DE3810912C2

DE3810912C2 - Magnetic recording layer and method for its production

Info

Publication number: DE3810912C2
Application number: DE3810912A
Authority: DE
Inventors: Hideo Daimon; Osamu Kitakami; Hideo Fujiwara
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Holdings Ltd
Priority date: 1987-02-06
Filing date: 1988-03-30
Publication date: 1997-05-15
Anticipated expiration: 2008-03-31
Also published as: DE3810912A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einer Co-O-System-Magnetschicht, die sich zum Erreichen eines hohen Wiedergabepegels sowohl bei Niedrigdichte- als auch bei Hochdichte-Aufzeichnung eignet.The invention relates to a magnetic Recording medium with a Co-O-system magnetic layer, to achieve a high level of playback both at low density than also suitable for high-density recording.

Eines der senkrecht magnetisch-anisotropen Aufzeichnungsmedien ist eine Co-O-System-Magnet schicht, bei der Co dampfabgeschieden oder aufgestäubt wird.One of the perpendicular magnetic-anisotropic recording media is a Co-O system magnet layer, vapor deposited or dusted off at the Co becomes.

Obwohl eine Substrattemperatur von 150°C oder mehr erfor derlich ist, um im Fall einer Co-Legierungsschicht eine senkrecht-anisotrope Magnetschicht zu erhalten, kann die Co-O- System-Magnetschicht in eine senkrecht-anisotrope Magnetschicht auch umgeformt werden, wenn das Substrat Raumtemperatur besitzt (Ohta et al, "Proceedings of the 7th Applied Magnetic Society", veröffentlicht November 1983, S. 9-13).Although a substrate temperature of 150 ° C or more is required is to be in the case of a co-alloy layer one perpendicular to anisotropic magnetic layer, the Co-O- System magnetic layer into a perpendicular-anisotropic magnetic layer as well be reformed when the substrate is at room temperature has (Ohta et al, "Proceedings of the 7th Applied Magnetic Society ", published November 1983, p. 9-13).

Dabei kann billiger PET-Film, der heutzutage weit hin für Magnetband u. dgl. eingesetzt wird, als Träger film verwendet werden, was zu einer erheblichen Kostenver ringerung führt.This can be cheaper PET film, nowadays far out for magnetic tape u. Like. Used as a carrier be used, resulting in a considerable Kostenver ringing leads.

Diese Co-O-System-Magnetschicht hat das Verhältnis Mr ⟂/Mr ∥ ≧ 1 in dem Bereich, wo die Sättigungsmagnetflußdichte ge ringer als etwa 0,7 T ist, um sich zu einer Membran zu verändern, die der Beziehung "Mr ⟂<Mr ∥" genügen kann (im folgenden als Senkrechtmagnetisierungsfilm bezeichnet) (Ohta et al, "Proceedings of the 7th Applied Magnetic Society", veröffentlicht November 1983, S. 9-13), so daß eine Erfindung, die durch Legen der Sättigungsmagnetfluß dichte auf 0,3 T bis 0,65 T gekennzeichnet ist, zum Patent angemeldet wurde (JP-OS 59-140 629).This Co-O-system magnetic layer has the ratio Mr ⟂ / Mr ∥ ≧ 1 in the region where the saturation magnetic flux density ge less than 0.7 T is to become a membrane that can satisfy the relationship "Mr ⟂ <Mr ∥" (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film) (Ohta et al, "Proceedings of the 7th Applied Magnetic Society ", published November 1983, pp. 9-13), so that an invention by laying the saturation magnetic flux dense to 0.3 T to 0.65 T is a patent has been registered (JP-OS 59-140 629).

Jedoch ist die Co-O-System-Magnetschicht mit einer Sätti gungsmagnetflußdichte von 0,7 T oder weniger und einem Verhältnis von Mr ⟂/Mr ∥≧1 in den Aufzeichnungs-Wiedergabe eigenschaften nachteilig, da nur ein so geringer Aus gang wie -10 dB oder weniger sowohl im Bereich einer Nied rigdichte-Aufzeichnung als auch im Bereich einer Hoch dichte-Aufzeichnung im Vergleich mit einer Co-Cr-Membran mit einer Sättigungsmagnetflußdichte auf dem gleichen Niveau erhalten werden kann (Sugita et al, "Reports of Electronic Communication Technique", veröffentlicht Juni 1986, MR 86-11 bis 16, S. 1). However, the Co-O system magnetic layer is one saturate magnetic flux density of 0.7 T or less and a Ratio of Mr ⟂ / Mr ∥ ≧ 1 in the recording playback characteristics disadvantageous, since only such a low off such as -10 dB or less both in the range of a low rig density record as well as in the range of a high density recording in comparison with a Co-Cr membrane with a saturation magnetic flux density on the same Level can be maintained (Sugita et al, "Reports of Electronic Communication Technique ", published June 1986, MR 86-11 to 16, p. 1).

