DE3901129A1 - Linearantrieb - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Linearantrieb mit einem einen magnetischen Fluß erzeugenden ersten System und einem relativ zu diesem bewegbaren, vom magnetischen Fluß durch­ setzbaren zweiten System.

Bei den bekannten Antrieben dieser Art weist das erste System eine Erregerspule auf, mittels deren in einem Pol­ kern aus magnetisch leitendem Material der Magnetfluß erzeugt wird, welcher sich über den das zweite System bildenden Anker schließt, der ebenfalls aus einem den Magnetfluß gut leitenden Material besteht. Die Kraft, die mittels eines solchen Hubmagneten erzeugt werden kann, beruht darauf, daß der Anker infolge des Magnetfeldes gegen den Polkern gezogen wird. Dies bedingt, daß die mittels des Hubmagneten erzeugbare Betätigungskraft nur in einer einzigen Richtung wirken kann und daß bei einer Änderung des Erregerstromes die relativ große Induktivität des Hubmagneten voll wirksam wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Linearantrieb zu schaffen. Diese Aufgabe löst ein Linearantrieb mit den Merkmalen des Anspruches 1.

Dadurch, daß hierbei das zweite System des Linearantriebs eine Tauchspule aufweist, die in Richtung ihrer Längsachse verschiebbar geführt ist, läßt sich bei vergleichbarer Größe der Hubkraft der bewegliche Teil des im folgenden als Hubmagneten bezeichneten Linearantriebs mit wesentlich geringerer Masse ausführen als bei den bekannten Hubmagne­ ten, bei denen der massive Weicheisenanker den beweglichen Teil bildet. Hierdurch lassen sich kürzere Schaltzeiten sowie höhere Grenzfrequenzen erreichen. Da die Hubkraft durch das Vektorprodukt aus der magnetischen Flußdichte und der Größe des durch die Tauchspule fließenden Stromes bestimmt ist, ist die Kraftrichtung von der Stromrichtung abhängig. Es bedarf also nur der Umkehr der Stromrichtung, um die Kraftrichtung umzukehren. Außerdem läßt sich in einfacher Weise durch die Stromstärke auch die Größe der Hubkraft festlegen, so daß der Hubmagnet als porportional wirkender Antrieb problemlos beispielsweise in eine Regel­ schaltung einbezogen werden kann. Vor allem ist hierbei auch von Vorteil, daß die Hubkraft linear von der Strom­ stärke des die Tauchspule durchfließenden Stromes abhängig ist.

Es ist zwar möglich, das erste System als Elektromagnet auszubilden, wobei nicht nur eine Gleichstromerregung, sondern auch eine Wechselstromerregung in Frage kommt, sofern die Tauchspule ebenfalls von einem Wechselstrom durchflossen wird. In der Regel wird es jedoch vorteilhafter sein, das erste System mit wenigstens einem Permanent­ magneten auszurüsten.

Da die maximale Hubkraft dann erreicht wird, wenn die Stromrichtung in der Tauchspule senkrecht zur magnetischen Flußdichte verläuft, ist eine konzentrische Anordnung der beiden Systeme gemäß Anspruch 3 besonders vorteilhaft.

Um in möglichst einfacher Weise die Tauchspule zu führen und die von ihr erzeugte Hubkraft auf ein zu betätigendes Bauteil übertragen zu können, ist bei einer bevorzugten Ausführungsform die Tauchspule gemäß Anspruch 4 über einen Träger mit einer Führungsstange verbunden. Damit bei einer vorgegebenen axialen Länge der Tauchspule der Weg, den diese ausführen kann, möglichst groß ist, ist es zweckmäßig, als Träger eine Scheibe gemäß Anspruch 5 vorzusehen, die, falls dies im Hinblick auf ihre mechanische Beanspruchung zweckmäßig ist, eine von ihrem Zentrum zu dem die Tauchspule tragenden Rand hin abnehmende Dicke in axialer Richtung aufweisen kann. Selbstverständlich kann diese Scheibe zur Verringerung ihrer Masse mit Durchbrüchen versehen oder durch einzelne Arme gebildet sein.

