DE3915868A1 - Uv-taugliches trockenobjektiv fuer mikroskope - Google Patents

Description

Die bisher beispielsweise unter dem Namen "Ultrafluar" bekannten UV-tauglichen Objektive lassen sich in zwei Klassen einteilen:

• - Trockenobjektive mit relativ kleinem Abbildungsmaßstab und niedriger Apertur wie zum Beispiel das Objektiv unter der Bezeichnung "Ultrafluar 10/0,25" der Anmelderin.
• - Immersionsobjektive mit relativ großem Abbildungsmaß und hoher Apertur wie zum Beispiel das "Ultrafluar 100/0,85" der Anmelderin.

Es sind jedoch keine hochaperturigen Trockenobjektive bekannt, die gleichzeitig UV-tauglich sind und einen relativ hohen Arbeitsabstand besitzen. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, daß je größer der Arbeitsabstand eines solchen Objektives gefordert ist, umso schwieriger es ist, die Korrektion vor allem von Öffnungsfehler und Gaußfehler sicherzustellen, denn ein UV-durchlässiges Objektiv erfordert eine Korrektion über einen sehr großen Spektralbereich und andererseits stehen für diese Aufgabe nur sehr wenige UV-durchlässige Gläser zur Verfügung.

Nun werden aber beispielsweise für Strukturbreitenmessun­ gen an unbedeckten Objekten wie z. B. den Wafern in der Halbleiterindustrie zunehmend Objektive gefordert, mit denen sich die zu beobachtenden Strukturen in einer Größenordnung von unter 1 µm ausreichend gut auflösen lassen. Die Objektive sollen im sichtbaren Spektralbereich bis zu einem Bildfeld von 25 mm Durchmesser korrigiert sein, damit das Objekt visuell beobachtet und auf die Oberfläche fokussiert werden kann. Für die eigentliche Objektvermessung ist dann ein automatischer konfokaler Strahlscan bei einer diskreten Wellenlänge im UV- Bereich vorgesehen, um das Auflösungsvermögen zu erhöhen. Objektive für diesen Zweck sollen einen Abbildungsmaßstab von β = -60 bis β = -100 besitzen und eine Apertur von mindestens 0,7. Außerdem wird gefordert, daß sie ein geebnetes Bildfeld besitzen und möglichst verzeichnungsfrei sind.

Wie eingangs erwähnt sind die bisher bekannten Objektive für diesen Zweck nicht geeignet.

In der DE-OS 36 33 088 ist ein UV-taugliches Mikroskopobjektiv aus neun Linsen beschrieben, das jedoch nur bis zu einer Wellenlänge von 450 nm brauchbar ist.

Das in der SU-PS 5 84 274 genannte, angeblich UV-taugliche Mikroskopobjektiv aus elf Linsen ist bezüglich seiner Konstruktionsparameter und des Korrekturzustandes nicht spezifiert.

In der US-PS 42 00 352 und in der EP-A2-2 69 926 sind UV- taugliche Objektive beschrieben, die jedoch eine geringe Apertur und einen niedrigen Abbildungsmaßstab besitzen. Hier stellt die Korrektion des Öffnungsfehlers über den Spektralbereich kein Problem dar.

In der EP-A2-2 84 414 ist ein UV-Objektiv für Waferstepper beschrieben. Dies Objektiv ist jedoch nur für den UV-Bereich korrigiert.

Weiterhin sind hochaperturige Trockenobjektive für Mikroskope bekannt, für die sich die sphärische Aberration durch Ver­ schieben von Linsengliedern auf Deckgläser mit unterschiedli­ chen Dicken einstellen läßt. Solche Objektive sind beispiels­ weise in der DE-OS 26 02 730 und in der US-PS 46 66 256 beschrieben. Diese Objektive sind jedoch für den beschriebenen Anwendungsfall nicht geeignet, da sie einmal nicht für den UV- Bereich korrigiert sind und zum anderen dort der Öffnungsfeh­ ler nicht gezielt für eine bestimmte Wellenlänge optimiert werden kann.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein hochaperturiges, UV-taugliches Objektiv für Mikroskope zu schaffen, das sowohl im sichtbaren Spektralbereich ausreichend gut korrigiert ist, das jedoch darüber hinaus auch für mehrere Wellenlängen im UV-Spektralbereich hinsichtlich des Öffnungsfehlers so gut korrigiert ist, daß sich ein Meßstrahl vom Objektiv beugungsbegrenzt fokussieren läßt.

