DE3817282A1

DE3817282A1 - Temperaturmessgeraet

Info

Publication number: DE3817282A1
Application number: DE19883817282
Authority: DE
Inventors: Meinolph Kaufmann; Lothar Dr Schultheis; Dieter Wildi
Original assignee: Asea Brown Boveri AG Switzerland; Asea Brown Boveri AB
Current assignee: ABB Schweiz Holding AG; ABB AB
Priority date: 1988-05-20
Filing date: 1988-05-20
Publication date: 1989-11-30
Also published as: GB2218809B; CH678362A5; GB2218809A; GB8910877D0

Description

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft ein Temperaturmeßgerät mit einem Sensorkopf und einer Steuerschaltung, bei welchem der Sensor kopf einen temperaturabhängigen Quarzoszillator mit einer Stimmgabel aufweist, der Sensorkopf über mindestens einen Lichtwellenleiter mit der Steuerschaltung verbunden ist, über welchen mindestens ein Lichtwellenleiter der Quarz oszillator mittels eines Power-Converters mit Anregungsenergie versorgt wird und ein einer Resonanzfrequenz des Quarzoszil lators entsprechendes Meßsignal an die Steuerschaltung übertragen wird und das Meßsignal dem von der mit Licht beaufschlagten Stimmgabel reflektierten Licht entspricht.

Stand der Technik

Bei Hochspannungstransformatoren ist es notwendig, mittels preisgünstiger, potentialgetrennter Temperaturmeßelemente sogenannte "Hotspots" zu erfassen und gegebenenfalls Sicher heitsmaßnahmen wie Leistungsreduktion oder Notabschaltung auszulösen. Von derartigen Meßsystemen wird eine hohe Langzeit stabilität und eine Lebensdauer von mindestens 20 Jahren gefordert. Die zu messenden Temperaturen liegen im Bereich von 70 bis 150°C.

Als billigste Lösung werden momentan NTC- oder PTC-Widerstände eingesetzt. Allerdings ist dabei eine Potentialtrennung zwischen Sensorkopf und Auswerteschaltung nicht gegeben.

Neuerdings sind nun faseroptische Temperaturmeßsysteme auf dem Markt (z.B. Model 2000 Multichannel Fluoroptic Thermo meter von der Fa. Luxtron, 1060 Terra Bella Avenue, Mountain View, California 94043), welche die gewünschte Potential trennung zulassen. Diese Systeme beruhen auf der temperatur abhängigen Fluoreszenz einer Substanz. Wegen der aufwendigen optischen Auswertung solcher Fluoreszenzsignale sind diese Systeme teuer und deshalb für die "Hotspot"-Detektion nicht geeignet.

Weiter sind im Handel Quarztemperatursensoren (z.B. von der Fa. MC Micro Crystal Div. of ETA, 2540 Grenchen, Schweiz) erhältlich, welche sowohl genau als auch kostengünstig sind. Aber auch hier tritt, wie bei den NTC resp. PTC-Widerständen das Problem der Potentialtrennung auf.

Eine neue Generation von optischen Sensoren wird in der Patent schrift US 46 78 905 offenbart. Im Prinzip geht es dabei darum, daß eine Quarzstruktur mit einer Resonanzfrequenz schwingt, welche von einem physikalischen Parameter abhängt. Das Problem liegt nun darin, die sehr kleinen Schwingungs amplituden der Quarzstruktur zu messen. In der genannten Patentschrift werden zu diesem Zweck eine große Zahl von raffinierten, geometrischen Formen vorgeschlagen, welche aber in der Praxis schwierig zu realisieren, geschweige denn kostengünstig sind.

Darstellung der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Temperaturmeßgerät mit einem Sensorkopf und einer Steuerschaltung, bei welchem

a) der Sensorkopf einen temperaturabhängigen Quarzoszillator mit einer Stimmgabel aufweist,
b) der Sensorkopf über mindestens einen Lichtwellenleiter mit der Steuerschaltung verbunden ist, über welchen minde stens ein Lichtwellenleiter der Quarzoszillator mittels eines Power-Converters mit Anregungsenergie versorgt wird, und einer Resonanzfrequenz des Quarzoszillators entsprechen des Meßsignal an die Steuerschaltung übertragen wird, und
c) das Meßsignal dem von der mit Licht beaufschlagten Stimm gabel reflektierten Licht entspricht,

welches Temperaturmeßgerät sich mit handelsüblichen und kostengünstigen Bauteilen einfach aufbauen läßt und sowohl langzeitstabil als auch genau ist.