Die Führungsstange, welche die Tauchspule trägt, könnte in Führungsbuchsen oder dergleichen geführt und gelagert sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind jedoch die beiden Lager durch je eine Membrane gebildet. Sofern diese Membrane aus einem elektrisch leitenden Material besteht und beide Membrane gegeneinander elektrisch isoliert sind, kann über sie die Stromzuführung zu der Tauchspule in besonders einfacher Weise erfolgen.

Eine besonders vorteilhafte Anordnung der Tauchspule, der Permanentmagnete und der Flußleitkörper ist Gegenstand des Anspruches 9. Die Tauchspule liegt hierbei in einem Ringspalt, der innen durch die beiden ringförmigen Magnete und außen von dem als Flußleitkörper dienenden Rohr begrenzt ist, wobei durch weitere Flußleitkörper gemäß Anspruch 10 erreicht werden kann, daß der magnetische Fluß in radia­ ler Richtung die Tauchspule durchsetzt.

Zu einem Ringspalt, in dem die Tauchspule angeordnet ist, führt aber auch eine bevorzugte Ausführungsform, wie sie in Anspruch 11 definiert ist. Diese Ausführungsform weist den Vorteil auf, daß stabförmige Permanentmagnete verwendet werden können, die vorzugsweise als Flachstab ausgebildet sind. Sofern man zwischen den über den Umfang verteilt angeordneten Magneten Zwischenräume vorsieht, kann man diese mit einem Bindemittel, insbesondere einem Kunststoff, füllen. Man erhält dann einen rohrförmigen Magnetkörper, der einfach zu montieren ist.

Vorzugsweise ist dieser Magnetkörper in einem rohrförmigen Gehäuse angeordnet, das bei der Verwendung von flachstab­ förmigen Permanentmagneten auch eine im Querschnitt polygone Form haben kann.

Wie bei den Ausführungsbeispielen gemäß Anspruch 9 können auch bei denjenigen gemäß Anspruch 11 die Membrane in die beiden Endabschnitte des rohrförmigen Gehäuses einge­ setzt und beispielsweise zwischen zwei an der Innenwandung des Rohres anliegenden Spannringen festgelegt sein.

Die Führungsstange, der Träger und der Spulenkörper der Tauchspule können einstückig ausgebildet sein. Es kann aber auch vorteilhaft sein, nur die Führungsstange und den Träger einstückig aus einem paramagnetischen oder diamagnetischen Material herzustellen und für den zylin­ drischen Teil des Spulenkörpers einen weichmagnetischen Werkstoff zu verwenden, um den radialen Luftspalt im ma­ gnetischen Kreis so klein wie möglich zu halten.

Im folgenden ist die Erfindung anhand von zwei in der dargestellten Ausführungsbeispielen im einzelnen erläutert.

Es zeigen

Fig. 1 einen Längsschnitt eines ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. 2 einen Längsschnitt eines zweiten Ausführungsbeispiels,

Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie III-lII der Fig. 2,

Fig. 4 einen vergrößert dargestellten Längsschnitt des beweglichen Teils des zweiten Ausführungsbeispiels.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Tauchspulenhubmagnet ist ein zylindrisches Gehäuse 1 aus einem weichmagnetischen Material vorgesehen, das im Abstand von seinem einen Ende durch einen einstückig mit ihm ausgebildeten, ringscheiben­ förmigen Boden 2 verschlossen ist. In etwa gleichem Abstand vom anderen Ende ist das Gehäuse 1 durch eine eingesetzte Ringscheibe 3 verschlossen, die ebenfalls aus einem weich­ magnetischen Material besteht und, wie das Gehäuse 1, als Flußleitkörper dient.

