DE3226639A1

DE3226639A1 - Magnetic recording medium

Info

Publication number: DE3226639A1
Application number: DE19823226639
Authority: DE
Inventors: Tatsuji Odawara Kanagawa Kitamoto; Ryuji Shirahata; Akio Yanai
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1981-07-17
Filing date: 1982-07-16
Publication date: 1983-02-03
Also published as: JPS5814324A

Abstract

A magnetic recording medium is described which has a base material, according to a preferred embodiment with a surface roughness of 0.012 mu m or less, and at least two thin magnetic films which are vaporised onto the base material. The films are formed in an atmosphere of an oxidising gas by continuously changing the angle of incidence of a stream of vapour of a magnetic material on the moving base from a high value to a low value. By this means, the film acquires a curved and slanting column structure. The resulting magnetic recording media have improved weather resistance, a longer life and excellent electromagnetic properties.

Description

Magnetisches Auf zeichnunqsmedium. Magnetic recording medium.

Beschreibung Die Erfindung betrifft allgemein ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit eine magnetischen Aufzeichnungsschicht aus dünnen Filmen aus einem ferromagnetischen Metall; dieser dünne Film ist durch Schrägaufdampfen ausgebildet worden. Insbesondere bezieht die vorliegende Erfindung sich auf ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das ausgezeichnete elektromagnetische Eigenschaften, eine hohe Verschleißfestigkeit und eine exzellente Wetterbeständigkeit hat. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein magnetisches Aufzeichnungsmedium gemäß den obigen Ausführungen, das zusätzlich eine geringe Richtungs-Anisotropie hat. Description The invention relates generally to a magnetic recording medium with a magnetic recording layer made of thin films of a ferromagnetic Metal; this thin film has been formed by oblique evaporation. In particular the present invention relates to a magnetic recording medium, the excellent electromagnetic properties, high wear resistance and has excellent weather resistance. Furthermore, the present The invention provides a magnetic recording medium as set forth above, which additionally has a low directional anisotropy.

-In der Vergangenheit sind überwiegend magnetische Aufzeichnungsmedien verwendet worden, die durch Beschichtung hergestellt wurden. Die Fertigung solcher Aufzeichnungsmedien erfolgt im allgemeinen auf folgende Weise: Auf einen nicht-magnetischen Träger wird eine magnetische Beschichtüngsmasse aufgebracht, die wie folgt präpariert wird: Ein pulverförmiges magnetisches Material, wie beispielsweise ein magnetisches Pulver aus einem Oxid, wie beispielsweise y-Fe203, Co-dotiertes y-Fe203, Fe304, Co-dotiertes Fe304, eine Berthollid-Verbindung mit y-Fe203 und Fe304, Cr02 usw., einem ferromagnetischen Legierungspulver, oder ein ähnliches Material, wird in einem organischen Bindemittel dispergiert. Zu den herkömmlichen Bindemitteln gehören Vinylchlorid/Vinylazetat-Copolymere, Styrol-Butadien-Copolymere, Epoxid-Harze und Polyurethan-Harze. Die durch Beschichtung aufgebrachte Masse wird dann getrocknet, so daß sich eine magnetische Schicht ergibt.-In the past, magnetic recording media were predominantly used which were made by coating have been used. The manufacture of such Recording media is generally done in the following way: On a non-magnetic A magnetic coating compound is applied to the carrier, which is prepared as follows becomes: A powdery magnetic material such as a magnetic one Powder made of an oxide such as y-Fe203, Co-doped y-Fe203, Fe304, Co-doped Fe304, a Berthollid compound with y-Fe203 and Fe304, Cr02 etc., a ferromagnetic alloy powder, or similar material, is turned into a organic binder dispersed. Common binders include vinyl chloride / vinyl acetate copolymers, Styrene-butadiene copolymers, epoxy resins and polyurethane resins. The by coating Applied mass is then dried, so that a magnetic layer results.

In den letzten Jahren wurde es jedoch erforderlich, eine große Informationsmenge auf eine kleine Fläche des Aufzeichnungsrnaterials aufzuzeichnen; dies wird überlicherweise als Aufzeichnung mit hoher Dichte" bezeichnet.In recent years, however, it has become necessary to have a large amount of information record on a small area of the recording material; this will usually referred to as high density recording ".

Mit dem zunehmenden Bedarf von Aufzeichnungen mit hoher Dichte besteht gleichzeitig auch ein erhöhter Bedarf an magnetischen Aufzeichnungsmedien, die ohne Bindemittel hergestellt werden. Diese Aufzeichnungsmedien enthalten in ihren magnetischen Aufzeichnungsschichten keine organischen Bindemittel; dabei werden als magnetische Aufzeichnungschichten dünne Filme aus ferromagnetischen Metallen durch Bedampfungstechniken aufgebracht, wie beispielsweise Aufdampfen im Vakuum, Zerstäuben, Ionenplattieren oder ähnliche Techniken; als Alternative hierzu können auch Metallplattierverfahren angewandt werden, wie beispielsweise galvanische Metallabscheidung, stromlose Metallabscheidung oder ähnliche Techniken. Solche Aufzeichnungsträger haben in jüngster Zeit zunehmende Aufmerksamkeit erregt, wobei verschiedene Anstrengungen unternommen wurden, um sie in die Praxis umzusetzen.With the increasing demand for high density recording there is at the same time there is also an increased need for magnetic recording media that do not contain Binders are produced. These recording media contain in their magnetic Recording layers do not contain organic binders; doing so are called magnetic Recording layers thin films made of ferromagnetic metals by vapor deposition techniques applied, such as vacuum evaporation, sputtering, ion plating or similar techniques; as an alternative to this, metal plating processes can also be used such as electrodeposition, electroless metal deposition or similar techniques. Such recording media have recently been increasing Attracted attention, with various efforts being made to get it put into practice.

Herkömmliche magnetische Aufzeichnungsmedien, die durch das Beschichtungsverfahren gefertigt werden, benutzen im wesentlichen Metalloxide als magnetische Materialien.Conventional magnetic recording media produced by the coating method essentially use metal oxides as magnetic materials.

Diese Metalloxide haben jedoch eine Sättigungsmagnetisierung, die kleiner als die Sättigungsmagnetisierung von ferromagnetischen Metallen ist. Außerdem wurden Grenzwerte in Bezug auf die Möglichkeit erreicht, die Dicke solcher Aufzeichnungsmedien zu verringern, damit ihre Aufzeichnungsdichten erhöht werden können. Dies ist darauf zurückzuführen, daß die Verringerung der Dicke von einer Verringerung des Ausgangssignals begleitet ist. Außerdem müssen diese Aufzeichnungsmedien in komplizierten Verfah- ren unter Verwendung von großen Ablagerungseinrichtungen aufgebracht werden, um die-bei dem Herstellungsprozeß verwendeten Lösungsmittel wieder zu gewinnen. Entsprechend aufwendige Anlagen und Verfahren sind auch erforderlich, um Umweltverschmutzungen zu vermeiden. Andererseits enthalten magnetische Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel ferromagnetische Metalle, die eine Sättigungsmagnetisierung haben, die größer als die Sättigungsmagnetisierung der oben erwähnten Metalloxide ist. Solche Medien liegen in Form von dünnen Filmen vor, die keine nicht-magnetischen Substanzen, wie beispielsweise Bindemittel, enthalten. Deshalb können solche Aufzeichnungsmedien sehr dünne magnetische Filme aufweisen, wodurch Aufzeichnungen hoher Dichte möglich werden. Außerdem ist das Herstellungsverfahren einfach.However, these metal oxides have a saturation magnetization that is smaller than the saturation magnetization of ferromagnetic metals. aside from that Limits have been reached regarding the possibility of increasing the thickness of such recording media so that their recording densities can be increased. This is upon it attributed to the fact that the reduction in thickness is due to a reduction in the output signal is accompanied. In addition, these recording media have to go through complicated procedures. ren using large deposition facilities to be applied to the-at recover the solvent used in the manufacturing process. Corresponding Elaborate systems and processes are also required to avoid environmental pollution to avoid. On the other hand, magnetic recording media contain no binder ferromagnetic metals that have a saturation magnetization greater than is the saturation magnetization of the above-mentioned metal oxides. Such media lie in the form of thin films that do not contain non-magnetic substances, such as Binders included. Therefore, such recording media can be very thin magnetic Films, which enables high density recording. Also is the manufacturing process simple.

Mangetische Aufzeichnungsmedien, wie sie für die Aufzeichnung mit hoher Dichte eingesetzt werden, müssen magnetische Substanzen mit hoher Koerzitivkraft und mit verringerter Dichte verwenden. Berücksichtigt man dies, erscheinen magnetische Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel vielversprechend, weil es keine Probleme bereitet, ihre Dicke um eine Größenordnung unter die Dicke von magnetischen Aufzeichnungsmedien zu verringern, die mit den üblichen Beschichtungsverfahren hergestellt wurden. Außerdem besitzen solche Aufzeichnungsmedien hohe magnetische Flußdichten.Mangetic recording media such as those used for recording using high density are used, magnetic substances with high coercive force must be used and use with reduced density. Taking this into account, magnetic ones appear Binderless recording media show promise because there are no problems their thickness by an order of magnitude less than the thickness of magnetic recording media to reduce, which were produced with the usual coating processes. aside from that Such recording media have high magnetic flux densities.

