DE3876441T2

DE3876441T2 - Teildurchlaessiger spiegel fuer ringlaserkreisel.

Info

Publication number: DE3876441T2
Application number: DE8888910402T
Authority: DE
Inventors: D Grobsky; Samuel Lu
Original assignee: Litton Systems Inc
Current assignee: Northrop Grumman Guidance and Electronics Co Inc
Priority date: 1987-09-11
Filing date: 1988-09-02
Publication date: 1993-06-09
Anticipated expiration: 2008-09-03
Also published as: KR890702064A; WO1989002607A3; JPH03501549A; DE3876441D1; WO1989002607A2; CA1308281C; EP0370071A1; EP0370071B1

Description

Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft das Gebiet der Ringlaserkreisel und insbesondere einen verbesserten teildurchlässigen Spiegel zur Verwendung als Ausgangs-Eckspiegel in einem Ringlaser.

Hintergrund der Erfindung

Ringlaserkreisel benötigen zwei oder noch mehr Strahlen kohärenten Lichts, das sich in entgegengesetzten Richtungen entlang verschiedenen effektiven Pfadlängen um den Ringlaserhohlraum herum ausbreitet, der mit Lasergas gefüllt ist. Ein bevorzugtes Gas ist eine Helium/Neon-Mischung; siehe dazu das US-Patent 3 382 758, das am 14. Mai 1968 an Wang unter dem Titel "Ring Laser Having Frequency Offsetting Means Inside Optical Path" ausgegeben wurde. Ein solcher Kreisel weist mindestens drei Eckspiegel auf, von denen einem teildurchlässig ist, die in den Scheitelpunkten eines Polygons angeordnet sind, um einen Laserhohlraum festzulegen. Der Laserhohlraum enthält ein lasendes Gas, häufig eine angeregte Helium/Neon-Mischung um kohärente, sich gegeneinander bewegende Laserlichtzahlen zu erzeugen. Die Nominalfrequenz der Laser hängt von der Energie ab, die durch erlaubte Energieübergänge im Lasergas erzeugt wird. Wenn einmal Laserschwingung im System bei Frequenzen auftritt, die vom Hohlraum unterstützt werden, erzeugt der Unterschied in den Längen der Pfade, die durch die sich entgegengesetzt ausbreitenden Strahlen bei der Umdrehung des Ringlasers um seine Sensorachse durchlaufen werden, Licht unterschiedlicher Fre-
eine Überlagerungsdifferenz oder eine Schwebungsfrequenz erzeugen, die Interferenzstreifen hervorruft, die von einem Fotodetektor ermittelt, durch einen Verstärker verstärkt werden, und dann gezählt werden. Der Streifenzählwert pro Zeiteinheit ist ein Maß für die Winkelgeschwindigkeit des Ringlasers um seine Sensorachse.
Die Empfindlichkeit eines Ringlasers auf das Erdmagnetfeld, die Ausbreitungsrichtung der Strahlen und die Elliptizität des Querschnitts der Lichtstrahlen ist bekannt und kann korrigiert werden; siehe hierzu das US-Patent 4,213,705, das am 22. Juli 1980 für Virgil Sanders unter dem Titel "Four Mode Zeeman Laser Gyroscope With Minimum Hole Burning Competition" erteilt wurde. US-A-4 147 409 zeigt ein Beispiel für die Verwendung eines Stapels aus Viertelwellenlängen- und Nichtviertelwellenlängenfilmen, um eine reflektierende Oberfläche in einem Laser zu bilden.
Idealerweise sind die Strahlen in einem planaren Zweimoden- Ringlaserkreisel linear polarisiert. Doppelbrechung der Eckspiegel, ein nicht-planarer Strahlpfad, unterschiedliche Reflektivität der Spiegel in Bezug auf unterschiedlich polarisierte Strahlen und der Faradayeffekt erzeugen jeweils Fehler.
Nicht-planare Multimode-Ringlaserkreisel erzeugen zirkular polarisierte Strahlen. Teile der Strahlen werden durch einen teildurchlässigen Eckspiegel herausgeführt; die herausgeführten Strahlen erzeugen dann die genaueste Messung, wenn ihre Polarisationen unverzerrt sind.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein teildurchlässiger Spiegel zur Verwendung in einem Ringlaserkreisel angegeben, der mit einem Strahl arbeitet, der in vorgegebener Richtung und mit vorgegebener optischer Wellenlänge auf den Spiegel fällt, wobei der Spiegel ein Substrat aufweist, auf dem mindestens drei optische Filmstapel aufgebracht sind, wobei der erste optische Filmstapel mehrere optische Filme aus Filmen mit abwechselnd hohem und niedrigem Brechungsindex auf dem Substrat aufweist, wobei jeder Film des ersten Filmstapels eine Dicke aufweist, die im wesentlichen einem Viertel der vorgegebenen Wellenlänge entspricht;
- der zweite optische Filmstapel, der auf dem ersten Filmstapel angeordnet ist, eine zweite Mehrzahl von optischen Filmen aufweist, die abwechselnd aus Filmen mit hohem Berechnungsindex und Filmen mit niedrigerem Berechnungsindex bestehen, wobei jeder Film des zweiten Filmstapels eine Dikke aufweist, die nicht einem Viertel der bestimmten Wellenlänge entspricht;
- der dritte, auf dem zweiten angeordnete optische Filmstapel eine Mehrzahl von optischen Filmen aufweist, die abwechselnd aus Filmen mit hohem Berechnungsindex und Filmen mit niedrigerem Berechnungsindes bestehen, wobei jeder Film des dritten Filmstapels eine Dicke aufweist, die im wesentlichen einem Viertel der bestimmten Wellenlänge entspricht, und wobei
- die Dicke jedes der Filme in der vorgegebenen Richtung gemessen wird.
Der Erfinder hat herausgefunden, daß das Modifizieren des teildurchlässigen Ausgangseckspiegels die Genauigkeit eines nicht-planaren Multimode-Ringlaserkreisels verbessert. Insbesondere Filmstapel aus abwechselnden Schichten aus Titanoxid oder Titandioxid und Siliziumdioxid übertragen zirkular polarisiertes Licht mit beinahe keiner Verzerrung.
Es sollte erläutert werden, daß P-polarisiertes Licht solches Licht ist, dessen elektrisches Feld parallel zur Einfallsebene liegt. Das elektrische Feld S-polarisierten Lichts liegt rechtwinklig zur Einfallsebene. Das Übertragungsverhältnis ist als Tp/Ts festgelegt. Ein idealer teildurchlässiger Eckspiegel weist eine kleine Phasenverzögerung, vorzugsweise null, zwischen S- und P-polarisierten Lichtstrahlen bei Reflexion und ein niedriges Verhältnis, vorzugsweise eins, zwischen Übertragungen mit S-Polarisation und P-Polarisation auf.