Diese Aufgabe wird durch ein Objektiv mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Die Erfindung geht von der Überlegung aus, daß es nicht unbedingt notwendig ist, das Objektiv hinsichtlich des Öffnungsfehlers so zu korrigieren, daß sich ein beugungsb­ egrenzter Fokusdurchmesser über den gesamten nutzbaren Spektralbereich ergibt. Es ist vielmehr ausreichend, bei gleichzeitig guter Korrektion des sichtbaren Spektralbereichs das Objektiv für eine einzelne ausgewählte UV-Wellenlänge optimal zu korrigieren, wenn sich diese Wellenlänge, bei der das Objektiv optimal korrigiert ist, verändern läßt. Denn auch auf diese Art und Weise läßt sich das Objektiv an die unterschiedlichen, in der Halbleiterindustrie verwendeten mehr oder weniger monochromatischen UV-Strahlquellen anpassen.

Es hat sich nun gezeigt, daß sich der Öffnungsfehler tatsächlich bei gleichzeitig bleibender guter Korrektion im sichtbaren Spektralbereich für verschiedene UV-Wellenlängen optimieren läßt, wenn der Luftabstand zwischen zwei gegeneinander verschiebbaren Teilen des Objektivs an einer geeignet ausgewählten Stelle geändert wird.

Auf diese Weise läßt sich die Korrektion des Objektivs im gesamten UV-Spektralbereich an die verwendete, zu fokussierende Strahlquelle anpassen.

Hierbei ist es besonders zweckmäßig, wenn der Öffnungsfehler des Objektivs so korrigiert ist, daß Änderungen des Öffnungsfehlers in Abhängigkeit von der Wellenlänge, d. h. der Gaußfehler, jeweils in Richtung auf den längerwelligen sichtbaren Spektralbereich und in Richtung auf den kürzerwelligen UV-Bereich in beiden Fällen das gleiche Vorzeichen besitzen.

In den einleitend genannten bekannten Trockenobjektiven mit Deckglaskorrektur erfolgt der Eingriff auf den Öffnungsfehler in der Weise, daß ein Luftraum im Objektiv variiert wird, der Glieder mit vergleichbar großen Brechkräften trennt. Denn bisher wurde vereinfacht angenommen, daß die Flächenbelastungen der feststehenden Linsengruppe konstant bleiben und nur die gegenüber der feststehenden Gruppe verschobene, z. B. hintere Linsengruppe den Öffnungsfehler verändert. Dies gilt jedoch nur, wenn sich der Arbeitsabstand des Gesamtobjektives beim Nachfokussieren nach der Korrekturverstellung eines Linsengliedes nicht ändert. Eine Abstandsvariation in der Frontgruppe eines Objektives, wo der Öffnungsstrahl im allgemeinen noch stark divergent verläuft, verändert jedoch den Arbeitsabstand des gesamten Objektives schon merklich. Dadurch ändern sich auch die Inzidenzwinkel im vorderen feststehenden Objektivteil, das somit einen weiteren Beitrag zur gesamten Bildfehleränderung leistet.

Der veränderliche Luftabstand ist deshalb zweckmäßig so ausgewählt, daß die durch eine Verschiebung des hinteren Teils (b) des Objektivs bewirkte Änderung des Öffnungsfehlers und der Beitrag, den das vordere Teil (a) des Objektivs zum den Öffnungsfehler beim anschließenden Nachfokussieren liefert, das gleiche Vorzeichen besitzen und sich somit nicht kompensieren sondern verstärken. Denn dann läßt sich der gewünschte Eingriff auf den Öffnungsfehler mit relativ kleinen Luftraumänderungen im Objektiv bewerkstelligen und die Grundkorrektion des Objektivs, d. h. die übrigen Bildfehler ändern sich nur sehr wenig. Außerdem wird mit dieser Maßnahme der ohnehin schon meist knappe Arbeitsabstand des Objektivs durch die Korrekturbewegung nicht nochmals verringert.

Mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen ist es möglich, ein gut korrigiertes, UV-taugliches Trockenobjektiv mit einer Apertur von mindestens 0,7 und einem Abbildungsmaßstab von größer als 60× aus elf bis dreizehn Linsen aufzubauen. Diese Linsen bestehen zweckmäßig aus den Glasarten Suprasil und Flußspat, so daß das Objektiv im Spektralbereich zwischen dem langwelligen sichtbaren Spektralbereich von ca. 650 nm bis in den UV-Bereich bei etwa 240 nm gut verwendbar ist.

Nachfolgend werden vier Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Fig. 1-14 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1-4 stellen Linsenschnitte der vier Ausführungsbeispiele für das Objektiv dar;

Fig. 5-8 sind die Korrektionskurven der Objektive aus Fig. 1-4;

Fig. 9-12 sind Diagramme, in denen die für eine optimale Korrektur des Öffnungsfehlers bei verschiedenen Wellenlängen notwendigen Luftraumänderungen Δ d für verschiedene Luftabstände die der Objektive aufgetragen sind;

Fig. 13 stellt jeweils für verschiedene Wellenlängen die Intensitätsverteilung des Airy-Beugungsscheibchens des Objektivs aus Fig. 1 bei festem Luftabstand d 7 dar;

Fig. 14 stellt den Durchmesser des Airy- Scheibchens des Objektivs aus Fig. 1 für die verschiedenen Wellenlängen dar, wobei der Luftabstand d 7 jeweils im Hinblick auf minimalen Öffnungsfehler eingestellt ist;

Fig. 15 ist der Linsenquerschnitt des mit den Objektiven nach Fig. 1-4 verwendeten Tubuslinsensystems.

Alle in Fig. 1-4 dargestellten Objektive haben gemeinsam, daß mit mehreren Linsen in der Frontgruppe zunächst die Öffnungsstrahlen annähernd kollimiert werden und dann die verbleibenden Bildfehler vor allem durch verschiedene Kombinationen von Kittgliedern mit geringerer Brechkraft korrigiert werden. Eine Feldlinse im hinteren Objektivteil korrigiert die Pezvalzsumme und andere feldabhängige Bildfehler. Sie unterscheiden sich jedoch bezüglich des Arbeitsabstandes, in der Linsenzahl und im Aufbau der Kittglieder.

Das Ausführungsbeispiel in Fig. 1 besitzt eine konkav-konvexe Frontlinse (L 1), auf die eine ebenfalls konkav-konvexe Einzellinse (L 2) folgt. Hieran an schließt sich ein Kittglied bestehend aus einer bikonkaven Linse (L 3) und einer bikonvexen Linse (L 4). Diese vier Linsen bilden das erste, feststehende Teil (a) des Objektivs.

Hieran schließt sich durch den Luftspalt d 7 getrennt, das zweite gegenüber dem Teil (a) verschiebliche Teil (b) des Objektivs an. Dieses besitzt folgenden Aufbau: auf eine konkav-konvexe Einzellinse (L 5) folgt ein Kittglied aus drei Linsen, nämlich zwei bikonvexen Sammellinsen (L 6 und L 8), zwischen denen eine bikonkave Zerstreuungslinse (L 7) eingeschlossen ist.

Auf das erste Kittglied folgt ein zweites, ebenfalls aus drei Linsen bestehendes Kittglied. Dieses besteht wiederum aus zwei bikonvexen Linsen (L 9 und L 11), die eine bikonkave Linse (L 10) einschließen. Hierzu ist mit relativ großem Luftabstand d 17 eine konkav-konvexe Einzellinse (L 12) angeordnet. Diese Feldlinse korrigiert im wesentlichen die Pezvalzsumme und andere feldabhängige Bildfehler.

Das Objektiv nach Fig. 1 besitzt die in Tabelle I angegebenen Daten. Die zugehörigen Korrektionskurven für die sphärische Aberration, Verzeichnung und Astigmatismus sind in Fig. 5 dargestellt. Hier bleibt anzumerken, daß die sphärische Aberration und der Astigmatismus in Raleigheinheiten angegeben sind, während die Verzeichnung in Prozent angegeben ist. Das Objektiv ist auf Schnittweite unendlich korrigiert und erzeugt sein Zwischenbild ZB in Verbindung mit einer UV-Tubuslinse mit einer Brennweite f = 164,6 mm. Diese Tubuslinse ist in Fig. 15 dargestellt. Sie besteht aus einer Sammellinse (101) und einer Zerstreuungslinse (102). Mit (103) ist das vom Abbildungsstrahlengang durchsetzte Prisma im Binokulartubus des Mikroskops bezeichnet. Die Konstruktionsparameter des Tubuslinsensystems sind in Tabelle V aufgelistet.

