DE3737251C2 - Halbleiter-Trägerelement für ein elektro-optisches Modul - Google Patents

Halbleiter-Trägerelement für ein elektro-optisches Modul

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Description

Die Erfindung betrifft ein Trägerelement aus Halbleitermaterial für den Einbau in ein elektro-optisches Modul.
Bei der Informationsübertragung über Lichtleitfasern werden zunehmend Sende- und Empfangsmodule benutzt. Ein Sendemodul enthält dabei:
  • - ein aktives Element, z. B. einen Halbleiter (HL)-Laser,
  • - alle zur Ansteuerung und Regelung des aktiven Elementes erforderlichen Bauelemente (Modulation, Rücklichtdiode) ,
  • - eine Koppeleinrichtung, die dazu dient, die vom aktiven Element erzeugte Strahlung in eine Lichtleitfaser einzukoppeln,
  • - je nach Aufbau ein Stück Lichtleitfaser, von dem ein Ende einer im Modulgehäuse angebrachten Steckvorrichtung zugeführt wird.
Im Empfängermodul sind enthalten:
  • - ein aktives Element, die Photodiode,
  • - eine Verstärkereinrichtung zur Verstärkung des Diodensignales,
  • - eine Koppeleinrichtung zur Einkopplung des Lichtes von der Faser auf die Diode,
  • - eventuell, wie bereits bei der Senderseite beschrieben, ein Stück Lichtleitfaser.
Sende- und Empfangsmodule werden in ein, oftmals auch noch gasdichtes, Modulgehäuse eingebaut. An den Übergangsstellen "lichtleitfaser-aktive Elemente" können durch ungenaue Positionierung der Elemente relativ zueinander erhebliche Verluste auftreten. Um diese Verluste zu vermeiden, müssen die einzelnen Elemente eines Moduls sorgfältig justiert werden. Sorgfältige Justage ist zeitaufwendig und macht die automatische Bestückung von Sende- oder Empfangsmodulen weitgehend unmöglich. Schon seit geraumer Zeit suchte man daher nach Möglichkeiten, den Justageaufwand bei der Fertigung von elektro-optischen Modulen so gering wie möglich zu halten.
Aus der DE-OS 23 31 497 ist eine Anordnung zum Einkoppeln von Laserstrahlen in optische Fasern bekannt, bei der auf einem Substrat ein integrierter optischer Mikro­ wellenleiter vorgesehen ist. Außerdem weist das Substrat eine auf den Mikrowellenlei­ ter ausgerichtete, V-förmige Nut auf. Diese ist durch Ätzen so hergestellt, daß eine darin fixierte Glasfaser eine Lage einnimmt, in der ihr Kern annähernd koaxial mit der Achse des integrierten Mikrowellenleiters fluchtet und ein am anderen Ende z. B. über ein Gitter in den Mikrowellenleiter eingekoppeltes Laserlicht unmittelbar in den Kern der Glasfaser überkoppelt.
Bei einem Ausführungsbeispiel ist zwischen dem Ende des Mikrowellenleiters und dem Faserende eine in das Substrat integrierte Dünnfilmlinse vorgesehen, die das gesam­ melte Laserlicht auf den Faserkern fokussiert.
Eine opto-elektrische Koppelanordnung mit den im Oberbegriff des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmalen ist aus der DE-OS 35 43 558 bekannt, die einen verein­ fachten, mit wenigen Justageschritten auskommenden Aufbau von elektro-optischen Modulen ermöglicht. Diese Koppeleinrichtung besteht aus einem einkristallinen Trägerelement aus Halbleitermaterial, z. B. Silizium oder Gallium-Arsenid. In das Trägerelement ist parallel zu einer Oberfläche eine V-förmige Nut eingeätzt, die zur Aufnahme und Positionierung einer Lichtleitfaser dient. Am Ende der V-förmigen Nut ist eine angeschrägte Fläche vorgesehen, die das aus der Lichtleitfaser stammende Licht zu einer Photodiode umlenkt. Anstelle der angeschrägten Fläche kann auch eine Linse benutzt werden, die dann in die Nut eingeklebt werden muß. Bei Verwendung einer Linse lassen sich die Koppelverluste unter das durch die angeschrägte Fläche erzielbare Maß senken. Nach der Bestückung des Trägerelementes mit weiteren Bauteilen wird das gesamte Trägerelement in ein Modulgehäuse eingesetzt.
