DE3890776T1 - Verfahren und einrichtung zum messen von brechungsindex und dicke einer duennschicht - Google Patents
Verfahren und einrichtung zum messen von brechungsindex und dicke einer duennschichtInfo
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62234119A JPS6475903A (en) | 1987-09-18 | 1987-09-18 | Method for measuring refractive index and film thickness |
PCT/JP1988/000941 WO1989002572A1 (en) | 1987-09-18 | 1988-09-16 | Method and apparatus for measuring refractive index and film thickness |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3890776T1 true DE3890776T1 (de) | 1989-08-17 |
Family
ID=26429365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883890776 Withdrawn DE3890776T1 (de) | 1987-09-18 | 1988-09-16 | Verfahren und einrichtung zum messen von brechungsindex und dicke einer duennschicht |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3890776T1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4137673A1 (de) * | 1991-11-15 | 1993-05-19 | Siemens Ag | Reflektometer |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS533363A (en) * | 1976-06-30 | 1978-01-13 | Canon Inc | Measurement method and measurement device |
JPS62119403A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-30 | Toyobo Co Ltd | 膜厚測定方法 |
-
1988
- 1988-09-16 DE DE19883890776 patent/DE3890776T1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS533363A (en) * | 1976-06-30 | 1978-01-13 | Canon Inc | Measurement method and measurement device |
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Title |
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