DE3801110A1 - Method and device for producing coherent electrical magnetic radiation from two spectrally closely adjacent, linear-polarised wavelengths, whose polarisation directions are oriented orthogonally with respect to one another - Google Patents

Method and device for producing coherent electrical magnetic radiation from two spectrally closely adjacent, linear-polarised wavelengths, whose polarisation directions are oriented orthogonally with respect to one another

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DE3801110A1 DE19883801110 DE3801110A DE3801110A1 DE 3801110 A1 DE3801110 A1 DE 3801110A1 DE 19883801110 DE19883801110 DE 19883801110 DE 3801110 A DE3801110 A DE 3801110A DE 3801110 A1 DE3801110 A1 DE 3801110A1
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Abstract

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeugung kohärenter elektromagnetischer Strahlung von zwei spektral eng benachbarten, linearpolarisierten Wellenlängen, deren Polarisationsrichtungen zueinander orthogonal orientiert sind und Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens. The present invention relates to a method for Generation of coherent electromagnetic radiation from two spectrally closely adjacent, linearly polarized wavelengths, whose polarization directions are oriented orthogonally to one another are and devices for performing the method.  

Für die interferometrische Längenmessung hat sich in den letz­ ten Jahrzehnten die heterodyne Interferometrie durchgesetzt, da sie gegenüber der bekannten klassischen Methode wesentlich einfacher in der Anwendung, insbesondere im Justieren des Auf­ baues ist. Voraussetzung zur Durchführung dieser Methode ist eine Lichtquelle, die folgende Bedingungen erfüllt:For interferometric length measurement, the last decades of heterodyne interferometry, since it is essential compared to the well-known classic method easier to use, especially when adjusting the opening is building. This method is required a light source that meets the following conditions:

  • - Zwei kohärente Wellen gleicher Intensität müssen interferie­ ren und eine Schwebungswelle erzeugen.- Two coherent waves of the same intensity must interferie and generate a beat wave.
  • - Die Frequenz dieser Schwebungswelle muß in einer Größen­ ordnung liegen, daß sie auf einfache Art elektronisch ver­ arbeitet und gezählt werden kann.- The frequency of this beat wave must be in one size order lie that they ver in a simple electronic way works and can be counted.
  • - Die beiden Trägerfrequenzen müssen sich in einer optischen Komponente voneinander unterscheiden, so daß sie im Inter­ ferometer optisch getrennt und wieder vereint werden können.- The two carrier frequencies must be in an optical Differentiate components from each other, so that they in the Inter ferometer optically separated and reunited.

Bekannterweise werden diese Bedingungen bisher nur vom He-Ne- Gaslaser in zwei Varianten erfüllt:As is known, these conditions have so far only been Gas laser fulfilled in two variants:

  • - He-Ne-Glaslaser mit einer longitudinalen Grundmode, die durch ein äußeres magnetisches Feld (Zeemaneffekt) in zwei Moden aufgespalten wird mit einem Frequenzabstand von ca. 2 MHz.- He-Ne glass laser with a basic longitudinal mode that passes through an external magnetic field (Zeeman effect) in two modes is split with a frequency spacing of approx. 2 MHz.
  • - He-Ne-Gaslaser mit zwei longitudinalen Grundmoden mit einem Frequenzabstand von ca. 500 MHz.- He-Ne gas laser with two longitudinal basic modes with one Frequency spacing of approximately 500 MHz.

In beiden Fällen sind die benachbarten Wellen gegenläufig zir­ kularpolarisiert. Durch Anordnung einer λ/4 Platte im Strahlen­ gang werden die Wellen linear, orthogonal polarisiert.In both cases, the neighboring waves are oppositely circular polarized. The waves are linearly, orthogonally polarized by arranging a λ / 4 plate in the beam path.