"IEEE Trans. on Magnetics", Vol. MAG-20, No. 5, 1984, S. 788-790 beschreibt die senkrechte Magnetisierung in einem durch reaktives HF-Sputtern erzeugten Co-CoO-Film, der aus feinen hcp-Co- und fcc-CoO-Teilchen besteht. Die senkrecht magnetische Anisotropieenergie und die Koerzivität erreichen 3 × 10⁶ erg/cm³ bzw 3 KOe. Es wurden Co-CoO-Filme mit Sauerstoffgehalten bis zu 50 At.% untersucht."IEEE Trans. On Magnetics", Vol. MAG-20, no. 5, 1984, p. 788-790 describes the perpendicular magnetization in one Co-CoO film produced by reactive RF sputtering fine hcp-Co and fcc-CoO particles. The vertical achieve magnetic anisotropy energy and coercivity 3 × 10⁶ erg / cm³ or 3 KOe. There have been Co-CoO films Oxygen levels up to 50 At.% Examined.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein magne tisches Aufzeichnungsmedium mit einer Co-O-System-Magnet schicht nebst Herstellungsverfahren anzugeben, welches einen hohen Wiedergabepegel sowohl bei einer Niedrigdichte-Aufzeichnung als auch bei einer Hoch dichte-Aufzeichnung besitzt.The invention is therefore based on the object, a magne recording medium with a Co-O system magnet layer with manufacturing process to specify which a high playback level both at a Low density recording as well as high has density recording.

Die Erfinder führten ausgedehnte Versuche und Forschungen über lange Jahre durch und fanden als Ergebnis, daß ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, bei dem eine aus Co und Sauerstoff zusammengesetzte Magnetschicht auf einem nicht magnetischen Substrat gebildet wird, eine Co-O-Systemma gnetschicht, die zum Erhalten eines hohen Wiedergabe pegels sowohl im Bereich einer Niedrigdichte-Aufzeich nung als auch im Bereich einer Hochdichte-Aufzeichnung ge eignet ist, wird, wenn die Sättigungsmagnetflußdichte der Magnetschicht im Bereich von 0,84 T bis 1,26 T ist, der Sauerstoffgehalt in der Magnetschicht im Bereich von 11 bis 29 Mol-% ist, die Restmagnetisierung Mr ∥ in der inne ren Richtung von der Schichtoberfläche und die Restmagne tisierung Mr ⟂ in der zur Schichtoberfläche senkrechten Richtung einem Verhältnis von Mr ∥/Mr ⟂<1 genügen und die verwendete Aufzeichnungsdichte 200 kFCI (=kbpi=Kilobits je inch=Kilobits je 25,4 mm) oder weniger ist. Die vorliegende Erfindung beruht auf dieser Er kenntnis, und die genannte Aufgabe wird dement sprechend durch das magnetische Aufzeichnungsmedium gemäß dem Patentanspruch 1 gelöst.The inventors carried out extensive experiments and researches over long years through and found as a result that one magnetic recording medium, wherein one of Co and Oxygen composite magnetic layer on a not magnetic substrate is formed, a Co-O systemma gnetschicht, which helps to obtain a high reproduction levels both in the range of a low-density record tion as well as in the area of a high-density recording is suitable, when the saturation magnetic flux density of the Magnetic layer is in the range of 0.84 T to 1.26 T, the Oxygen content in the magnetic layer in the range of 11 to 29 mol%, the residual magnetization Mr ∥ in the inner direction from the surface of the layer and the residual magma Mr ⟂ in the direction perpendicular to the surface of the layer Satisfy a ratio of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 and the recording density used was 200 kFCI (= kbpi = kilobits per inch = kilobits per 25.4 mm) or less is. The present invention is based on this Er knowledge, and the task mentioned becomes speaking through the magnetic recording medium according to solved according to claim 1.

Ausgestaltungen der Erfindung beinhalten die Unteransprüche 2 und 3.Embodiments of the invention include the subclaims 2 and 3.

Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines entsprechenden magnetischen Aufzeichnungsmediums.The invention also relates to a method for Preparation of a corresponding magnetic recording medium.

Die Erfindung wird anhand einiger in den Zeichnungen veran schaulichten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:The invention will be described with reference to some in the drawings illustrated exemplary embodiments. It demonstrate:

Fig. 1 eine graphische Darstellung zur Veranschaulichung der Beziehung der Sättigungsmagnetflußdichte eines im Beispiel 1 erhaltenen, erfindungsgemäßen magne tischen Aufzeichnungsmediums zum Wert von Mr ∥/Mr ⟂. Fig. 1 is a graph showing the relation of the saturation magnetic flux density of a obtained in Example 1, according to the invention schematically magnetic recording medium to the value of ∥ Mr / Mr ⟂.

Fig. 2a Magnetisierungseigenschaftskurven eines Beispiels des im Beispiel 1 erhaltenen, erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums; Fig. 2a is magnetization characteristic curves of an example of the magnetic recording medium of the present invention obtained in Example 1;

Fig. 2b Magnetisierungseigenschaftskurven eines magneti schen Aufzeichnungsmediums eines Vergleichsbei spiels; Fig. 2b shows magnetization characteristic curves of a magnetic recording medium of a comparative example;

Fig. 3 eine graphische Darstellung zur Veranschaulichung der Beziehungen des Wertes von Mr ∥/Mr ⟂ zur Sät tigungsmagnetflußdichte der magnetischen Aufzeich nungsmedien der Beispiele 1 und 2 der Erfindung, wobei das Medium des Beispiels 2 einen ersten Überzug aus Ti aufweist; Fig. 3 is a graph showing the relations of the value of Mr ∥ / Mr ⟂ to the saturation magnetic flux density of the magnetic recording media of Examples 1 and 2 of the invention, wherein the medium of Example 2 has a first coating of Ti;

