DE3645001C2 - Strahlteilereinrichtung - Google Patents
StrahlteilereinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Strahlteilereinrichtung
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bekannte Strahlteilereinrichtungen, die sich im wesentlichen
des Phänomens der Teilreflexion bedienen, sind bekannt. Als
Strahlteiler gebräuchlich sind beispielsweise rechtwinklige
Prismen, deren Basisfläche mit einem reflektierenden Überzug
versehen ist. Eine einfachere Strahlteilerform besteht aus
einem für den jeweiligen Strahl möglichst transparenten Plätt
chen - z. B. einem Glasplättchen -, das einseitig mit einem
teilreflektierenden Überzug versehen ist. Das auf ein solches
Plättchen fallende Strahlbündel wird teilweise reflektiert und
tritt teilweise durch das Plättchen durch. Die beiden ausfal
lenden Teilstrahlbündel stehen in der Regel etwa senkrecht
zueinander.
In der Praxis besteht ein Bedarf an solchen Strahlteilerein
richtungen, die eine Aufteilung des Einfallsstrahlbündels in
zwei oder mehr Teilstrahlbündel ermöglichen und bei denen die
erzeugten Teilstrahlbündel im wesentlichen parallel verlaufen.
Die EP-A-0 112 188 beschreibt eine gattungsgemäße Strahltei
lereinrichtung, bei der Strahlteilerplatten verwendet werden,
deren Lichteinfallseite jeweils vollständig mit einem teilre
flektierenden Überzug versehen ist, während die zur Lichtein
fallseite parallele Rückseite versilbert ist. Diese Einrich
tung hat jedoch den Nachteil, daß durch geeignete Wahl der
Lichtquelle oder durch gesonderte optische Mittel sicherge
stellt werden muß, daß jeder einfallende Lichtstrahl gleiche
S- und P-Polarisationskomponenten besitzt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Strahlteilereinrichtung
zur Verfügung zu stellen, die bei einfachem Aufbau einfallen
des Licht unabhängig von dessen Eigenschaften in mehrere in
die gleiche Raumrichtung fallende Strahlbündel aufteilt.
Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Strahlteilerein
richtung durch die kennzeichnenden Merkmale von Anspruch 1
gelöst.
Die Strahlteilereinrichtung weist eine oder mehrere Strahl
teilerplatten auf, die jeweils eine Verdopplung der auf sie
einfallenden Strahlbündel bewirken. Die Anzahl der erzeugten
Teilstrahlbündel entspricht der Potenz der Anzahl der im
Strahlengang hintereinander angeordneten Strahlteilerplatten
zur Basis 2.
In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen,
daß jede Strahlteilerplatte die doppelte Dicke der im Strah
lengang unmittelbar vorher davor angeordneten Strahlteiler
platte aufweist. Die Strahlteilerplatten sind vorzugsweise
parallel zueinander angeordnet.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung
schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläu
tert. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsge
mäß ausgebildeten Strahlteilerplatte;
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Ausführungs
beispiels einer Strahlteileranordnung mit drei
Strahlteilerplatten der Ausbildung gemäß Fig. 1.
Fig. 1 zeigt eine von drei ähnlichen Platten 50, die im
Strahlteiler verwendet werden. Ein Körper 55 ist ein Körper
beispielsweise aus Glas, der für den Strahl durchlässig ist.
Die obere Fläche des Körpers trägt einen Antireflexionsüberzug
52. Dieser Überzug ist teilweise mit einer 50% reflektieren
den Schicht 53 überzogen. Auf der Unterseite des Körpers 55
ist ein 100% reflektierender Überzug oder eine Schicht 51
gebildet.
Wie zu sehen ist, wird ein auf die Schicht 53 fallender Strahl
58 entsprechend der Strahldarstellung als erstes Teilstrahlbündel 59 reflektiert. Der andere Teil
des Strahls 58 tritt als Teilstrahlbündel 60 in den Körper 55 ein und
wird von dem Überzug 51 reflektiert
und tritt als zweites Teilstrahlbündel 61 aus dem Körper 55 aus. Zu beachten
ist, daß der Strahl 61 beim Austritt aus der Platte 50 die
teilreflektierende Schicht 53 nicht trifft.
Drei Platten in der Ausführung wie die Platte 50 in Fig. 1
sind in Fig. 2 gezeigt (Platten 50a, 50b und 50c); sie werden
bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel zur Erzeugung von
acht Strahlbündeln verwendet. Die Platte 50b ist zweimal so
dick wie die Platte 50a; die Platte 50c ist zweimal so dick
wie die Platte 50b. Die Platten sind bei dem beschriebenen,
Ausführungsbeispiel parallel zueinander angeordnet.
Wie in Fig. 2 zu sehen ist, wird ein zunächst die Platte 50a
treffendes Strahlbündel 58 in zwei Teilstrahlbündel aufge
teilt. (Dies ist auch in Fig. 1 gezeigt). Die beiden Teil
strahlbündel fallen danach auf die Schicht 53 der Platte 50b.