Insbesondere der Einsatz von Vakuum-Aufdampftechniken für die Bildung der magnetischen Aufzeichnungsschichten ist vorteilhaft, weil als Abfall keine Lösungen anfallen, deren Beseitigung Probleme bereiten würde. Deshalb ist das Herstellungsverfahren einfach, und die Ablagerungsgeschwindigkeit des Films aus dem magnetischen Metall kann stark erhöht werden. Es sind Verfahren für die Her-Stellung von magnetischen Filmen bekannt, die dem magnetischen Aufzeichnungsmedium die gewünschte Koerzitivkraft geben; außerdem hat die Magnetisierungskurve des magnetischen Aufzeichnungsmediums die gewünschte Rechteckigkeit, wenn die Vorteile des Vakuumaufbringverfahrens benutzt werden. Ein Beispiel eines solchen Verfahrens ist die Schrägaufdampfung, wie sie in der US-PS 3 342 632 bzw. der US-PS 3 342 633 beschrieben wird. Bei diesem Verfahren erzeugt der größere Einfallswinkel der magnetischen Dampfströmung in Bezug auf die Senkrechte auf der Oberfläche des Substrates ein Aufzeichnungsmedium mit höherer Koerzitivkraft. Gleichzeitig tritt jedoch bei der Verwendung großer Einfallswinkel eine Verringerung des Aufdampfwirkungsgrades auf. Deshalb hat dieses Verfahren Nachteile in Bezug auf die Produktivität.In particular, the use of vacuum evaporation techniques for education of the magnetic recording layers is advantageous because it does not waste any solutions incurred, the removal of which would cause problems. Therefore the manufacturing process simple, and the deposition rate of the magnetic metal film can can be greatly increased. They are methods of making magnetic films known to give the magnetic recording medium the desired coercive force give; also has the magnetization curve of the magnetic recording medium the desired squareness when taking advantage of the vacuum deposition process will. An example of such a process is oblique vapor deposition, like them in U.S. Patent 3,342,632 and U.S. Patent 3,342,633, respectively. In this procedure creates the greater angle of incidence of the magnetic vapor flow in relation to the Perpendicular to the surface of the substrate a recording medium with higher Coercive force. At the same time, however, occurs when using large angles of incidence a reduction in the evaporation efficiency. This method therefore has disadvantages in terms of productivity.

Magnetische Aufzeichnungsmedien, die mit dünnen Filmen aus einem ferromagnetischen Metall versehen werden, müssen eine hohe Korrosionsfestigkeit, Abriebfestigkeit und Laufstabilität haben. Denn das magnetische Aufzeichnungsmedium und der für die Aufzeichnung bzw. Wiedergabe vorgesehene Magnetkopf führen eine Relativbewegung mit hoher Geschwindigkeit durch, wenn sie während der Aufzeichnung, der Wiedergabe oder während des Löschens von magnetischen Signalen in Kontakt miteinander kommen. Dabei muß der glatte und stabile Lauf des magnetischen Aufzeichnungsmediums gewährleistet werden. Weiterhin muß ein Verschleiß oder ein Bruch bzw. Riß vermieden werden, wie er durch den kontinuierlichen Kontakt mit dem Magnetkopf verursacht werden könnte. Weiterhin wird angestrebt, daß im Laufe der Zeit nur eine kaum merkliche oder im optimalen Fall keine Verringerung oder Löschung der auf den magnetischen Aufzeichnungsträger aufgezeichneten Signale auftritt; die- se Xnderung der Signale kann beispielsweise durch Korrosion beim Lagern verursacht werden. Um die Lebensdauer und die Wetterbeständigkeit zu verbessern, sind verschiedene Arten von Shcutzschichten untersucht worden; hierzu darf auf die folgenden US-Patentschriften verwiesen werden:US-PS 2 671 034, US-PS 3 466 156, US-PS 4 069 360, US-PS 4 245 008 und US-PS 4 152 469. Solche Schutzschichten haben jedoch nur eine begrente Dicke, da durch die Zwischenlage der Schicht zwischen dem magnetischen Aufzeichnungsmedium und den Magnetköpfen Raum verloren geht.Magnetic recording media made with thin films of a ferromagnetic Metal to be provided must have high corrosion resistance, abrasion resistance and have running stability. Because the magnetic recording medium and the one for the Magnetic heads intended for recording or reproduction lead a relative movement at high speed through if during recording, playback or come into contact with each other during the erasure of magnetic signals. The smooth and stable running of the magnetic recording medium must be ensured will. Furthermore, wear or breakage or crack must be avoided, such as it could be caused by continuous contact with the magnetic head. Furthermore, the aim is that over time only a barely noticeable or im optimal case no reduction or erasure of the data on the magnetic recording medium recorded signals occurs; the- signals can change for example caused by corrosion during storage. About the lifespan and improving weather resistance are different types of protective layers been examined; in this regard, reference may be made to the following US patents: US-PS 2,671,034; U.S. Patent 3,466,156; U.S. Patent 4,069,360; U.S. Patent 4,245,008; and U.S. Patent 4,152,469. However, such protective layers only have a limited thickness because of the intermediate layer the layer between the magnetic recording medium and the magnetic heads get lost.

Es ist deshalbnotwendig, der magnetischen Aufzeichnungsschicht selbst eine lange Lebensdauer und eine hohe Wetterbeständigkeit zu geben.It is therefore necessary to use the magnetic recording layer itself to give a long service life and high weather resistance.

Um ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das mit einem dünnen Film aus einem ferromagnetischen Metall versehen ist, als Material mit hoher Aufzeichnungsdichte voll auszunutzen, muß der Träger eine glatte Oberfläche auf der Seite haben, auf der der dünne Film aus dem ferromagnetischen Metall vorgesehen werden soll. Wenn jedoch die Oberfläche des Trägers glatt ist, wird es schwierig, dem magnetischen Aufzeichnungsmedium eine ausreichende Lebensdauer und Wetterbeständigkeit zu geben.To a magnetic recording medium covered with a thin film made of a ferromagnetic metal as a high density material To take full advantage of this, the support must have a smooth surface on the side on which the thin film of the ferromagnetic metal is to be provided. if however, the surface of the support is smooth, it becomes difficult to use the magnetic To give recording medium sufficient durability and weather resistance.

Außerdem hat ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit nur einer einzigen Schicht aus einem dünnen, ferromagnetischen Film, der durch das übliche Schrägaufdampfen hergestellt worden ist, noch den Nachteil, daß seine elektromagnetischen Eigenschaften und Laufeigenschaften beim Vorwärts- und Rückwärtslaufen relativ zu dem Magnetkopf sich stark unterscheiden. Das Auftreten dieser Richtungs-Anisotropie, die nichts mit der axialen Anisotropie zu tun hat, verursacht dann Schwierigkeiten, wenn ein solches magnetisches Aufzeichnungsmedium in der Praxis eingesetzt wird.In addition, a magnetic recording medium has only a single one Layer made of a thin, ferromagnetic film, created by the usual oblique vapor deposition still has the disadvantage that its electromagnetic properties and running properties in forward and reverse running relative to the magnetic head differ greatly. The occurrence of this directional anisotropy that nothing has to do with axial anisotropy, then causes difficulties when a such a magnetic recording medium has been put to practical use will.

Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium zu schaffen, welches nicht nur die oben beschriebenen Mängel vermeidet, sondern auch exzellente elektromagnetische Eigenschaften hat, wozu die herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel verbessert werden. Es soll deshalb ein magnetisches Aufzeichnungsmedium ohne Bindemittel mit exzellenten magnetischen Eigenschaften, gutem Verschleißwiderstand und hoher Wetterbeständigkeit vorgeschlagen werden, das gleichzeitig auch stark verbesserteelektromagnetische Eigenschaften zeigt.It is therefore an object of the present invention to provide a magnetic To provide a recording medium which not only has the above-described shortcomings avoids, but also has excellent electromagnetic properties, including the conventional magnetic recording media without binders can be improved. It should therefore be a binderless magnetic recording medium with excellent magnetic properties, good wear resistance and high weather resistance be proposed that at the same time also greatly improved electromagnetic Properties shows.

Dies wird erfindungsgemäß durch ein magnetisches Auf zeichnungsmedium erreicht, das in einer Atmosphäre aus einem oxydierenden Gas durch Verdampfung eines magnetischen Metallmaterials von einer Verdampfungsquelle hergestellt wird, die eine entsprechende Dampfströmung liefert. Diese Dampfströmung trifft in einem bestimmten Winkel auf ein bewegliches Basismaterial auf, so daß es auf diesem Basismaterial in Schichten abgelagert wird; dadurch wird eine aufgedampfte Schicht erzeugt, indem mindestens zwei auf -gedampfte Filme übereinander abgelagert werden. Jeder Film hat eine gebogene bzw. gekrümmte und geneigte Säulenstruktur, die ausgebildet wird, indem kontinuierlich der Einfallswinkel der Dampfströmung auf das sich bewegende Basismaterial von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert geändert wird.According to the invention, this is achieved by a magnetic recording medium achieved that in an atmosphere from an oxidizing gas by evaporation of a magnetic metal material is produced by an evaporation source that supplies a corresponding steam flow. This steam flow hits in a certain Angle on a movable base material so that it is on this base material deposited in layers; this creates a vapor-deposited layer by at least two vapor-deposited films are deposited one on top of the other. Any movie has a curved or curved and inclined columnar structure that is formed by continuously changing the angle of incidence of the steam flow on the moving Base material is changed from a high value to a low value.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 und 2 Schnitte durch den Schichtaufbau von magnetischen Aufzeichnungsmedien nach der vorliegenden Erfindung, und Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung, wie sie für die Beispiele der Beschreibung verwendet wird.The invention is illustrated below with the aid of exemplary embodiments Explained in more detail with reference to the accompanying schematic drawings. Show it Fig. 1 and 2 after sections through the layer structure of magnetic recording media of the present invention, and FIG. 3 is a schematic representation of a device, as used for the examples in the description.