Ein spezieller teildurchlässiger Spiegel eines Ausführungsbeispiels weist einen Spiegel folgender Struktur auf: Der Spiegel besitzt eine Substratgrundplatte, z. B. aus Zerodur (ein von der Firma Schott in Mainz, Deutschland hergestelltes Glas niedriger thermischer Expansion), die mit einem ersten Viertelwellenlängen-Filmstapel eines ersten Satzes mehrerer abwechselnder Schichten bedeckt wird. Der erste Filmstapel wird aus abwechselnden Schichten aus TiO&sub2; (Titanoxid) und SiO&sub2; (Siliziumoxid) hergestellt, die jeweils ein Viertel der Strahlwellenlänge dick sind. Die Titanoxidschichten zeichnen sich durch einen relativ hohen Brechungsindex n von 2,32 aus, während die Siliziumoxidschichten einen relativ niedrigeren Brechungsindex n von 1,46 aufweisen. Durch Verwenden eines Filmstapels mit einer Viertelwelle der Strahlwellenlänge mit abwechselnden Schichten relativ hohen und relativ niedrigen Brechungsindexes ergibt der erste Viertelwellenlängen-Filmstapel einen hochreflektierenden Filmstapel.
Der erste Viertelwellen-Filmstapel wird mit einem zweiten Nichtviertelwellenlängen-Filmstapel eines zweiten Satzes mehrerer abwechselnder Schichten bedeckt. Wie es der Begriff nahelegt, weisen diese abwechselnden Schichten eine andere Dicke auf als die des Viertelwellenlängen-Filmstapels. Der zweite Nichtviertelwellenlängen-Filmstapelsatz beschichteter abwechselnder Schichten erzeugt einen Interferenzeffekt, der dafür sorgt, daß sich das Verhältnis Tp/Ts dem Wert eins nähert und sich die Phasenverzögerung dem Wert null nähert.
Der zweite Nichtviertellängen-Filmstapel ist zwischen dem ersten Viertelwellenlängen-Filmstapel und einem dritten Viertelwellenlängen-Filmstapel eingebettet, der zum Einstellen der Spiegeldurchlässigkeit dient und aus einem dritten Satz mehrerer abwechselnder Materialen hohen und niedrigen Brechungsindexes besteht (Titan- und Siliziumoxid). Dieser dritte Viertelwellenlängen-Filmstapel wird durch eine Schutzschicht aus Siliziumoxid von Doppel-Viertelwellenlänge abgedeckt.
Der erste und der dritte Viertelwellenlängen-Filmstapel erzeugen jeweils eine hochreflektierende Oberfläche nahe der Bezugswellenlänge (6328 Å für einen Helium/Neon-Laser), wobei jeder Viertewellenlängen-Filmstapel einen starken Reflektor mit niedriger Durchlässigkeit bildet, wodurch das Verhältnis Tp/Ts hoch ist. Z.B. ist das Verhältnis Tp/Ts eines Viertelwellenlängen-Filmstapels etwa 30 für einen Einfallswinkel für Strahlen von 40º auf den Eckspiegel.
Es ist erwünscht, daß nur eine sehr geringe Durchlässigkeit am Ausgangsspiegel vorliegt. Die mittlere Durchlässigkeit (Tave = (Tp + Ts)/2) beträgt für gewöhnlich etwa 0,01 % des Einfallstrahls. Idealerweise sollte die Phasenverzögerung null und das Verhältnis Tp/Ts eins sein. Diesem Ideal nähert man sich durch den erfindungsgemäßen Beschichtungsaufbau, der es erfordert, daß ein Nichtviertelwellenlängen-Filmstapel (wobei vorzugsweise jede der abwechselnden Schichten weniger als eine Viertelwellenlänge dick ist) zwischen mindestens zwei Viertelwellenlängen-Filmstapelschichten eingebettet ist. Der spezielle teildurchlässige Spiegel für einen nicht-planaren Multimode-Ringlaserkreisel wird dadurch hergestellt, daß ein Nichtviertelwellenlängen-Filmstapel zwischen zwei Viertelwellenlängen-Filmstapeln eingebettet wird, um die Durchlässigkeit für die S-Polarisation zu erhöhen und für die P-Polarisation zu erniedrigen, damit sich das Verhältnis Tp/Ts dem Wert eins nähert.

