DE3724634C2 - Elektro-optisches Bauelement - Google Patents
Elektro-optisches BauelementInfo
- Publication number
- DE3724634C2 DE3724634C2 DE19873724634 DE3724634A DE3724634C2 DE 3724634 C2 DE3724634 C2 DE 3724634C2 DE 19873724634 DE19873724634 DE 19873724634 DE 3724634 A DE3724634 A DE 3724634A DE 3724634 C2 DE3724634 C2 DE 3724634C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electro
- electrically conductive
- optically transparent
- layer
- optical component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein elektro-optisches
Bauelement der im Oberbegriff des Patentanspruches 1
genannten Art.
In der optischen Nachrichtentechnik mit Monomodefasern
für die Übertragungswege und auch für optische
Signalverarbeitungssysteme gewinnen Bauelemente der
integrierten Optik zunehmend an Bedeutung. Für die
Beeinflussung von Signalen im optischen Bereich mittels
elektrischer Steuersignale findet der elektro-optische
Effekt Anwendung, d. h. es werden in Bauelementen der
integrierten Optik elektrische Felder erzeugt, die sich
auf die Ausbreitungseigenschaften der geführten
Lichtwellen auswirken. Dazu sind Materialien mit
entsprechenden optischen und/oder elektrischen Eigen
schaften erforderlich und konstruktive Gesichtspunkte
zu berücksichtigen.
Der Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, ist
der DE 28 34 344 A1 zu entnehmen. Bei einem dort
beschriebenen optoelektronischen Bauteil, dessen Substrat
aus einem an Sauerstoff gesättigten Basismaterial, z. B.
LiNbO₃ oder LiTaO₃, besteht, sind dort befindliche
Lichtleiter mit ihrer Oberfläche an der Substratoberfläche
ausgebildet. Zur Erzeugung elektrischer, die Lichtleiter
durchdringender Felder dienen auf der Substratoberfläche
abgeschiedene Elektroden. Mit sogenannten "koplanaren"
oder "flankierenden" Elektroden lassen sich parallel zur
Substratoberfläche verlaufende elektrische Felder, mit
sogenannten "bedeckenden" Elektroden auf der Oberseite und
zugeordneten Gegenelektroden auf der entgegengesetzten,
d. h. der Unterseite des Substrats senkrecht zur Sub
stratoberfläche verlaufende elektrische Felder erzeugen.
Diese beiden Arten von Elektrodenanordnungen haben unter
schiedliche Vorzüge, die eine Art mehr bezüglich der
elektronischen, die andere Art mehr bezüglich der opti
schen Funktionsweise eines solchen Bauelements.
Dort, wo außer erzielbaren elektronischen Vorzügen auch
die optischen Eigenschaften verbessert werden sollen, sind
weitere Maßnahmen zu ergreifen.
Aus "Japanese Journal of Applied Physics", Vol. 20, No.
4, April 1981, Seiten 733 bis 737 ist es beispielsweise
bekannt, die Gleichstromdrift in Komponenten aus
Lithiumniobat (LiNbO₃) mit optischen Wellenleitern für
geringe Schaltgeschwindigkeiten zu verringern. Zwischen
den Wellenleitern in einem LiNbO₃-Substrat und diese
bedeckenden Elektroden aus Aluminium soll eine Puf
ferschicht aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) in einer Dicke von
etwa 3000 Å = 300 nm vorgesehen werden. Eine Verringerung
der Kurzzeitdrift soll sich durch Entfernung der
Pufferschicht zwischen den Elektroden erreichen lassen;
für eine Verminderung der auf dem Photorefraktiv-Effekt
beruhenden Langzeitdrift kommen Behandlungen der
Kristalloberfläche und/oder die Anwendung starker
elektrischer Felder in Betracht, um überschüssige, auf
grund des Photoeffekts angeregte freie Ladungsträger
abzuführen.
Eine Trennung zwischen einem optischen Wellenleiter und
einer Elektrode bei einem Mach-Zehnder-Modulator durch
eine Pufferschicht aus Indium - Zinn - Oxid (indium tin
oxide = ITO) ist aus "Appl. Phys. Lett." 47 (3),
1. August 1985, Seiten 211 bis 213 bekannt. Hierbei
handelt es sich um optisch transparentes, elektrisch
leitendes Material, durch das die Langzeitdrift auf
elegantere und effektivere Weise als nach dem oben
genannten Vorschlag verringert werden kann.
Bezüglich der optischen Eigenschaften ist bei solchen
Schichtfolgen zu beachten, daß die optische Brechzahl
der bedeckenden Schicht kleiner sein muß als die des
Wellenleiters. Schlechte dielektrische Eigenschaften
wirken sich als Drift auf die Stabilität der Bauele
mente aus.