Nachteilig an der bekannten Koppelanordnung ist jedoch der immer noch erforderliche Justageaufwand für die Umlenklinse.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Trägerelement in der Weise aufzubauen, daß auch der für eine Umlenklinse erforderliche Justageaufwand entfällt. Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Trägerelement mit der Merkmalskombination des Hauptanspruches. In den Unteransprüchen sind Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Trägerelementes aufgeführt.
Das Trägerelement gemäß der Erfindung hat den Vorteil, daß es aus einem einzigen Siliziumstück hergestellt werden kann, wodurch dann alle Einzelkomponenten starr auf einer Linie und relativ zueinander fixiert sind. Dadurch entfällt die Einzeljustage der verschiedenen Komponenten. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß derartige Module automatisch bestückt werden können, was im Hinblick auf niedrige Kosten und die Herstellung großer Stückzahlen besonders wichtig ist. Aus der Verwendung von Silizium als Trägermaterial ergeben sich noch als weitere Vorteile:
  • - Silizium läßt sich einfach und präzise durch bekannte Ätzen bearbeiten.
  • - Das Material ist preisgünstig.
  • - Silizium hat als Halbleiter ähnliche Ausdehnungskoeffizienten wie die übrigen Halbleiterkomponenten (Laser, Detektor, usw.).
  • - Silizium hat eine gute Wärmeleitfähigkeit, d. h. ein Peltierkühler kann weiterhin, falls nötig, eingesetzt werden.
  • - Silizium ist im interessanten Spektralbereich zwischen 1,3 Mikrometer und 1,6 Mikrometer Wellenlänge transparent, was den vorteilhaften Linseneffekt erst ermöglicht.
  • - Integration der Transistoren zur Ansteuerung des Lasers oder zur Verstärkung des Empfangssignals der Diode sowie Integration einer Rücklichtdiode sind bei geeignet gewähltem HL-Material direkt auf dem Trägerelement möglich, was besonders für die Hochfrequenzeigenschaften der Moduls wichtig ist.
Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden in der folgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Ausführungsbeispieles,
Fig. 2a Draufsicht, Seitenansicht und Schnittbild bis 2c des Ausführungsbeispieles nach Fig. 1,
Fig. 3 eine Skizze mit den für das dritte Ausführungsbeispiel wesentlichen Elementen.
Das in Fig. 1 perspektivisch dargestellte Trägerelement ist in drei Teilbereiche eingeteilt, die mit 10, 11 und 12 bezeichnet sind. In den Teilbereich 10 ist eine Nut 13 eingeätzt, die eine mit 14 bezeichnete Glasfaser aufnimmt. Im Teilbereich 12 befinden sich eine Nut 15, die zur Aufnahme eines elektro-optischen Bauelementes dient. Im Ausführungsbeispiel ist in die Nut ein mit 16 bezeichneter Halbleiterlaser eingesetzt. Hinter dem Halbleiterlaser befindet sich in einer Nut 17 eine Rücklichtdiode 18, wie sie üblicherweise zur Steuerung der Laserausgangsleistung benutzt wird. Anstelle eines HL-Lasers kann es sich bei den mit 16 bezeichneten Bauelementen allgemein auch um einen opto-elektronischen Chip handeln. Im Fall eines Sendemoduls kann der Chip in integrierter Bauweise enthalten:
  • - einen HL-Laser mit Rücklichtdiode oder
  • - einen HL-Laser mit Ansteuerschaltung oder
  • - einen HL-Laser mit Rücklichtdiode und Ansteuerschaltung.