Der Begriff Schrägaufdampfung, wie er hier verwendet wird, umfaßt ein Verfahren, bei dem eine Gasströmung aus einem verdampften, ferromagnetischen Metall auf die Oberfläche eines Basismaterials in einem Winkel o zur Senkrechten der Oberfläche des Basismaterials auftrifft und auf dem Basismaterial abgelagert wird, wodurch ein dünner magnetischer Film entsteht. Bei der Ablagerung eines dünnen magnetischen Films durch die Schrägaufdampfung benutzt die vorliegende Erfindung eine bestimmte Maßnahme, wenn die Ablagerung des dünnen magnetischen Films beginnt.The term oblique evaporation as used herein includes a process in which a gas flow from a vaporized, ferromagnetic Metal on the surface of a base material at an angle o to the vertical hits the surface of the base material and deposited on the base material creating a thin magnetic film. When depositing a thin magnetic film by oblique evaporation utilizes the present invention a certain measure when the deposition of the magnetic thin film starts.

Die Schrägaufdampfung wird mit einem Einfallswinkel Gmax gestartet und der'Einfallswinkel kontinuierlich geändert, so daß er sich kontinuierlich verringert, während sich das Basismaterial bewegt. Die Schrägaufdampfung wird bei einem minimalen Einfallswinkel #min beendet. Darüberhinaus werden zwei oder mehr dünne magnetische Filme übereinander laminiert, also übereinander aufgebracht.The oblique vapor deposition is started with an angle of incidence Gmax and the angle of incidence changed continuously so that it decreases continuously, while the base material is moving. The oblique evaporation is at a minimum Angle of incidence #min ended. In addition, two or more thin ones become magnetic Films laminated one on top of the other, i.e. applied one on top of the other.

Im allgemeinen sollen die bei dem Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung verwendeten Einfallswinkel im Bereich von 30 ° bis 900 liegen; insbesondere sollte der maximale Einfallswinkel 8marx im Bereich von 60 bis 900 und der minimale Einfallswinkel Gmin im Bereich von 30 bis 750 liegen.In general, those in the recording medium of the present invention should be used Invention used angles of incidence in the range of 30 ° to 900; in particular the maximum angle of incidence should be in the range of 60 to 900 and the minimum 8marx Angle of incidence Gmin are in the range from 30 to 750.

Spezifische Beispiele für magnetische Metalle, die bei dem Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung verwendet werden können, sind Metalle wie Fe, Co, Ni usw., sowie ferromagnetische Leqierunqen wie beissielsweise Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Wh-A1, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr> Be-co-Ni-crl I usw. Besonders bevorzugte magnetische Metalle sind Co sowie Legierungen mit einem Kobalt-Gehalt von 75 Gew.-%. Die Gesamtdicke der laminierten magnetischen dünnen Filme muß einerseits groß genug sein, um dem magnetischen Aufzeichnungsmedium ein ausreichend hohes Ausgangssignal zu geben, und andererseits klein genug sein, um die Aufzeichnung mit hoher Dichte zu ermöglichen. Deshalb liegt sie im allgemeinen im Bereich von 0,02 am bis 5.0 ßm, insbesondere im Bereich von 0,05 am bis 2,0 µm. Die Dicke der dünnen magnetischen Filme kann so ausgelegt werden, daß die Dicken der verschiedenen Filme einander gleich sind. Als Alternative hierzu können die Dicken e 50 % der Dicke des dünnen,magnetischen Films betragen, der sich am nächsten bei dem Träger befindet.Specific examples of magnetic metals used in the recording medium according to the present invention Can be used are metals like Fe, Co, Ni etc., as well as ferromagnetic Leqierunqen like for example Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Wh-A1, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr> Be-co-Ni- crl I, etc. Particularly preferred magnetic metals are Co and alloys with a Cobalt content of 75% by weight. The total thickness of the laminated magnetic thin On the one hand, films must be large enough to accommodate the magnetic recording medium to give a sufficiently high output signal and, on the other hand, be small enough to enable high density recording. Therefore it lies in general in the range from 0.02 μm to 5.0 μm, in particular in the range from 0.05 μm to 2.0 μm. The thickness of the magnetic thin films can be designed so that the thicknesses of different films are equal to each other. As an alternative to this, the Thicknesses e 50% of the thickness of the thin magnetic film that is closest to each other is located at the carrier.

Zu den Verdampfungsverfahren, die zur Herstellung des Aufzeichnungsmediums nach der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden können, gehören nicht nur die üblichen Vakuum-Ablagerungsprozesse, wie sie in der oben erwähnten US-PS 3 342 632 beschrieben werden, sondern andere Verfahren zur Ausbildung von dünnen Filmen auf einem Träger in einer Atmosphäre aus verdampften Molekülen mit einer mittleren freien Weglänge, die durch Ionisieren oder Beschleunigen der Dampfströmung durch Anlegen eines elektrischen Feldes oder eines magnetischen Feldes verlängert worden ist, oder durch Bestrahlung mit Elektronenstrahlen.Regarding the evaporation processes used to manufacture the recording medium can be used according to the present invention not only include conventional vacuum deposition processes such as those described in U.S. Patent 3,342,632 mentioned above but other methods of forming thin films a carrier in an atmosphere of vaporized molecules with a mean free Path length caused by ionizing or accelerating the steam flow by applying it an electric field or a magnetic field has been extended, or by irradiation with electron beams.

Zu den zuletzt erwähnten Verfahren gehören insbesondere die Aufdampfung im elektrischen Feld, wie es beispielswei- se in der japanischen Patentanmeldung (OPI) 149008/76 der Anmelderin beschrieben ist, sowie das Ionisierungs-Aufdampfverfahren, wie es in den japanischen Patentveröffentlichungen 11525/68, 20484/71, 26579/72 und 45439/74 sowie den japanischen Patentanmeldungen (OPI) 33890/74 34483/74 und 54235/74 erläutert ist, Basismaterialien, die für die Aufzeichnungsmedien nach der vorliegenden Erfindung bevorzugt eingesetzt werden, sind insbesondere Kunststoff-Basismaterialien, wie beispielsweise Polyethylen-Terephthalat, Polyimide, Polyamide, Polivinylchlorid, Zellulosetriazetat, Polykarbonate, Polyethylen, Polyethylenaphthalat und ähnliche Materialien.The last-mentioned processes include, in particular, vapor deposition in an electric field, as it is, for example, se in Japanese Patent application (OPI) 149008/76 of the applicant is described, as well as the ionization vapor deposition process, as in Japanese Patent Publications 11525/68, 20484/71, 26579/72 and 45439/74 and Japanese Patent Applications (OPI) 33890/74 34483/74 and 54235/74 is explained, base materials for the recording media according to the The present invention are preferably used, are in particular plastic base materials, such as polyethylene terephthalate, polyimides, polyamides, polyvinyl chloride, Cellulose triacetate, polycarbonates, polyethylene, polyethylene naphthalate and the like Materials.

Besonders geeignet ist ein Basismaterial aus den oben beschriebenen, flexiblen Kunststoffen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 ßm oder weniger Der Begriff "Oberflächenrauhigkeit (ra) bezieht sich auf die mittlere Zentrumslinien-Rauhigkeit, wie sie in der japanischen Industrienorm JIS-B0601, Paragraph 5 beschrieben ist, wobei die Grenze als 0,25 mm genommen wird. Außerdem können als Basismaterial Materialien verwendet werden, die auf folgende Weise hergestellt werden; auf den oben beschriebenen Kunststoffbasen werden Neben- bzw. Unterschichten aufgebracht; die Oberflächenrauhigkeit dieser Nebenschich ten wird dann so eingestellt, daß sie 0,012 ßm oder weniger beträgt.A base material from the above-described, flexible plastics with a surface roughness (ra) of 0.012 µm or less The term "surface roughness (ra) refers to the mean center line roughness, as described in Japanese Industrial Standard JIS-B0601, Paragraph 5, taking the limit as 0.25 mm. Materials can also be used as the base material can be used, which are manufactured in the following manner; on the one described above Plastic bases are applied secondary or sub-layers; the surface roughness this sub-layer is then adjusted to be 0.012 µm or less.

Es ist zweckmäßig, als oxydierendes Gas Sauerstoff zu verwenden. Dabei kann Sauerstoff allein oder im Gemisch mit anderen Gasen eingesetzt werden. Der Druck der Aufdampfatmosphäre, der das oxydierende Gas enthält, sollte im Bereich von 1 x 10 3 bis 1 x 10 6 Torr liegen.It is advisable to use oxygen as the oxidizing gas. Included Oxygen can be used alone or in a mixture with other gases. Of the Pressure of the vapor deposition atmosphere containing the oxidizing gas should be in the range from 1 x 10 3 to 1 x 10 6 Torr.