Kurze Bescshreibung der Zeichnungen

Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung eines Ringlaserkreisels mit einem teildurchlässigen Spiegel.
Figur 2 ist ein Blockdiagramm zum Veranschaulichen des Aufbaus des Spiegels, mit Nachdruck auf der Anordnung der Filmstapel.
Figur 3 ist ein Diagramm, das das Reflexionsvermögen (R) aufgetragen über der Wellenlänge des auf die Eckspiegel fallenden Strahls darstellt.

Detaillierte Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels

Gemäß Figur 1 mißt ein Ringlaserkreisel 10 den Wert der durch einen Pfeil 12 veranschaulichten Winkelrotoation um die Kreiselsensorachse 15. Bei einem planaren Ringlaserkreisel liegt die Sensorachse 15 rechtwinklig zur Ebene des Ringlasers 10. Ein in Gegenuhrzeigerrichtung gerichteter kohärenter Lichtstrahl wird um den Laser 10 vom Eckspiegel 20 auf den Eckspiegel 18, auf den Eckspiegel 16, von dort auf den Eckspiegel 14 und dann auf den Eckspiegel 20 reflektiert und an diesem entnommen. Der entnommene Laserstrahl in Gegenuhrzeigerrichtung wird durch einen Fotodetektor 26 festgestellt, dessen Signal an einen Verstärker 28 geliefert wird.
Ein Laserstrahl in Uhrzeigerrichtung wird um den Laser 10 vom Eckspiegel 20 auf den reflektierenden Eckspiegel 14, auf den Eckspiegel 16, und von dort auf den Eckspiegel 20 reflektiert. Ein Teil des in Uhrzeigerrichtung laufenden kohärenten Lichtstrahls wird durch den teildurchlässigen Eckspiegel 20 hindurch auf den reflektierenden Spiegel 22 entnommen, und er läuft von dort auf den Fotodetektor 26. Der Detektor 26 wandelt den Strahl in ein elektrisches Signal und gibt dieses an den Verstärker 28, wo die im Uhrzeigersinn und im Gegenuhrzeigersinn rotierenden Lasersignale verglichen und vermischt werden.
Das Überlagern der zwei Signale im Verstärker 28 erzeugt ein Schwebungssignal, das ein Maß für die Drehung 12 ist, der der Ringlaserkreisel 10 unterzogen ist. Es kann angenommen werden, daß die Schwebungsfrequenz ein genaues Maß für die Winkeldrehgeschwindigkeit erzeugt.
Der teildurchlässige Ausgangseckspiegel 20 ist so aufgebaut, daß sichergestellt ist, daß er so arbeitet, daß er die Verzerrung der zirkular polarisierten Strahlen verringert oder ausschließt, die durch ihn und auf den Fotodetektor laufen, wodurch die Leistungsfähigkeit des Ringlaserkreisels verbessert wird.
Der bevorzugte Spiegel 20 mit Stapelfilm ist aufgebaut, wie dies in Figur 2 dargestellt ist. Der ebene Planarspiegel 45 kann aus einem dichten, vorzugweisen steifen und dimensionsstabilen Subtrat 45 hergestellt sein. Das Substrat besteht vorzugweise aus dem Material mit dem Warenzeichen "Zerodur".
Der Ringlaser verwendet vorzugsweise eine Helium/Neon- Mischung als Lasergas und erzeugt eine Laserbetriebsfrequenz ω&sub0; bei der Winkelgeschwindigkeit null. Die Frequenz gilt häufig für eine Wellenlänge von 5328 Å. Die Dicken, die im Wellenlängenmaß beschrieben werden, werden als Bruchteile der Wellenlänge bei der Laserbetriebsfrequenz ausgedrückt.
In der folgenden Beschreibung ist das bevorzugte Material mit hohem Brechungsindex Zitanoxid, TiO2, mit einem Nennwert n=2,32. Das bevorzugte Material mit niedrigem Brechungsindex ist Siliziumoxid, Si0&sub2;, mit einem Nennwert n=1,46.
Auf dem Substrat 45 ist ein optischer Viertelwellenlängen- Filmstapel 30 angeordnet, der beim bevorzugten Ausführungsbeispiel aus 14 (Zahlen 1 - 14) Filmen von Viertelwellenlängendicke besteht und zwar abwechselnd aus ersten Filmen 31 mit hohem (H) Brechungsindex und zweiten Filmen 33 mit niedrigem (L = Low) Brechungsindex.
