DE3541999A1 - Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von flaechen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von flaechenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Be
schichtung von Flächen gemäß dem Oberbegriff des Patent
anspruches 1, sowie auf eine Vorrichtung zur Durch
führung des Verfahrens.
Ein solches Verfahren findet vorzugsweise dort Anwen
dung, wo Flächen dauerhaft und gleichmäßig mit einer
Beschichtung zu versehen sind.
Aus der Druckschrift "Laser in Elektroniktechnologie und
Materialbearbeitung" M.Novicki, Akademische Verlagsge
sellschaft, Leipzig, 1982, Seite 160, 2. Absatz, ist ein
Verfahren zur Ausbildung von Schutzschichten beschrie
ben, das mit Hilfe von Laserstrahlen durchgeführt wird.
Das die Schutzschicht bildende Material wird in Pulver
form auf die zu beschichtende Fläche aufgetragen. Zum
Erwärmen der zu beschichtenden Fläche sowie zum Schmel
zen des Materials wird ein nicht fokussiertes Strahlen
bündel eines kontinuierlich arbeitenden CO2- Hochlei
stungslasers verwendet. Dieses Strahlungsbündel wird
über die zu beschichtende Fläche geführt, wobei das Ma
terial aufgeschmolzen und die Oberfläche erwärmt wird.
Die Durchführung des Verfahrens erfolgt unter einer neu
tralen Schutzgasatmosphäre.
Das bekannte Verfahren erlaubt jedoch nur die Ausbildung
von sehr dünnen Schichten. Zudem kann mit diesem Verfah
ren keine gleichmäßige Beschichtung von Flächen durchge
führt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
sowie eine Vorrichtung aufzuzeigen, die es erlauben,
Schichten großer Dicke gleichmäßig und schnell auf eine
Fläche aufzutragen.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale
des Patentanspruches 1 gelöst.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist in
Patentanspruch 6 offenbart.
Das erfindungsgemäße Verfahren benötigt zur Beschichtung
nicht mehr Energie als herkömmliche Verfahren. Für das
Aufheizen, Schmelzen und Verdampfen des Beschichtungs
materials ist eine Reaktionszone vorgesehen, die durch
die Strahlen der Laserquellen gebildet wird. Diese
Strahlen sind so gebündelt, daß ihre Energie optimal
genutzt wird. Mit Hilfe von optischen Abbildungsele
menten wird aus ihnen ein die Reaktionszone bildendes
linienförmiges Bündel mit definierten geometrischen Ab
messungen gebildet. Je nach dem, welche Ausgangsleistung
die Laserquellen haben, kann z.B. ein Bündel, insbe
sondere eine Reaktionszone ausgebildet werden, die bis
zu 20 cm lang ist, und eine Breite und eine Dicke von 10
bis 100 µm aufweist. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist es möglich, pro Stunde eine Schicht von mindestens 1
µm Dicke auf eine Fläche aufzutragen. Das Beschichtungs
material kann der Reaktionszone pulver- oder gasförmig
zugeführt werden. Es besteht die Möglichkeit, das Be
schichtungsmaterial auch in Form einer Flüssigkeit in
die Reaktionszone einzuleiten. Ferner kann das Beschich
tungsmaterial auch in Form eines festen Körpers, bei
spielsweise einer Platte oder eines sich drehenden Zy
linders direkt innerhalb der Reaktionszone so angeordnet
werden, daß es der Einwirkung der gebündelten Strahlen
ausgesetzt ist. Das verdampfte Beschichtungsmaterial
wird mit Hilfe von elektrischen und/oder magnetischen
Feldern auf die zu beschichtende Fläche geleitet und auf
dieser abgeschieden. Diese Fläche wird je nach Erforder
nis in einem Abstand von 1 mm bis zu einigen Zentimetern
von der Reaktionszone angeordnet. Für die Beschichtung
können sowohl metallische als auch nichtmetallische
Werkstoffe verwendet werden. Als erfindungswesentlich
ist die Tatsache anzusehen, daß das Verfahren nicht im
Vakuum durchgeführt werden muß. Vorzugsweise wird es in
einer Schutzgasatmosphäre aus Stickstoff bei einem Druck
von 1,01×10-5 Pa durchgeführt. Falls es erforderlich
sein sollte, kann anstelle von Stickstoff auch ein ande
res Gas verwendet werden. Auf elektrische und magneti
sche Felder für den Transport des verdampften Beschich
tungsmaterials auf die zu beschichtende Fläche kann ver
zichtet werden, wenn diese Fläche unterhalb der Reakti
onszone angeordnet wird, so daß das Beschichtungsmateri
al durch die Einwirkung der Schwerkraft oder durch die
Wirkung des strömenden Gases auf die zu beschichtende
Fläche transportiert wird.