Zusätzlich kann zwischen dem dünnen magnetischen Film und einem weiteren, darauf laminierten magnetischen Film eine Schicht aus einem nicht magnetisierbaren Material angeordnet werden. Bevorzugte Materialien für die Bildung dieser nicht-magnetischen Zwischenschicht sind beispielsweise Cr, Si, Al, Mn, Bi, Ti, Sn, Pb, In, Zn, Cu, Oxide dieser Metalle sowie Nitride dieser Metalle.In addition, between the thin magnetic film and one Another magnetic film laminated thereon is a layer of a non-magnetizable one Material to be arranged. Preferred materials for forming these non-magnetic Intermediate layers are, for example, Cr, Si, Al, Mn, Bi, Ti, Sn, Pb, In, Zn, Cu, Oxides of these metals and nitrides of these metals.

Die Figuren 1 und 2 zeigen schematisch Beispiele für den Schichtaufbau von magnetischen Aufzeichnungsmedien, die gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung präpariert worden sind.Figures 1 and 2 show schematically examples of the layer structure of magnetic recording media made in accordance with embodiments of the present invention Invention have been prepared.

Bei dem magnetischen Aufzeichnungsmedium nach Fig. 1 sind zwei aufgedampfte Filme dargestellt. Jeder dieser Filme hat eine gebogene bzw. gekrümmte und geneigte Säulenstruktur, die durch Ablagerung einer Dampf strömung erhalten wird. Die Dampfströmung wird hergestellt, indem ein magnetisches Metall von einer Verdampfungsquelle verdampft wird. Die Strömung trifft dann auf ein bewegliches Basis material in einen Atmosphäre aus einem oxydierenden Gas in einem Winkel auf, der sich kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert ändert. Die Filme werden laminiert, also übereinander abgelagert, so daß ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung orientiert sind. D.h. also, daß aufgedampfte magnetische Filme, nämlich eine erste Schicht 1 und eine zweite Schicht 2, auf dem Träger B 1 ausgebildet werden. Die magnetischen Filme 1 und 2, welche die jeweiligen Schichten bilden, weisen jeweils gekrümmte und geneigte Säulenstrukturen i1 bzw 12 auf. Die Säulenstruktur 11 in der ersten Schicht 1 und die Säulenstruktur 12 in der zweiten Schicht 2 sind in der gleichen Richtung geneigt. In jeder der geneigten Säulenstrukturen 11 und 12 ist der untere Teil der Säule, der sich näher bei dem Träger B1 befindet, in einem Winkel mit höherem Wert zu der Senkrechten auf der Oberfläche des Trägers B1 geneigt. Wenn sich in der Säule der Abstand von dem Träger B1 vergrößert, wird der Neigungswinkel zu der oben beschriebenen Senkrechten allmählich kleiner und kleiner. Obwohl die'magnetische Aufzeichnungsschicht bei der Ausführungsform nach Fig. 1 die Struktur einer Doppelschicht hat, kann als Alternative auch eine Mehrschichten-Struktur verwendetwerden, die aus mehr als zwei Filmen besteht. Eine bevorzugte Struktur enthält von zwei bis sechs Schichten.In the magnetic recording medium of Fig. 1, two are evaporated Films shown. Each of these films has a curved or curved and inclined Column structure obtained by the deposition of a steam flow. The steam flow is made by evaporating a magnetic metal from an evaporation source will. The flow then hits a moving base material in an atmosphere from an oxidizing gas at an angle that extends continuously from a changes high value to low value. The films are laminated, i.e. one on top of the other deposited so that their individual, inclined columnar structures in the same Direction oriented. That is, evaporated magnetic films, namely a first layer 1 and a second layer 2 on which carrier B 1 are formed. The magnetic films 1 and 2 constituting the respective layers each have curved and inclined column structures i1 and 12, respectively. The column structure 11 in of the first layer 1 and the pillar structure 12 in the second layer 2 are shown in FIG inclined in the same direction. In each of the inclined pillar structures 11 and 12 is the lower part of the column, which is closer to the beam B1, in one angle with a higher value inclined to the normal on the surface of the support B1. if as the distance from the beam B1 in the column increases, the angle of inclination becomes gradually smaller and smaller to the perpendicular described above. Although the 'magnetic The recording layer in the embodiment of FIG. 1 shows the structure of a double layer alternatively, a multilayer structure can also be used which consists of more than two films. A preferred structure contains from two to six layers.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium mit dem Schichtaufbau nach Fig. 1 hat nicht nur exzellente elektromagnetische Eigenschaften, sondern auch einen hohen Verschleißwiderstand und eine gute Wetterfestigkeit.The magnetic recording medium with the layer structure of Fig. 1 not only has excellent electromagnetic properties, but also has one high wear resistance and good weather resistance.

Bei dem Schichtaufbau nach Fig. 2 hat das magnetische Aufzeichnungsmedium zusätzlich zu den oben beschriebenen, exzellenten Eigenschaften noch eine geringe Richtungsanisotropie Ein herkömmliches Aufzeichnungsmedium mit nur einedeinzigen Schicht aus einem dünnen, ferromagnetischen Film, der durch die übliche Schrägaufdampfung ausgebildet worden ist, hat nämlich den Nachteil, daß sich sowohl die elektromagnetischen Eigenschaften als auch die Laufeigenschaften bei der Vorwärts- und Rückwärtsbewegung relativ zu dem Magnetkopf stark unterscheiden. Diese Differenzen werden aus den folgenden Beispielen 3, 4 und 5 ersichtlich. Die oben beschriebene Richtungsanisotropie macht sich dann bemerkbar, wenn ein solches magnetisches Aufzeichnungsmedium in der Praxis eingesetzt wird.In the layer structure of Fig. 2, the magnetic recording medium has in addition to the excellent properties described above, there is also a small one Directional Anisotropy A conventional recording medium with only a single one Layer made of a thin, ferromagnetic film, which is created by the usual oblique vapor deposition Has been designed, namely has the disadvantage that both the electromagnetic Properties as well as the running properties when moving forwards and backwards differ greatly relative to the magnetic head. These differences are derived from the Examples 3, 4 and 5 below. The directional anisotropy described above becomes noticeable when such a magnetic recording medium is in is used in practice.

Wenn jedoch das magnetische Aufzeichnungsmedium so hergestellt wird, daß es den Schichtaufbau nach Fig. 2 hat, so läßt sich das Problem der Richtungsansiotropie lösen.However, when the magnetic recording medium is made so, that it has the layer structure according to FIG. 2, the problem of directional anisiotropy to solve.

Aufgedampfte magnetische Schichten werden mit der ersten Schicht 3 und der zweiten Schicht 4 ausgebildet. Die Schichten 3 und 4 werden auf einem Träger B2 hergestellt.Vapor-deposited magnetic layers are used with the first layer 3 and the second layer 4 are formed. Layers 3 and 4 are on one Carrier B2 produced.

Die magnetische Filme 3 und 4, welche die jeweiligen Schichten bilden, haben jeweils gekrümmte und geneigte Säulenstrukturen 13 bzw. 14. Die Neigungsrichtung der Säulenstruktur 13 in der ersten Schicht und die der Säulenstruktur 14 in der zweiten Schicht 4 kreuzen einander.The magnetic films 3 and 4, which constitute the respective layers, have curved and inclined columnar structures 13 and 14, respectively. The direction of inclination of the pillar structure 13 in the first layer and that of the pillar structure 14 in FIG second layer 4 cross each other.

In jeder der geneigten Säulenstrukturen 13 und 14 ist der Neigungswinkel in der Säule an dem Punkt , der sich am nächsten zu dem Träger B2 befindet, höher, während der Neigungswinkel geringer und geringer wird, wenn sich der Abstand in der Säule von dem Träger B2 vergrößert. Obwohl die magnetische Aufzeichnungsschicht nach Fig. 2 eine Doppelschichtstruktur hat, kann als Alternative hierzu auch eine Mehrschichtstruktur verwendet werden, die aus zwei bis sechs aufgedampften Filmen besteht.In each of the inclined columnar structures 13 and 14, the inclination angle is higher in the column at the point closest to the beam B2, while the angle of inclination becomes smaller and smaller as the distance is in of the column enlarged by the support B2. Although the magnetic recording layer 2 has a double-layer structure, as an alternative to this, a Multi-layer structure made up of two to six vapor-deposited films can be used consists.

Die vorliegende Erfindung soll nun im Detail unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele erörtert werden. Diese Beispiele stellen jedoch keine Einschränkung des Grundprinzips der Erfindung dar.The present invention will now be described in detail with reference to FIG the following examples are discussed. However, these examples are not limiting the basic principle of the invention.