Auf dem Viertelwellenlängen-Filmstapel 30 ist ein zweiter optischer Nichtviertelwellenlängen-Filmstapel 34 angeordnet, der beim bevorzugten Ausführungsbeispiel aus abwechselnden Schichten 37 und 35 mit hohem (H) Brechnungsindex und niedrigem (L) Brechungsindex besteht. Es befinden sich vorzugsweise neun Filme (Zahlen 15 - 23) im Filmstapel 34, wobei jeder der Filme 37 und 35 eine Dicke von weniger als einer Viertelwellenlänge bezogen auf die Bezugssignalfrequenz ω&sub0; aufweist. Eine bevorzugte Dicke der Filme 35 und 37 liegt zwischen 0,624 und 0,868 einer Viertelwellenlänge.
Die folgende Tabelle stellt eine Liste für die neun Filme mit weniger als einer Viertelwellenlänge (Zahlen 15 - 23) im Stapel dar, wobei die äußeren Filme, 15 und 23, aus Titandioxid bestehen. Film Nr. Dicke (in Viertelwellenlängen)
Ein dritter Filmstapel 32 aus vorzugweise acht (Zahlen 24 -31) Filmen 41 und 39 mit abwechselnd hohem und niedrigem Brechungsindex, von denen jeder eine Dicke einer Viertelwellenlänge bezogen auf die Betriebsfrequenz ω&sub0; aufweist, ist auf dem Filmstapel 34 angeordnet.
Zwei optische Filme 40 und 42 aus Material niedrigen Brechungsindexes (Zahlen 32 - 33) sind auf den Filmstapel 32 gestapelt.
Auf diese Weise überträgt ein teildurchlässiger Eckspiegel 20, der relativ unempfindlich auf Polarisationsorientierung ist, relativ unverzerrte Anteile der sich gegeneinander ausbreitenden Strahlen. Sein Transmissionsverhältnis Tp/Ts liegt sehr dicht bei eins und seine Phasenverzögerung liegt dicht bei null.
Es ist zu beachten, daß der herkömmliche Ausgangsspiegel bekannter Ringlaserkreisel einen Viertelwellenlängen-Filmstapel verwendet, um eine besondere Reflexionscharakteristik zu erzeugen, jedoch sind solche Spiegel durch ein Verhältnis Tp/Ts charakterisiert, das bei etwa 30 liegt, mit einer Phasenverzögerung nahe null. Durch das vorstehend beschriebene abwechselnde Stapeln, bei dem ein Nichtviertelwellenlängen- Filmstapel 34 zwischen zwei Viertelwellenlängen-Filmstapeln 30 und 32 auf dem Spiegelsubstrat 45 angeordnet wird, erniedrigt der erfindungsgemäße Spiegel das Verhältnis Tp/Ts wesentlich (auf nahezu 3), mit einer Phasenverzögerung von 0,5 Grad und einer mittleren Durchlässigkeit von (0,002 %) (200 ppm). Die Verzerrungsmessungen wurden bei einem Einfallswinkel von 35 Grad auf den Spiegel ausgeführt.
Vorzugsweise wird die Dicke des Films in Richtung des einfallenden Strahls gemessen. Der Aufbau kann z.B. für Einfallswinkel von 30 Grad und 40 Grad modifiziert werden. Je kleiner der Einfallswinkel der Strahlen ist, desto dünner sind die Filme.
Figur 3 zeigt die Art und Weise, mit der der spezielle Ausgangsspiegel 20 die gewünschten Ergebnisse erzielt. Figur 3 zeigt ein Diagramm für das Reflexionsvermögen (R) über der Wellenlänge (λ). Eine Kurve 46 gilt für die P-Polarisation, während eine Kurve 48 die S-Polarisation für den Spiegel 20 zeigt. Bei der gewünschten Wellenlänge λ weist das Gerät ein geringfügig niedrigeres Reflexionsvermögen auf, um unverzerrte Transmission von Strahlen durch den Ausgangsspiegel 20 zuzulassen (was über einen Bereich 44 dargestellt ist). Die optimale Wellenlänge liegt bei einem Punkt 47, an dem die Kurven 46 und 48 beinahe zusammenfallen.
So weist der gemäß diesem Ausführungsbeispiel verbesserte Ringlaserkreisel einen speziell beschichteten teildurchlässigen Ausgangseckspiegel 20 auf, der die sich gegeneinander ausbreitenden Stahlen sowohl durchläßt wie auch reflektiert, und einen Teil jedes Strahls auf einen Strahldetektor 26 durchläßt. Das Ausgangssignal des Detektors wird elektrisch mit geringer oder keiner Verzerrung auf den Verstärker 28 gegeben.
Die beigefügten Ansprüche sollen sich auf alle besonderen Eigenschaften beschränken, die hier gelehrt werden. Z.B. hängt die besondere Anzahl von Filmen, wie sie in jedem Viertelwellenlängen- und Nichtviertelwellenlängen-Filmstapel verwendet werden von den verwendeten Materialien ab.