Die Vorrichtung, welche für die Durchführung des Verfah
rens vorgesehen ist, weist zwei Laserquellen auf, die
spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet sind. Die Reak
tionszone, in welcher das Beschichtungsmaterial erhitzt,
geschmolzen und verdampft wird, wird zwischen den beiden
Laserquellen im Bereich ihrer Symmetrieachse ausgebil
det. Zwischen jeder Laserquelle und der Symmetriachse
ist jeweils eine optische Abbildungs- und Reflexions
einrichtung angeordnet. Zu ihr gehören mindestens eine
Zylinderlinse, eine Blende und Reflektoren in Form von
Spiegeln. Mit ihnen werden die Laserstrahlen zu der Re
aktionszone gebündelt. Laserstrahlen, welche durch die
Reaktionszone hindurchlaufen oder dort gestreut werden,
werden mit Hilfe der Reflektoren in die Reaktionszone,
insbesondere in das linienförmige Bündel zurückgeleitet.
Für die Abfuhr der Verlustwärme ist wenigstens je eine
Kühlvorrichtung im Bereich einer jeden Blende vorgese
hen.
Weitere erfindungswesentliche Merkmale sind in den Un
teransprüchen gekennzeichnet.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird nachfolgend anhand
der für die Durchführung des Verfahrens vorgesehenen
Vorrichtung, die in der Zeichnung dargestellt ist, er
läutert.
Es zeigen:
Fig. 1: Eine Vorrichtung zur Durchführung des erfin
dungsgemäßen Verfahrens, teils in perspektivi
scher, teils in schematischer Darstellung, und
Fig. 2: einen Ausschnitt aus der in Fig. 1 darge
stellten Vorrichtung in vergrößertem Maßstab.
Die Vorrichtung 1 gemäß Fig. 1 weist durch zwei Laser
quellen 2 A und 2 B, zwei optische Abbildungs- und Refle
xionseinrichtungen 3 und 4 sowie eine Dosiereinrichtung
5 auf. Die beiden Laserquellen 2 A und 2 B sind spiegel
symmetrisch zueinander angeordnet. Es handelt sich hier
bei um CO₂-Laser. Sie können eine Ausgangsleistung von
mehr als 100 kW haben. Der erforderliche Abstand der La
serquellen 2 A, 2 B zu ihrer Symmetrieachse wird durch die
optischen Abbildungs- und Reflexionseinrichtungen 3 und
4 mitbestimmt. Im Bereich der Symmetrieachse der beiden
Laserquellen 2 A und 2 B wird eine Reaktionszone 6 ausge
bildet, deren Längsachse senkrecht zur Hauptrichtung der
Strahlen verläuft. Zwischen jeder Laserquelle 2 A, 2 B und
der zugehörigen Symmetrieachse ist je eine Abbildungs
und Reflexionseinrichtung 3 bzw. 4 installiert. Zu jeder
dieser Einrichtungen 3 und 4 gehört eine Zylinderlinse
3 Z, 4 Z, die im Abstand vor der Austrittsöffnung der La
serquelle 2 A, 2 B installiert ist. Zwischen jeder Zylin
derlinse 3 Z, 4 Z und der Reaktionszone 6 ist je ein Kera
mikblock 3 B, 4 B als Blende angeordnet. Jede Blende 3 B, 4 B
ist mit einer Bohrung 3 L versehen, die in Form eines
Schlitzes ausgebildet ist, der sich zur Reaktionszone 6
hin keilförmig verjüngt. Zwischen jeder Zylinderlinse
3 Z, 4 Z und jeder Blende 3 B, 4 B sind beidseitig des Strah
lenganges Reflektoren 3 R, 4 R angeordnet. Die Reflektoren
sind nur schematisch dargestellt. Die von der Laserquel
le 2 A, 2 B kommenden Strahlen, die zunächst parallel aus
gerichtet sind, werden mit Hilfe der optischen Abbil
dungseinrichtung 3,4 zu der Reaktionszone 6 gebündelt.