BEISPIEL 1 Der Grundaufbau einer Verdampfungsvorrichtung 20 ist in Fig. 3 schematisch dargestellt. Diese Vorrichtung 20 wurde dazu verwendet, dieses Beispiel durchzuführen; dabei wurden dünne, maghetische Kobaltfilme mit dem Schrägbedampfungsverfahren auf einen 23 ßm dicken Polyethylenterephthalat-Film B aufgedampft Die Aufdampfung wurde durchgeführt, während der Film B längs der äußeren Umfangsfläche eines Kühlzylinders 23 transportiert wurde, wodurch ein Magnetband hergestellt wurde. Als Verdampfungsquelle 21 wurde ein Elektronenstrahl-Heizsystem einer Verdampfungsquelle verwendet. Die Verdampfung wurde bei einem Druck von 1 x 10 Torr im Innern der Vakuumkammer durchgeführt, wobei Sauerstoffgas über einen Einlaß zugesetzt wurde.EXAMPLE 1 The basic structure of an evaporation device 20 is shown in FIG Fig. 3 shown schematically. This device 20 was used to this Perform example; thin, magnetic cobalt films were created using the oblique vapor deposition process Evaporated onto a 23 µm thick polyethylene terephthalate film B. Evaporation was performed while film B along the outer peripheral surface of a cooling cylinder 23 was transported, whereby a magnetic tape was manufactured. As a source of evaporation 21 became an electron beam heating system of an evaporation source used. Evaporation was carried out at a pressure of 1 × 10 Torr inside the vacuum chamber carried out with oxygen gas being added through an inlet.

Das Bezugszeichen 24 in Fig. 3 bezeichnet eine die Verdampfung verhindernde Platte. Die Gesamtdicke der magnetischen Filme wurde gesteuert6 um eine Dicke von 2000 2 zu erhalten. Bei der Verdampfung wurden für die Einfallswinkel ein Winkel omax von 900 und ein Winkel gmin von 40 verwendet. Der Basisfilm wurde kontinuierlich in einer solchen Richtung bewegt, daß sich der Einfallswinkel für die Verdampfung kontinuierlich von 900 auf 400 änderte und gleichzeitig der magnetische Film aufgedampft wurde.Reference numeral 24 in Fig. 3 denotes an evaporation preventive Plate. The total thickness of the magnetic films was controlled by 6 µm in thickness 2000 to get 2. An angle was used for the angles of incidence during evaporation omax of 900 and an angle gmin of 40 are used. The base film became continuous moves in such a direction that the angle of incidence for evaporation changes continuously changed from 900 to 400 and at the same time the magnetic film was evaporated became.

Der aufgedampfte magnetische Film wurde aufgewickelt.The evaporated magnetic film was wound up.

Die aufgewickelte Filmrolle wurde dann zurückgespult und auf die oben beschriebene Weise nochmals der Schrägaufdampfung-unterworfen. Damit wurde ein Magnetband mit dem Schichtaufbau nach Fig. 1 erhalten.The wound roll of film was then rewound and onto the top described manner again subjected to oblique vapor deposition. That made a magnetic tape obtained with the layer structure according to FIG.

Die elektromagnetischen Eigenschaften und- die Lebensdauer bei Stillstand des so erhaltenen Magnetbandes wurden unter Verwendung eines VHS Systems eines Videobandaufzeichnungsgerätes (VTR) bestimmt. Außerdem wurden weitere Magnetbänder hergestellt, die einen anderen Schichtaufbau der magnetischen Aufzeichnungsschicht und eine andere Oberflächenrauhigkeit des als Basisfilm verwendeten Polyethylenterephthalat-Films hatten. Dabei wurden die Koerzitivkräfte dieser Magnetbänder, ihre Entmagnetisierungsgrade, ihre Lebensdauer bei Stillstand, ihre Video-Ausgangssignale bei 4 MHz und ihr Modulationsrauschen überprüft; dieses Modulationsrauschen wurde anhand von 4 MHz-Signalen beobachtet, die unter Verwendung einer Modulationsfrequenz von 3 MHz aufgezeichnet wurden. Die erhaltene Werte sind in Tabelle 1 dargestellt. Die Entmagnetisierung wurde überprüft, um die Wetterbeständigkeit des Magnetbandes festzustellen; zu diesem Zweck wurde die Verringerung der magnetischen Sättigungsflußdichte (Bm) gemessen, nachdem das Magnetband sieben Tage lang bei einer Temperatur von 600C unter einer relativen Feuchtigkeit von 90 % gehalten wurde. Die Entmagnetisierung ist in Tabelle 1 durch einen Zahlenwert dargestellt, der erhalten wurde, indem das Verhältnis der magnetischen Sättigungsflußdichte nach der 7-tägigen Lagerung unter den oben beschriebenen Umständen (Bm7) zu der anfänglichen magnetischen Flußdichte (BmO) von 1 subtrahiert wurde, d.h., es wurde der Wert 1 - Bm7/BmO berechnet.The electromagnetic properties and - the service life at standstill of the magnetic tape thus obtained were recorded using a VHS system of a video tape recorder (VTR) determined. In addition, other magnetic tapes were produced, which was a different one Layer structure of the magnetic recording layer and another surface roughness of the polyethylene terephthalate film used as the base film. There were the coercive forces of these magnetic tapes, their degrees of demagnetization, their service life at standstill, their video output signals at 4 MHz and their modulation noise checked; this modulation noise was observed using 4 MHz signals, recorded using a modulation frequency of 3 MHz. the The values obtained are shown in Table 1. The demagnetization has been checked, about the weather resistance of the magnetic tape determine; to this The purpose of this was to measure the reduction in the saturation magnetic flux density (Bm), after the magnetic tape for seven days at a temperature of 600C below a relative humidity of 90% was maintained. The demagnetization is shown in the table 1 represented by a numerical value obtained by dividing the ratio of saturation magnetic flux density after 7 days of storage among those described above Circumstances (Bm7) subtracted from 1 to the initial magnetic flux density (BmO) , i.e. the value 1 - Bm7 / BmO was calculated.

Tabelle 1 Elektromagnetische Eigenschaften Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmag- Lebensdauer Ausgangs- Rauschen der magnetischen rauhigkeit kraft (Oe) netisierung im Stillstand signal (dB) Schicht der Basis (%) (min) (dB) (µm) 0.016 630 18 7 0 5 Dicke einer 2000 Å 0.012 610 20 7 3 7 einzigen 0.008 630 19 6 9 6 Schicht Dicke der oberen Schicht 1000 Å 0.016 800 10 15 13 3 Dicke der un- 0.012 820 8 35 19 2 teren Schicht 1000 Å 0.008 820 7 42 25 2 Dicke der oberen Schicht 800 Å 0.016 810 16 13 12 1.0 Dicke der unte- 0.012 820 9 30 17 1.0 ren Schicht 1200 Å 0.008 820 6 35 20 2.0 Dicke der oberen Schicht 600 Å 0.016 850 9 18 10 0.5 Dicken der Zwi- 0.012 910 8 38 20 1.0 schenschicht 700 Å 0.008 930 6 45 22 0.5 Dicke der unteren Schicht 700 Å Wie man aus Tabelle 1 erkennen kann, sind auf jedes Magnetband dünne magnetische Filme laminiert, die auf eine Basis aufgedampft werden, wobei die Einfallswinkel der Co-Dampfströmungen kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert geändert werden; dadurch können ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung orientiert werden; diese Magnetbänder haben nicht nur gute magnetische Eigenschaften, sondern auch exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und eine hohes Verhältnis Signal/Rauschen, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen magnetischen Film. Insbesondere Magnetbänder mitMagnetfiirn, die : auf Kunststoffbasen mit Oberflächenrauhigkeiten (ra) von 0,012 wm oder weniger aufgedampft worden sind, haben verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und verbesserte Wiedergabe-Ausgangssignale. Table 1 Electromagnetic properties Layer structure Surface Coercive Demag life Output noise of the magnetic roughness force (Oe) netization at standstill signal (dB) Layer of the base (%) (min) (dB) (µm) 0.016 630 18 7 0 5 thickness of a 2000 Å 0.012 610 20 7 3 7 single 0.008 630 19 6 9 6 layer thickness of the top layer 1000 Å 0.016 800 10 15 13 3 thickness of the un- 0.012 820 8 35 19 2 upper layer 1000 Å 0.008 820 7 42 25 2 thickness of the upper layer 800 Å 0.016 810 16 13 12 1.0 Thickness of the lower 0.012 820 9 30 17 1.0 outer layer 1200 Å 0.008 820 6 35 20 2.0 thickness of top layer 600 Å 0.016 850 9 18 10 0.5 thickness of the intermediate 0.012 910 8 38 20 1.0 layer 700 Å 0.008 930 6 45 22 0.5 thickness of the lower layer 700 Å As can be seen from Table 1, are thin magnetic films are laminated on each magnetic tape, which are vapor-deposited on a base the angles of incidence of the Co-vapor flows continuously from one high value can be changed to low value; this allows your individual, inclined columnar structures are oriented in the same direction; these magnetic tapes not only have good magnetic properties but also excellent weather resistance, Lifetime, a good output signal and a high signal / noise ratio, compared to a magnetic tape with a single thin magnetic one Movie. In particular, magnetic tapes with a magnetic filament that: On plastic bases with surface roughness (ra) of 0.012 wm or less have been evaporated, have improved weather resistance, longer life and improved playback output signals.

