DE3811431A1 - Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente - Google Patents

Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente

Info

Publication number
DE3811431A1
DE3811431A1 DE19883811431 DE3811431A DE3811431A1 DE 3811431 A1 DE3811431 A1 DE 3811431A1 DE 19883811431 DE19883811431 DE 19883811431 DE 3811431 A DE3811431 A DE 3811431A DE 3811431 A1 DE3811431 A1 DE 3811431A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas supply
sensor
thin
film
capillary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19883811431
Other languages
English (en)
Inventor
Maria Dobosne Gyulai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19883811431 priority Critical patent/DE3811431A1/de
Publication of DE3811431A1 publication Critical patent/DE3811431A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/10—Preventing damage by freezing or excess pressure or insufficient pressure
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure, temperature

Description

Es ist bekannt, daß Halbleiteroxidsensoren sehr gute Gasempfindlichkeit besitzen, aber mehrere nachteilige Eigenschaften haben, wie: die Empfindlichkeit ist sehr unstabil, vom Feuchtigkeitsgehalt abhängig, der Veralterung und Vergiftung unterworfen.
Nach unserer Methode sollte diese gasempfindliche Struktur einer Gaszufuhrbegrenzung unterworfen werden, das bedeutet, daß nur eine anteilmäßig kleinere Gaskonzentration den Sensor erreicht und diese Gaskonzentration wird durch eine Begrenzung, durch eine Diffusionsbarriere oder durch eine kapillare, eine Strömungsbarriere, oder durch ein Ventil, also als Widerstandsbarriere erreicht. Gas wird vom Sensor aufgearbeitet verbraucht, also wird in der Sensorumgebung nur eine kleine Gaskonzentration vorhanden sein. Das bedeu­ tet, daß das Sensorsignal durch die gasbegrenzende Diffu­ sionsbarriere bestimmt ist und nicht durch die Eigen­ schaften des Sensors. Diese gaszufuhrbegrenzende Barriere ist sehr stabil ausführbar, also die Gasströmung ist nur von geometrischen Werten, von diesen barriereabhängigen und deswegen wird das Sensorsignal stabil sein.

Claims (7)

1. Sensor-Anordnung zur Erfassung von gasförmigen Komponenten, bestehend aus Halbleiteroxid gasempfindlichem Material, das als Widerstand-Impedanz-Kondensator-Struktur ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß diese Struktur von der messenden Umwelt und/oder Medien durch eine Gaszufuhrbe­ grenzung getrennt ist, dadurch gekennzeichnet, daß diese Gaszufuhrbeschränkung eine dünne Kapillare ist.
2. dadurch gekennzeichnet, daß diese Gaszufuhrbegrenzung eine dünne Membrane oder ein poröses Membranmaterial ist.
3. dadurch gekennzeichnet, daß diese Gaszufuhrbegrenzung eine Flüssigkeit oder ein Festkörperfilm ist.
4. dadurch gekennzeichnet, daß die Gaszufuhrbegrenzung eine dünne Schicht ist, die direkt auf dem sensitiven Material aufgebracht ist.
5. dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor in einem hermeti­ schen Gehäuse eingekapselt ist, und an diesem Gehäuse ist eine entsprechende Gaszufuhrbegrenzung in Form einer kapil­ laren dünnen Membrane, ein kleines regelbares Ventil, Flüs­ sigkeitsfilm usw.
6. dadurch gekennzeichnet, daß die Gaszufuhr regelbar ist, wie ein kleines Ventil oder eine aus weichem Material herge­ stellte dünne Kapillare, die zusammengedrückt werden kann, oder anderer Art.
7. dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor als flach ausgeleg­ ter Dünnfilm- oder Dickfilmsensor vorliegt und die Gaszu­ fuhrbegrenzung in ein oder mehreren, auf der Sensorschicht aufgebrachten, Schichten vorliegt.
DE19883811431 1988-04-05 1988-04-05 Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente Withdrawn DE3811431A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19883811431 DE3811431A1 (de) 1988-04-05 1988-04-05 Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19883811431 DE3811431A1 (de) 1988-04-05 1988-04-05 Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3811431A1 true DE3811431A1 (de) 1989-10-19

Family

ID=6351421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19883811431 Withdrawn DE3811431A1 (de) 1988-04-05 1988-04-05 Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3811431A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4239335A1 (en) * 1992-11-23 1993-05-06 Ignaz 8021 Icking De Eisele Gas measurement system using small internal dimensions to extend time constants of desorption - involves dimension transverse to flow direction in region of mean particle free path length

