von Schichtprofilen gilt die Randbedingung: Blenden
durchmesser Abscheidungsprofildurchmesser «
Substratdurchmesser.
Trennwand: Enthält gegebenenfalls eine
Kühlung zur Abfuhr der eingebrachten Mikrowellenleistung.
Substrathalterung: Die genaue Ausführung richtet
sich nach Form und Größe des jeweiligen Substrats. Für
eine runde Glasplatte ist der Halter ein Drehteller mit
Kragen zur seitlichen Festlegung des Substrats. Zur
Einstellung einer Grundtemperatur für die Beschichtung des
Substrats ist eine Heizeinrichtung vorgesehen. Diese kann
als Widerstandsheizung in den Halter integriert sein oder
von ihm getrennt als Strahlungsheizung.
Verschluß: Zur Einstellung konstanter
Verhältnisse zu Beginn des Prozesses ist gegebenenfalls
ein Verschluß vorgesehen, der zwischen Blendenöffnung und
Substrat angeordnet werden kann und das Substrat
anfänglich vor Beschichtung schützt.
Bewegungsmechanismus: Der Bewegungsmechanismus
ermöglicht eine Dreh- und zwei Linearbewegungen. Die
vertikale Verschiebung dient zur Einstellung eines
Abstandes Blende-Substrat im Bereich 1 bis 20 mm.
Horizontal- und Drehbewegung sorgen für den Aufbau des
Beschichtungsprofils. Dabei ist der Bereich der Horizon
talbewegung mindestens so groß, daß sie größer ist als die
größte Ausdehnung der zu beschichtenden Fläche. Das
Verhältnis von minimaler zu maximaler Vorschub- bzw.
Drehgeschwindigkeit ist möglichst groß, etwa 1 : 1000.
Zur Herstellung großer Stückzahlen von Schichtstrukturen,
z. B. Interferenzfilter für Frontplatten von Bildröhren
(etwa 20 Schichten SiO2/TiO2), ist folgende Anordnung
zweckmäßig: Eine große evakuierbare Substratkammer
enthält Substrathalter und Bewegungsmechanismen für eine
größere Anzahl von Substraten auf einem Karussell. Der
Deckel der Reaktionskammer enthält an entsprechenden
Positionen mehrere Plasmaanregungseinheiten, die jeweils
zur Beschichtung von SiO2 oder TiO2 dienen. Die Einheiten
für beide Materialien sind abwechselnd angeordnet. Die
Substrathalter werden im Takt jeweils eine Position weiter
gerückt, so daß das Schichtpaket schrittweise aufbaut und
nach einer entsprechenden Zahl von Schritten, die einen
oder mehrerer Umläufe benötigen können, fertig ist. Je ein
Schleusenmechanismus zur Zugabe und Entnahme der Substrate
am Anfang und Ende des Prozesses erlauben einen
kontinuierlichen Betrieb mit hohem Durchsatz.
Das erfindungsgemäße Verfahren mit einer Trennung von An
regung der Reaktionsstoffe und Abscheidung auf dem Sub
strat in zwei räumlich getrennte Bereiche, mit einem
Durchgang mittels einer Blendenöffnung geringen Quer
schnitts, verhindert weitgehend eine Einwirkung von Parti
keln oder Strahlung aus dem Anregungsbereich, hier z. B.
des Plasmas, auf das Substrat. Des weiteren kann die
Stärke der verbleibenden Einwirkung durch Regulierung
der Verweildauer eines Flächenelementes des Substrats
unter der Blendenöffnung eingestellt werden. Diese
Verweildauer wird z. B. durch die Rotationsgeschwindigkeit
des Substrats bestimmt.
Ahnlich wie beim PCVD-Prozeß zur Herstellung von
Lichtleitfasern sollte man erwarten, daß ein in eine
Plasma- bzw. Reaktionszone eingeleitetes Gasgemisch
vollständig zerlegt wird und über konvektive und diffusive
Transportprozesse atomar oder molekular bis zu den Wandun
gen gelangt und dort in Form kompakter Schichten konden
siert. In der Anordnung nach Fig. 1 sollte man also eine
erwünschte Abscheidung auf dem Substrat 18, aber auch eine
unerwünschte Teilkondensation auf der Oberseite der
Trennwand sowie der Ober- und Unterseite der Blende
erwarten. Im Falle eines transparenten Materials also eine
klare Schicht. Tatsächlich zeigen die Experimente jedoch
trübe Schichten.