Zur Realisierung der Meterdefinition werden vorzugsweise I2 127 stabilisierte Laser verwendet. Durch die Anordnung der Jodzelle im Resonator ist die austretende Strahlung linear polarisiert. I 2 127 stabilized lasers are preferably used to implement the meter definition. Due to the arrangement of the iodine cell in the resonator, the emerging radiation is linearly polarized.

In üblicher Weise werden Längenmessungen mit heterodynen La­ serinterferometern als Sekundärnormale ausgeführt. Die Kopp­ lung und Mischung der Strahlung des jodstabilisierten Lasers mit der eines zweiten He-Ne-Lasers würde es erlauben, in ein­ facher Weise mit dem Primärstandard unter Anwendung des hetero­ dynen Verfahrens zu messen.Length measurements with heterodyne La sinterferometers as secondary standards. The Kopp treatment and mixing of the radiation from the iodine-stabilized laser with that of a second He-Ne laser, it would allow one into one way with the primary standard using the hetero to measure your process.

Es sind Laserdioden bekannt, die ebenfalls kohärente Strahlung emittieren und die bekannterweise zur Längenmessung in Inter­ ferometern mit klassischem Aufbau eingesetzt werden.Laser diodes are known which also have coherent radiation emit and known to measure length in Inter ferometers with a classic design.

Diese Laserdioden haben den Vorteil sehr keiner Abmessungen gegenüber dem Gaslaser, aber anderseits den Nachteil, daß sie sich eben aufgrund dieser Kleinheit und ihres Aufbaues für die heterodyne Interferometrie in der herkömmlichen Art nicht eig­ nen. Ihre Resonatorlänge beträgt typisch 300 µm, woraus ein Frequenzabstand zum zweiten Mod von ca. 20 GHz resultiert, einer Frequenz, die mit einfachen elektronischen Mitteln nicht mehr gezählt werden kann. Darüber hinaus ist die Strah­ lung immer linear polarisiert und die Moden können nicht ge­ trennt werden.These laser diodes have the advantage of having no dimensions compared to the gas laser, but on the other hand the disadvantage that it because of this small size and its structure for the heterodyne interferometry in the conventional way not suitable nen. Their resonator length is typically 300 µm, from which one Frequency difference to the second mod of approx. 20 GHz results, a frequency with simple electronic means can no longer be counted. In addition, the beam always polarized linearly and the modes can not ge be separated.

In der Entfernungsmessung, der Längenmessung zwischen zwei festen Punkten durch Phasenmessung von mindestens zwei unter­ schiedlichen Wellenlängen, wurde die heterodyne Interfero­ metrie bisher noch nicht eingesetzt. Gegenüber der bisher ver­ wendeten Intensitäts- oder elliptischen Polarisationsmodulation hätte sie den Vorteil der wesentlich besseren Phasendiskrimi­ nation, was einer Erhöhung des Auflösungsvermögens entspricht. Diese Methode der heterodynen Entfernungsmessung kann er­ schlossen werden, wenn die Voraussetzungen vorhanden sind, daß die Differenzfrequenz, das ist die Schwebungsfrequenz der beiden interferierenden Strahlungen, kontinuierlich oder schrittweise geändert werden kann.In the distance measurement, the length measurement between two fixed points by phase measurement of at least two under different wavelengths, became the heterodyne interfero metry not yet used. Compared to the previously ver applied intensity or elliptical polarization modulation she would have the advantage of the much better phase crime thriller nation, which corresponds to an increase in resolving power. He can use this method of heterodyne distance measurement be closed if the requirements are met, that the difference frequency, that's the beat frequency of the two interfering radiations, continuous or can be changed gradually.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu be­ schreiben und eine Vorrichtung zu schaffen, die die Vorteile von linearpolarisierten kohärenten Strahlenquellen mit denen der heterodynen interferometrischen Meßmethode vereinen.The invention has for its object to be a method write and create a device that has the benefits of linearly polarized coherent radiation sources with those the heterodyne interferometric measurement method.

Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß zwei unabhän­ gige kohörente Strahlungsquellen verwendet und deren Strahlung mittels polarisationsoptischen Mischern vereint und zur Inter­ ferenz gebracht werden, daß dessen eine Strahlungsquelle ge­ genüber einem Frequenz- oder Wellenlängennormal als Referenz stabilisiert wird und daß dessen zweite Strahlungsquelle ge­ genüber der ersten mittels eines oder mehrerer Frequenznormale zeitlich nacheinander auf mindestens zwei Differenzfrequenzen stabil gehalten oder kontinuierlich verändert und gemessen wird.According to the invention this is achieved in that two are independent used coherent radiation sources and their radiation united by means of polarization-optical mixers and the Inter be brought reference that its a radiation source ge against a frequency or wavelength standard as a reference is stabilized and that its second radiation source ge compared to the first by means of one or more frequency standards successively in time on at least two difference frequencies kept stable or continuously changed and measured becomes.

Im folgenden wird anhand der Zeichnung ein Aus­ führungsbeispiel für das wegmessende heterodyne Interferometer beschrieben:In the following, an drawing is made based on the drawing Leading example for the distance measuring heterodyne interferometer described:

Es zeigt die Abb. 1 die Anordnung von zwei stabilisierten He-Ne-Lasern (1, 2), deren Strahlung über einen polarisations­ optischen Mischer 3 gekoppelt ist. Durch leichtes Verdrehen des Mischers 3 gegenüber der Polarisationsrichtung wird ein kleiner Teil der Strahlung auf die Referenzphotodiode 11 ge­ lenkt, während der andere Teil der Strahlung das Wegmeßinter­ ferometer 18, 19, 20 durchläuft und auf die Meß-Photo­ diode 12 fällt. Der Laser 1 enthält das He-Ne-Laserrohr sowie die I2 127 Absorptionszelle zwischen den beiden Resonator­ spiegeln und wird in bekannter Weise auf die Absorptionslinie der Jodzelle frequenzstabilisiert. Der Laser 2 enthält das He-Ne-Laserrohr sowie einen Resonatorspiegel, der an einer Piezokeramik 10 befestigt ist und mit welcher durch Anlegen einer Spannung die Resonatorlänge und damit die Laserfrequenz geregelt werden kann. Die Diode 11 empfängt die Schwebungs­ frequenz der beiden Laser und zählt diese in den Referenzzäh­ zähler 16 sowie in den Komparator 21 ein. Dieser vergleicht sie mit der Referenzfrequenz des stabilisierten Quarzoszilla­ tors 22 und regelt die Spannung der piezokeramischen Spie­ gelaufhängung 10 des Resonators. Der Inhalt des Referenz­ zählers 16 wird mit dem des Meßzählers 14 durch den Kom­ parator 15 verglichen und die Differenz als Meßresultat in die Anzeige 17 übertragen.1, there is shown in Fig. The arrangement of two stabilized He-Ne lasers (1, 2) whose radiation is coupled via a polarization optical mixer 3. By turning the mixer 3 slightly relative to the direction of polarization, a small part of the radiation is deflected onto the reference photodiode 11 , while the other part of the radiation passes through the path measuring sensor 18, 19, 20 and falls on the measuring photo diode 12 . The laser 1 contains the He-Ne laser tube and the I 2 127 absorption cell between the two resonators and is frequency-stabilized in a known manner on the absorption line of the iodine cell. The laser 2 contains the He-Ne laser tube and a resonator mirror, which is attached to a piezoceramic 10 and with which the resonator length and thus the laser frequency can be regulated by applying a voltage. The diode 11 receives the beat frequency of the two lasers and counts them in the reference counter 16 and in the comparator 21 . This compares them with the reference frequency of the stabilized quartz oscillator 22 and regulates the voltage of the piezoceramic mirror suspension 10 of the resonator. The content of the reference counter 16 is compared with that of the measuring counter 14 by the comparator 15 and the difference is transmitted as a measurement result to the display 17 .