Das die Reaktionszone 6 begrenzende Bündel weist in die
sem Ausführungsbeispiel eine Länge von 10 cm auf. Die
Längsausdehnung des Bündels erstreckt sich parallel zur
Y-Achse des in Fig. 1 dargestellten rechtwinkligen Koor
dinatensystems. Die Breite des Bündels in X-Richtung
beträgt 10 µm. Das gleiche gilt für die Dicke in Z-Rich
tung. Durch geeignete Wahl der beiden Laserquellen 2 A
und 2 B können die Abmessungen des Bündels bzw. der Reak
tionszone 6 auch vergrößert bzw. verkleinert werden. Es
ist beispielsweise die Ausbildung eines Bündels mit ei
ner Länge von 20 cm und einer Breite von 100 µm sowie
einer Dicke von ebenfalls 100 µm möglich. Um die Wärme,
die sich in den Keramikblöcken 3 B und 4 B ansammelt, ab
leiten zu können, ist um jeden Keramikblock 3 B, 4 B eine
Kühlvorrichtung 7 angeordnet, die bei der hier darge
stellten Ausführungsform durch Kühlschlangen schematisch
dargestellt ist.
Wie Fig. 1 weiterhin zeigt, ist oberhalb der Reaktions
zone 6 die Dosiervorrichtung 5 installiert. Über sie
wird Beschichtungsmaterial 8 aus einem Vorratsbehälter 9
der Reaktionszone 6 zugeführt. Der Vorratsbehälter 9
steht über eine Leitung 10, in welche ein Mikrosieb 11
und ein Ventil 12 eingebaut sind, mit einer Verwirbe
lungskammer 13 in Verbindung. Dieser wird über die Lei
tung 14 ein Trägergas zugeführt. Das in dem Vorratsbe
hälter 9 enthaltene Beschichtungsmaterial 8, das dort in
Form von sehr kleinen Teilchen mit einer Teilchengröße
vorliegt, die kleiner als 1µm sein kann und nicht größer
als 10 µm sein sollte, wird mit dem Trägergas in der Ver
wirbelungskammer 13 vermischt. Als Trägergas wird vor
zugsweise Argon verwendet. Die mit dem Trägergas zu ver
mischende Menge des Beschichtungsmaterials kann mit Hil
fe des Ventils 12 eingeregelt werden. Über eine Leitung
15 wird dieses Gemisch einer Düse 16 zugeleitet, von
der aus es der Reaktionszone 6 zugeführt wird.
Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung
wird nachfolgend erläutert.