Erfindungsgemäß besteht die Lösung darin, daß der Quarz oszillator eine Stimmgabel besitzt, welche in einem herme tisch verschlossenen Gehäuse mit mindestens einem Fenster untergebracht ist, daß der mindestens eine Lichtwellenleiter parallel zu einem ersten Fenster liegt und das aus einem ersten Ende des Lichtwellenleiters austretende Licht über einen Umlenkspiegel auf die Stimmgabel gelenkt wird, und daß die Steuerschaltung für eine Aufbereitung des Meßsignals einen sehr schmalbandigen AC-Verstärker aufweist.

Vorzugsweise ist der Power-Converter als Biegekoppler ausge führt. Ebenfalls ist es von Vorteil, wenn der Sensorkopf mit der Steuerschaltung durch genau einen Lichtwellenleiter verbunden ist und in der Steuerschaltung das Meßsignal mittels eines Biegekopplers aus dem Lichtwellenleiter ausgekoppelt wird.

Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform besitzt das Gehäuse gegenüber dem ersten Fenster ein zweites Fenster, so daß das nicht auf die Stimmgabel auftreffende Licht durch dieses zweite Fenster aus dem Gehäuse austritt. Außen am zweiten Fenster sind Fotodioden angebracht, welche den Quarz oszillator mit Anregungsenergie versorgen.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Kurze Beschreibung der Zeichnung

Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeipielen und im Zusammenhang mit der Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Temperaturmeßgeräts;

Fig. 2 einen Biegekoppler zum Auskoppeln der Anregungsenergie;

Fig. 3 eine schematische Darstellung des Gehäuses mit der Stimmgabel;

Fig. 4a und b ein Gehäuse mit integriertem Quarzoszillator und Power- Converter;

Fig. 5 ein Gehäuse mit zwei Fenstern, wobei der Power-Converter hinter dem zweiten Fenster angeordnet ist, und

Fig. 6 eine Steuerschaltung mit einem schmalbandigen AC-Ver stärker.

Wege zum Ausführen der Erfindung

Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes. Eine Steuerschaltung 1 ist über zwei Lichtwellenleiter 3 a, 3 b mit Sensorkopf 2 verbunden.

Der Sensorkopf 2 besitzt einen Quarzsozillator mit einer integrierten Oszillatorschaltung 4, einen Power-Converter 6, welcher den Quarzoszillator mit der benötigten Anregungs energie versorgt und eine Stimmgabel (in Fig. 1 nicht gezeigt), welche in einem hermetisch verschlossenen Gehäuse 5 unter gebracht ist.

Die Steuerschaltung 1 umfaßt eine Infrarot-LED 7, eine Foto diode 8, einen schmalbandigen AC-Verstärker 9, einen Kompa rator 10 und einen Mikrocomputer 11.

Bevor die einzelnen Teile der gezeigten Anordnung detailliert beschrieben werden, soll kurz das Funktionsprinzip der Anord nung erläutert werden.

Das von der Infrarot-LED 7 ausgestrahlte Licht wird über den ersten Lichtwellenleiter 3 a zum Sensorkopf 2 geführt. Dort koppelt der Power-Converter 6 einen Teil des Lichts als Anregungsenergie für den Quarzoszillator aus. Mit dem im Lichtwellenleiter 3 a verbliebenen Teil wird hinterher die Stimmgabel beaufschlagt.

Der Lichtwellenleiter 3 b fängt das von der Stimmgabel re flektierte Licht (d.h. einen Teil des reflektierten Lichts) auf und führt es als Meßsignal der Fotodiode 8 zu. Das resul tierende, sehr schwache Signal wird durch den AC-Verstärker 9 etwa um einen Faktor 10⁵ verstärkt und im Komparator 10 in ein für die digitale Verarbeitung geeignetes Rechtecksignal gewandelt. Der Mikrocomputer 11 bestimmt aus der Frequenz des Rechtecksignals aufgrund der Kennlinie der Stimmgabel die entsprechende Temperatur.