Die Ringscheibe 3 wird von einem innen am Endabschnitt des Gehäuses 1 anliegenden Federring 4 in Anlage an einer Schulter des Gehäuses 1 gehalten. Ein zweiter Federring 4 liegt an der Innenwandung des anderen Endabschnittes des Gehäuses 1 und dessen Boden 2 an. Beide Federringe 4 sind mit einer Ringkehle versehen, in die der Außenrand je einer Membrane 5 eingelegt ist, die aus einem elektrisch gut leitenden Federmaterial besteht. Je ein zweiter Feder­ ring 6 liegt neben dem Federring 4 innen am Gehäuse 1 an und klemmt den Außenrand der Membrane 5 fest.

Die beiden Membrane 5 sind mit je einem zentralen Loch versehen. Dieses Loch durchdringt ohne Spiel bei der einen Membrane 5 der eine Endabschnitt, bei der anderen Membrane 5 der andere Endabschnitt einer Führungsstange 7, über welche die vom Hubanker erzeugte Kraft auf das zu betätigen­ de Gebilde übertragen wird.

In der Mitte zwischen den beiden Membranen 5 trägt die Führungsstange 7 eine Scheibe 8, deren in axialer Richtung gemessene Dicke zu ihrem äußeren Rand hin gleichmäßig abnimmt. Die beiden Stirnseiten der Scheibe 8 haben deshalb eine konische Form mit gleich großem Konuswinkel.

Der äußere Rand der Scheibe 8 trägt mittig einen zur Führungs­ stange 7 konzentrischen Spulenkörper 9 einer zylindrischen, zur Führungsstange 7 koaxial angeordneten Tauchspule.

In den radial nach außen offenen Spulenkörper 9 ist die Wicklung 10 der Tauchspule eingelegt. Im Ausführungsbeispiel sind zur Erzielung einer möglichst geringen Masse und aus Kostengründen die Führungsstange 7, die Scheibe 8 und der Spulenkörper 9 ein einstückig ausgebildeter Kunst­ stoffkörper.

Konzentrisch zur Führungsstange 7 und dem Spulenkörper 9 liegen an der Innenseite des Bodens 2 sowie an der Innen­ seite der Ringscheibe 3 je ein ringförmiger Permanentmagnet 11 an, die so magnetisiert sind, daß die einander zuge­ kehrten Stirnflächen gleichnamige Pole bilden. Zwischen den beiden Permanentmagneten 11 einerseits und der Führungs­ stange 7 sowie dem Spulenkörper 9 andererseits ist je ein geringer Luftspalt vorgesehen, damit sich die Tauchspule und die Führungsstange 7 in deren Längsrichtung reibungslos verschieben können. Daher ist auch das zentrale Loch des Bodens 2 und der Scheibe 3 im Durchmesser größer als der Außendurchmesser der Führungsstange 7.

An den einander zugekehrten Polflächen der Permanentmagnete 11 liegt je ein Flußleitkörper 12 in Form einer Scheibe an, deren Innen- und Außendurchmesser dem Innen- bzw. Außendurchmesser der Permanentmagnete 11 entsprechen und deren in axialer Richtung gemessene Dicke in gleichem Maße von innen nach außen hin zunimmt, wie die entsprechende Dicke der Scheibe 8 abnimmt. Der Luftspalt zwischen der Scheibe 8 einerseits und den beiden Flußleitkörpern 12 andererseits ist entsprechend dem Hub gewählt, welchen die Führungsstange 7 in der einen bzw. anderen Richtung von ihrer in Fig. 1 dargestellten Ausgangslage aus ausführen können muß.

Dank der beiden Flußleitkörper 12 und eines im Durchmesser verringerten Mittelabschnittes des Gehäuses 1, welcher die beiden Flußleitstücke 12 und den an sie angrenzenden Endabschnitt der beiden Permanentmagnete 11 übergreift, hat man im Bereich dieses Mittelabschnittes des Gehäuses 1 einen radialen Verlauf des magnetischen Flusses. Der Rückschluß des magnetischen Flusses erfolgt über die beiden sich an die Mittelzone anschließenden Abschnitte des Gehäuses 1 und den Boden 2 sowie die Ringscheibe 3.