Die aus den beiden Laserquellen 2 A und 2 B kommenden,
zunächst parallel verlaufenden Strahlen werden mit Hilfe
der Zylinderlinse 3 Z, 4 Z und der Blende 3 B, 4 B gebün
delt. Dieses Bündel, das die Reaktionszone 6 bildet,
liegt zwischen den beiden Blenden 3 B und 4 B und er
streckt sich beidseitig der Symmetrieachse der spiegel
symmetrisch angeordneten Laserquellen 2 A und 2 B. Die
Reaktionszone 6 weist genaue geometrische Abmessungen
auf. Die Länge des Bündels beträgt 10 cm, die Breite 10
µm und die Dicke ebenfalls 10 µm. Die Düse 16 der Do
siervorrichtung 5, über welche das mit dem Trägergas
vermischte Beschichtungsmaterial 8 der Reaktionszone 6
zugeführt wird, ist in geringem Abstand über der Reakti
onszone 6 angeordnet. Das Beschichtungsmaterial wird mit
Hilfe des strömenden Gases in die Reaktionszone 6 trans
portiert. Wie Fig. 2 zeigt, weist die Reaktionszone 6
eine innere Struktur auf. Sie ist in drei Bereiche 6 A,
6 B und 6 C aufgeteilt. Der Bereich 6 A, welcher der Düse
16 zugewandt ist, dient zum Erhitzen des von der Düse 16
zu der Reaktionszone 6 transportierten Beschichtungsma
terials 8. An diesen Bereich 6 A schließt sich der Be
reich 6 B an, in dem das Schmelzen des Beschichtungsmate
rials 8 erfolgt. Auf diesen Bereich folgt unmittelbar
der Bereich 6 C, innerhalb dessen das geschmolzene Be
schichtungsmaterial verdampft wird. Diese innere Struk
tur des Bündels, insbesondere der Reaktionszone 6, läßt
sich mit Hilfe der optischen Abbildungseinrichtung 3 B,
4 B, 3 Z, 4 Z in der oben beschriebenen Weise ausbilden.
Strahlen, die durch die Reaktionszone 6 hindurchlaufen,
werden mit Hilfe der Reflexionseinrichtung 3 R, 4 R in die
Reaktionszone 6 zurückgestreut, so daß der Verlust an
gestreuten Photonen gering gehalten wird.
Das aus der Reaktionszone 6 austretende verdampfte Be
schichtungsmaterial 8 wird der zu beschichtenden Fläche
17 zugeführt. Um eine optimale Beschichtung der Fläche
17 sicherzustellen, werden zusätzlich elektrische
und/oder magnetische Felder so ausgebildet, daß das Be
schichtungsmaterial 8 an die gewünschte Stelle der Flä
che 17 transportiert wird. Als Beschichtungsmaterial
kann beispielsweise Zirkonsilikat (ZrSiO4) in der Ver
wirbelungskammer 13 mit Argon vermischt und der Reakti
onszone 6 zugeführt werden. Es wird innerhalb der Reak
tionszone 6 verdampft und auf der Fläche 17 in Form ei
ner verdichteten Zirkonsilikatschicht abgeschieden. Zir
konsilikat kann auch mit Stickstoff verwirbelt werden.
Aufgrund der hohen Temperaturen innerhalb der Reaktions
zone 6 bildet sich Zirkonnitrid, das als Schicht auf der
Fläche 17 abgeschieden wird. Auch keramische Materialien
wie Magnesiumoxid können mit dem erfindungsgemäßen Ver
fahren auf einer Fläche 17 abgeschieden werden. Inner
halb der Reaktionszone 6 wird das Magnesiumoxid ver
dampft und in entsprechender Weise wie die oben be
schriebenen Materialien auf der Fläche 17 abgeschieden.
Es besteht die Möglichkeit, mehrere Vorrichtungen, wie
sie in Fig. 1 dargestellt sind, hintereinander anzuord
nen, um auf der Fläche 17 mehrere Schichten aus unter
schiedlichen Materialien auftragen zu können. In diesem
Fall wird die Fläche 17, nachdem sie mit der Schicht aus
einem ersten Material vollständig beschichtet ist, der
zweiten Vorrichtung zugeführt, um mit einem weiteren Ma
terial beschichtet zu werden. Erfindungsgemäß können
durch die Anwendung der Laserquellen 2 A und 2 B auch
Schichten mit unterschiedlichen Eigenschaften, z.B
Schichten, die sich gegeneinander verschieben können,
auf der Fläche 17 aufgetragen werden.