Fig. 4 eine graphische Darstellung zur Veranschaulichung der Aufzeichnungs-Wiedergabeeigenschaften der magnetischen Medien nach den Beispielen 1 und 2 zusammen mit den im Beispiel 1 erhaltenen des Ver gleichsbeispiels; und Fig. 4 is a graph for illustrating the recording-reproducing characteristics of the magnetic media of Examples 1 and 2 together with the comparative example obtained in Example 1; and

Fig. 5a und 5b Schnittdarstellungen der magnetischen Aufzeich nungsmedien gemäß der Erfindung. FIGS. 5a and 5b sectional views of the magnetic Aufzeich drying media according to the invention.

Der bevorzugte Sauerstoffgehalt in der Magnetschicht ist 11 bis 24 Mol-%.The preferred oxygen content in the magnetic layer is 11 to 24 mol%.

Das Rechteckigkeitsverhältnis nach derartiger Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes, daß die Neigung der Hyste reseschleife in der Koerzitivkraft in der senkrechten Richtung auf 90° eingestellt wird, ist vorzugsweise 0,88 bis 1,00.The squareness ratio after such correction demagnetizing field, that the inclination of the hyste loop in the coercive force in the vertical Direction is set to 90 °, is preferably 0.88 to 1.00.

Weiter kann die Oberfläche des nichtmagnetischen Sub strats, auf dem die magnetische Schicht zu bilden ist, vorab mit Plasma behandelt werden, oder es kann ein aus z. B. Ti oder Ge bestehender erster Überzug zwischen der Oberfläche des nichtmagnetischen Substrats und der Magnet schicht eingefügt werden.Next, the surface of the non-magnetic sub strats on which the magnetic layer is to be formed, be treated in advance with plasma, or it may be an off z. B. Ti or Ge existing first coating between the Surface of the non-magnetic substrate and the magnet layer are inserted.

Schnittdarstellungen der magnetischen Speichermedien sind in den Fig. 5a bzw. 5b gezeigt. Wäh rend Fig. 5a eine Co-O-System-Magnetschicht 2 direkt auf einem Basisfilm als Substrat 1 zeigt, ist in Fig. 5b ein erster Überzug 3 zwischen dem Substrat 1 und der Co-O-System-Magnetmembran 2 eingefügt ist. Das magne tische Aufzeichnungsmedium gemäß der Erfindung ist im Auf bau einem herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsmedium mit einer Co-O-System-Magnetschicht fast gleich, doch die Eigenschaften, wie Sättigungsmagnetflußdichte, Sauer stoffgehalt sind unterschiedlich.Sectional views of the magnetic storage media are shown in Figs. 5a and 5b, respectively. While FIG. 5a shows a Co-O-system magnetic layer 2 directly on a base film as substrate 1 , in FIG. 5b a first coating 3 is interposed between the substrate 1 and the Co-O system magnetic membrane 2 . The magnetic recording medium according to the invention is almost the same in construction of a conventional magnetic recording medium having a Co-O-system magnetic layer, but characteristics such as saturation magnetic flux density, oxygen content are different.

Die Co-O-System-Magnetschicht wird mit einer vorbestimmten Sättigungsmagnet flußdichte hergestellt, indem man die bei der Schichtbil dung eingeführte Sauerstoffmenge ändert. Je größer die eingeführte Sauerstoffmenge ist, d. h. je mehr die Oxida tion des Co fortschreitet, umso mehr sinkt die Sättigungs magnetflußdichte. The Co-O-system magnetic layer is with a predetermined saturation magnet Flux density produced by the in the Schichtbil The amount of oxygen introduced changes. The bigger the introduced amount of oxygen is, d. H. the more the Oxida As the CO progresses, the saturation decreases magnetic flux density.

Bei Beachtung der C-Achsenausrichtung des Co in senkrech ter Richtung zur Schichtoberfläche, die als einer der Gründe betrachtet wird, aus denen eine Co-Legierungssy stem-Magnetschicht eine senkrechte magnetische Anisotropie zeigt, wird, wenn Sauerstoff nicht eingeführt wird, eine Ausrichtung der C-Achse des Co in der senkrechten Richtung zur Membranoberfläche nicht festgestellt. Jedoch wird die Sättigungsmagnetflußdichte durch Einführen von Sauerstoff auf etwa 1,26 T gesenkt, und die C-Achse des Co beginnt, sich in der senkrechten Richtung zur Schichtoberfläche auszurichten. Wenn die Sättigungsflußdichte auf weniger als 0,84 T durch weiteres Einführen von Sauerstoff vermin dert wird, fällt die Ausrichtung wieder in den ungeordneten Zustand. Daher wird angenommen, daß eine Co-O-Schicht mit einer Sättigungsmagnetflußdichte von 0,7 T oder darunter eine erheblich verminderte vertikale magnetische Anisotropie der Membran aufweist, weil der ungeordnete Zustand der C-Achsenorientierung des Co und die Zerkleinerung der Co-Körnchen fortschreiten.With respect to the C axis alignment of the Co in vertical Direction to the layer surface, as one of Reasons considered, from which a co-alloying stem magnetic layer has a perpendicular magnetic anisotropy shows, when oxygen is not introduced, one Alignment of the C axis of the Co in the vertical direction not detected to the membrane surface. However, the Saturation magnetic flux density by introducing oxygen lowered to about 1.26 T, and the C-axis of the Co begins, in the vertical direction to the layer surface align. When the saturation flux density is less than 0.84 T by further introduction of oxygen vermin is changed, the alignment falls back into the disordered State. Therefore, it is assumed that a Co-O layer with a saturation magnetic flux density of 0.7 T or less a significantly reduced vertical magnetic anisotropy The membrane has, because of the disordered state the C-axis orientation of the Co and the comminution the co-granules progress.