Die beiden Enden der Wicklung 10 der Tauchspule sind über nicht dargestellte Litzen mit der einen bzw. anderen Membrane 5 elektrisch verbunden, welche gegenüber den sie haltenden Federringen oder mittels dieser gegeneinander elektrisch isoliert sind. Ebenfalls nicht dargestellte Litzen führen von den beiden Membranen 5 zu Anschlußkontakten 13, welche in einem an das Gehäuse 1 angesetzten Klemmenkasten 14 angeordnet sind. Da somit keine Durchführungen für die Wicklung 10 führenden Anschlußleitungen erforderlich sind, kann der durch das Gehäuse 1 und die Membrane 5 begrenzte Innenraum druckdicht ausgebildet sein.

Je nach der Richtung des durch die Wicklung 10 fließenden Stromes werden die Tauchspule 9, 10 sowie die Führungsstange 7 nach rechts oder nach links entgegen der Rückstellkraft der Membrane 5 verschoben. Die Kraft und die Verschiebung sind dabei abhängig von der Stärke des die Wicklung 10 durchfließenden Stromes. Dank der sehr geringen Masse der Tauchspule und der mit ihr verbundenen Teile und des stets sowohl hinsichtlich seiner Richtung als auch seiner Größe gleichbleibenden magnetischen Flusses lassen sich kurze Schaltzeiten sowie hohe Grenzfrequenzen erreichen.

Das in den Fig. 2 bzw. 4 dargestellte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich hinsichtlich der Ausbildung seiner Tauchspule und der diese tragenden Führungsstange 107 prinzipiell nicht von dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1. Der Spulenkörper 109 besteht jedoch aus einem weichmagnetischen Rohr, seine beiden auf diesen aufgesetzten Flansch 109′ aus einem nichtmagnetischen Werkstoff. Das weichmagnetische Rohr reduziert den wirksamen Luftspalt. Auf halber Länge ist das Rohr innen mit einer Ringnut versehen, in die der äußere Rand einer Scheibe 108 eingreift, die ihrerseits auf halber Länge der Führungsstange 107 angeordnet und mit dieser einstückig ausgebildet ist. Die Führungsstange 107 und die Scheibe 108 bestehen aus nichtmagnetischem Werkstoff, vorzugsweise einem Kunststoff. Selbstverständlich könnten die Führungsstange 7, die Scheibe 8 und der Spulen­ körper 9 in gleicher Weise ausgebildet sein.

In die beiden Ringräume zwischen dem die zylindrische Wicklung 110 enthaltenden Spulenkörper 109 und der Führungs­ stange 107 ragen zwei hohlzylindrische, spiegelbildlich gleich ausgebildete Polkörper 115 aus weichmagnetischem Material. An ihrem voneinander wegweisenden Ende sind diese beiden Polkörper 115 mit einem Ringflansch 115′ versehen. Diese beiden Ringflansche 115′ liegen mit ihrem Außenrand an der Innenmantelfläche eines im Querschnitt ein regelmäßiges Sechseck bildenden, rohrförmigen Gehäuses 101 aus einem weichmagnetischen Material an, und zwar in gleichem Abstand von der benachbarten Stirnfläche dieses Gehäuses. Die einander zugekehrten Stirnflächen der Pol­ körper 115 haben eine mit der Form der Scheibe 108 korres­ pondierende konische Form wobei, wie bei dem ersten Aus­ führungsbeispiel, der Abstand von der Scheibe 108 so gewählt ist, daß die Tauchspule in beiden Richtungen den gewünschten Hub ausführen kann.

Die Endabschnitte der Führungsstange 107 durchdringen je eine Membrane 105 aus elektrisch leitendem Federmaterial. Diese beiden Membrane 105, welche je eine Rückstellfeder bilden, sind an ihrem äußeren Rand, wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel, zwischen je zwei Federringen 104 und 106 festgelegt, die auch als Anschlag für den Ring­ flansch 115′ der Polkörper 115 dienen und die beiden Mem­ brane 105 gegeneinander elektrisch isolieren.