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB556018A (en) * 1942-04-13 1943-09-16 Jones William Improvements in or relating to gas meters
DE2923826A1 (de) * 1978-06-09 1980-03-06 Minnesota Mining & Mfg Vorrichtung zum messen der menge mindestens einer gewaehlten komponente einer stroemungsmittelmischung
US4294113A (en) * 1980-02-04 1981-10-13 Dresser Industries, Inc. Anti-surge system for gases and other media
US4300391A (en) * 1978-06-24 1981-11-17 Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler Hot wire anemometer for measuring the flow velocity of gases and liquids (II)
DE3124960A1 (de) * 1981-06-25 1983-01-20 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart "vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums"
DE3331203A1 (de) * 1983-08-30 1985-03-14 Securiton AG, Zollikofen, Bern Vorrichtung zur ueberwachung der geschwindigkeit eines gasstromes in einem kanal
DE3712902A1 (de) * 1986-04-18 1987-10-22 Nissan Motor Regelsystem fuer das luft/kraftstoffverhaeltnis einer brennkraftmaschine

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB556018A (en) * 1942-04-13 1943-09-16 Jones William Improvements in or relating to gas meters
DE2923826A1 (de) * 1978-06-09 1980-03-06 Minnesota Mining & Mfg Vorrichtung zum messen der menge mindestens einer gewaehlten komponente einer stroemungsmittelmischung
US4300391A (en) * 1978-06-24 1981-11-17 Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler Hot wire anemometer for measuring the flow velocity of gases and liquids (II)
US4294113A (en) * 1980-02-04 1981-10-13 Dresser Industries, Inc. Anti-surge system for gases and other media
DE3124960A1 (de) * 1981-06-25 1983-01-20 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart "vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums"
DE3331203A1 (de) * 1983-08-30 1985-03-14 Securiton AG, Zollikofen, Bern Vorrichtung zur ueberwachung der geschwindigkeit eines gasstromes in einem kanal
DE3712902A1 (de) * 1986-04-18 1987-10-22 Nissan Motor Regelsystem fuer das luft/kraftstoffverhaeltnis einer brennkraftmaschine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4239335A1 (en) * 1992-11-23 1993-05-06 Ignaz 8021 Icking De Eisele Gas measurement system using small internal dimensions to extend time constants of desorption - involves dimension transverse to flow direction in region of mean particle free path length

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Gardner A non-linear diffusion-reaction model of electrical conduction in semiconductor gas sensors
US4772560A (en) Laminated wafer for sensing and monitoring exposure to gases
Yamazoe et al. Humidity sensors: principles and applications
US3575836A (en) Polarographic sensor
US3718563A (en) Polarographic sensor and membrane therefor
US7918977B2 (en) Solid state electrochemical gas sensor and method for fabricating same
DE19912102C2 (de) Elektrochemischer Gassensor
US6046054A (en) Semiconducting oxide gas sensors
US4478704A (en) Gas detection device
EP1600768B1 (de) Ammoniaksensor
DE602006000295T2 (de) Wasserstoffgassensitiver Halbleitersensor
US3763025A (en) Method and apparatus for measuring nitrogen oxides and sulfur dioxideconcentrations
Natusch et al. Determination of hydrogen sulfide in air. Assessment of impregnated paper tape methods
US3661724A (en) Closed loop hygrometry
EP0627077A1 (de) Sensoranordnung zur bestimmung von gaskomponenten und/oder gaskonzentrationen von gasgemischen.
US3878080A (en) Carbon monoxide sensor
DE3811431A1 (de) Sensoranordnung zur erfassung gasfoermiger komponente
EP1879023B1 (de) Sensor zur Wasserstoff-Detektion
Hassan et al. Flow injection analysis of sulfite ion with a potentiometric titanium phosphate–epoxy based membrane sensor
EP0643827B1 (de) Methansensor
US5908546A (en) Detection of hydrogen chloride
Gardner Intelligent gas sensing using an integrated sensor pair
US4469562A (en) Carbon dioxide sensor
JP2002350393A (ja) プロトン導電体ガスセンサ
EP0693180B1 (de) Ammoniaksensor

Legal Events

Date Code Title Description
8101 Request for examination as to novelty
8105 Search report available
8139 Disposal/non-payment of the annual fee