Die Hälfte jedes dieser Strahlbündel wird an der Schicht 53
reflektiert. Die durch die Schicht 53 durchtretenden Teile der
Strahlbündel werden an der Schicht 51 reflektiert, wodurch
zwei zusätzliche Strahlbündel erzeugt werden, so daß eine
Gesamtanzahl von vier Strahlbündeln die Platte 50b verläßt. In
ähnlicher Weise werden alle vier Teilstrahlbündel, die von der
Platte 50b reflektiert werden, teilweise von der Schicht 53
der Platte 50c und teilweise an der Schicht 51 der Platte 50c
reflektiert, so daß sich acht Teilstrahlbündel ergeben, die
parallel zueinander und rechtwinklig zu dem einfallenden Strahlbündel
58 die Strahlteilereinrichtung verlassen.
Claims (8)
1. Optische Strahlteilereinrichtung zum Aufteilen eines
Strahlbündels (58) in mehrere Strahlbündel (59, 61), mit
mindestens einer Strahlteilerplatte (50), die einen Körper (55)
aus einem für den Strahl durchlässigen Material, auf der
Strahlbündeleinfallseite eine teilreflektierende Schicht (53)
und auf einer der Einfallseite entgegengesetzten Seite des
Körpers (55) eine totalreflektierende Schicht (51) aufweist,
dadurch gekennzeichnet,
daß jede Strahlteilerplatte (50; 50a, 50b, 50c) einen
Antireflexionsüberzug (52) aufweist, daß die teilreflektierende
Schicht (53) nur einen Teil der Fläche des
Antireflexionsüberzuges bedeckt und daß das an der
totalreflektierenden Schicht (51) reflektierte
Teilstrahlbündel durch den von der teilreflektierenden
Schicht (53) freien Teil des Antireflexionsüberzuges (52)
austritt.
2. Strahlteilereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die mit dem Antireflexionsüberzug (52)
einerseits und mit dem totalreflektierenden Überzug (51) ande
rerseits beschichteten Oberflächen des Körpers (55) parallel
zueinander verlaufen.
3. Strahlteilereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die teilreflektierende Schicht (53) 50%
reflektierend ist.
4. Strahleilereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Strahlteiler
platten (50a, 50b) im Strahlengang hintereinander angeordnet
sind.
5. Strahlteilereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß jede Strahlteilerplatte (50c, 50b) die dop
pelte Dicke der im Strahlengang unmittelbar vorher angeordne
ten Strahlteilerplatte (50b, 50a) aufweist.
6. Strahlteilereinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Strahlteilerplatten (50a, 50b, 50c)
parallel zueinander angeordnet sind.
7. Strahlteilereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Verachtfachung des
einfallenden Strahlbündels (58) drei Strahlteilerplatten (50a,
50b, 50c) im Strahlengang hintereinander angeordnet sind.
8. Strahlteilereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
7, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (55) ein Glaskörper
ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3624163A DE3624163C2 (de) | 1985-07-24 | 1986-07-17 | Gerät zur Erzeugung eines Musters auf einem eine strahlungsempfindliche Schicht aufweisenden Werkstück |
DE3645001A DE3645001C2 (de) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Strahlteilereinrichtung |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3624163A DE3624163C2 (de) | 1985-07-24 | 1986-07-17 | Gerät zur Erzeugung eines Musters auf einem eine strahlungsempfindliche Schicht aufweisenden Werkstück |
DE3645001A DE3645001C2 (de) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Strahlteilereinrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3645001C2 true DE3645001C2 (de) | 1998-04-16 |
Family
ID=6305390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3645001A Expired - Lifetime DE3645001C2 (de) | 1985-07-24 | 1986-07-17 | Strahlteilereinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3645001C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1031868A1 (de) * | 1999-02-26 | 2000-08-30 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Kompensierter Parallel-Strahlteiler mit zwei Platten sowie Interferometer |
DE10324111B3 (de) * | 2003-05-26 | 2005-01-13 | Usoskin, Olga, Dr. | Verfahren und Vorrichtung zur Verteilung der Stromdichte eines Lichtstroms |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0112188A2 (de) * | 1982-12-21 | 1984-06-27 | Crosfield Electronics Limited | Optischer Strahlteiler |
-
1986
- 1986-07-17 DE DE3645001A patent/DE3645001C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0112188A2 (de) * | 1982-12-21 | 1984-06-27 | Crosfield Electronics Limited | Optischer Strahlteiler |
Cited By (2)
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EP1031868A1 (de) * | 1999-02-26 | 2000-08-30 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Kompensierter Parallel-Strahlteiler mit zwei Platten sowie Interferometer |
DE10324111B3 (de) * | 2003-05-26 | 2005-01-13 | Usoskin, Olga, Dr. | Verfahren und Vorrichtung zur Verteilung der Stromdichte eines Lichtstroms |
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Q172 | Divided out of (supplement): |
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