BEISPIEL 2 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 1 wurden dünne magnetische Filme aus einer Co/Ni-Legierung (Ni: 15 Gew.-%) auf einen 14 Am dicken Polyethylentephthalat-Film unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägaufdampfen aufgebracht, um ein Magnetband herzustellen. Der Druck im Innern der Verdampfungskammer wurde bei Einführung von Sauerstoff auf 1,4 x 10 4 Torr eingestellt; der maximale Einfallswinkel 0marx betrug 850 und der minimale Einfallswinkel 0min betrug 600. Die Gesamtdicke der magnetischm Filme wurde auf 1500 A eingesti1t. -Die Eigenschaften der Magnetbänder, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit des Basismaterials unterschieden, sind in Fig 2 zusammengestellt. Aus Vergleichszwecken wurden Eigenschaften von Magnetbändern, die ohne Einführung von Sauerstoffgas hergestellt wurden, ebenfalls in Tabelle 2 angegeben. Tabelle 2 Elektromagnetische Schichtaufbau Sauerstoff- Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften der magnetischen Atmosphäre Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen Schicht beim Auf- der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) dampfen (µm) 0.017 870 25 5 10 7 Dicke einer vorhanden 0.012 900 24 8 8 5 einzigen Schicht 1500 Å 0.007 890 22 7 9 7 Dicke der oberen Schicht 750 Å 0.017 970 14 15 12 2.0 Dicke der nicht vorhanden 0.012 1020 6 40 24 0.5 magnetischen Al 200 Å Zwischenschicht 0.007 1040 4 45 25 0.5 Dicke der unteren Schicht 750 Å Dicke der oberen Schicht 750 Å 0.017 960 12 12 13 1.5 Dicke der unte- vorhanden 0.012 1000 5 43 21 0.5 ren Schicht 750 Å 0.007 1040 4 47 25 0.5 Dicke der obe- 0.017 850 18 12 14 3 ren Schicht 750 Å 0.012 840 8 36 22 4 nicht vorhanden Dicke der unteren Schicht 750 Å 0.007 870 7 38 23 4 Tabelle 2 zeigt eindeutig, daß die Magnetbänder, bei denen Magnetfilme unter kontinuierlicher Änderung der Einfallswinkel der Co /Ni-Dampf strömungen von einem hohen auf einen niedrigen Wert aufgedampft und dadurch so laXiniert sind, daß ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung geneigt werden können, nicht nur gute magnetische Eigenschaften haben, sondern im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen Magnetfilm eine exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, optimales Ausgangssignal und gutes Verhältnis Signal/Rauschen zeigen. Insbesondere Magnetbänder mit einem Magnetfilm, der auf einer Kunststoffbasis mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 ßm oder weniger abgedampft worden ist, haben eine weiter verbesserte Wetterbeständigkeit, Lebensdauer und Wiedergabe-Ausgangs-Signale.EXAMPLE 2 In a similar manner to Example 1, thin magnetic ones were made Films made of a Co / Ni alloy (Ni: 15% by weight) on a 14 μm thick polyethylene tephthalate film using the mechanism of the evaporation apparatus 20 by oblique evaporation applied to make a magnetic tape. The pressure inside the evaporation chamber was adjusted to 1.4 × 10 4 Torr with the introduction of oxygen; the maximum Angle of incidence 0marx was 850 and the minimum angle of incidence 0min was 600. The total thickness of the magnetic films was set at 1500 Å. -The properties of the magnetic tapes, which differ in the layer structure and in the surface roughness of the Base material differentiated, are compiled in Fig. 2. For comparison purposes were properties of Magnetic tapes without the introduction of Oxygen gas were also shown in Table 2. Tabel 2 Electromagnetic layer structure oxygen surface coercive demagnet Lifespan Properties of the magnetic atmosphere Roughness Kraft tization at standstill output noise layer at the basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) steam (µm) 0.017 870 25 5 10 7 Thickness of an existing 0.012 900 24 8 8 5 single layer 1500 Å 0.007 890 22 7 9 7 thickness of top layer 750 Å 0.017 970 14 15 12 2.0 thickness of non-existent 0.012 1020 6 40 24 0.5 magnetic Al 200 Å intermediate layer 0.007 1040 4 45 25 0.5 thickness of bottom layer 750 Å thickness of the top layer 750 Å 0.017 960 12 12 13 1.5 Thickness of the bottom 0.012 1000 5 43 21 0.5 ren layer 750 Å 0.007 1040 4 47 25 0.5 thickness of the top- 0.017 850 18 12 14 3 ren layer 750 Å 0.012 840 8 36 22 4 absent thickness of the lower Layer 750 Å 0.007 870 7 38 23 4 Table 2 clearly shows that the magnetic tapes, in which magnetic films change the angle of incidence continuously the Co / Ni vapor flows from a high to a low value and are thereby laid out in such a way that their individual, inclined columnar structures can be tilted in the same direction, not only good magnetic properties compared to a magnetic tape with a single, thin magnetic film excellent weather resistance, service life, optimal output signal and good Show signal / noise ratio. In particular, magnetic tapes with a magnetic film, the one on a plastic basis with a surface roughness (ra) of 0.012 µm or less evaporated have a further improved weather resistance, Lifetime and playback output signals.

BEISPIEL 3 Hierfür wurde ebenfalls der Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 nach Fig. 3 verwendet. Magnetische, dünne Kobaltfilme wurden auf einen 20 m dicken Polyethylen-Terephthalat-Film B mit dem Schrägdampfverfahren aufgedampft, wobei der Film B längs der äußeren Umfangsfläche eines Kühlzylinders 23 transportiert wurde, wodurch ein Magnetband gebildet wurde. Die Verdampfung wurde ausgeführt, während der Druck im Innern der Vakuumkammer auf 1,5 x 10 -4 Torr gehalten wurde; gleichzeitig wurde ein Gasgemisch aus Sauerstoff und Stickstoff (Strömungsgeschwindigkeit = 2/1) durch eine entsprechende Öffnung für die Einführung von Gas zugesetzt. Die Einfallswinkel wurden bei der Aufdampfung auf 8marx = 900 und emin = 400 eingestellt. Die Gesamtdicke der aufgedampften, magnetischen Filme wurde bei 2000 Å gehalten. Ein magnetischer Film wurde durch geneigtes bzw. schräges Aufdampfen von einer Verdampfungsquelle 21 gebildet. Der Basisfilm wurde in einer solchen Richtung bewegt, daß sich der Einfallswinkel bei der Verdampfung kontinuierlich von 900 auf 400 änderte. Nach dem Aufwickeln des Films wurde ein zusätzlicher Schrägaufdampfvorgang von einer anderen Verdampfungsquelle 22 durchgeführt, wobei die aufgewickelte Rolle in der entgegengesetzten Richtung im Vergleich mit dem vorherigen Transport des Basisfilms transportiert wurde. Dies führte zu der Bildung eines weiteren magnetischen Films. Damit wurde ein Magnetband mit dem Schichtaufbau nach Fig. 2 erhalten. Die elektromagnetischen Eigenschaften und die Lebensdauer im Stillstand des so erhaltenen Magnetbandes wurden unter Verwendung eines VRS-Systems eines Videobandaufzeichnungsgerätes bestimmt. Weiterhin wurden noch andere Magnetbänder auf die gleiche Weise wie oben beschrieben, präpariert, nur mit dem Unterschied, daß der Schichtaufbau ihrer einzelnen magnetischen Schichten und die Oberflächenrauhigkeiten der Basisfilme anders waren. Die Koerzitivkräfte dieser Magnetbänder, ihre Entmagnetisierungsgrade, ihre Lebensdauer beim Stillstand, ihr Video-Ausgangssignal bei 4 MHz, ihr Modulationsrauschen, das bei unter Verwendung einer Modulationsfreguenz von 3 MHz aufgezeichneten 4 MHz Signalen beobachtet wurde, und die Unterschiede zwischen den bei 4 MHz wiedergegebenen Videoausgangssignalen, wenn die Laufrichtungen der einzelnen Bänder in Bezug auf den Magnetkopf unterschiedlich waren, sind in Tabelle 3 zusammengestellt.EXAMPLE 3 This was also done using the vapor deposition apparatus 20 according to FIG. 3 is used. Magnetic, thin cobalt films were made on a 20 m thick Polyethylene terephthalate film B applied by the inclined vapor deposition method, wherein the film B is transported along the outer peripheral surface of a cooling cylinder 23 , thereby forming a magnetic tape. The evaporation was carried out, while the pressure inside the vacuum chamber was maintained at 1.5 x 10 -4 Torr; at the same time a gas mixture of oxygen and nitrogen (flow velocity = 2/1) added through a corresponding opening for the introduction of gas. the The angles of incidence were set to 8marx = 900 and emin = 400 during vapor deposition. The total thickness of the evaporated magnetic films was kept at 2000 Å. A magnetic one Film was made by inclined or oblique evaporation formed by an evaporation source 21. The base film was in such a direction moves that the angle of incidence in the evaporation continuously from 900 to 400 changed. After the film had been wound up, an additional oblique evaporation process was carried out from another evaporation source 22, with the wound roll in the opposite direction compared to the previous transport of the Base film was transported. This led to the formation of another magnetic Films. A magnetic tape with the layer structure according to FIG. 2 was thus obtained. the electromagnetic properties and the service life at standstill of the so obtained Magnetic tapes were captured using a VRS system of a video tape recorder certainly. Furthermore, other magnetic tapes were made in the same manner as above described, prepared, only with the difference that the layer structure of their individual magnetic layers and the surface roughness of the base films were different. The coercive forces of these magnetic tapes, their degrees of demagnetization, their service life at standstill, your video output signal at 4 MHz, your modulation noise, that for 4 MHz signals recorded using a modulation frequency of 3 MHz observed, and the differences between the video output signals reproduced at 4 MHz, if the running directions of the individual tapes are different in relation to the magnetic head are listed in Table 3.