Claims

1. Teildurchlässiger Spiegel für einen Ringlaserkreisel (10), bei dem ein Strahl bestimmter optischer Wellenlänge in einer vorgegebenen Richtung auf den Spiegel auftrifft, welcher Spiegel ein Substrat (45) mit wenigstens drei darauf angeordneten optisch wirksamen Filmstapeln (30, 34, 32) aufweist, wobei der erste optische Filmstapel (30) aus einer Mehrzahl von optischen Filmen besteht, die abwechselnd aus Filmen (31) mit hohem Brechungsindex und Filmen (33) mit niedrigerem Brechungsindex bestehen, und jeder Film (31, 33) des ersten Filmstapels eine Dicke aufweist, die im wesentlichen einem Viertel der bestimmten Wellenlänge entspricht;

der zweite optische Filmstapel (34), der auf dem ersten Filmstapel (30) angeordnet ist, eine zweite Mehrzahl von optischen Filmen aufweist, die abwechselnd aus Filmen (37) mit hohem Brechungsindex und Filmen (35) mit niedrigerem Brechungsindex bestehen, wobei jeder Film (35, 37) des zweiten Filmstapels (34) eine Dicke aufweist, die nicht einem Viertel der bestimmten Wellenlänge entspricht;

der dritte auf dem zweiten angeordnete optische Filmstapel (32) eine Mehrzahl von optischen Filmen aufweist, die abwechselnd aus Filmen (41) mit hohem Brechungsindex und Filmen (39) mit niedrigerem Brechungsindex bestehen, wobei jeder Film (39, 41) des dritten Filmstapels eine Dicke aufweist, die im wesentlichen einem Viertel der bestimmten Wellenlänge entspricht, und wobei

die Dicke jedes der Filme (31, 33, 35, 37, 39, 41) in der vorgegebenen Richtung gemessen wird.

2. Teildurchlässiger Spiegel nach Anspruch 1, bei dem jeder Film (35, 37) des zweiten Filmstapesl (34) eine Dicke aufweist, die geringer ist als ein Viertel der bestimmten Wellenlänge.

3. Teildurchlässiger Spiegel nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Substrat (45) aus thermisch und mechanisch stabilem Material besteht.

4. Teildurchlässiger Spiegel nach Anspruch 3, bei dem das Substratmaterial aus Zerodur besteht.

5. Teildurchlässiger Spiegel nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das Material mit hohem Brechungsindex (31, 37) Titandioxid und das Material mit niedrigem Brechungsindex (33, 37) Siliciumdioxid enthält.

6. Teildurchlässiger Spiegel nach einem der vorstehenden Ansprüche, mit einem auf dem dritten Fllmstapel angeordneten Schutzfilmstapel (36) mit einer Mehrzahl von Filmen (40, 42), von denen zumindest der äußere Film aus Siliciumdioxid besteht und die wenigstens eine doppellagige Filmschicht bilden, bei welcher jeder Film eine Dicke aufweist, die im wesentlichen einem Viertel der besagten Wellenlänge entspricht.

7. Teildurchlässiger Spiegel nach Anspruch 6, bei welchem der Schutzfilmstapel aus einem Stapel von zwei Filmen (40) aus Siliciumdioxid besteht und eine Gesamtdicke aufweist, die im wesentlichen einer doppelten Viertelwellenlänge entspricht.

8. Teildurchlässiger Spiegel nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem

der erste Filmstapel (30) vierzehn Filme umfaßt, mit einer Dicke von im wesentlichen einem Viertel der Laser-Wellenlänge;

der zweite Filmstapel (34) neun Filme umfaßt, deren Dicke geringer ist als +einem Viertel der Laser-Wellenlänge entspricht; und

der dritte Filmstapel (32) acht Filme umfaßt, mit einer Dicke, die im wesentlichen einem Viertel der Laser-Wellenlänge entspricht.

9. Teildurchlässiger Spiegel nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Dicken der Filme (37, 35) aufeinanderfolgend aufgelistet und ausgehend von dem an den ersten Filmstapel (30) angrenzenden Film (37) folgende Werte aufweisen:

0,778 Viertelwellenlänge

0,841 Viertelwellenlänge

0,671 Viertelwellenlänge

0,624 Viertelwellenlänge

0,814 Viertelwellenlänge

0,868 Viertelwellenlänge

0,771 Viertelwellenlänge

0,698 Viertelwellenlänge

0,857 Viertelwellenlänge.

10. Ringlaserkreisel mit einem Resonanz-Laserhohlraum, mit Mitteln (24) zur gegenläufigen Ausbreitung von Strahlen einer bestimmten optischen Wellenlänge innerhalb des Hohlraums sowie mit einer Mehrzahl von Eckspiegeln (14, 16, 18, 20), die innerhalb des Laserhohlraums angeordnet, jeweils ein transparentes, form- und temperaturstabiles Substrat (45) aufweisen, um die Strahlen entlang des Laserhohlraums zu richten, wobei wenigstens einer der Eckspiegel (20) ein teildurchlässiger Spiegel ist, über den ein Teil der Strahlen aus dem Hohlraum nach außen leitbar ist und bei dem der teildurchlässige Spiegel die Merkmale wenigstens eines der vorstehenden Ansprüche aufweist, wobei die Dicke jedes Films in Richtung eines vorgegebenen Auftreffstrahls des Kreisels gemessen ist.