Im Vergleich zu SiO- oder SiO₂-Schichten auf LiNbO₃
haben ITO-Schichten folgende Vorteile:
- - es treten keine Drifterscheinungen durch Ionenleitung auf;
- - derartige elektrisch leitende Pufferschichten führen zu keinem spürbaren Feldverlust, da keine zusätzlichen kapazitiven Belastungen gebildet werden, d. h. es rei chen für die elektro-optische Steuerung geringe Span nungen, etwa 50% bis 70%, aus.
- - die verhältnismäßig hohe Brechzahl ermöglicht eine Symmetrisierung vergrabener Wellenleiter, d. h. das Medium oberhalb eines solchen Wellenleiters hat etwa dieselbe Brechzahl wie die des Substrats, das den Wellenleiter ansonsten umgibt.
Demgegenüber haben jedoch Schichten aus optisch trans
parentem, elektrisch leitendem Material, insbesondere
ITO-Schichten, folgende Nachteile:
- - für hohe Schaltgeschwindigkeiten sind infolge der Leitfähigkeit, die geringer ist als bei Metallen, Elektroden allein aus derartigem Material nicht besonders gut geeignet;
- - wird dabei jedoch zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften eine zusätzliche Metallisierung aufge bracht, muß die Pufferschicht wegen der relativ hohen Brechzahl des optisch transparenten, elek trisch leitenden Materials mit beachtlicher Dicke ausgeführt werden, um die optische Dämpfung gering zu halten. Außerdem ergeben sich bei dicken Pufferschichten Probleme bei der Struktu rierung.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, unter
Vermeidung der oben genannten Nachteile von Schichten
aus optisch transparentem, elektrisch leitendem
Material dessen Vorteile für die Ausbildung von
Elektroden elektro-optischer Bauelemente auszunutzen.
Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die
im Patentanspruch 1 angegebene technische Lehre.
Besonders vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Merkmale gekennzeichnet.
Die Erfindung wird nachfolgend mit ihren Vorzügen
anhand der in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsformen näher erläutert. Dabei zeigen
schematisch:
Fig. 1 die Struktur für ein Interferome
ter, also eines elektro-optischen
Bauelements mit teilweise bedecken
den, teilweise flankierenden Elek
troden, in Draufsicht, jedoch ohne
obere Passivierungsschicht;
Fig. 2 einen Querschnitt entlang "A-A"
gemäß Fig. 1, d. h. durch ein Bau
element mit flankierenden Elektro
den; und
Fig. 3 einen Querschnitt entlang "B-B"
gemäß Fig. 1, d. h. durch ein Bauele
ment mit bedeckenden Elektroden.
Fig. 1 zeigt die Struktur eines Inferometers, eine
allgemeine Form eines elektro-optischen Bauelements
insofern, als dort sowohl flankierende als auch
bedeckende Elektroden zur Erzeugung von horizontal bzw.
vertikal verlaufenden elektrischen Feldern benötigt
werden. Mit diesen elektrischen, senkrecht zur
Längsachse der Lichtwellenleiter verlaufenden Feldern
lassen sich die geführten Lichtwellen beispielsweise
hinsichtlich ihres Polarisationszustandes oder ihrer
Phasenlage beeinflussen.
In den Fig. 1 bis 3 sind die im Substrat vergrabenen
Lichtwellenleiter mit 1 und die auf dem Substrat
abgelagerten strukturierten Schichten aus dem optisch
transparenten, elektrisch leitenden Material mit 2,
Metallschichten mit 3 und eine Passivierungsschicht mit
4 bezeichnet.
Die eingangs erwähnten Probleme bei der Ausbildung von
Elektrodenflächen von elektro-optischen Bauelementen
ergeben sich hauptsächlich im Zusammenhang mit
bedeckenden Elektroden. Bei integrierten elektro-op
tischen Bauelementen müssen jedoch auch für Strukturen
mit flankierenden Elektroden dieselben technologischen
Maßnahmen zur Anwendung kommen können wie für
Ausbildungen mit bedeckenden Elektroden. Außerdem ist
es für die elektrische Funktion günstig, auch bei
flankierenden Elektroden die Randbereiche eines Wellen
leiters etwas abzudecken, um mit geringeren Steuerspan
nungen arbeiten zu können.
Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung, der für beide
Ausbildungsformen von Elektrodenflächen gleichermaßen
wirksam wird, besteht darin, daß eventuelle Unterbre
chungen z. B. Mikrorisse in der Schicht 2 aus dem
optisch transparenten, elektrisch leitenden Material
von der darüber befindlichen Metallschicht 3 überbrückt
werden. Der Fall, daß auch die Metallschicht 3 an der
selben Stelle defekt sein sollte, ist sehr unwahrschein
lich.
Bei den flankierenden Elektroden, deren Ausbildung der
Fig. 1 im linken Teil und der Fig. 2 entnommen werden
kann, handelt es sich um zwei Elektrodenpaare für jeden
der beiden Lichtwellenleiter 1; die Elektroden der
beiden Paare mit demselben Potential sind zu einer
gemeinsamen, zwischen den beiden Wellenleitern 1
liegenden Fläche zusammengefaßt. Die Elektroden
bestehen jeweils zunächst aus der optisch
transparenten, elektrisch leitenden Schicht 2, die bis
in die Randzonen des betreffenden Lichtwellenleiters 1
reicht. Die darüber befindliche, niederohmige Zuleitung
wird von der Metallschicht 3 gebildet und liegt mit
ihrer Begrenzung zum Lichtwellenleiter 1 hin von diesem
etwas weiter ab, bedeckt dort jedenfalls nicht die
Schicht 2. Diese Begrenzung der Metallschicht 3
unterliegt nur geringen Genauigkeitsanforderungen. Im
linken Teil der Fig. 1 sind entlang der Schnittlinie
"A-A" vom oberen zum unteren Teil der Figur in der
Draufsicht sichtbar (vgl. auch Fig. 2):
- - oberer Bereich:
Substrat - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transpa rente, elektrisch leitende Schicht 2 großflächig, jedoch nicht vollständig) - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeckter, hingegen eine der Randzonen des Wellenleiters 1.1 be deckender Bereich) - Wellenleiter 1.1; - - mittlerer Bereich:
Wellenleiter 1.1 - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeck ter, hingegen die andere der Randzonen des Wellenlei ters 1.1 bedeckender Bereich) - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transparente, elektrisch leitende Schicht großflächig, jedoch nicht vollständig) - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeckter, hingegen eine der Randzonen des Wellenleiters 1.2 bedeckender Bereich) - Wellenleiter 1.2; - - unterer Bereich:
Wellenleiter 1.2 - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeckter, hingegen die andere der Randzonen des Wellenleiters 1.2 bedeckender Bereich) - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 großflächig, jedoch nicht vollständig) - Substrat.
Hiervon unterscheidet sich die Ausbildung bedeckender
Elektroden, wie aus dem rechten Teil der Fig. 1 und aus
Fig. 3 erkennbar ist. Direkt oberhalb der Wellenlei
ter 1 befindet sich lediglich die optisch transparente,
elektrisch leitende Schicht 2. Die metallische
Schicht 3 liegt optisch außerhalb wellenleitender
Bereiche 1. Dies reicht als Potentialfläche für die
Erzeugung vertikal verlaufender elektrischer Felder -
wie eine metallische Schicht - völlig aus, bewirkt
indes keine optische Dämpfung, so daß die Vorzüge
dieses Materials ohne dessen Nachteile - wie eingangs
erwähnt - zur Geltung kommen können.
Entlang der Schnittlinie "B-B" der Fig. 1 von ihrem
oberen Teil zum unteren hin folgend, vgl. auch Fig. 3,
sind in Draufsicht sichtbar:
- - oberer Bereich:
Substrat - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transpa rente, elektrisch leitende Schicht 2 großflächig, jedoch nicht vollständig) - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeckter, hingegen Wellenleiter 1.1 bedeckender Bereich) - Sub strat; - - mittlerer Bereich:
Substrat - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transpa rente, elektrisch leitende Schicht 2 großflächig, jedoch nicht vollständig) - optisch transparente, elektrisch leitende Schicht 2 (nicht von Metallschicht 3 bedeck ter, hingegen Wellenleiter 1.2 bedeckender Bereich) - Substrat; - - unterer Bereich:
Substrat - Metallschicht 3 (bedeckt optisch transparen te, elektrisch leitende Schicht 2 großflächig, gegebe nenfalls vollständig) - Substrat (bzw. optisch transpa rente, elektrisch leitende Schicht 2).
Von den Anschlußfahnen zu den Elektrodenflächen
führende Metallbahnen müssen die Wellenleiter 1
kreuzen, wenn derartige Kreuzungen nicht mittels
Bonddrähten umgangen werden. Die Stege der Metall
schichten 3 an solchen Kreuzungsstellen mit Lichtwel
lenleitern 1 lassen sich jedoch ausreichend schmal
ausbilden, so daß ihre elektrische Funktion voll
erfüllt werden kann, ohne die optische Wirkung, d. h.
die Dämpfung der geführten Lichtwellen, spürbar zu
beeinflussen, wozu auch an solchen Kreuzungsstellen
ohnehin vorhandene und großflächiger als die
Metallbahnen ausgebildete Endbereiche von Schichten 2
wesentlich beitragen.