Diese Erscheinung scheint ein Grund zu sein, aus dem eine Co-O-System-Magnetschicht mit einer Sättigungsmagnetfluß dichte von 0,7 T oder weniger in den Aufzeichnungs-Wieder gabeeigenschaften einer Co-Cr-Schicht mit der gleichen Sättigungsmagnetflußdichte erheblich schlechter ist, wie oben erwähnt wurde.This phenomenon seems to be a reason to make one Co-O-system magnetic layer having a saturation magnetic flux density of 0.7 T or less in the recording re-record properties of a Co-Cr layer with the same Saturation magnetic flux density significantly worse is as mentioned above.

Es ist daher erforderlich, daß die Co-O-System-Magnetschicht eine Sättigungsmagnetflußdichte in dem Bereich hat, wo die C-Achse des Co in der senkrechten Richtung zur Schichtoberfläche ausgerichtet ist, d. h. im Bereich von 0,84 T bis 1,26 T. In diesem Sättigungsmagnetflußdichtebereich ist das Verhältnis Mr ∥ der Restmagnetisierung in der inneren Richtung von der Schichtoberfläche zur Restmagnetisierung Mr ⟂ in der senkrechten Richtung mehr als 1, d. h. Mr ∥/Mr ⟂<1.It is therefore necessary that the Co-O-system magnetic layer has a saturation magnetic flux density in the region where the C axis of the Co in the direction perpendicular to Layer surface is aligned, d. H. In the range of 0.84 T to 1.26 T. In this saturation magnetic flux density range is the ratio Mr ∥ of the residual magnetization in the inner direction from the layer surface to the residual magnetization Mr ⟂ in the vertical direction more than 1, d. H. Mr ∥ / Mr ⟂ <1.

Bezüglich eines herkömmlichen Co-O-System-Senkrechtmagnetaufzeichnungsmediums wird der dem Verhältnis von Mr ∥/Mr ⟂ <1 genügende Bereich festgestellt, und die Sättigungsmagnetflußdichte und der Mol-%-Anteil des Sauerstoffs werden reguliert. Insbesondere offenbart die JP-OS 59-140 629, daß, wenn die Sättigungsmagnetflußdichte im Bereich von 0,35 T bis 0,65 T liegt, das Rechteckigkeitsverhältnis Mr ⟂/Ms, in senkrechter Richtung gemessen, größer als das innerhalb der Fläche gemessene Rechteckigkeitsverhältnis ist, was bedeutet, daß ein senkrechter Magnetisierungsfilm vorliegt. Der Sauerstoffgehalt in der Co-O-System- Magnetschicht in diesem Bereich der Sättigungsmagnetisierung ist 30 bis 40 Mol-%. In diesem Bereich des Sauerstoffgehalts ist die Wahrscheinlichkeit, daß die C-Achsen der Co-Nadelkristallkörner in senkrechter Richtung zur Substratoberfläche ausgerichtet sind, geringer. Bezüglich des Rechteckigkeitsverhältnisses ist, obwohl ein senkrechter Magnetisierungsfilm vorliegen kann, die Rech teckigkeitseigenschaft der M-H-Kurve nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes geringer, so daß nur ein niedriger Wiedergabeausgang sowohl im Bereich niedriger Aufzeichnungsdichte als auch im Bereich hoher Aufzeichnungsdichte erhalten werden kann.With respect to a conventional Co-O system perpendicular magnetic recording medium will be the ratio of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 sufficient range, and the saturation magnetic flux density and the mole% fraction of oxygen regulated. In particular, JP-OS 59-140,629 discloses when the saturation magnetic flux density is in the range of 0.35 T to 0.65 T, the squareness ratio Mr ⟂ / Ms, measured in the vertical direction, larger than that squareness ratio measured within the area is, which means that a perpendicular magnetization film is present. The oxygen content in the Co-O system Magnetic layer in this region of saturation magnetization is 30 to 40 mol%. In this area of the Oxygen content is the probability that the C-axes of the co-needle crystal grains in the vertical direction are aligned to the substrate surface, lower. In terms of of the squareness ratio is, though a perpendicular magnetization film may be present, the Rech property of the M-H curve after correction of the Demagnetization field lower, so that only a lower Reproduction output in both the low recording density area as well as in the area of high recording density can be obtained.