Tabelle 3 Elektromagnetische Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) auf-(µm) grund der Lauf-0.017 620 14 12 0 3 richtung 2.0 Dicke der einzelnen 0.012 600 15 11 3 2 2.0 Schicht 2000 Å 0.008 620 14 13 7 3 2.5 Dicke der oberen 0.017 820 8 21 13 1 1.0 Schicht 800 Å 0.012 800 7 30 16 0 0.5 Dicke der unteren 0.008 850 5 38 20 - 2 0.2 Schicht 1200 Å Dicke der oberen 0.017 800 7 23 12 1.5 1.2 Schicht 1000 Å 0.012 830 6 35 18 0.5 0.3 Dicke der unteren 0.008 850 6 41 21 - 2.5 0.2 Schicht 1000 Å Dicke der oberen 0.017 950 9 24 13 1.3 0.7 Schicht 600 Å Dicken der Zwischen- 700 Å 0.012 920 8 40 17 0 0.4 schicht Dicke der unteren 700 Å 0.008 950 6 45 21 - 3.0 0.2 Schicht Wie man aus Tabelle 3 erkennen kann, sind die Magnetbänder, bei denen dünne, magnetische Filme bei kontinuierlicher Anderung der Einfallswinkel der Co-Dampfströmungen von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft wurden, so laminiert, daß die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten aufgedampften Film und in dem zweiten aufgedampften Film einander kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein hohes Verhältnis Signal/ Rauschen. Außerdem ergibt sich eine Verbesserung des Unterschiedes im Ausgangssignal, die dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird; dies muß im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film gesehen werden. Table 3 Electromagnetic layer structure surface coercive Demagnetization life properties starting of the magnetic roughness force tization at standstill output noise difference layer of the base (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) on- (µm) due to the 0.017 620 14 12 0 3 direction 2.0 thickness of the individual 0.012 600 15 11 3 2 2.0 layer 2000 Å 0.008 620 14 13 7 3 2.5 thickness of upper 0.017 820 8 21 13 1 1.0 layer 800 Å 0.012 800 7 30 16 0 0.5 thickness of lower 0.008 850 5 38 20 - 2 0.2 layer 1200 Å thickness of the top 0.017 800 7 23 12 1.5 1.2 Layer 1000 Å 0.012 830 6 35 18 0.5 0.3 Thickness of the lower 0.008 850 6 41 21 - 2.5 0.2 layer 1000 Å thickness of the top 0.017 950 9 24 13 1.3 0.7 layer 600 Å Thickness of the intermediate 700 Å 0.012 920 8 40 17 0 0.4 layer Thickness of the lower 700 Å 0.008 950 6 45 21 - 3.0 0.2 shift As can be seen from Table 3 are the magnetic tapes, in which thin, magnetic films are continuous Changing the angles of incidence of the Co vapor flows from a high value to a low value were evaporated on the base film, laminated so that the direction of inclination of the columnar structure in the first evaporated film and in the second evaporated film Film cross each other; these magnetic tapes not only show better magnetic properties, but also excellent weather resistance, service life, a good output signal and a high signal-to-noise ratio. There is also an improvement the difference in the output signal that occurs when the direction of travel is reversed will; this must be compared with a magnetic tape with a single, thin, vapor-deposited magnetic film can be seen.

Insbesondere Magnetbänder, bei denen Magnetfilme auf Kunststoffbasen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 m oder weniger aufgedampft worden sind, haben eine verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und ein besseres Wiedergabeausgangssignal.In particular magnetic tapes, in which magnetic films are based on plastic with a surface roughness (ra) of 0.012 m or less have improved weather resistance, longer life and a better playback output signal.

BEISPIEL 4 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 3 wurden dünne, magnetische Filme aus einer Co/Cr-Legierung (Cr: 5 Gew.-%) auf einen 14 m dicken Polyethylenterephthalat - Film unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägbedampfen aufgebracht, um ein Magband herzustellen. Der Druck im Innern der Aufdampfkammer bei der Einführung von Sauerstoff wurde auf -4 1 x 10 4 Torr eingestellt; die Einfallswinkel ob x max und Bmin wurden bei 900 bzw. 400 gehalten. Die Gesamt-Dicke der magnetischen Filme wurde auf 1500 A einge- stellt. Die Eigenschaften von Magnetbändern, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit das Basismaterials unterschieden, sind in Tabelle 4 zusammengestellt.EXAMPLE 4 In a similar manner to Example 3, thin magnetic Films made of a Co / Cr alloy (Cr: 5% by weight) on a 14 m thick polyethylene terephthalate Film using the evaporation device 20 mechanism by oblique evaporation applied to make a magband. The pressure inside the vapor deposition chamber the introduction of oxygen was adjusted to -4 1 × 10 4 Torr; the angles of incidence ob x max and Bmin were held at 900 and 400, respectively. The total thickness of the magnetic Films was set to 1500 A represents. The properties of magnetic tapes, which differ in the layer structure and in the surface roughness of the base material are listed in Table 4.

Tabelle 4 Elektromagnetische Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) aufgrund der Laufrichtung 0.015 830 15 14 1 3 1.8 Dicke der 1500 Å 0.011 810 13 10 3 4 2.5 einzigen 0.008 830 16 15 5 2 1.5 Schicht Dicke der obe- 0.015 1120 7 23 14 - 1 0.5 ren Schicht 750 Å 0.011 1100 6 27 20 - 0.5 0.7 Dicke der unte- 0.008 1150 6 39 22 - 2 0.2 ren Schicht 750 Å Dicke der obe- 0.015 1150 6 28 12 0 0.5 ren Schicht 550 Å 0.011 1120 5 25 19 - 0.5 0.2 Dicke der unte- 0.008 1140 6 40 22 - 3 0 ren Schicht 950 Å Dicke der obe- 0.015 1110 6 27 10 0 0.3 ren Schicht 950 Å 0.011 1130 6 39 19 - 1.5 0 Dicke der unte- 0.008 1140 4 48 23 - 2.8 0.2 ren Schicht Tabelle 4 zeigt eindeutig, daß bei einem Magnetband, bei dem dünne, magnetische Filme unter kontinuierlicher Anderung der Einfallswinkel der Co/Cr Gasströmungen von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft worden sind, so laminiert -sind, daß sich die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten aufgedampf ten Film und die in dem zweiten aufgedampften Film kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch eine exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein optimales Verhältnis Signal/Rauschen. Darüberhinaus haben diese Bänder einen verbesserten Unterschied der Ausgangssignale, wie er dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film. InsbesondereMagnetbänder mit magnetischen Filmen, die auf Kunststoffbasen mit Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 Fm oder weniger aufgedampft worden sind, haben verbesserte Wetterbeständigkeit, Lebensdauer und Wergabe-Ausgangssignale. Table 4 Electromagnetic layer structure surface coercive Demagnetization life properties starting of the magnetic roughness force tization at standstill output noise difference layer of the base (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) due to the direction of travel 0.015 830 15 14 1 3 1.8 thickness of the 1500 Å 0.011 810 13 10 3 4 2.5 single 0.008 830 16 15 5 2 1.5 layer thickness of the top 0.015 1120 7 23 14 - 1 0.5 ren layer 750 Å 0.011 1100 6 27 20 - 0.5 0.7 thickness the lower 0.008 1150 6 39 22 - 2 0.2 ren layer 750 Å thickness of the upper 0.015 1150 6 28 12 0 0.5 ren layer 550 Å 0.011 1120 5 25 19 - 0.5 0.2 thickness of the lower 0.008 1140 6 40 22 - 3 0 ren layer 950 Å thickness of the upper 0.015 1110 6 27 10 0 0.3 ren Layer 950 Å 0.011 1130 6 39 19 - 1.5 0 Thickness of the lower 0.008 1140 4 48 23 - 2.8 0.2 ren layer Table 4 clearly shows that with a magnetic tape, in which thin magnetic films continuously change the angle of incidence the Co / Cr gas flows from a high value to a low value on the base film vapor-deposited, are laminated so that the direction of inclination of the pillar structure is opposite intersect in the first evaporated film and those in the second evaporated film; these magnetic tapes show not only better magnetic properties, but also excellent weather resistance, service life, a good output signal and a optimal signal / noise ratio. In addition, these tapes have an improved Difference in output signals as it occurs when the direction of travel is reversed is compared with a magnetic tape with a single, thin, vapor-deposited magnetic film. In particular, magnetic tapes with magnetic films based on plastic have been vapor-deposited with a surface roughness (ra) of 0.012 Fm or less, have improved weather resistance, lifespan and output signals.

BEISPIEL 5 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 4 wurden dünne, magnetische Filme aus einer Co/Ni Legierung (Ni : 20 Gew.-%) auf einen 14 Fm dicken Polyamidfilm unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägbedampfen aufgebracht, um ein Magnetband herzustellen. Der Druck im Innern der Auf dampfkammer bei der Einführung des Sauerstoffs wurde auf 9 x 10 Torr gehalten; die Einfallswinkel Gmax und imin betrugen 900 bzw. 500. Die Gesamtdicke der Magnetfilme wurde auf 1800 A eingestellt.EXAMPLE 5 In a similar manner to Example 4, thin magnetic Films made of a Co / Ni alloy (Ni: 20% by weight) on a 14 μm thick polyamide film using the mechanism of the evaporation apparatus 20 by oblique evaporation applied to make a magnetic tape. The pressure inside the steam chamber the introduction of oxygen was maintained at 9 × 10 Torr; the angles of incidence Gmax and imin were 900 and 500, respectively. The total thickness of the magnetic films became 1,800 A set.

Die Eigenschaften der Magnetbänder, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit des Basismaterials unterschieden, sind in Tabelle 5 zusammengestellt.The properties of the magnetic tapes, which are in the layer structure and in the surface roughness of the base material differentiated, are compiled in Table 5.

Diese Eigenschaften wurden auf die gleiche Weise wie bei Beispiel 3 bestimmt.These properties were found in the same manner as in Example 3 determined.

Zu Vergleichszwecken sind in Tabelle 5 auch die Eigenschaften von Magnetbändern angegeben, die ohne Einführung von Sauerstoffgas bei der Verdampfung hergestellt wurden.For comparison purposes, Table 5 also shows the properties of Magnetic tapes indicated that without the introduction of oxygen gas during evaporation were manufactured.

Tabelle 5 Elektromagnetische Schichtaufbau Sauerstoff- Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Atmosphäre beim Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht Aufdampfen der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) auf-(µm) grund der Laufrichtung 0.017 890 14 10 2 4 2.0 Dicke der einzigen Schicht 1800 Å vorhanden 0.011 870 12 9 3 3 2.5 0.007 900 11 10 3 4 1.5 Dicke der obe- 0.017 1100 5 21 10 0 0.5 ren Schicht 900 Å Dicke der un- vorhanden 0.011 1120 4 25 17 - 0.5 1.0 teren Schicht 900 Å 0.007 1150 4 35 23 - 1.5 0.5 Dicke der oberen Schicht 800 Å 0.017 1020 4 23 12 - 0.5 0.5 vorhanden 0.011 1080 5 28 19 - 1.5 0.5 Dicke der un -teren Schicht 1000 Å 0.007 1100 4 42 23 - 2.5 0.3 Dicke der oberen Schicht 900 Å 0.017 1150 4 28 9 - 1.8 1.0 Dicke der Cr Zwischen- 200 Å vorhanden 0.011 1160 3 38 21 - 2.0 0.5 schicht Dicke der un- 900 Å 0.007 1170 2 50 24 - 3.0 0 ren Schicht Dicke der obe- 0.017 630 19 11 7 5 1.0 ren Schicht 900 Å nicht vorhanden 0.011 660 10 35 16 7 0.6 Dicke der un- 0.007 660 8 40 18 6 0.5 teren Schicht 900 Å Wie man aus Ta belle 5 erkennen kann, ist jedes der Magnetbänder , bei dem dünne, magnetische Filme unter kontinuierlicher Änderung der Einfallswinkel der Co/Ni-Dampf ströme von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft wurden, so laminiert, daß die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten. aufgedampften Film und in dem zweiten aufgedampften Film einander kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch eine exzellente Wetterbeständigkeit, eine lange Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein optimales Verhältnis Signal/Rauschen. Darüberhinaus haben diese Bänder einen verbesserten Unterschied im Ausgangssignal, wie er dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film. Insbesondere Magnetbänder mit Magnetfilmen, die auf Kunststoffbasen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 rm oder weniger aufgedampft worden sind, haben eine verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und gute Wiedergabe-Ausgangssignale. Table 5 Electromagnetic layer structure Oxygen surface Coercive-Demagnetic Lifetime Characteristics of the magnetic atmosphere output with roughness power generation at standstill output noise difference layer Vapor deposition of the base (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) based on (µm) the direction of travel 0.017 890 14 10 2 4 2.0 Thickness of single layer 1800 Å present 0.011 870 12 9 3 3 2.5 0.007 900 11 10 3 4 1.5 Thickness of the upper 0.017 1100 5 21 10 0 0.5 ren layer 900 Å thickness of the absent 0.011 1120 4 25 17 - 0.5 1.0 lower layer 900 Å 0.007 1150 4 35 23 - 1.5 0.5 Thickness of the top layer 800 Å 0.017 1020 4 23 12 - 0.5 0.5 available 0.011 1080 5 28 19 - 1.5 0.5 Thickness of the lower layer 1000 Å 0.007 1100 4 42 23 - 2.5 0.3 Top layer thickness 900 Å 0.017 1150 4 28 9 - 1.8 1.0 Thickness of Cr intermediate 200 Å available 0.011 1160 3 38 21 - 2.0 0.5 layer thickness the lower 900 Å 0.007 1170 2 50 24 - 3.0 0 ren layer thickness of the upper 0.017 630 19 11 7 5 1.0 ren layer 900 Å absent 0.011 660 10 35 16 7 0.6 thickness of un- 0.007 660 8 40 18 6 0.5 lower layer 900 Å How to get out of Ta Belle 5 can see is any of the magnetic tapes, in which thin, magnetic films while continuously changing the angle of incidence of the Co / Ni vapor flows from one high value has been evaporated to a low value on the base film, so laminated, that the direction of inclination of the column structure in the first. evaporated film and cross each other in the second evaporated film; these magnetic tapes do not show only better magnetic properties, but also excellent weather resistance, a long service life, a good output signal and an optimal signal / noise ratio. In addition, these bands have an improved difference in output signal, as it occurs when the direction of travel is reversed, in comparison with a magnetic tape with a single, thin, vapor-deposited magnetic film. In particular, magnetic tapes with magnetic films, which are based on plastic with a surface roughness (ra) of 0.012 rm or less have been evaporated, have an improved weather resistance, longer life and good playback output signals.

Aus dem obigen ergeben sich also die exzellenten magnetischen Eigenschaften, die hohe Wetterbeständigkeit und die lange Lebensdauer eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, das mit wenigstens zwei dünnen, aufgedampften magnetischen Filmen versehen worden ist; diese Filme werden ausgebildet, indem der Einfallswinkel einer Dampfströmung auf ein bewegliches Basismaterial kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert geändert wird. Weiterhin kann ein solches Magnetband ein hohes Wiedergabe-Ausgangssignal und ein niedriges Modulationsrauschen liefern.From the above, the excellent magnetic properties result, the high weather resistance and long service life of a magnetic recording medium, which has been provided with at least two thin, vapor-deposited magnetic films is; these films are formed by changing the angle of incidence of a flow of steam on a movable base material continuously from a high value to a low one Value is changed. Furthermore, such a magnetic tape can have a high reproduction output and provide low modulation noise.

Eine besonders gute Wetterbeständigkeit und Lebensdauer hat ein Magnetband, bei dem die oben beschriebenen, laminierten magnetischen, dünnen Filme auf eine Kunststoff-Basis mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 rm oder weniger aufgebracht worden sind. Dieses Magnetband liefert ein noch höheres Wiedergabe- Ausgangssignal und ein noch geringeres. Modulationsrauschen. Dementsprechend sind die Magnetbänder, die entsprechend den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung präpariert worden sind, sehr geeignet unter dem Gesichtspunkt, die durch ein Aufdampfverfahren hergestellten Magnetbänder in der Praxis einzusetzen.A magnetic tape has particularly good weather resistance and service life, in which the above-described laminated magnetic thin films on a Plastic base with a surface roughness (ra) of 0.012 rm or less have been applied. This magnetic tape provides an even higher level of playback Output signal and an even lower one. Modulation noise. Accordingly are the magnetic tapes made in accordance with the embodiments of the present invention have been prepared, very suitable from the point of view of being made by a vapor deposition method to use manufactured magnetic tapes in practice.

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Claims

Magnetic recording medium Claims magnetic recording medium, d u r c h e k e n n n z e i n e t that it is in an atmosphere of a oxidizing gas by evaporation of a magnetic metal material from a Evaporation source, which supplies the steam flow, is established, wherein the steam flow impinges on a movable base material at a certain angle and on it is deposited in layers that continues to be a vapor-deposited layer educated by laying at least two vapor-deposited film layers on top of each other, and that each vapor deposited film layer is curved and inclined Has columnar structure that is formed by changing the angle of incidence of the steam flow on the movable Base material continuously from a high Value is changed to a low value.

2. Magnetic recording medium according to claim 1, characterized in that that the vapor-deposited film layers are superimposed so that their respective inclined columnar structures have the same direction in terms of slope.

3. Magnetic recording medium according to claim 1, characterized in that that the vapor-deposited film layers are superimposed so that the individual Directions of inclination in their inclined columnar structures can intersect.

4. A magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the base material on the side on which the thin, magnetic film is to be formed, a surface roughness (ra) of 0.012 has ßm or less.

5. A magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 4, characterized in that between the thin, vapor-deposited magnetic film layers a non-magnetic layer is provided.