Im Fall eines Empfangsmoduls enthält der Chip eine Photodiode und eine Verstärkerschaltung.
Grundsätzlich lassen sich, da das Trägerelement aus Silizium besteht, elektronische Bauelemente in das Trägerelement hineinintegrieren. Im Ausführungsbeispiel sind Bereiche 19/1 bis 19/3 vorgesehen, die auf integrierte Bauelemente hinweisen sollen.
Der mit 11 bezeichnete Teilbereich des Trägerelementes enthält eine mit 20 bezeichnete Linse, hier kugelförmig gezeichnet, die jedoch im allgemeinsten Fall auch aus zwei sphärischen Flächen bestehen kann. Diese Linse 20 wird bei der Bearbeitung des Trägerelementes aus dem Siliziumblock herausgearbeitet, beispielsweise durch Ätzen. Ihre Lage relativ zur Glasfaser 14 und zum elektro-optischen Bauelement 16 ist damit fixiert. Damit entfällt jede Justierung.
Die Oberfläche des mit 10 gekennzeichneten Teilbereiches kann mit einer Metallschicht, beispielsweise mit einer dünnen Goldschicht bedampft sein. In diesem Fall wird die Glasfaser 14 in die V-förmige Nut 13 eingelötet. Ist die Oberfläche nicht bedampft, wird die Glasfaser 14 in die Nut 13 eingeklebt. An dem der Linse 20 zugewandten Ende der V-förmigen Nut befindet sich ein hier nicht näher gekennzeichneter Anschlag, der zur Arretierung und schnellen Positionierung der Glasfaser 14 dient.
Die Glasfaser 14 kann an ihrem der Linse 20 zugewandten Ende linsenförmig ausgeformt sein, so daß sich eine sehr effiziente Lichteinkopplung von Glasfaser auf Linse und von Linse auf das elektro-optische Bauelement ergibt. Mit der dargestellten Anordnung läßt sich eine sehr genaue Ausrichtung der Glasfaser auf die aktive Zone des elektro-optischen Bauelementes erzielen.
Werden anstelle des HL-Lasers 16 Laser-Arrays verwendet, ist Multiplexbetrieb möglich. In diesem Fall werden unterschiedliche Wellenlängen mit unterschiedlicher Information moduliert.
Die Fig. 2a bis 2c dienen der Verdeutlichung der Anordnung nach Fig. 1. Gleiche Bezugszeichen beziehen sich auf gleiche Elemente. Bisher wurde überwiegend ein Sendemodul beschrieben. Wird jedoch anstelle des Lasers 16 in die Nut 15, die gegebenenfalls etwas anders geformt sein kann, ein Detektor eingesetzt, so kann das Trägerelement auch für Empfangsmodule eingesetzt werden. Wird dann, wie in Fig. 3 schematisch dargestellt, anstelle einer Linse eine Anordnung bestehend aus zwei Linsen 31 und 32 und einem zwischen den Linsen liegenden optischen Gitter oder einem Prisma 33 benutzt, so kann zusätzlich noch ein Demultiplexer eines Wellenlängenmultiplexsystemes mit integriert werden. Ein solcher Demultiplexer ist in Fig. 3 mit dem Bezugszeichen 34 versehen. Auch das Trägerelement nach Fig. 3 kann selbstverständlich elektronische Bauelemente in integrierter Form mit enthalten. Auf ihre gesonderte Darstellung wurde verzichtet.
Das beschriebene Trägerelement wird vor dem Einbau in einen Sende- bzw. Empfangsmodul mit allen notwendigen Bauelementen bestückt. Dazu gehören die Glasfaser 14, das opto-elektronische Bauelement 16 (Laser, Empfangsdiode, Rücklichtdiode) und die zur Ansteuerung der opto-elektronischen Elemente notwendigen Schaltungen, sofern diese nicht in das Trägerelement mit integriert sind. Nach der Bestückung, die sich weitgehend automatisch durchführen läßt, wird das Trägerelement in den Sende- bzw. Empfangsmodul eingesetzt. Da die Justierung einzelner Bauelemente entfällt, lassen sich solche Sende- bzw. Empfangsmodule schneller und preiswerter fertigen. Dies ist besonders im Hinblick auf große Stückzahlen wichtig.