Im folgenden werden die wichtigen Aspekte der Erfindung dis kutiert und vorteilhafte Ausführungsformen gezeigt.

Das Herz des Sensorkopfs 2 ist die Stimmgabel. Ihre Güte legt grundsätzlich die durch das Temperaturmeßgerät ins gesamt erreichbare Genauigkeit der Messung fest. Es ist deshalb wichtig, von den im Handel erhältlichen, hoch genauen Stimm gabelquarzen Gebrauch zu machen. Diese sind aber in einem hermetisch verschlossenen und meist evakuierten Gehäuse unter gebracht, welches die gewünschte Präzision und Langzeitsta bilität überhaupt ermöglicht.

Wenn nun das Gehäuse 5 mit einem Fenster 13 versehen ist, wie aus Fig. 3 zu sehen ist, dann kann die Schwingung einer im Gehäuse untergebrachten Stimmgabel 14 von außen beobachtet werden. Erfindungsgemäß werden zu diesem Zweck die Licht wellenleiter 3 a, 3 b parallel zum Fenster 13 a angeordnet. Das aus dem ersten Lichtwellenleiter 3 a austretende Licht wird durch einen Umlenkspiegel 15 auf die Stimmgabel 14 gerich tet. Der von der Stimmgabel 14 reflektierte Teil des Lichts wird über den Umlenkspiegel 15 in den zweiten Lichtwellenleiter 3 b eingekoppelt.

Es ist zu bemerken, daß das reflektierte Licht ein frequenz moduliertes Signal darstellt, welches bekanntlich weniger störungsanfällig ist, als ein amplitudenmoduliertes Signal.

Um ein größtmögliches Meßsignal zu erhalten, sind die beiden Lichtwellenleiter 3 a, 3 b nicht genau parallel zueinander auszurichten. Vielmehr sollten sie einen kleinen Winkel, der geometrisch-optisch berechnet werden kann, einschließen. Dadurch, daß die beiden Lichtwellenleiter 3 a, 3 b parallel und nicht senkrecht zum meist länglichen Gehäuse 12 angeordnet sind, kann der Sensorkopf 2 klein gehalten werden.

Ebenfalls zum Sensorkopf 2 gehört der Power-Converter 6, welcher den Quarzoszillator 4 mit der Stimmgabel 14 in Schwingung versetzt. Er ist vorzugsweise als Biegekoppler ausgeführt.

Fig. 2 zeigt ein Beispiel eines Biegekopplers. Der Licht wellenleiter 3 a, z.B. eine PCS-Faser mit etwa 200 µm Durchmesser wird durch eine Reihe von Biegezapfen 17 in eine Schlangen linie gezwungen. Die Krümmung des Lichtwellenleiters 3 a bei den Biegezapfen ist dabei so groß, daß ein Teil des geführten Lichtes ausgekoppelt wird. Dieses ausgekoppelte Licht wird durch eine entsprechende Zahl von in Serie geschalteten Photo dioden 18 in Strom umgewandelt. An einem Anschluß 19 dieses soge nannten Photodiodenarrays wird die Anregungsenergie für den Quarzoszillator abgegriffen.

Der Vorteil des Biegekopplers liegt darin, daß er sehr einfach und billig herzustellen ist. Ferner kann der Anteil des ausge koppelten Lichtes ohne Schwierigkeiten dem jeweiligen Bedarf des Quarzoszillators angepaßt werden.

Es versteht sich, daß sich ein Biegekoppler auch auf andere Art, z.B. in dem der Lichtwellenleiter auf einem engen Kreis geführt wird, realisieren läßt. Wesentlich ist, daß der Lichtwellenleiter biegeempfindlich ist und so stark gekrümmt wird, daß ein Teil des geführten Lichts ausgekoppelt wird, und daß dieses photovoltaisch in elektrische Anregungsenergie umgewandelt wird.

Wie bereits gesagt führt der zweite Lichtwellenleiter 3 b das Meßsignal zur Steuerschaltung 1 zurück, wo eine Photo diode 8 das modulierte Licht in Stromschwankungen der Resonanz frequenz umwandelt. Diese sind extrem klein und lassen sich vom Rauschen durch einen gewöhnlichen Breitbandverstärker gar nicht unterscheiden. Es ist deshalb ein wesentlicher Punkt der Erfindung, daß ein sehr schmalbandiger AC-Verstärker 9 eingesetzt wird. Da man den Bereich kennt, in dem sich die temperaturabhängige Resonanzfrequenz des Quarzoszillators bewegt, kann man den AC-Verstärker 9 auf die maximal benötigte Bandbreite auslegen.

Wenn beispielsweise der Quarzoszillator eine Resonanzfre quenz von ca. 2×10⁵ Hz hat, dann empfiehlt es sich die Bandbreite des AC-Verstärkers 9 auf etwa 1 kHz oder weniger zu beschränken. Mit einem zweistufigen Transistorverstärker erreicht man damit eine Verstärkung in der Größenordnung 0.5×1.0×10⁵.

Ein Beispiel für eine Steuerschaltung 1 mit einem solchen zweistufigen Transistorverstärker zeigt Fig. 6. Eine IR-LED bildet die als Sonde wirkende, in Fig. 1 gezeigte Infrarot- LED 7. D 1 entspricht der in Fig. 1 gezeigten Photodiode 8. R 8 und C 7 bilden eine AC-Kopplung für den Transistorverstärker, dessen erste Stufe einen Schwingkreis L 1, C 5 und T 1 und dessen zweite Stufe einen Schwingkreis L 2, C 6 und T 2 umfaßt. Das verstärkte Signal wird über einen Emitterfolger T 3, R 9, welcher eine kleine Bedämpfung der zweiten Stufe des Transistorver stärkers gewährleistet, an den Komparator, umfassend z.B. einen Operationsverstärker LM 393, an einen digitalen Ausgang (digital out) geführt. Vor den Komparator kann bei Bedarf ein analoges Signal abgegriffen werden (analog out).

Im folgenden werden einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben.

Fig. 4a, b zeigen einen Sensorkopf 2, bei welchem die inte grierte Oszillatorschaltung 4 mit der Stimmgabel 14 und dem Power-Converter zusammen im hermetisch verschlossenen Gehäuse 12 untergebracht sind.

Fig. 4a zeigt eine Draufsicht und Fig. 4b einen Längsschnitt. Das Gehäuse 12 besitzt als Fenster 13 a einen Glasdeckel. Auf diesem Deckel sind die beiden Lichtwellenleiter 3 a, 3 b befestigt. Im Gehäuse drin ist die Stimmgabel 14, welche auf einem Sockel 20 fixiert ist. Unter der Stimmgabel 14 ist der Power-Converter angeordnet, welcher aus einer Anzahl in Serie geschalteter Photodioden 18 (Photodiodenarray) be steht. Die Photodioden 18 sind z.B. auf dem Boden des Gehäuses 12 flächenhaft angebracht, so daß sie das nicht auf die Stimmgabel 14 auftreffende Licht möglichst gut auffangen. Durch Leiterbahnen auf dem Boden des Gehäuses können die einzelnen Bauteile in bekannter Weise untereinander elek trisch verbunden werden.

Diese soeben beschriebene vollintegrierte Ausführungsform ist zwar sehr kompakt, bedarf aber einer größeren Stückzahl, um preislich konkurrenzfähig zu sein.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform, welche im wesent lichen dieselben Vorteile wie die vollintegrierte hat, sonst aber keiner Spezialanfertigung des Gehäuses (welches sich nur für einen erfindungsgemäßen Sensorkopf verwenden läßt) bedarf, zeigt Fig. 5. Das hermetisch verschlossene Gehäuse 12 hat hier zwei Fenster 13 a, 13 b, wobei das erste wie in Fig. 4b der Deckel des Gehäuses 12 ist. Das zweite Fenster 13 b liegt gegenüber dem ersten und bildet den Boden des Ge häuses 12. Außen am zweiten Fenster 13 b sind die Photodioden 18 des Power-Converters so angebracht, daß der Teil des aus dem Lichtwellenleiter 3 a austretenden Lichts aufgefangen wird, welcher nicht auf die Stimmgabel 14 auftrifft. Ebenfalls außen am Gehäuse ist die integrierte Oszillatorschaltung 4 angebracht.