Ferner kann auf die Fläche 17 auch eine Schicht aufge
tragen werden, deren Material durch die chemische Reak
tion von zwei Werkstoffen innerhalb der Reaktionszone 6
bei hohen Temperaturen erst gebildet wird. So besteht
beispielsweise die Möglichkeit, eine Schicht aus Barium
titanat dadurch herzustellen, daß über die Düse 16 ein
Gemisch aus Bariumoxid, Titanoxid und Argon der Reakti
onszone 6 zugeführt wird. Aufgrund der hohen Temperatu
ren innerhalb der Reaktionszone 6 bildet sich aus dem
Bariumoxid (BaO) und dem Titanoxid (TiO2) Bariumtitanat
(BaTiO3).
Das Beschichtungsmaterial kann der Reaktionszone 6 auch
in flüssiger Form zugeführt werden. Als Beispiel sei
hier ein flüssiges Gemisch bestehend aus Zirkon-Bromid
und Methyldibromid genannt, das bei einer Temperatur
oberhalb von 2000°C in Zirkoncarbid umgesetzt wird:
ZrBr₄ + CH₂Br₂ → ZrC + 2 Br₂ + 2 HBr
Dieses Zirkoncarbid wird von der Reaktionszone 6 der
Fläche 17 zugeführt. Die zu beschichtende Fläche 17 ist
in einem Abstand von 1µm bis zu mehreren cm von der Re
aktionszone 6 entfernt beweglich angeordnet, so daß sie
mit einer vorgebbaren Geschwindigkeit an der Reaktions
zone 6 vorbeigeführt werden kann. Die Düse 16 weist ei
nen Schlitz (hier nicht dargestellt) mit einer Länge
zwischen 1 und 10 cm und eine Breite von 10 bis 100 µm
auf, von dem aus das Beschichtungsmaterial der Reakti
onszone zugeführt wird. Vorzugsweise sind die Ab
messungen des Schlitzes so gewählt, daß sie mit der Län
ge und der Breite der Reaktionszone 6 ungefähr überein
stimmen. Die zu beschichtende Fläche 17 kann mit verän
derbarer Geschwindigkeit an der Reaktionszone 6 so vor
beigeführt werden, daß die über ihre Oberfläche aufge
nommene Wärmemenge hierdurch und durch die Menge des
jeweils kondensierten Beschichtungsmaterials 8 variiert
werden kann. Durch diese Möglichkeit und durch eine zu
sätzliche Veränderung des Abstandes zwischen der Reakti
onszone 6 und der zu beschichtenden Fläche 17, kann die
Temperatur bei der Beschichtung variabel gehalten wer
den.
Es besteht die Möglichkeit, anstelle einer geschlitzten
Düse 16 mehrere voneinander getrennte Düsen benachbart
anzuordnen. Dies ist dann zweckmäßig, wenn die Gefahr
besteht, daß bei Verwendung von verschiedenen Beschich
tungsmaterialien diese nach dem Austritt aus der Düse
ungewollt miteinander reagieren. Zwei Dosiervorrichtun
gen 5 und damit zwei Düsen 16 sind erforderlich, um die
Bildung von Bornitrit zu vermeiden, wenn beispielsweise
Bormethyl und Stickstoff der Reaktionszone zugeführt
werden. Da diese beiden Werkstoffe schon bei relativ
niedriger Temperatur miteinander reagieren, müssen sie
der Reaktionszone getrennt zugeführt werden, damit erst
dort das Beschichtungsmaterial gebildet wird.
Erfindungsgemäß besteht die Möglichkeit das Beschich
tungsmaterial nicht in Form von Pulvern oder Flüssigkei
ten der Reaktionszone 6 zuzuführen, sondern dieses dort
in Form eines Festkörpers anzuordnen. Die Beschichtungs
materialien können beispielsweise in Form einer Platte
oder eines rotierenden Zylinders in der Reaktionszone 6
angeordnet werden, wo sie durch das Strahlenbündel ver
dampft werden. Die Zusammensetzung der Beschichtungs
stoffe in Form von Platten oder rotierenden Zylindern
ist so zu wählen, wie sie in ihrer Zusammensetzung spä
ter als Schichten abzuscheiden sind.