Mit einer geänderten Regelanordnung kann aber auch die Wel­ lenlänge stabilisiert werden. Voraussetzung für eine solche Anordnung ist die richtige Verwendung der Strahlkomponenten innerhalb des Interferometers, der Polarisationsteiler muß so orientiert sein, daß der Strahl des jodstabilisierten Lasers nur die Referenzstrecke 18-19 und der des wellen­ längenstabilisierten Lasers nur die Meßstrecke 18-20 des Interferometers durchläuft.With a modified control arrangement, however, the shaft length can also be stabilized. A prerequisite for such an arrangement is the correct use of the beam components within the interferometer, the polarization splitter must be oriented so that the beam of the iodine-stabilized laser only passes through the reference path 18-19 and that of the wavelength-stabilized laser only through the measuring path 18-20 of the interferometer.

Der Laser 2 strahlt über seine rückwärtige Auskopplung in das Fabry-Perrot-Interferometer 7 mit Luftabstand als Wel­ lenlängennormal, der Interferenzring wird durch die Diffe­ rentialphotodiode 8 auf konstanten Durchmesser gehalten, in­ dem über den Verstärker 9 die Spannung an der piezokerami­ schen Spiegelhalterung 10 so verändert wird, daß die Wel­ lenlänge des Lasers 2 konstant bleibt, die sich ändernde Differenzfrequenz ist ein Maß der Wellenlänge beziehungswei­ se des Brechungsindexes der Luft.The laser 2 radiates through its rear coupling into the Fabry-Perrot interferometer 7 with an air gap as a len lenlength standard, the interference ring is held by the differential photodiode 8 at a constant diameter, in which the voltage across the piezokerami mirror mount 10 via the amplifier 9 is changed that the Wel lenlänge of the laser 2 remains constant, the changing differential frequency is a measure of the wavelength or the refractive index of the air.

Im folgenden wird anhand der Zeichung ein Aus­ führungsbeispiel für das entfernungsmessende heterodyne Inter­ ferometer beschrieben:In the following, the drawing will turn off Leading example of the heterodyne inter ferometer described:

Es zeigt die Abb. 2 die Anordnung von zwei stabilisier­ ten Ga-As-Laserdioden 1, 2, deren Strahlung über einen pola­ risationsoptischen Mischer 3 gekoppelt ist. Durch leichtes Verdrehen des Mischers 3 gegenüber der Polarisationsrich­ tung wird ein kleiner Teil der Strahlung durch die Kollektor­ linse 4 auf die Referenz-Photodiode 11 gelenkt, während der Hauptteil der Strahlung die Meßstrecke durchläuft und vom Tripelprisma 20 auf die Meß-Photodiode 12 reflektiert wird. Die Laserdiode 2 strahlt über ihre rückwärtige Aus­ kopplung in das Fabry-Perrot-Interferometer 7 mit Luftab­ stand als Wellenlängennormal. Der Interferenzring wird durch die Differentialphotodiode 8 auf gleichen Durchmesser ge­ halten, indem über den Verstärker 9 der Strom an der Dioden­ heizung 10 geregelt und dadurch die Sendefrequenz der Dio­ de 2 wellenlängenstabilisiert wird. Die Diode 11 empfängt die Schwebungsfrequenz der beiden Laserdioden 1, 2 und zählt diese in den Komparator 21 ein. Der Komparator 21 ver­ gleicht die Schwebungsfrequenz mit der Referenzfrequenz des stabilisierten Quarzoszillators 22 und regelt über die Hei­ zung 10 die Sendefrequenz der Diode 1 in eine stabile Dif­ ferenzfrequenz zur Diode 2. Ein Phasenmesser 13 mißt die Phasenlage der Meßdiode 12 gegenüber der Referenzdiode 11. Durch Umschalten auf die Quarzoszillatoren 23 und 24, die in ihren Frequenzen gegenüber 22 gestuft wird, und einer dazugehörigen Phasenmessung 13 kann die Entfernung zwischen dem Instrument und dem Prismenreflektor 20 in bekannter Wei­ se ermittelt werden.There is shown in Fig. 2, the arrangement of two stabilizing th Ga-As laser diodes 1, 2, the radiation of which is coupled via a pola risationsoptischen mixer 3. By turning the mixer 3 slightly relative to the direction of polarization, a small part of the radiation is directed through the collector lens 4 onto the reference photodiode 11 , while the main part of the radiation passes through the measuring section and is reflected by the triple prism 20 onto the measuring photodiode 12 . The laser diode 2 emits via its rear coupling into the Fabry-Perrot interferometer 7 with Luftab stood as a wavelength standard. The interference ring is held by the differential photodiode 8 to the same diameter by regulating the current at the diode heater 10 via the amplifier 9, thereby stabilizing the transmission frequency of the Dio de 2 wavelengths. The diode 11 receives the beat frequency of the two laser diodes 1, 2 and counts this into the comparator 21 . The comparator 21 compares the beat frequency with the reference frequency of the stabilized crystal oscillator 22 and regulates via the heater 10 the transmission frequency of the diode 1 into a stable dif ferential frequency to the diode 2 . A phase meter 13 measures the phase position of the measuring diode 12 with respect to the reference diode 11 . By switching to the quartz oscillators 23 and 24 , which are stepped in their frequencies with respect to 22 , and an associated phase measurement 13 , the distance between the instrument and the prism reflector 20 can be determined in a known manner.