Claims (15)

1. Trägerelement aus Halbleitermaterial für den Einbau in ein elektro-optisches Modul, das mit opto-elektronischen Bauelementen, einem oder mehreren elektronischen Bauelementen sowie einer Glasfaser zur Zuführung oder Wegleitung von moduliertem Licht von nur einer Seite her bestückt wird, wobei in die zu bestückende Oberfläche eines Teilbereichs des Trägerelementes eine V-förmige Nut für die Aufnahme der Glasfaser geätzt und ein auf die Glasfaser ausgerichtetes optisches Bauelement vorhanden ist, dadurch gekennzeichnet, daß in einem dem Teilbereich (10) für die Glasfaser (14) entgegengesetzten Teilbereich (12) das Trägerelement wenigstens eine weitere Nut (15) für die Aufnahme eines opto-elektronischen Bauelements (16, 34) aufweist, und in einem zwischen diesen Teilbereichen (10, 12) befindlichen Teilbereich (11) das optische Bauelement (z. B. 20, 33) so aus dem Trägermaterial herausgearbeitet ist, daß seine Lage relativ zur Glasfaser (14) und zum opto-elektronischen Bauelement (16, 34) justierfrei fixiert ist.
2. Trägerelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere V-förmige Nuten zur Aufnahme von Glasfasern vorgesehen sind.
3. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als optisches Bauelement wenigstens zwei sphärische Flächen (Linse) aus der Oberfläche des Trägerelementes herausgearbeitet sind.
4. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als optisches Bauelement ein optisches Gitter aus der Oberfläche herausgearbeitet ist.
5. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei aus seiner Oberfläche herausgearbeitete Linsen zusätzlich ein optisches Gitter geätzt ist.
6. Trägerelement nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß es wenigstens ein elektronisches Bauelement in integrierter Bauweise enthält.
7. Trägerelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem elektronischen Bauelement um einen Transistor handelt.
8. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die V-förmige Nut mit einer Abschrägung von etwa 45° abschließt.
9. Trägerelement nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch seine Bedampfung mit einer Metallschicht.
10. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 bis 9, gekennzeichnet durch seine Bestückung mit einem oder mehreren opto-elektronischen Chips.
11. Trägerelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der opto-elektronische Chip besteht aus
  • - einem Halbleiter-(HL)Laser oder
  • - einem HL-Laser und Rücklichtdiode oder
  • - einem HL-Laser und Ansteuerschaltung oder
  • - einem HL-Laser, Rücklichtdiode und Ansteuerschaltung.
12. Trägerelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der opto-elektronische Chip besteht aus
  • - einer Photodiode
  • - einer Photodiode mit Verstärkerschaltung.
13. Trägerelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ansteuereinrichtung zur Ansteuerung des opto-elektronischen Chips in integrierter Bauweise auf dem Trägerelement vorgesehen ist.
14. Trägerelement nach den Ansprüchen 10 und 12 dadurch gekennzeichnet, daß eine dem Chip nachgeschaltete Verstärkerschaltung in integrierter Bauweise auf dem Trägerelement vorgesehen ist.
15. Trägerelement nach den Ansprüchen 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß Glasfasern in die V-förmigen Nuten eingeklebt oder eingelötet werden.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3925201A1 (de) * 1989-07-29 1991-02-07 Messerschmitt Boelkow Blohm Optische bank zur halterung optischer, elektrischer u.a. komponenten
DE3939723C1 (en) * 1989-12-01 1991-02-14 Ant Nachrichtentechnik Gmbh, 7150 Backnang, De Optical or opto-electronic coupling - uses spherical lens received in frusto-pyramidal recess of one part and groove of other part
DE4033363A1 (de) * 1990-10-17 1992-04-23 Rainer Richter Photodiode
JP2945246B2 (ja) * 1993-06-23 1999-09-06 株式会社日立製作所 光素子モジュール
EP1788416B1 (de) * 1998-09-24 2008-03-05 LG Cable & Machinery Ltd. Verfahren zur Herstellung eines Laserdiodenchips
DE19861162A1 (de) 1998-11-06 2000-06-29 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte sowie Leiterplatte
JP2002151781A (ja) 2000-11-10 2002-05-24 Mitsubishi Electric Corp 光素子モジュール
JP2003344709A (ja) * 2002-05-23 2003-12-03 Okano Electric Wire Co Ltd ファイバ型光モジュール

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA954355A (en) * 1972-06-26 1974-09-10 Louis P. Boivin Coupling of lasers to optical fibres
DE3543558C2 (de) * 1985-12-10 1996-09-19 Licentia Gmbh Opto-elektrische Koppelanordnung

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