Tatsächlich hat, obwohl herkömmliches magnetisches Aufzeichnungsmedium eine Restmagnetisierung im Verhältnis von Mr ⟂/Mr ∥< 1 und eine höhere Anisotropie in senkrechter Richtung hat, seine Magnetisierungskurve, wenn sie durch ein Entmagnetisierungsfeld so korrigiert wird, daß die Neigung der Hystereseschleife in der Koerzitivkraft in der Richtung 90° werden kann, ein niedriges Rechteckigkeitsverhältnis, wie z. B. bis zu etwa 0,8. Im Gegensatz dazu ist im Bereich von Mr ∥/Mr ⟂<1 die Magnetisierungskurve nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes beim Rechteckigkeitsverhältnis überlegen und hat ein Rechteckigkeitsverhältnis von 0,88 bis 1,00. Demgemäß kann ein hoher Wiedergabeausgang in einem Hochdichte-Aufzeichnungsbereich erwartet werden, wo sich das Entmagnetisierungsfeld verringert.In fact, although conventional magnetic recording medium a residual magnetization in the ratio of Mr ⟂ / Mr ∥ <1 and a higher anisotropy in vertical Direction has its magnetization curve when going through a demagnetizing field is corrected so that the Inclination of the hysteresis loop in the coercive force in the Direction can be 90 °, a low squareness ratio, such as B. up to about 0.8. In contrast to is in the range of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 the magnetization curve after correction of the demagnetization field in the rectangularity ratio superior and has a squareness ratio from 0.88 to 1.00. Accordingly, a high Reproduction output in a high density recording area be expected, where the demagnetization field reduced.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium nach der Erfindung ist jedoch in Gefahr einer Verringerung des Wiedergabe pegels, wenn es in einem Bereich äußerst hoher Aufzeichnungsdichte verwendet wird. Daher wird das erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsmedium vorzugsweise in einem Aufzeichnungsspeicherbereich von 200 kFCI oder darunter verwendet.The magnetic recording medium of the invention is but at risk of reduction in playback pegels, if it is in an area of extremely high recording density is used. Therefore, the inventive magnetic recording medium, preferably in one Recording storage area of 200 kFCI or below used.

Wenn die Co-O-System-Magnetschicht hergestellt wird, wird eine Co-O-Magnetschicht gebildet, nachdem die Oberfläche eines Polymerfilms mit Sauerstoffplasma behandelt worden ist oder ein Polymerfilm mit einem ersten Überzug aus Ti oder Ge versehen worden ist, wodurch die Verbesserung bei Herstellung der C-Achsenausrichtung von Co senkrecht zum Film erwartet werden kann. Daher ist festzustellen, daß diese Medien für eine Aufzeichnung mit hoher Dichte geeignet sind, da sie ein höheres Rechteckigkeitsverhältnis nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes im Vergleich mit einer Co-O-Magnetschicht haben, die nicht mit Plasma behandelt wurde und keinen solchen ersten Überzug aufweist.When the Co-O-system magnetic layer is prepared, a Co-O magnetic layer is formed after the surface a polymer film has been treated with oxygen plasma or a polymer film having a first coating of Ti or Ge has been provided, whereby the improvement in Preparation of C-axis orientation of Co perpendicular to Movie can be expected. Therefore, it should be noted that these media are suitable for high density recording are because they have a higher squareness ratio after correction of the demagnetization field in comparison with a Co-O magnetic layer that does not have plasma was treated and has no such first coating.

Die Sättigungsmagnetflußdichte der Co-O-Magnetschicht kann leicht durch Regulieren der eingeführten Sauerstoffmenge gesteuert werden. The saturation magnetic flux density of the Co-O magnetic layer may easily by regulating the amount of oxygen introduced being controlled.

Example 1

Unter Verwendung einer Elektronenschleudererhitzungs-Va kuumabscheidevorrichtung wurde Co auf einem Basisfilm aus Polyethylenterephthalat (PET) mit einer Dicke von 50 µm abgeschieden. Co- oder Co-O-Schichten von unterschiedlichem Sauerstoffgehalt wurden unter konstanten Bedingungen einer Substrattemperatur von 25°C, die durch Kühlen mit Wasser gehalten wurde, und einer Abscheidungsgeschwindigkeit von 3 nm/s und durch Ändern des Partialdrucks des Sauerstoffs im Bereich von 0 bis 1,33 mbar hergestellt.Using an electron spin heating Va In the vacuum deposition apparatus, Co was deposited on a base film Polyethylene terephthalate (PET) with a thickness of 50 microns deposited. Co or Co-O layers of different Oxygen content was under constant conditions a substrate temperature of 25 ° C by cooling with Water was kept, and a deposition rate of 3 nm / s and by changing the partial pressure of the Oxygen produced in the range of 0 to 1.33 mbar.

Die Beziehung zwischen Mr ∥/Mr ⟂ der erhaltenen Co-O- Schichten und der Sättigungsmagnetflußdichte von 4 π Ms ist in Fig. 1 gezeigt.The relationship between Mr ∥ / Mr ⟂ of the obtained Co-O layers and the saturation magnetic flux density of 4 π Ms is shown in FIG .

Der Beziehung von Mr ∥/Mr ⟂<1 wird im Bereich der Sätti gungsmagnetflußdichten von 0,84 T bis 1,26 T genügt. Es wurde als Ergebnis von Elektronenstrahlungsbeugung bestätigt, daß die C-Achse des Co in senkrechter Richtung zur Schichtoberfläche in diesem Bereich ausgerichtet wurde.The relation of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 is in the range of saturation supply magnetic flux densities of 0.84 T to 1.26 T is sufficient. It was confirmed as a result of electron beam diffraction that the C-axis of the Co in the vertical direction to Layer surface was aligned in this area.

Eigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der Erfindung, wie sie nach vorstehenden Angaben erhalten wurden, und solche eines magnetischen Speichermediums nach einem Vergleichsbeispiel sind in der folgenden Tabelle 1 angegeben. Die Fig. 2 zeigt die Magnetisierungskurven. Properties of the magnetic recording medium according to the invention as obtained above and those of a magnetic storage medium according to a comparative example are shown in Table 1 below. Fig. 2 shows the magnetization curves.

Tabelle 1 Table 1

Die erfindungsgemäße Co-O-Magnetschicht hat ein Verhältnis von Mr ∥/Mr ⟂<1 und eine Sättigungsmagnetflußdichte 4 π Ms von 1,0300 T. Das Rechteckigkeitsverhältnis wurde mit 0,96 festgestellt, wenn der Entmagnetisierungsfaktor N als 0,8 und die Neigung der Hystereseschleife bei Hc als 90° genommen werden. Die Schicht scheint ein bezüglich der Rechteckigkeitseigenschaft äußerst ausgezeichneter senkrechter Magnetisierungsfilm zu sein, wenn kein Entmagnetisierungsfeld vorliegt.The Co-O magnetic layer of the present invention has a ratio of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 and a saturation magnetic flux density 4 π Ms of 1.0300 T. The squareness ratio was 0.96 detected when the demagnetization factor N than 0.8 and the slope of the hysteresis loop at Hc taken as 90 ° become. The layer seems a respect to the Rectangular property of extremely excellent vertical To be magnetizing film, if no demagnetizing field is present.

Andererseits hat die Schicht des Vergleichsbeispiels ein Verhältnis von Mr ⟂<Mr ∥, doch wurde das Rechteckigkeitsverhältnis von Mr ⟂/Ms mit 0,76 ermittelt, auch wenn die Maximalkorrektur des Entmagnetisierungsfeldes N=1,0 genommen wird. So ist die Schicht des Vergleichsbeispiels bezüglich der Rechteckigkeitseigenschaft der erfindungsgemäßen Schicht unterlegen. On the other hand, the layer of the comparative example has a Ratio of Mr ⟂ <Mr ∥, but became the squareness ratio determined by Mr ⟂ / Ms at 0.76, even if the Maximum correction of the demagnetizing field N = 1.0 taken becomes. Such is the layer of the comparative example concerning the rectangular property of the invention Layer inferior.

table 2

Die gleichen Verfahrensschritte wie im Beispiel 1 wurden mit der Ausnahme wiederholt, daß vor der Bildung einer Co-O-Magnetschicht ein erster Überzug, der aus einem der folgenden Metalle bestand, zunächst auf der Oberfläche des PET-Films durch ein Vakuumabscheideverfahren gebildet wurde.The same process steps as in Example 1 were with the exception that before the formation of a Co-O magnetic layer is a first coating consisting of one of following metals existed, first on the surface of the PET films formed by a vacuum deposition process has been.

Zur Bildung des ersten Überzugs verwendetes MetallMetal used to form the first coating Abscheidungsgeschwindigkeit (nm/s)Deposition rate (nm / s) TiTi 33 GeGe 22 SiSi 22 Scsc 33 Rere 33

Die Substrattemperatur war in jedem Fall 25°C, und die Dicke des gebildeten ersten Überzugs war in jedem Fall 20 nm.The substrate temperature was 25 ° C in each case, and the Thickness of the formed first coating was 20 nm in each case.

Nach der Bildung jedes ersten Überzugs wurde eine Co-O-Ma gnetschicht auf diesem vorstehend erwähnten ersten Überzug in der gleichen Arbeitsweise wie im Beispiel 1 gebildet. Um die Wirkung der Zwischenfügung des ersten Überzugs aus Ti zu bestätigen, wurden die Rechteckigkeitsverhältnisse Mr ⟂/Ms im Bereich von Mr ∥/Mr ⟂<1 nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes für die Membranen des Beispiels 1 und dieses Beispiels bestimmt. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 gezeigt.After the formation of each first coating, a Co-O magnetic layer was formed on this above-mentioned first coating in the same procedure as in Example 1. In order to confirm the effect of the interposition of the first Ti coating, the squareness ratios Mr ⟂ / Ms in the range of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 after correcting the demagnetizing field were determined for the membranes of Example 1 and this Example. The results are shown in FIG .

Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, beträgt z. B. bei der gleichen Sättigungsmagnetflußdichte von 1,03 T das Rechteckigkeitsverhältnis des in diesem Beispiel erhaltenen magnetischen Aufzeichnungsmediums 0,98, welches höher als das Rechteckigkeitsverhältnis von 0,96 des erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums im Beispiel 1 ist.As is apparent from Fig. 3, z. For example, at the same saturation magnetic flux density of 1.03 T, the squareness ratio of the magnetic recording medium 0.98 obtained in this example, which is higher than the squareness ratio of 0.96 of the magnetic recording medium of the invention in Example 1.