Der Magnetfluß wird bei diesem Ausführungsbeispiel durch sechs gleich ausgebildete, je die Form eines Flachstabes aufweisende Permanentmagnete 111 erzeugt, die sich in Längsrichtung des Gehäuses 101 erstrecken und mit ihrer einen Breitseite mittig an einer der sechs Innenflächen des Gehäuses 101 anliegen, welche zusammen die Innenmantel­ fläche des Gehäuses 101 bilden. Diese Breitseite bildet die eine Polfläche, die ihr gegenüberliegende, der Tauch­ spule zugekehrte Breitseite die andere Polfläche. Alle radial nach innen weisenden Polflächen sind gleichnamig. Wie Fig. 2 zeigt, ist die Länge der Permanentmagnete 111 nur wenig kleiner als die axiale Länge der Wicklung 110. Die Permanentmagnete 111 enden jedoch an je einem ring­ förmigen Abstandhalter 116 aus Kunststoff, die andererseits an den beiden Ringflanschen 115′ anliegen. Die ringförmigen Abstandhalter 116 sind einstückig mit stabförmigen Abstandhaltern 117 ausge­ bildet, welche die Zwischenräume zwischen den Permanentmag­ neten 111 ausfüllen und wie diese am Gehäuse 101 anliegen. Die ringförmigen Abstandhalter 116 und die stabförmigen Abstandhalter 117 bilden daher einen Käfig, in dem die Permanentmagnete 111 festgelegt sind, wodurch deren Einbau in das Gehäuse 101 ohne Schwierigkeiten möglich ist.

Dadurch, daß die der Tauchspule zugekehrten Polflächen der Permanentmagnete 111 alle gleichnamig sind, also ent­ weder den Nordpol oder den Südpol der Permanentmagnete bilden, wird auch bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel der Luftspalt zwischen diesen Polflächen und den beiden Polkörpern 115 in radialer Richtung vom magnetischen Fluß durchsetzt. Der Rückschluß des magnetischen Flusses erfolgt über die Ringflansche 115′ und das Gehäuse 101. Wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel steht die Richtung des durch die Wicklung 110 fließenden Stromes wegen der kon­ zentrischen Lage der Windungen der Wicklung 110 senkrecht zu der Richtung der Induktionsflußdichte des die Wicklung 110 durchsetzenden magnetischen Flusses. Die auf die Tauch­ spule ausgeübte Kraft hat deshalb ein Maximum und ist in Richtung der Längsachse der Führungsstange 107 gerichtet, und zwar je nach Stromrichtung in der einen oder der anderen Richtung.

Die Stromzuführung zur Wicklung 110 erfolgt wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel über Litzen, welche leitend mit der einen bzw. anderen Membrane 105 verbunden sind. An diese beiden Membranen sind auch von außen her die Anschlußleitungen angeschlossen.

Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten sowie auch die nur allein aus der Zeichnung entnehmbaren Merkmale sind als weitere Ausgestaltungen Bestandteile der Erfindung, auch wenn sie nicht besonders hervorgehoben und insbesondere nicht in den Ansprüchen erwähnt sind.

Claims (17)

1. Linearantrieb mit einem einen magnetischen Fluß erzeugenden ersten System und einem relativ zu diesem bewegbaren, vom magnetischen Fluß durchsetzbaren zweiten System, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite System eine Tauchspule (9, 10; 109, 110) aufweist und in Richtung zu deren Längsachse verschiebbar geführt ist.

2. Linearantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das erste System wenigstens einen Permanent­ magneten (11; 111) enthält.

3. Linearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste System einen rohrartigen Körper (1; 101) aufweist, die Tauchspule (9, 10; 109, 110) gleichachsig in diesem rohrartigen Körper (1; 101) ange­ ordnet ist und der vom ersten System erzeugte magnetische Fluß zumindest auf einem Teil der Länge des rohrartigen Körpers (1; 101) die Tauchspule (9, 10; 109, 110) in radialer Richtung durchsetzt.

4. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Tauchspule (9, 10; 109, 110) über einen Träger (8, 108) fest mit einer in der Längsachse der Tauchspule liegenden Führungsstange (7; 107) verbunden ist, die mittels zweier Lager in einem Gehäuse (1; 101) axial verschiebbar gelagert ist.