Die Entfernungsmessung kann aber auch so durchgeführt werden, daß die Differenzfrequenz kontinuierlich verändert wird, bis der Phasenmesser 13 Null, das heißt Phasengleichheit zeigt, die Frequenz wird gemessen und angezeigt. Sodann wird in der gleichen Weise noch eine zweite und dritte Frequenz mit der Phasenlage Null gemessen und daraus in bekannter Weise die Entfernung errechnet.However, the distance measurement can also be carried out in such a way that the difference frequency is continuously changed until the phase meter 13 shows zero, that is to say phase equality, the frequency is measured and displayed. Then a second and third frequency with the phase position zero is measured in the same way and the distance is calculated therefrom in a known manner.

Durch Einfügen eines Polarisationsteilers 18 mit Referenz- Prisma 19 in den Meßstrahlengang kann das entfernungsmes­ sende Interferometer als wegmessendes angewandt werden. Dabei wird die Diode 1 gegen einen einzigen Quarzoszillator sta­ bilisiert, die Zählinhalte der Zähler 14, 16 werden über den Komparator 15 verglichen und die Differenzen in 17 als Meßresultat angezeigt.By inserting a polarization splitter 18 with a reference prism 19 into the measuring beam path, the interferometer transmitting distance can be used as a path measuring. The diode 1 is sta bilized against a single crystal oscillator, the count contents of the counters 14, 16 are compared via the comparator 15 and the differences in 17 are displayed as the measurement result.

Bei der Verwendung von Laserdioden als Strahlungsquellen ist die Drehung der Polarisationsrichtung um 90° einer Diode ge­ genüber der anderen notwendig, da der Querschnitt des Strah­ lenbündels stark rechteckig ist und die Polarisationsrichtung immer zur langen Seite des Rechteckes verläuft. Damit beide Bündel sich optimal überdecken, können die Dioden nicht um 90° zueinander gedreht werden, es sei denn, man verwendet anamor­ photische Objektive und transformiert damit das rechteckige Bündel in ein quadratisches. Die Drehung der Polarisations­ richtung um 90° erfolgt mit einer um 45° gedrehten λ/2 Plat­ te 5. Sollte ein Intensitätsabgleich der beiden Dioden erfor­ derlich sein, so kann ein optisches, nichtpolarisierendes Ab­ schwächungsfilter 6 im Strahlengang angebracht werden. Die optischen Komponenten 5 und 6 können untereinander ver­ tauscht werden.When using laser diodes as radiation sources, the rotation of the polarization direction by 90 ° of one diode compared to the other is necessary because the cross section of the beam is strongly rectangular and the direction of polarization always runs to the long side of the rectangle. In order for the two bundles to optimally overlap, the diodes cannot be rotated by 90 ° to one another, unless anamor photo lenses are used, transforming the rectangular bundle into a square one. The polarization direction is rotated through 90 ° with a λ / 2 plate 5 rotated through 45 °. Should an intensity adjustment of the two diodes be necessary, an optical, non-polarizing attenuation filter 6 can be attached in the beam path. The optical components 5 and 6 can be interchanged ver.