Als Substratmaterial ist bislang Lithiumniobat
- LiNbO₃ - für elektro-optische Bauelemente am weitesten
verbreitet. Es kommen jedoch durchaus auch andere di
elektrische Materialien, insbesondere Lithiumtantalat
- LiTaO₃ - sowie Polymere bei der auf diesem technischen
Gebiet rasch voranschreitenden Entwicklung in Betracht.
Bezüglich des optisch transparenten, elektrisch leiten
den Materials liegen hingegen schon umfangreiche
Erfahrungen und Erkenntnisse aus der Solarzellentechno
logie vor, auf die hier zurückgegriffen werden kann.
Beispielsweise ist Cadmiumoxid - CdO - infolge seiner
Toxizität und auch wegen der sehr hohen Brechzahl weni
ger gut geeignet als "ITO", dem für Ausführungsformen
der Erfindung deshalb der Vorzug gegeben wird.
Hinsichtlich der niederohmigen Zuführungen sind für die
Auswahl von Materialien für metallische Schichten 3 für
Ausführungsformen der Erfindung hauptsächlich technolo
gische Gesichtspunkte ausschlaggebend. Der Preis des Ma
terials und der elektrische Widerstand sind in die Über
legungen bei der konstruktiven Gestaltung der "Mehr
schicht-Elektroden" einzubeziehen.
Ähnlich verhält es sich mit der Auswahl des Materials
für die Haftschicht zwischen der Schicht 2 aus optisch
transparentem, elektrisch leitendem Material und der
metallischen Schicht 3. Hierfür werden derzeit Chrom
- Cr - und Titan - Ti - bevorzugt.
Mehrschicht-Elektroden lassen sich bei Ausfüh
rungsformen der Erfindung beispielsweise durch zwei Maskie
rungsprozesse ausbilden. Dabei werden jedoch nur im ersten Maskie
rungsschritt für die Erzeugung der Schicht 2 verhältnis
mäßig hohe Genauigkeitsanforderungen gestellt. Mit der
zweiten Maskierung erfolgt sowohl die Ausbildung der
Haftschicht als auch der metallischen Schicht 3. Die
Strukturen der Schichten 2 und 3 werden vornehmlich
nach der Lift-off-Methode gebildet.
Zum Schutz gegen äußere Einwirkungen, z. B. gegen Ein
dringen von Feuchtigkeit und ähnliches, werden die Bau
elemente schließlich mit einer Passivierungsschicht 4
versehen.
Claims (8)
1. Elektro-optisches Bauelement, das ein Substrat
mit in oberflächennahen Schichten ausgebildeten
wellenleitenden Bereichen und diese flankierende oder
bedeckende Elektroden aufweist,
gekennzeichnet durch
einen Aufbau der Elektroden aus
- - einer strukturierten Schicht (2) eines optisch transpa renten, elektrisch leitfähigen Materials in einer Dicke im 100 nm Bereich, welche das Substrat großflächig und wellen leitende Bereiche (1) zumindest an deren Randzonen bedeckt, und
- - aus einer zumindest über solchen Randzonen der optisch transparenten, elektrisch leitfähigen Schicht (2) befindlichen, strukturierten metallischen Schicht (3) als elektrische Zuleitung, deren Begrenzungen zu wellenlei tenden Bereichen (1) hin weiter ab von diesen liegen.
2. Elektro-optisches Bauelement nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
Lithiumniobat - LiNbO₃ - als Substratmaterial.
3. Elektro-optisches Bauelement nach Anspruch 1 oder 2,
gekennzeichnet durch
Indium-Zinn-Oxid - ITO - als optisch transparentes, elek
trisch leitendes Material (2).
4. Elektro-optisches Bauelement
nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
gekennzeichnet durch
Gold - Au - als Material für niederohmige Zuleitungen und
eine metallische Haftschicht zwischen dem optisch
transparenten, elektrisch leitenden Material (2) und dem
Gold.
5. Elektro-optisches Bauelement
nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
gekennzeichnet durch
Aluminium - Al - als Material für niederohmige Zuleitungen
und eine metallische Haftschicht zwischen dem optisch
transparenten, elektrisch leitenden Material (2) und dem
Aluminium.