Vorzugsweise werden die Photodioden 18 und die integrierte Oszillatorschaltung 4 auf einem Keramiksubstrat 21 angebracht, auf welchem z.B. auf bekannte Weise Leiterbahnen aufgebracht worden sind. Das Ganze wirde dann z.B. mit einem transparenten Epoxyharz am zweiten Fenster 13 b festgeklebt.

Im übrigen entspricht die Ausführungsform gemäß Fig. 5 derjeni gen von Fig. 4a, b, weshalb gleiche Teile mit gleichen Bezugs zeichen versehen sind.

Der Vorteil der Anordnung, bei welcher der Power-Converter hinter der Stimmgabel angeordnet ist, gegenüber derjenigen mit Biegekoppler ist die Tatsache, daß für das Meßsignal eine höhere Lichtintensität zur Verfügung steht. Das Licht trifft mit voller Intensität auf die Stimmgabel. Der Power- Converter verwendet nur das für die Messung nicht verwend bare, restliche Licht.

Bei allen Ausführungsformen der Erfindung kann der Umlenk spiegel 15 so ausgeführt sein, daß eine Glasplatte an einer Kante mit einem 45°-Schliff versehen ist, welcher z.B. mit Aluminium bedampft ist.

Der Quarzoszillator kann z.B. ein gewöhnlicher Uhren-IC in einem SMD-Plastikgehäuse mit einem 32 kHz Uhrenschwingquarz in einem SMD-Keramikgehäuse sein. Der Zusammenhang zwischen Temperatur und Resonanzfrequenz ist dann allerdings im wesent lichen durch eine quadratische Funktion gegeben. Diese hat ein Minimum bei ca. 20°C , d.h. der Quarzoszillator ist bei Zimmertemperatur nahezu unabhängig von der Temperatur (was für Quarzuhren natürlich beabsichtigt ist). Deshalb ist ein entsprechender Sensorkopf erst ab einer gewissen minimalen Temperatur, z.B. 40°C, brauchbar. Die Tatsache, daß die Funktion nicht linear ist, ist bei der Verwendung eines Mikrocomputers mit Festwertspeicher kein Nachteil. Sie wird dann einfach im voraus abgespeichert (EPROM). Es ist damit sogar möglich, bei der Herstellung jede Stimmgabel auszumessen und ihre Kennlinie abzuspeichern.

Für niedrige Temperaturen zwischen etwa -55°C und +125°C sind sogenannte Thermoquarze (z.B. TC 137 von Micro Crystal) mit einer nahezu linearen Temperatur-Frequenzkennlinie sehr vorteilhaft. Um das Rechtecksignal des Komparators 10 auszu werten, kann ein singlechip-Mikrocomputer mit in EPROM ab gespeicherter Software und Kennlinie oder eine Logikschaltung eingesetzt werden.

Ein Vorteil der Erfindung liegt auch darin, daß auf ein zusätzliches Referenzelement verzichtet werden kann. Der Quarzoszillator mit der Stimmgabel ist grundsätzlich sich selbst die Referenz.

Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform sind der Sensorkopf 2 und die Steuerschaltung 1 nur durch einen einzigen Lichtwellenleiter 3 a verbunden. Das Meßsignal wird dann nicht in einem separaten Lichtwellenleiter 3 b sondern in derselben Weise das von der Infrarot-LED 7 gelieferte Licht geleitet. Zum Auskoppeln des Meßsignals in der Steuerschaltung 1 wird dann ebenfalls mit Vorteil ein Biegekoppler eingesetzt. Daß dem Meßsignal ein Gleichstromanteil überlagert ist (von der Infrarot-LED 7), hat natürlich weiter keinen Einfluß auf die Auswertung durch den AC-Verstärker 9.

Der AC-Verstärker 9 kann natürlich auch durch ein selektives Aktiv-Bandfilter realisiert werden. Dazu werden mehrere Stufen mit Operationsverstärkern und RC-Gliedern in mehrfach Gegen kopplung hintereinander geschaltet. Eine solche Ausführung ist vor allem für Frequenzen unter 100 kHz geeignet, da sehr breitbandige Operationsverstärker benötigt werden.