Beim Arbeiten mit offenen Interferometern, die mit Strahlungs­ quellen im unsichtbaren Spektralbereich ausgestattet sind, be­ steht für den Benützer erhöhte Unfallgefahr, es liegt deshalb nahe, solche Geräte zu kapseln. In einer geschlossenen Ausfüh­ rung ist die Wellenlänge der Strahlung vom Brechungsindex der Luft innerhalb des Gehäuses abhängig, deshalb sind alle Wel­ lenlängen bestimmenden Regelelemente, wie Refraktometer oder Detektoren, die den Brechungsindex ermitteln, im Innern des Gehäues anzubringen.When working with open interferometers, those with radiation sources in the invisible spectral range, be stands for increased risk of accident for the user, it is therefore close to encapsulating such devices. In a closed version is the wavelength of the radiation from the refractive index of the Air inside the case is dependent, so all are wel control elements, such as refractometers or Detectors that determine the refractive index inside the Attach housing.

Claims (10)

1. Verfahren zur Erzeugung kohärenter elektromagnetischer Strahlung von zwei spektral eng benachbarten Frequenzen oder Wellenlängen, deren Polarisationsrichtungen zueinander orthogonal polarisiert sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungen zweier linearpolarisierter kohärenter Strahlungsquellen, deren Polarisationsrichtungen zueinander orthogonal und zu den optimalen Durchlaßrichtungen eines optischens Mischers ausgerichtet sind, durch diesen vereint werden, daß eine der beiden Strahlungsquellen gegenüber eines Frequenz- oder Wellenlängennormales stabilisiert wird und daß die zweite Strahlungsquelle gegenüber der ersten mittels eines stabilen Oszillators auf mindestens eine kon­ stante Schwebungsfrequenz stabilisiert wird, oder daß ihre Frequenz kontinuierlich so geändert wird, daß die resultie­ rende Schwebungsfrequenz innerhalb eines begrenzten Berei­ ches variiert und gemessen werden kann.1. A method for generating coherent electromagnetic radiation from two spectrally closely adjacent frequencies or wavelengths whose polarization directions are polarized orthogonally to one another, characterized in that the radiations of two linearly polarized coherent radiation sources whose polarization directions are orthogonal to one another and are aligned with the optimum transmission directions of an optical mixer, be united by this that one of the two radiation sources is stabilized against a frequency or wavelength standard and that the second radiation source is stabilized against the first by means of a stable oscillator to at least one constant beat frequency, or that its frequency is continuously changed so that the resulting beat frequency can be varied and measured within a limited range. 2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen polarisationsoptischen Mischer, der die linearpolari­ sierten zueinander orthogonal ausgerichteten Wellen zweier kohärenter Strahlungsquellen so mischt, daß sich beide über­ decken und interferieren können. 2. The method according to claim 1, characterized by a polarization-optical mixer, the linear polar were mutually orthogonally aligned waves of two coherent radiation sources so that both overlap can cover and interfere.   3. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch optische Filter, mit denen die Intensitäten der Strahlungsquellen zueinander abgeglichen werden.3. The method according to claim 1, characterized by optical Filters with which the intensities of the radiation sources be compared to each other. 4. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch asphäri­ sche und/oder anamorphische Objektive, mit denen die Wellenfronten der Strahlungsquellen geebnet und zueinander angepaßt werden.4. The method according to claim 1, characterized by aspheric and / or anamorphic lenses with which the Wavefronts of the radiation sources are leveled and to each other be adjusted. 