Tabelle V

In Fig. 9 sind die Abstandsänderungen Δ d in mm über der Wellenlänge WL aufgetragen, die erforderlich sind, um den Öffnungsfehler durch eine Variation der Luftabstände d 2, d 7, d 9 oder d 4 für die betreffende Wellenlänge zu minimieren. Man erkennt deutlich, daß der Abstand d 2 für diesen Zweck ungünstig ist, da an dieser Stelle zu große Variationen des Abstandes für den erstrebten Zweck erforderlich wären. Der Abstand d 9 ist ebenfalls ungünstig, da die entsprechende Kurve einen Wendepunkt besitzt und die für eine Optimierung im UV- Bereich nötige Abstandsänderung vom Vorzeichen her entgegengesetzt zu der für den sichtbaren Bereich erforderlichen verläuft. Hingegen sind die Abstände d 4 und d 7 gut geeignet, da zum einen sehr viel geringere Abstandsänderungen zur Anpassung an die verschiedenen Wellenlängen ausreichend sind und zum anderen die Kurven im gesamten Spektralbereich keinen Wendepunkt besitzen, so daß bei Optimierung des Öffnungsfehlers im UV-Bereich zwischen 240 und etwa 280 nm der Öffnungsfehler auch im sichtbaren Spektralbereich gut korrigiert bleibt. Im konkreten Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 werden die beiden relativ zueinander verschiebbaren Linsenglieder (a) und (b) durch den Luftabstand d 7 getrennt.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 unterscheidet sich von dem nach Fig. 1 dadurch, daß die Frontlinse als Kittglied aus den beiden Linsen (L 1 und L 2) besteht. Hierdurch lassen sie die aperturabhängigen Fehler gleich in der Frontgruppe deutlich minimieren, so daß die Grundkorrektion dieses Objektivs wie aus den Kurven nach Fig. 6 hervorgeht von vornherein besser ist. Die Linsendaten sind in Tabelle II aufgeführt.

Zur Optimierung des Öffnungsfehlers für verschiedene UV- Wellenlängen eignen sich die Luftabstände d 3 und d 5. Dies geht aus der graphischen Darstellung nach Fig. 10 deutlich hervor. Auch der Luftabstand d 8 ist für diesen Zweck noch geeignet. Denn in den drei dargestellten Fällen sind nur relativ geringe Variationen der Luftabstände nötig, wobei zur Optimierung des Öffnungsfehlers sowohl zum kürzerwelligen UV- als auch zum längerwelligen sichtbaren Spektralbereich hin die Abstandsänderungen in die gleiche Richtung verläuft.

Das Objektiv im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 besitzt in der Frontlinsengruppe eine Linse weniger. Dort schließt sich direkt an die Frontlinse (L 1) das aus den beiden Linsen (L 2) und (L 3) bestehende konkav-konvexe Kittglied an. Hierdurch ist die Korrektion von Öffnungsfehler und Gaußfehler stark erschwert und auch die Koma ist nicht mehr so gut zu korrigieren. Bezüglich des Öffnungsfehlers ist dies in den Korrektionskurven nach Fig. 7 zu erkennen. Weiterhin besitzt das aus den drei Linsen (L 8, L 9 und L 10) bestehende, zweite Kittglied vom Vorzeichen her andere Radien als das entsprechende, aus den Linsen (L 9, L 10 und L 11) gebildete Kittglied im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Während dort nämlich eine zerstreuende Linse von zwei Sammellinsen eingeschlossen ist, ist im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 eine Sammellinse, nämlich die Linse (L 9), von zwei Zerstreuungslinsen (L 8 und L 10) eingeschlossen. Die Konstruktionsparameter dieses Ausführungsbeispiels sind in Tabelle III aufgeführt.

Zur Optimierung des Öffnungsfehlers auf verschiedene Wellenlängen im UV-Bereich sind für dieses Ausführungsbeispiel die Luftabstände d 2 und d 5 geeignet. Dies ergibt sich aus der graphischen Darstellung nach Fig. 11, wo die zur Minimierung des Öffnungsfehlers auf die betreffende Wellenlänge nötige Abstandsänderung Δ d für die Luftabstände d 2 und d 5 über der Wellenlänge aufgetragen ist. Aus fertigungstechnischen Gründen wird man bei diesem Objektiv den Luftabstand d 5 variieren. Die anderen Luftabstände d 7 und d 11 sind für den beschriebenen Zweck nicht geeignet, da der Öffnungsfehler auf eine Abstandsänderung an dieser Stelle viel zu unempfindlich reagiert.