Power-Converter 6 und integrierte Oszillatorschaltung 4 können ohne weiteres in einem eigenen Gehäuse untergebracht sein, welches vom Gehäuse 12 der Stimmgabel 14 etwas entfernt ist (z.B. 20 cm). So können auch höhere Temperaturen als die maximal zulässige Betriebstemperatur der integrierten Schaltung gemessen werden.

Die speziellen Kennzeichen der verschiedenen Ausführungsbei spiele lassen sich in weitgehend beliebiger Art miteinander kombinieren. Zum Beispiel lassen sich sowohl einfasrige wie auch zweifasrige Verbindungen mit den verschiedenen Gehäusen und Power-Convertern wahlweise ausführen.

Abschließend kann gesagt werden, daß die Erfindung ein Temperaturmeßgerät mit galvanischer Trennung zwischen Sensor und Steuerschaltung schafft, welches sich mit handelsüblichen Bauteilen kostengünstig und kompakt herstellen läßt.

Claims

1. Temperaturmeßgerät mit einem Sensorkopf (2) und einer Steuerschaltung (1),

a) bei welchem der Sensorkopf (2) einen temperaturabhängigen Quarzoszillator mit einer Stimmgabel (14) aufweist,
b) der Sensorkopf (2) über mindestens einen Lichtwellen leiter (3 a, 3 b) mit der Steuerschaltung (1) verbunden ist, über welchen mindestens einen Lichtwellenleiter (3 a, 3 b) der Quarzoszillator mittels eines Power-Con verters (6) mit Anregungsenergie versorgt wird und ein einer Resonanzfrequenz des Quarzoszillators ent sprechendes Meßsignal an die Steuerschaltung (1) über tragen wird, und
c) das Meßsignal dem von der mit Licht beaufschlagten Stimm gabel (14) reflektierten Licht entspricht, dadurch gekennzeichnet, daß
d) der Quarzoszillator eine Stimmgabel (14) besitzt, welche in einem hermetisch verschlossenen Gehäuse (12) mit mindestens einem Fenster (13 a) untergebracht ist,
e) der mindestens eine Lichtwellenleiter (3 a, 3 b) parallel zu einem ersten Fenster (13 a) liegt und das aus einem ersten Ende des Lichtwellenleiters (3 a) austretende Licht über einen Umlenkspiegel (15) auf die Stimmgabel (14) gelenkt wird, und
f) die Steuerschaltung (1) für eine Aufbereitung des Meß signals einen sehr schmalbandigen AC-Verstärker (9) aufweist.

2. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerschaltung (1) in einen Lichtwellenleiter (3 a, 3 b) Licht einkoppelt, welches im Sensorkopf (2) zum einen Teil als Anregungsenergie und zum anderen Teil als Meßlicht zum Beleuchten der Stimmgabel (14) ausgekoppelt wird.

3. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensorkopf (2) mit der Steuerschaltung (1) durch genau einen Lichtwellenleiter (3 a) verbunden ist und daß in der Steuerschaltung (1) das Meßsignal mittels eines Biegekopplers aus dem Lichtwellenleiter (3 a) ausgekoppelt wird.

4. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn zeichnet, daß der Power-Converter (6) ein Biegekoppler ist.

5. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn zeichnet, daß der Power-Converter (6) aus einer oder mehreren Photodioden (8) gebildet wird, welche hinter der Stimmgabel (14) angeordnet sind und welche das aus dem Lichtwellenleiter (3 a) austretende, aber nicht auf die Stimmgabel (14) auftreffende Licht auffangen.

6. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (12) gegenüber dem ersten Fenster (13 a) ein zweites Fenster (13 b) aufweist, so daß das nicht auf die Stimmgabel (14) auftreffende Licht durch dieses zweite Fenster (13 b) aus dem Gehäuse (12) austritt, und daß die Photodioden (8) außerhalb des Gehäuses (12) an diesem zweiten Fenster (13 b) angeordnet werden.

7. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Quarzoszillator (4) und die Photodioden (8) ins gesamt im Gehäuse (12) untergebracht sind.

8. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der AC-Verstärker (9) ein zweistufiger Transistorverstärker mit einer Resonanzfre quenz von etwa 2×10⁵Hz und einer Bandbreite von etwa 1 kHz oder weniger ist.

9. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspiegel (13) ein Plättchen ist, welches an einer Kante mit einem bedampften 45°-Schliff versehen ist.