Abgesehen von dem ersten Überzug aus Ti konnte auch im Fall eines ersten Überzugs aus Ge, Si, Sc oder Re die gleiche Wirkung derart erhalten werden, daß das Rechteckigkeitsverhältnis 0,98 oder höher wurde.Apart from the first coating of Ti could also in the Case of a first coating of Ge, Si, Sc or Re the same effect can be obtained such that the squareness ratio 0.98 or higher.

Aufgrund dieser Ergebnisse scheint die Zwischenfügung eines ersten Überzugs das Rechteckigkeitsverhältnis zu verbessern.Because of these results, the interposition seems of a first coating, the squareness ratio improve.

Die in den Beispielen 1 und 2 erhaltenen, erfindungsgemäßen magnetischen Speichermedien und das magnetische Speichermedium des Vergleichsbeispiels im Beispiel 1 wurden der Messung der Aufzeichnungs-Wiedergabeeigenschaften unterworfen. Die Spaltlänge, die Spurbreite, die Zahl der Spulenwindungen, die Spalttiefe eines Aufzeichnungs- und Wiedergabekopfes waren 0,2 µm, 50 µm, 20 Windungen bzw. 10 µm. Die Ergebnisse der Messung sind in Fig. 4 gezeigt.The magnetic storage media of the present invention obtained in Examples 1 and 2 and the magnetic storage medium of Comparative Example in Example 1 were subjected to the measurement of the recording-reproducing characteristics. The gap length, the track width, the number of coil turns, the gap depth of a recording and reproducing head were 0.2 μm, 50 μm, 20 turns and 10 μm, respectively. The results of the measurement are shown in FIG .

Wie sich aus Fig. 4 ergibt, konnte, was das erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsmedium betrifft, ein hoher Wiedergabepegel im Bereich von einer Niedrigdichte- Aufzeichnung bis zu einer Hochdichte-Aufzeichnung erhalten werden, und der Wert von D₅₀ war etwa 200 kFCI, während mit dem magnetischen Aufzeichnungsmedium des Vergleichsbeispiels in beiden Bereichen einer Niedrigdichte-Aufzeichnung und einer Hochdichte-Aufzeichnung nur etwa der halbe Wiedergabepegel des erfindungsgemäßen Mediums erhalten werden konnte und der Wert von D₅₀ 100 kFCI oder weniger war.As is apparent from Fig. 4, as for the magnetic recording medium of the present invention, a high reproduction level ranging from a low-density recording to a high-density recording could be obtained, and the value of D₅₀ was about 200 kFCI, whereas with the magnetic In the recording medium of the comparative example, in both regions of low density recording and high density recording, only about half the reproduction level of the medium of the present invention could be obtained and the value of D₅₀ was 100 kFCI or less.

Auch hat, wie sich aus den in Fig. 4 gezeigten Ergebnissen erkennen läßt, das magnetische Aufzeichnungsmedium mit einem ersten Überzug in Beispiel 2 hohe Aufzeichnungs- Wiedergabeeigenschaften in jedem Bereich der Aufzeichnungsdichte im Vergleich mit dem magnetischen Aufzeichnungsmedium ohne einen ersten Überzug nach Beispiel 1 oder dem magnetischen Aufzeichnungsmedium des Vergleichsbeispiels. Obwohl der genaue Mechanismus noch nicht geklärt wurde, ist anzunehmen, daß im Bereich von Mr ∥/Mr ⟂ <1 die Ausrichtung der C-Achse des Co in senkrechter Richtung zur Membranoberfläche verbessert wird und das Rechteckigkeitsverhältnis von Mr ⟂/Ms nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes im Vergleich mit dem Medium ohne einen ersten Überzug wächst, so daß der Wiedergabe pegel verbessert wurde.Also, as can be seen from the results shown in Fig. 4, the magnetic recording medium having a first coating in Example 2 has high recording reproducing characteristics in each range of recording density as compared with the magnetic recording medium without a first coating according to Example 1 or magnetic recording medium of the comparative example. Although the exact mechanism has not yet been clarified, it can be assumed that in the range of Mr ∥ / Mr ⟂ <1, the orientation of the C axis of Co in the direction perpendicular to the membrane surface is improved and the squareness ratio of Mr ⟂ / Ms after correction of the demagnetization field grows in comparison with the medium without a first coating, so that the playback level has been improved.

Wie in Fig. 4 gezeigt ist, nimmt der Wiedergabe pegel, wenn die Aufzeichnungsdichte 200 kFCI übersteigt, plötzlich im wesentlichen aufgrund eines Spaltverlustes und eines Abstandsverlustes ab. Daher wird das erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsmedium vorzugsweise bei einer Aufzeichnungsdichte von 200 kFCI oder darunter verwendet.As shown in Fig. 4, when the recording density exceeds 200 kFCI, the reproduction level suddenly decreases substantially due to a gap loss and a gap loss. Therefore, the magnetic recording medium of the present invention is preferably used at a recording density of 200 kFCI or below.