Das Ausführungsbeispiel in der Darstellung nach Fig. 4 entspricht im wesentlichen dem nach Fig. 1 mit dem Unterschied, daß im zweiten Kittglied, das aus drei Linsen (L 9, L 10 und L 11) besteht, auch wieder zwei Radien bezüglich ihres Vorzeichens vertauscht sind, so daß anstelle der Zerstreuungslinse (L 10) in Fig. 1 hier eine Sammellinse von zwei Zerstreuungslinsen eingeschlossen ist. Außerdem ist hier für die Feldlinse ein Kittglied gewählt. Durch diese Maßnahmen ist, allerdings auf Kosten des Arbeitsabstandes, die Korrektion etwas besser als im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Die entsprechenden Korrektionskurven für das Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 sind in Fig. 8 dargestellt und die Konstruktionsparameter in Tabelle IV aufgelistet.

Wie aus der Darstellung nach Fig. 12 hervorgeht, eignen sich bei diesem Objektiv die Luftabstände d 4 und d 2 zur Optimierung des Öffnungsfehlers im UV-Bereich. Die Abstände d 7 und d 9 sind weniger geeignet, da hier entweder zu große Änderungen gefordert werden (d 7) bzw. die erforderliche Abstandsvariation im UV-Bereich in eine andere Richtung läuft als im sichtbaren Spektralbereich (d 10).

Die Arbeitsabstände der Objektive nach Fig. 1 bis Fig. 4 sind in den zugehörigen Tabellen I bis IV zu Anspruch 8 in denen alle Konstruktionsparameter aufgelistet sind, mit angegeben. Die dort ebenfalls angegebenen Bereiche für die Aperturen von 0,8 bis 0,88 ergeben sich aus dem großen Spektralbereich, für den diese Objektive korrigiert sind. Sie sind so zu verstehen, daß die Apertur von 0,8 jeweils für den sichtbaren Spektralbereich und die höhere Apertur von zwischen 0,86 und 0,88 für den UV-Bereich gilt. Für die Linsen sind im übrigen ausnahmslos die beiden Glasarten Suprasil und Flußspat verwendet, die folgende Brechungsindices nd und Dispersionen n d besitzen:

Suprasil  nd = 1.4585 ν d = 67,3
Flußspat n = 1.4339 ν d = 95,2

In einem Vergleich zwischen den Fig. 13 und 14 läßt sich sehr gut erkennnen, welche Vorteile durch die von der Erfindung vorgeschlagenen Maßnahmen erzielt werden können. Dargestellt ist in beiden Fällen die räumliche Intensitätsverteilung des Airy-Scheibchens des Objektivs im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Der mittlere Durchmesser des Airy-Scheibchens ist ein gutes Maß dafür, ob bzw. wie gut sich ein kollimierter Lichtstrahl vom Objektiv beugungsbegrenzt fokussieren läßt. Hält man den Luftabstand d 7 des Objektivs nach Fig. 1 konstant bei d 7 = 0,18 mm, so ergibt sich zwar für die Wellenlänge WL = 302 nm ein scharfer, beugungsbegrenzter Fokus. Für die übrigen Wellenlängen und insbesondere die UV- Wellenlängen WL = 237,8 nm und WL = 248,2 nm ist der Fokusspot jedoch stark verbreitert aufgrund des dort nicht optimal korrigierten Öffnungsfehlers. Dies läßt sich in Fig. 13 klar erkennen.

Wird hingegen der Luftabstand d 7 entsprechend dem in Fig. 9 aufgetragenen Zusammenhang auf die gewünschten Wellenlängen z. B. WL = 237,8 nm oder WL = 248,2 nm eingestellt, so ergeben sich auch für diese Wellenlängen beugungsbegrenzte Fokii, die eine hochauflösende Vermessung von z. B. Waferstrukturen erlauben. Für die Objektive ist deshalb eine Korrektionsfassung vorgesehen, mit deren Hilfe in an sich bekannter Weise die beiden Teile a und b des Objektivs zur Abstimmung auf die gewünschte Wellenlänge verschoben werden können. Der Einstellring der Korrektionsfassung ist deshalb zweckmäßig mit einer Wellenlängen-Skala markiert.