5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, gekennzeichnet durch ein Frequenznormal, welches eine Absorptionszelle sein kann, mit dem die Frequenz mindestens einer Strahlungs­ quelle stabilisiert wird.5. The method according to claims 1 to 4, characterized by a frequency standard, which is an absorption cell can be with which the frequency of at least one radiation source is stabilized. 6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, gekennzeichnet durch ein Wellenlängennormal, welches ein Interferenz- Refraktometer sein kann, mit dem die Wellenlänge mindestens einer Strahlungsquelle stabilisiert wird.6. The method according to claims 1 to 4, characterized by a wavelength standard, which is an interference Refractometer with which the wavelength can be at least a radiation source is stabilized. 7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein Frequenznormal, welches ein Quarzoszillator sein kann, durch den die Frequenz der zweiten Strahlungs­ quelle gegenüber der ersten auf eine stabile Schwebungsfre­ quenz geregelt wird.7. The method according to claims 1 to 6, characterized by a frequency standard, which is a quartz oscillator can be by the frequency of the second radiation swell compared to the first on a stable beat sequence is regulated. 8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein Wellenlängennormal, welches ein Interferenz- Refraktometer sein kann, durch das die Frequenz der zweiten Strahlungsquelle gegenüber der ersten frequenzstabilisierten so geregelt wird, daß die Schwebungswellenlänge konstant ist. 8. The method according to claims 1 to 6, characterized by a wavelength standard, which is an interference Refractometer can be used to determine the frequency of the second Radiation source compared to the first frequency-stabilized is controlled so that the beat wavelength is constant is.   9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, gekennzeichnet durch einen elektronischen Funktionsgenerator, mit dem die Parameter, die die Frequenz der zweiten Strahlungsquelle beeinflussen, so geändert werden, daß die Schwebungsfrequenz beider Strahlungsquellen innerhalb eines begrenzten Berei­ ches variiert oder oszilliert und momentan gemessen werden kann.9. The method according to claims 1 to 6, characterized through an electronic function generator with which the parameters that determine the frequency of the second radiation source affect, so that the beat frequency both radiation sources within a limited range ches varies or oscillates and are currently measured can. 10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, 6 und 8, gekenn­ zeichnet durch die Anordnung des Wellenlängennormals in unmittelbarer Nähe der Meßstrecke und innerhalb eines Schutzgehäuses, falls dieses die Meßstrecke überdeckt, wo­ durch die Wellenlänge nach dem augenblicklichen Zustand des Brechungsindexes der Luft auf der Meßstrecke stabilisiert wird.10. The method according to claims 1 to 4, 6 and 8, marked characterized by the arrangement of the wavelength standard in immediate vicinity of the measuring section and within a Protective housing, if this covers the measuring section, where by the wavelength according to the current state of the Refractive index of the air stabilized on the measuring section becomes.
DE19883801110 1988-01-16 1988-01-16 Method and device for producing coherent electrical magnetic radiation from two spectrally closely adjacent, linear-polarised wavelengths, whose polarisation directions are oriented orthogonally with respect to one another Withdrawn DE3801110A1 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE4139833A1 (en) * 1991-12-03 1993-06-09 Deutsche Aerospace Ag, 8000 Muenchen, De Microcrystal two wavelength laser for super heterodyne interferometer - has laser diode pumped solid state laser system consisting of two monolithic microcrystal lasers in longitudinal single mode operation
CN100384033C (en) * 2005-05-30 2008-04-23 中国科学院物理研究所 Active or passive controlling synthesizer of laser coherent

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CN100384033C (en) * 2005-05-30 2008-04-23 中国科学院物理研究所 Active or passive controlling synthesizer of laser coherent

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