Wie oben erläutert wurde, hat die Co-O- Magnetschicht eine Sättigungsmagnetflußdichte im Bereich von 0,84 T bis 1,26 T, einen Sauerstoffgehalt in der Magnetschicht im Bereich von 11 bis 29 Mol-%, und ein Verhältnis der Rest magnetisierung Mr ∥ in der inneren Richtung der Schicht oberfläche und der Restmagnetisierung Mr ⟂ in der senkrechten Richtung der Schichtoberfläche von Mr ∥/Mr ⟂<1. Die Co-O-Schicht hat ein Rechteckigkeitsverhältnis Mr ⟂/Ms, nach Korrektur des Ent magnetisierungsfeldes im Bereich von 0,88 bis 1,00 aufgrund der Verbesserung der Ausrichtung der C-Achse des Co in der senkrechten Richtung zur Schicht oberfläche, und daher kann mit dem magnetischen Aufzeichnungsmedium ein hoher Pegel ausbang bei Niedrigdichte- und Hochdichte-Aufzeichnung erhalten werden.As explained above, the Co-O Magnetic layer has a saturation magnetic flux density in the range from 0.84 T to 1.26 T, an oxygen content in the magnetic layer in the range of 11 to 29 mol%, and a ratio of the rest magnetization Mr ∥ in the inner direction of the layer surface and the residual magnetization Mr ⟂ in the vertical Direction of the layer surface by Mr ∥ / Mr ⟂ <1. The Co-O layer has one Squareness ratio Mr ⟂ / Ms, after correction of the ent magnetization field in the range of 0.88 to 1.00 due to the improvement in alignment the C axis of the Co in the direction perpendicular to the layer surface, and therefore can with the magnetic recording medium a high level low-density and low-energy High-density recording are obtained.

Weiter hat das magnetische Aufzeichnungsmedium, das vor der Bildung der Co-O-Magnetschicht mit Sauerstoffplasma behandelt worden ist oder bei dem ein erster, aus Ti, Ge oder dgl. bestehender Überzug zwischen dem Substrat und der Co-O-Magnetmembran eingefügt worden ist, ein weiter gesteigertes Rechteckigkeitsverhältnis Mr ⟂ /Ms nach Korrektur des Entmagnetisierungsfeldes in einem Bereich von Mr ∥/Mr ⟂<1 im Vergleich mit dem unbehandelten Medium oder einem Medium ohne einen ersten Überzug, so daß die genannte Behandlung und die genannte Zwischenfügung wirksamer zur Verbesserung des Pegelausgangs bei Niedrigdichte-Aufzeichnung und Hochdichte-Aufzeichnung sind.Further, the magnetic recording medium has that before the formation of the Co-O magnetic layer with Oxygen plasma has been treated or at the one first coating consisting of Ti, Ge or the like between the substrate and the Co-O magnetic membrane have been inserted is a further increased squareness ratio Mr ⟂ / Ms after correction of the demagnetization field in one Range of Mr ∥ / Mr ⟂ <1 compared with the untreated Medium or a medium without a first coating, so that said treatment and said intervening more effective for improving the level output in low-density recording and High-density recording are.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium hat eine innenflächig magnetisierte Schicht, die unter den Bedingungen der Sättigungsmagnetflußdichte und des Sauerstoffgehalts gemäß der Erfindung gebildet ist, die bisher für ein senkrechtes magnetisches Aufzeichnungsmedium ungeeignet schienen. Die Magnetschicht gemäß der Erfindung zeigt eine ausgezeichnetere magnetische Eigenschaft als die des herkömmlichen senkrechten Magnetisierungsfilms mit Verwendung eines Co-O-Systems unter praktischen Aufzeichnungsbedingungen, obwohl sie eine innenflächig magnetisierte Schicht ist.The magnetic recording medium has an internally magnetized layer, which under the Conditions of saturation magnetic flux density and oxygen content is formed according to the invention, the heretofore for a perpendicular magnetic recording medium seemed inappropriate. The magnetic layer according to the invention shows a more excellent magnetic property as that of the conventional perpendicular magnetizing film using a Co-O system under practical Recording conditions, although they have an inside surface is magnetized layer.

Claims

1. A magnetic recording medium comprising a non-magnetic substrate and a cobalt formed thereon / oxygen-magnetic layer, characterized in that the saturation magnetic flux density of the magnetic layer (2) in the range of 0.84 T, the oxygen content of this layer is to 1.26 T, (2) is in the range of 11 to 29 mol%, the residual magnetization Mr ∥ in the inner direction from the film surface and the residual magnetization Mr ⟂ in the direction perpendicular to the film surface have a Mr ∥ / Mr ⟂ <1 sufficient ratio and the recording density to be used 8 Kilobits per mm or less.

2. A magnetic recording medium according to claim 1, characterized in that the oxygen content in the magnetic layer ( 2 ) is 11 to 24 mol%.

3. A magnetic recording medium according to claim 1 or 2, characterized, that the squareness ratio after a correction demagnetizing field, by which the inclination of Hysteresis loop is 90 °, 0.88 to 1.00.

4. A method for producing a magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the surface of the non-magnetic substrate ( 1 ) before the formation of the magnetic layer ( 2 ) is treated with plasma or that one of at least one of the group Ti , Ge, Si, Sc and Re selected element existing first coating ( 3 ) between the non-magnetic substrate ( 1 ) and the magnetic layer ( 2 ) is inserted.