Gründe für dieses Verhalten liefert eine Betrachtung des
erfindungsgemäßen Verfahrens in seiner Ausführung gemäß
Fig. 1. Die Reaktionsgase werden über die Düse 1 in den
Anregungsbereich 4, hier ein Plasma in der Reaktions
kammer 5, geführt und dort angeregt. Die zugeführte
Gasmenge muß die Reaktionskammer 5 letztlich durch die
Blendenöffnung in der Blende 16 wieder verlassen, bis auf
den Teil, der an einer der Kammerwände niedergeschlagen
wird. Bei diesem Durchgang durch die Reaktionskammer wird
sich ein mehr oder weniger ausgedehntes Flußfeld zwischen
Düse und Blendenöffnung ausbilden, und die Gase haben eine
gewisse Aufenthaltsdauer in der Reaktionskammer. Ein
Anteil der angeregten Gase wird entweder entlang der
Flußlinien oder mittels Diffusion an den freien nicht
durch Oberflächen abgedeckten Rand des Plasmas gelangen.
In diesem Randbereich und außerhalb davon fällt aber die
Leistungsdichte im Plasma unter einen kritischen Wert, und
durch homogene Keimbildung in der Gasphase entstehen
Partikel des Schichtmaterials. Ein Teil dieser Partikel
wird durch Rückdiffusion oder den Gasfluß wieder in das
Plasma gelangen. Die beim PCVD-Prozeß auftretenden
Leistungsdichten reichen jedoch nicht aus, um einmal
bestehende Partikel wieder vollständig aufzulösen. Es ist
vielmehr auch möglich, daß die Partikel selbst als
Substrat dienen und ein Weiterwachsen dieser Partikel
auftritt. Die Partikel können daher mit dem Gasstrom durch
das Plasma hindurch zur Blendenöffnung und zum Substrat
gelangen. Dort werden sie in die entstehende Schicht
eingebaut, die durch den Anteil der Ausgangsstoffe, die
das Plasma nicht verlassen haben, gebildet wird.
Überraschenderweise kann dieser unerwünschte Effekt der
Partikeleinlagerung und Schichttrübung jedoch gänzlich
vermieden werden, wenn statt der Anordnung nach Fig. 1
eine Anordnung wie in Fig. 2 skizziert eingesetzt wird. In
der Anordnung nach Fig. 2 wird die Entstehung von Parti
keln vermieden, indem auf der Trennwand 14 ein Stück
Quarz- oder Glasrohr 24 konzentrisch um die Blendenöffnung
angeordnet wird. Die Höhe dieses Rohres ist so gewählt,
daß die Spitze der Düse einige mm in das Rohr hinein
reicht. Bei richtiger Abstimmung brennt das Plasma
zwischen Düse und Trennwand im Inneren dieses Glasrohres.
Dabei füllt das Plasma den gesamten Rohrquerschnitt aus.
Die Folge ist, daß die Partikel, die ohne Glasrohr an den
Plasmarand gelangt wären und zur Partikelerzeugung
beigetragen hätten, nun auf die Innenwand des Rohres
treffen und dort in einer kompakten Schicht festgehalten
werden, ähnlich der normalen PCVD in einem Rohrreaktor.
Durch die Blendenöffnung und zum Substrat gelangen nur
Partikel, die nach der Anregung das Plasma nicht verlassen
haben, so daß keine Keimbildung stattfindet und die
gebildete Schicht ohne Partikeleinschluß bleibt.
In folgenden wird die Herstellung eines einfachen
SiO2/TiO2-Interferenzfilters beschrieben. Als Substrat 18
wird eine Quarzglasplatte (Fig. 2) von 5 cm Durchmesser in
den Substrathalter 19 eingelegt und auf 320°C erwärmt. Das
Substrat wird mit einer Geschwindigkeit von 30 U/min um
seinen Mittelpunkt gedreht und mit einer Hublänge von 6 cm
vollständig an der Blendenöffnung der Blende 16 vorbei
geführt. Die Translation durchläuft in Abhängigkeit von
der Position ein Zeitprogramm mit einer minimalen
Vorschubgeschwindigkeit von 0,2 mm/sec.
Zur Schichtherstellung werden zwei Gasgemische verwendet,
SiCl4/O2/Ar mit einem Gesamtfluß von 18 sccm zur
SiO2-Bildung und TiCl4/O2/Ar mit einem Gesamtfluß von
25 sccm zur TiO2-Bildung. Beide Gemische können abwech
selnd in die Reaktionskammer 5 eingeleitet werden. Die
Gase werden durch die Düse 1 in das Quarzrohr 24 von 12 mm
Innendurchmesser und 25 mm Länge in der Reaktionskammer 5
eingelassen. In dem Quarzrohr werden die Gase im
Anregungsbereich 4 mittels eines Niederdruckplasmas
angeregt (300 W Mikrowellenausgangsleistung eines
Magnetrons) und durch die Blende 16 mit einer Blenden
öffnung von 3 mm Durchmesser in einen Beschichtungs
bereich, hier die Substratkammer 15, auf das 6 mm
entfernte Substrat 18 geleitet. Der Druck in der
Substratkammer beträgt 0,9 hPa.
Gasfluß und Vorschubgeschwindigkeit sind so ausgelegt, daß
die nötigen Schichtdicken von 190 nm pro SiO2-Schicht in
einem Hub und von 118 nm pro TiO2-Schicht in drei Hüben
erreicht wird. Das nach Aufbringung von vier Doppel
schichten erzeugte Filter ist über der Substratfläche
homogen mit einer Welligkeit unter 2%.
Die Beseitigung der Maßnahmen zur Unterdrückung der
Keimbildung führt zu einer völlig neuen Variante der
Materialherstellung, nämlich der uniformen Herstellung von
Schichten mit eingelagerten amorphen bzw. kristallinen
Partikeln. Derartige Materialien sind aus dem Bereich der
Keramik und Glas/Keramik bekannt, wobei allerdings die
Herstellungsprozesse Hochtemperaturschritte enthalten, in
denen Entmischungen und Festkörperausscheidungen
stattfinden.
Das erfindungsgemäße Verfahren sieht die simultane
Abscheidung von Partikeln in einer kompakten Matrix vor,
wobei die Partikel aus dem gleichen Material wie die
Matrix oder aber aus einem anderen Material bestehen
können. Beispiele für mögliche Anwendungsbereiche sind
Blendschutz-, Antistatik- oder Nullextensions-Schichten.
Die Beobachtung, daß Partikel in den hier benutzten
Plasmen nicht vollständig aufgelöst werden, kann genutzt
werden zur Einlagerung von Partikeln aus einem anderen
Material als dem Schichtmaterial, z. B. Metallpartikel
eingebracht in eine dielektrische Schicht. Dazu werden die
einzulagernden Partikel, die vorher z. B. durch Laser
verdampfen eines aus dem Partikelmaterial bestehenden
Festkörpers erzeugt wurden, mit dem Gasstrom der
Reaktions- und Zündgase für die dielektrische Schicht über
die Düse durch das Plasma und die Blendenöffnung zum
Substrat transportiert. Dort werden sie in die aufwach
sende Schicht eingebaut.
Es wird die Herstellung einer SiO2-Schicht mit einge
lagerten SiO2-Partikeln beschrieben. Eine Quarzglas
platte (Fig. 1) von 5 cm Durchmesser wird als Substrat 18
in den Substrathalter 19 eingelegt und auf 320°C erwärmt.
Wie im vorhergehenden Ausführungsbeispiel wird das
Substrat mit einer Geschwindigkeit von 30 U/min um seinen
Mittelpunkt gedreht und mit einer Hublänge von 6 cm
mehrfach vollständig an der Blendenöffnung vorbeigeführt.
Dabei durchläuft die Translation in Abhängigkeit vom Ort
ein Geschwindigkeitsprogramm.
Zur Schichtherstellung wird ein Gasgemisch SiCl4/O2/Ar mit
einem Gesamtfluß von 28 sccm verwandt. Die Gase werden
durch die Düse 1 in die Reaktionskammer 5 eingelassen und
mittels eines Niederdruckplasmas im Anregungsbereich 4
angeregt (960 W Mikrowellenausgangsleistung eines
Magnetrons). Durch die Blende 16 mit einer Öffnung von
3 mm Durchmesser werden die Gase in die Substratkammer 15
auf das 6 mm entfernte Substrat 18 geleitet. Der Druck in
der Substratkammer beträgt 0,8 hPa. Die nach etwa 10 min
Beschichtungszeit aufgebrachte Schicht zeigt eine über die
Substratfläche gleichmäßige, deutlich sichtbare weißliche
Eintrübung.
Claims (14)
1. CVD-Verfahren zur Beschichtung ausgedehnter
Substrate, wobei eine Anregung von Ausgangsstoffen und
die Beschichtung des Substrats in durch eine Trennwand
getrennten Bereichen stattfindet, die angeregten Ausgangs
stoffe durch eine Öffnung in der Trennwand vom Anregungs
bereich in den Beschichtungsbereich geleitet werden und
das Substrat relativ zu der Öffnung bewegt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß die angeregten Ausgangsstoffe
durch die Öffnung einer zwischen den beiden Bereichen
angeordneten Blende geleitet werden und eine Bildung von
Partikeln im Anregungsbereich unterdrückt oder gefördert
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die angeregten Ausgangsstoffe
durch die Öffnung einer in die Trennwand eingesetzten,
auswechselbaren Blende in den Beschichtungsbereich
geleitet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Anregung der Ausgangs
stoffe mittels Mikrowellen in einem Niederdruckplasma
stattfindet.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma unmittelbar über
der Blendenöffnung im Anregungsbereich brennt.
5. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die gasförmigen Ausgangsstoffe
wenigstens teilweise über eine Düse oder mehrere Düsen
direkt in das Plasma und in die Nähe der Blendenöffnung
geführt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung des gesamten
Substrats durch eine Relativbewegung von Blendenöffnung
und Substrat erreicht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Relativbewegung aus einer
Kombination einer Rotations- und einer Translations
bewegung besteht.
8. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Anregungs- und Gas
zufuhreinheiten zur Abscheidung verschiedener Materialien
gleichzeitig an mehreren Positionen einer mit Vakuum
beaufschlagten Substratkammer angeschlossen werden.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat der Reihe nach an
verschiedenen Positionen vorbeigeführt wird und durch eine
Beschichtung mit verschiedenen Materialien eine
Schichtfolge aufgebaut wird.
10. Verfahren nach Anspruch 8, 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Anregungs- und
Gaszufuhreinheiten auf einem Kreis angeordnet werden und
in der Substratkammer mehrere Substrathalter auf einer Art
Karussell angeordnet werden, und daß mehrere Substrate im
Takt an den Beschichtungspositionen vorbeigeführt und
gleichzeitig beschichtet werden.
11. Verfahren nach Anspruch 8, 9, 10,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Substratkammer verwendet
wird, die einen Einschleuse- und Entnahmemechanismus für
Substrate besitzt.
12. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma bis auf die
Blendenöffnung vollständig durch Kontakt mit Festkörper
oberflächen eingegrenzt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß durch Schaffung eines Anteils
von freier, nicht an eine Festkörperoberfläche grenzenden
Plasmabereiches homogene Keimbildung ermöglicht wird, und
die entstehenden Partikel in eine Matrix aus kompaktem
Schichtmaterial eingelagert werden.
14. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß einzulagernde Partikel mit dem
Strom der Reaktionsgase über die Düse zugegeben und in
eine aufwachsende Schicht eingebaut werden.
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---|---|---|---|
DE19904016765 DE4016765A1 (de) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | Cvd-verfahren zur beschichtung ausgedehnter substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19904016765 DE4016765A1 (de) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | Cvd-verfahren zur beschichtung ausgedehnter substrate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE4016765A1 true DE4016765A1 (de) | 1991-11-28 |
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ID=6407118
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0545460A2 (de) * | 1991-11-23 | 1993-06-09 | Philips Patentverwaltung GmbH | CVD-Verfahren zur Beschichtung ausgedehnter Substrate |
WO1995033866A1 (en) * | 1994-06-03 | 1995-12-14 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
WO1995033868A1 (en) * | 1994-06-03 | 1995-12-14 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for low temperature deposition of cvd and pecvd films |
US5567243A (en) | 1994-06-03 | 1996-10-22 | Sony Corporation | Apparatus for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
DE19734278C1 (de) * | 1997-08-07 | 1999-02-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zum anisotropen Ätzen von Substraten |
-
1990
- 1990-05-25 DE DE19904016765 patent/DE4016765A1/de not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0545460A2 (de) * | 1991-11-23 | 1993-06-09 | Philips Patentverwaltung GmbH | CVD-Verfahren zur Beschichtung ausgedehnter Substrate |
EP0545460A3 (en) * | 1991-11-23 | 1994-12-07 | Philips Patentverwaltung | Cvd process for coating extensive substrates |
WO1995033866A1 (en) * | 1994-06-03 | 1995-12-14 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
WO1995033868A1 (en) * | 1994-06-03 | 1995-12-14 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for low temperature deposition of cvd and pecvd films |
US5567243A (en) | 1994-06-03 | 1996-10-22 | Sony Corporation | Apparatus for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
US5628829A (en) | 1994-06-03 | 1997-05-13 | Materials Research Corporation | Method and apparatus for low temperature deposition of CVD and PECVD films |
US5716870A (en) | 1994-06-03 | 1998-02-10 | Sony Corporation | Method for producing titanium thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
US5866213A (en) | 1994-06-03 | 1999-02-02 | Tokyo Electron Limited | Method for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition using a rotating susceptor reactor |
US6140215A (en) | 1994-06-03 | 2000-10-31 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for low temperature deposition of CVD and PECVD films |
US6220202B1 (en) | 1994-06-03 | 2001-04-24 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for producing thin films by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition |
DE19734278C1 (de) * | 1997-08-07 | 1999-02-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zum anisotropen Ätzen von Substraten |
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