Claims (10)
1. Verfahren zur Beschichtung von Flächen mit einem
Beschichtungsmaterial unter Verwendung von Laserstrah
len, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlen mindestens
einer Laserquelle (2 A, 2 B) zu einer Reaktionszone (6)
gebündelt werden, und daß das Beschichtungsmaterial (8)
in der Reaktionszone (6) aufgeheizt, geschmolzen und
verdampft und anschließend auf der zu beschichtenden
Fläche (17) abgeschieden wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Strahlen von zwei oder mehreren Laserquel
len (2 A, 2 B) in einer gemeinsamen, linienförmigen Reakti
onszone (6) mit genauen geometrischen Abmessungen zusam
mengefaßt werden, und daß die durch die Reaktionszone
(6) hindurchlaufenden Strahlen reflektiert und in die
Reaktionszone (6) zurückgeworfen werden.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das Beschichtungsmaterial
(8) der Reaktionszone (6) kontinuierlich zugeführt oder
dort als fester Körper, insbesondere als Platte oder ro
tierender Zylinder, angeordnet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß das verdampfte Beschichtungs
material (8) mit Hilfe von elektrischen und/oder magne
tischen Feldern, eines Gasstromes oder unter Ausnutzung
der Schwerkraft auf die zu beschichtende Fläche (17)
geleitet wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da
durch gekennzeichnet, daß das Beschichtungsmaterial (8)
als Gas, Flüssigkeit oder als Pulver, das eine Teil
chengröße zwischen 0,5 und 10 µm aufweist und mit einem
Trägergas gemischt wird, der Reaktionszone (6) zugelei
tet wird.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens,
insbesondere nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens zwei Laserquellen (2 A, 2 B) vorgesehen
sind, und vor jeder Laserquelle (2 A, 2 B) mindestens eine
optische Abbildungs- und Reflektionseinrichtung (3, 4)
angeordnet ist, derart, daß die Strahlen beider Laser
quellen (2 A, 2 B) zu einem eine Reaktionszone (6) bilden
den, linienförmigen Bündel zusammengefaßt sind, daß min
destens eine Dosiervorrichtung (5) für das Beschich
tungsmaterial (8) vorgesehen ist, deren Austrittsöffnung
mit der Reaktionszone (6) in Verbindung steht, und daß
die zu beschichtende Fläche (17) in definiertem Abstand
von der Reaktionszone (6) installiert ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die beiden Laserquellen (2 A, 2 B) spiegel
symmetrisch angeordnet sind, und zwischen jeder Laser
quelle (2 A, 2 B) und der Symmetrieachse jeweils eine der
beiden optischen Abbildungs- und Reflexionseinrichtungen
(3, 4) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß als Laserquellen (2 A, 2 B)
CO2-Laser vorgesehen sind, und daß die zu beschichtende
Fläche (17) in einem Abstand von 1 µm bis zu mehreren cm
von der Reaktionszone (6) entfernt beweglich angeordnet
ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Kühlvorrich
tung (7) für die Abfuhr der Verlustwärme im Bereich der
optischen Abbildungs- und Reflektionseinrichtung (3, 4)
vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß jede optische Abbildungs-
und Reflektionseinrichtung (3, 4) wenigstens eine Zylin
derlinse (3 Z, 4 Z), eine Blende (3 B, 4 B) und Reflektoren
(3 R, 4 R) in Form von Spiegeln aufweist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853541999 DE3541999A1 (de) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von flaechen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853541999 DE3541999A1 (de) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von flaechen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3541999A1 true DE3541999A1 (de) | 1987-06-04 |
Family
ID=6287032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853541999 Withdrawn DE3541999A1 (de) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von flaechen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3541999A1 (de) |
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1985
- 1985-11-28 DE DE19853541999 patent/DE3541999A1/de not_active Withdrawn
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BBC BROWN BOVERI AG, 6800 MANNHEIM, DE |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ASEA BROWN BOVERI AG, 6800 MANNHEIM, DE |
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