5. Linearantrieb nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Träger (8; 108) eine einer Scheibe zumin­ dest ähnliche Form hat und voll ausgebildet, mit Ausnehmun­ gen versehen oder durch Tragarme gebildet ist.

6. Linearantrieb nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Lager durch je eine Mem­ brane (5; 105) oder je ein Gleitlager gebildet sind.

7. Linearantrieb nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die elektrisch leitenden Membrane (5; 105) isoliert auf der Führungsstange (7; 107) angeordnet und elektrisch gegeneinander isoliert im Gehäuse (1; 101) festgelegt sind und daß Anfang und Ende der Wicklung (10; 110) der Tauchspule (9, 10; 109, 110) mit den beiden Lagern verbunden sind, die ihrerseits mit zwei Stromversorgungsan­ schlüssen verbunden sind.

8. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (8; 108) auf halber Länge der Tauchspule (9, 10; 109, 110) mit dieser verbunden ist.

9. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß

• a) die Tauchspule (9, 10) von ihren beiden offenen Enden her je einen zu ihr konzentrisch angeordneten, ring­ förmigen Permanentmagneten (11) übergreift, deren gegen­ einander weisende Stirnflächen die Polflächen gleich­ namiger Pole bilden,
• b) die Tauchspule (9, 10) von dem als Flußleitkörper dienenden rohrartigen Körper (1) umgeben ist,
• c) im Bereich der beiden Endabschnitte des rohrartigen Körpers (1) je eine ebenfalls als Flußleitkörper dienende Scheibe (2, 3) vorgesehen ist, an denen der eine bzw. andere Permanentmagnet (11) festgelegt ist.

10. Linearantrieb nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß an die einander zugekehrten Polflächen der beiden Permanentmagnete (11) Flußleitstücke (12) angesetzt sind.

11. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß

• a) die Tauchspule (109, 110) mit ihren beiden offenen Endabschnitten je einen zu ihr gleichachsig angeordneten, hohlzylindrischen Polkern (115) übergreift,
• b) die Tauchspule (109, 110) von dem konzentrisch zu ihr angeordneten Hohlkörper (101) umgeben ist, der jeden der vorgesehenen, stabförmigen Permanentmagnete (111) enthält, die sich in axialer Richtung des Hohlkörpers (101) erstrecken,
• c) je ein scheibenförmiger Flußleitkörper (115′) die einander abgekehrten Enden der Polkerne (115) mit dem benach­ barten Ende des Hohlkörpers (101) verbindet.

12. Linearantrieb nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die stabförmigen Permanentmagnete (111) als Flachstäbe mit einer quer zu ihrer Längserstreckung verlaufenden Magnetisierung ausgebildet sind.

13. Linearantrieb nach Anspruch 12, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die vorzugsweise gleich großen Lücken zwischen jeweils zwei der einander benachbarten Permanentmagnete (111) und gegebenenfalls weitere vorhandene Hohlräume mit einer Füllmasse gefüllt sind.

14. Linearantrieb nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die die Lücken füllenden, stabförmigen Teile (117) der Füllmasse an ihren beiden Enden mit je einem Ringkörper (116) einstückig ausgebildet sind, an denen die Stirnseiten der Permantentmagneten (111) anliegen.

15. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 12 bis 14, gekennzeichnet durch ein im Querschnitt vorzugsweise polygones Gehäuse (101), an dessen Innenseite die Permanent­ magnete (111) und die Füllstücke (116, 117) anliegen.

16. Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß sein Gehäuse (1; 101) in axialer Richtung über die ringscheibenförmigen Flußleit­ stücke (2, 3; 115′) übersteht und im Bereich dieser beiden Überstände die eine bzw. andere Membrane (5; 105) mit dem Gehäuse (1; 101) verbunden ist.

17. Linearantrieb nach Anspruch 16, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Membrane (5; 105) zwischen zwei in das Gehäuse (1; 101) eingesetzten Ringen (4, 6; 104, 106) festgelegt sind.