DE3771069D1 - Verfahren und anlage zur filmabscheidung unter verwendung leicht fluechtiger cluster. - Google Patents

Verfahren und anlage zur filmabscheidung unter verwendung leicht fluechtiger cluster.

Info

Publication number
DE3771069D1
DE3771069D1 DE8787906260T DE3771069T DE3771069D1 DE 3771069 D1 DE3771069 D1 DE 3771069D1 DE 8787906260 T DE8787906260 T DE 8787906260T DE 3771069 T DE3771069 T DE 3771069T DE 3771069 D1 DE3771069 D1 DE 3771069D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
film deposition
light volatile
clusters
volatile clusters
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE8787906260T
Other languages
English (en)
Inventor
Wolfgang Knauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytheon Co
Original Assignee
Hughes Aircraft Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hughes Aircraft Co filed Critical Hughes Aircraft Co
Priority claimed from PCT/US1987/002252 external-priority patent/WO1988002790A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE3771069D1 publication Critical patent/DE3771069D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

DE8787906260T 1986-10-15 1987-09-08 Verfahren und anlage zur filmabscheidung unter verwendung leicht fluechtiger cluster. Expired - Fee Related DE3771069D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US91909686A 1986-10-15 1986-10-15
PCT/US1987/002252 WO1988002790A1 (en) 1986-10-15 1987-09-08 Process and apparatus for film deposition utilizing volatile clusters

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3771069D1 true DE3771069D1 (de) 1991-08-01

Family

ID=26776197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8787906260T Expired - Fee Related DE3771069D1 (de) 1986-10-15 1987-09-08 Verfahren und anlage zur filmabscheidung unter verwendung leicht fluechtiger cluster.

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3771069D1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3852324D1 (de) Verfahren und System zur Netzwerkverwaltung.
DE69308587D1 (de) Verfahren zur herstellung von durchsichtigen säure-ätzungsbesändigen beschichtungssystemen
DE69230923D1 (de) Verfahren und System zur automatischen Herstellung von Netzwerkdiagrammen
DE3763134D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer endoprothese mit individueller anpassung.
DE3680493D1 (de) Verfahren zur herstellung einer poroesen folie.
DE69231339D1 (de) Verfahren zur herstellung von lagern
ATA115486A (de) Verfahren zur herstellung neuer antibiotischer makrolite
DE3669166D1 (de) Verfahren zur herstellung einer biaxial orientierten polypropylenfolie.
DE69123822D1 (de) Verfahren zur funktionsüberwachung von brennstoffzellen
DE3787921D1 (de) Ringnetzsystem und Verfahren zur Konfigurationssteuerung.
DE59304443D1 (de) Verfahren zur herstellung von viskosezellstoffen
DE68907611D1 (de) Auf teilchen immobilisierte lipasezubereitung, verfahren zur herstellung und deren verwendung.
DE3766029D1 (de) Verfahren und anlage zur herstellung von diamanten.
DE3575728D1 (de) Verfahren zur herstellung kristallisierten maltitols.
DE59606301D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Bisphenolen unter Verwendung neuer Cokatalysatoren
DE69104097D1 (de) Verfahren zur Durchmesserbestimmung bei automatisch kontrolliertem Kristallwachstum.
DE3882502D1 (de) Verfahren zur herstellung von kornorientierten elektrostahlblechen mit hoher flussdichte.
DE3676697D1 (de) Verfahren zur herstellung einer linse mit brechwertgradient.
DE3581806D1 (de) Optische faser und verfahren zur herstellung derselben.
DE3680394D1 (de) Verfahren zur herstellung von polyolefinen.
DE3762243D1 (de) Verfahren zur elektroabscheidungsbeschichtung.
DE3585637D1 (de) Verfahren zur herstellung von polymeren teilchen.
DE3671992D1 (de) Verfahren zur herstellung einer tonerfixierwalze.
DE3766484D1 (de) Verfahren zur herstellung stereospezifischer polyolefine.
DE3670065D1 (de) Optische faser und verfahren zur herstellung derselben.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee