DE3840820C2 - - Google Patents

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DE3840820C2
DE3840820C2 DE19883840820 DE3840820A DE3840820C2 DE 3840820 C2 DE3840820 C2 DE 3840820C2 DE 19883840820 DE19883840820 DE 19883840820 DE 3840820 A DE3840820 A DE 3840820A DE 3840820 C2 DE3840820 C2 DE 3840820C2
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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