Es ist klar, daß eine solche Korrektionsfassung außerdem gekoppelt sein kann mit einer Einrichtung, die eine etwaige Verschiebung der Fokuslage infolge der Korrektionsbewegung durch ein Verschieben des gesamten Objektives ausgleicht. Solche Korrektionsfassungen sind von ihrem mechanischen Aufbau her an sich bekannt und werden deshalb an dieser Stelle nicht näher beschrieben.

Tabelle I (Fig. 1)

Tabelle II (Fig. 2)

Tabelle III (Fig. 3)

Tabelle IV (Fig. 4)

Claims (8)

1. UV-taugliches Trockenobjektiv für Mikroskope mit einer Apertur größer als 0,7 und einem Abbildungsmaßstab von mindestens 60×, welches bezüglich des Öffnungsfehlers für den sichtbaren Spektralbereich und gleichzeitig für eine ausgewählte UV-Wellenlänge korrigiert ist und das aus mindestens zwei gegeneinander verschiebbaren Gliedern (a, b) besteht, wobei die ausgewählte UV-Wellenlänge, bei der der Öffnungsfehler korrigiert ist, von dem infolge der Verschiebung veränderlichen Luftabstand (d 7, d 4; d 5, d 3; d 5, d 2; d 4, d 2) zwischen den Gliedern (a,b) abhängt.

2. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftabstand so ausgewählt ist, daß Abstandsänderungen die Wellenlängen, für die der Öffnungsfehler optimal korrigiert ist, im UV-Bereich und im sichtbaren Spektralbereich gleichzeitig in entgegengesetzter Richtung verschieben.

3. Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Öffnungsfehler des Objektivs in einer Weise korrigiert ist, daß Änderungen des Öffnungsfehlers in Abhängigkeit von der Wellenlänge jeweils in Richtung auf den längerwelligen sichtbaren Spektralbereich und in Richtung auf den kürzerwelligen UV-Bereich in beiden Fällen das gleiche Vorzeichen besitzen.

4. Objektiv nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Öffnungsfehler im UV-Bereich bis mindestens zu einer Wellenlänge von 260 nm beugungsbegrenzt korrigieren läßt.

5. Objektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der veränderliche Luftabstand (d 7, d 4; d 4, d 3; d 5, d 2; d 4) so ausgewählt ist, daß die durch eine Verschiebung des hinteren Teils (b) des Objektivs bewirkte Änderung des Öffnungsfehlers und der Beitrag des vorderen Teils (a), der sich daraus ergibt, daß sich der Arbeitsabstand des Objektivs infolge der Verschiebung (d) ändert, das gleiche Vorzeichen besitzen.

6. Objektiv nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv zwischen elf und dreizehn Linsen besitzt, wobei die Linsen aus Suprasil und Flußspat bestehen.

7. Objektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv in Lichtrichtung gesehen folgenden Aufbau besitzt:

• - eine konkav-konvexe, als Einzellinse (L 1) oder Kittglied (L 1, L 2) ausgebildete Frontlinse;
• - eine sammelnde, aus einer konkav-konvexen Einzellinse (L 2; L 3) und einem konkav-konvexen Kittglied (L 3/ L 4; L 4/ L 5) oder allein einem konkav-konvexen Kittglied (L 2/ L 3) bestehende Linsengruppe;
• - eine sammelnde Einzellinse (L 5; L 6; L 4);
• - ein erstes aus drei Linsen (L 6- L 8; L 7- L 9; L 5- L 7) bestehendes Kittglied;
• - ein zweites aus drei Linsen (L 9- L 11; L 10- L 12; L 8- L 10) bestehendes Kittglied;
• - eine in größerem Luftabstand dazu angeordnete zerstreuende Einzellinse (L 12; L 13; L 11) oder ein zerstreuendes Kittglied (L 12/ L 13).

8. Objektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv die in einer der Tabellen I, II, III oder IV angegebenen Daten besitzt oder Werte, die ausgehend von einem dieser Datensätze bei einer Variation der Linsenparameter zu Objektiven mit im wesentlichen gleichen Leistungsdaten führen.