6. Elektro-optisches Bauelement nach Anspruch 4 oder 5,
gekennzeichnet durch
Titan - Ti - als Material für die metallische Haftschicht
zwischen dem optisch transparenten, elektrisch leitenden
Material (2) und der Materialschicht für niederohmige
Zuleitungen.
7. Elektro-optisches Bauelement nach Anspruch 4 oder 5,
gekennzeichnet durch
Chrom - Cr - als Material für die metallische Haftschicht
zwischen dem optisch transparenten, elektrisch leitenden
Material (2) und der Materialschicht für niederohmige
Zuleitungen.
8. Elektro-optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1
bis 7,
gekennzeichnet durch
wellenleitende Bereiche (1) mit teilweise bedeckenden,
teilweise flankierenden Elektroden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873724634 DE3724634C2 (de) | 1987-07-22 | 1987-07-22 | Elektro-optisches Bauelement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873724634 DE3724634C2 (de) | 1987-07-22 | 1987-07-22 | Elektro-optisches Bauelement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3724634A1 DE3724634A1 (de) | 1989-02-02 |
DE3724634C2 true DE3724634C2 (de) | 1995-08-03 |
Family
ID=6332327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873724634 Expired - Fee Related DE3724634C2 (de) | 1987-07-22 | 1987-07-22 | Elektro-optisches Bauelement |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3724634C2 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE59007534D1 (de) * | 1989-02-08 | 1994-12-01 | Reinhart Franz Karl | Integrierte optische Schaltung. |
DE19740316C2 (de) * | 1997-09-13 | 2001-01-18 | Bosch Gmbh Robert | Leuchteneinheit für Kraftfahrzeuge |
KR20070036058A (ko) | 2004-06-30 | 2007-04-02 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 도파로형 광제어 소자와 그 제조방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1064185A (fr) * | 1967-05-23 | 1954-05-11 | Philips Nv | Procédé de fabrication d'un système d'électrodes |
FR2399736A1 (fr) * | 1977-08-05 | 1979-03-02 | Thomson Csf | Procede de fabrication d'une structure electro-optique comportant une electrode integree et composant optoelectronique utilisant ladite structure |
DE3218626C1 (de) * | 1982-05-18 | 1983-07-21 | Ulrich Dr.-Ing. 4330 Mülheim Langmann | Steuerbare integriert-optische Bauelemente |
-
1987
- 1987-07-22 DE DE19873724634 patent/DE3724634C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3724634A1 (de) | 1989-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69132673T2 (de) | Optische Wellenleitervorrichtung | |
DE102006045102B4 (de) | Elektro-optisches Hochindexkontrast-Wellenleiter-Bauelement | |
DE69835888T2 (de) | Flüssigkristallanzeigevorrichtung | |
DE69226761T2 (de) | Optische Wellenleiteranordnung mit reduzierter DC-Drift | |
DE19649441B4 (de) | Optische Regelvorrichtung | |
DE19824137B4 (de) | Flüssigkristallanzeige und Herstellungsverfahren dafür | |
DE69434302T2 (de) | Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung | |
DE3486165T2 (de) | Integrierte optische schaltung. | |
DE69415238T2 (de) | Optische Wellenleiter-Vorrichtung | |
DE69526174T2 (de) | Optische Wellenleitervorrichtung | |
DE69737430T2 (de) | Optischer Wellenleitermodulator mit Wanderwellenelektroden | |
EP3704536B1 (de) | Wellenleiter-bauelement | |
DE69102450T2 (de) | Integriert optischer Polarisationsteiler. | |
DE69512694T2 (de) | Optische Vorrichtung von Wellenleitertyp | |
DE112009000290B4 (de) | Elektrisch einstellbare Flüssigkristalllinse mit zentraler Elektrode | |
DE69617946T2 (de) | Kaskadenartige thermooptische vorrichtung | |
DE68909675T2 (de) | Elektro-optische Vorrichtung. | |
EP0304602A2 (de) | Anordnung mit mindestens einem auf ein Substrat aus elektrooptischem Material integrierten optischen Wellenleiter und mindestens einer Elektrode | |
DE102008048503A1 (de) | Flüssigkristalldisplay | |
DE102017106895A1 (de) | Flüssigkristallanzeigefeld und Flüssigkristallanzeigevorrichtung | |
DE69522174T2 (de) | Optische Steuervorrichtung | |
DE3929410A1 (de) | Integrierter lichtwellenleiter | |
DE19638099A1 (de) | Optischer Schalter | |
DE3724634C2 (de) | Elektro-optisches Bauelement | |
DE112020005516T5 (de) | Lichtsteuervorrichtung und beleuchtungseinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |