Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum
Herstellen einer ein nicht verdampfendes Getter
enthaltenden Elektronenröhre, bei dem das Getter vor
Einbau in die Röhre in einem besonderen Vakuumraum
bei einem Druck von weniger als 10-3 Torr einer Tempe
raturbehandlung bei Temperaturen zwischen 750°C und
1100°C unterworfen wird.The present invention relates to a method for producing an electron tube containing a non-evaporating getter, in which the getter prior to installation in the tube in a special vacuum space at a pressure of less than 10 -3 Torr of a temperature treatment at temperatures between 750 ° C. and 1100 ° C is subjected.
Aus der DE-OS 16 14 204 ist ein vorstehendes Verfah
ren bekannt. Mit diesem bekannten Verfahren soll der
Wasserstoff, der bei der Umwandlung des Zirkonhydrids
entsteht, entfernt werden. Zu diesem Zweck genügt
eine verhältnismäßig kurze Erhitzung von wenigen
Minuten.
From DE-OS 16 14 204 is an above procedure
ren known. With this known method
Hydrogen, which is used in the conversion of zirconium hydride
arises, removed. For this purpose it is enough
a relatively short heating of a few
Minutes.
Bei Hoch-Vakuumröhren für extrem lange Lebensdauer,
insbesondere bei Satelliten-Wanderfeldröhren, hat sich
herausgestellt, daß mit zunehmender Betriebszeit eine
Verschlechterung des Vakuums und des Wirkungsgrades
auftritt. Es hat sich dabei gezeigt, daß nicht ver
dampfbare Getter, insbesondere Zirkon-Kohlenstoffget
ter, offensichtlich Spurenstoffe freisetzen, die zum
einen vakuumverschlechternd wirken und zum anderen, was
besonders störend ist, zu Isolationsfehlern führen. So
werden offensichtlich auf Keramikteilen der Wanderfeld
röhren Stoffe abgelagert, die aus dem Getter stammen
und die die Isolationsfestigkeit dieser Keramikteile
verringern.With high vacuum tubes for extremely long service life,
especially in the case of satellite traveling wave tubes
emphasized that with increasing operating time a
Vacuum and efficiency deterioration
occurs. It has been shown that not ver
steamable getters, in particular zirconium carbon get
ter, obviously release trace substances, which lead to
one that worsens the vacuum and on the other what
is particularly disruptive, lead to insulation faults. So
become obvious on ceramic parts of the hiking field
tubes deposited substances that come from the getter
and the insulation strength of these ceramic parts
reduce.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird darin
gesehen, ein Verfahren der eingangs genannten Art so zu
verbessern, daß insbesondere bei Satelliten-Wanderfeld
röhren die Isolationseigenschaften und die Vakuumeigen
schaften über eine sehr lange Lebensdauer verbessert
aufrechterhalten werden.The object of the present invention is therein
seen a process of the type mentioned above
improve that especially with satellite walking field
tubes the insulation properties and the vacuum inherent
improved over a very long life
be maintained.
Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichnen des Pa
tentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.This task is carried out by the Pa
Features specified 1 solved.
Es hat sich gezeigt, daß erst durch eine sehr lange
Dauererhitzung solcher nicht verdampfenden Getter in
dem Getter eingeschlossene unerwünschte Spurenstoffe
entfernt werden können. Von wesentlicher Bedeutung ist,
daß die beschriebene Temperaturvorbehandlung in einem
geschlossenen Vakuumgefäß durchgeführt wird, wobei es
wiederum von wesentlicher Bedeutung ist, daß die Er
hitzung des Getters direkt am Getter erfolgt, so daß
sich die aus dem Getter während der Temperaturbehand
lung ausdampfenden Spurenstoffe an der vergleichsweise
kühlen Wand des Vakuumgefäßes niederschlagen können.
It has been shown that only through a very long time
Continuous heating of such non-evaporating getters
unwanted trace substances included in the getter
can be removed. Is essential
that the temperature pretreatment described in one
closed vacuum vessel is performed, it
again it is essential that the Er
heating of the getter takes place directly on the getter, so that
from the getter during the heat treatment
evaporating trace substances on the comparatively
cool wall of the vacuum vessel.
Anhand der Figur wird die Erfindung nachfolgend näher
erläutert.The invention is explained in more detail below with the aid of the figure
explained.
Ein Zirkon-Kohlenstoffgetter 3, das fest mit einer
Heizwendel 4 aus Wolfram verbunden ist, wird inner
halb eines Vakuumraumes 1 befestigt. Die Befestigung
erfolgt bevorzugt in der Weise, daß die Enden der
Heizwendel 4 auf im Vakuumraum befindliche Durchfüh
rungen 5, z. B. durch eine Schweißverbindung, aufge
bracht ist. Das Vakuumgefäß 1 ist zweckmäßig ein
üblicher Elektronenröhrenkolben mit einem Sinterglas
5, in welchem sich die vakuumdicht eingesetzten
Durchführungen befinden.A zirconium carbon getter 3 , which is firmly connected to a heating coil 4 made of tungsten, is fastened within a vacuum space 1 . The attachment is preferably carried out in such a way that the ends of the heating coil 4 on implementations located in the vacuum space 5 , for. B. is brought up by a welded joint. The vacuum vessel 1 is expediently a conventional electron tube bulb with a sintered glass 5 , in which the bushings inserted in a vacuum-tight manner are located.
Durch Anlegen einer Heizspannung an die entsprechen
den Durchführungen wird das Getter 1 auf die gewün
schte Temperatur, insbesondere auf eine Temperatur
von ungefähr 900° aufgeheizt und diese Temperaturbe
handlung zweckmäßig etwa 100 Stunden lang durchge
führt. Zuvor wurde das Vakuumgefäß 1 mittels des
nunmehr abgeschmolzenen Pumpstutzens 6 auf einen
Unterdruck von etwa 10-4 Torr gebracht. Nach Durchfüh
rung der Temperaturbehandlung wird das Vakuumgefäß 1
zerstört und das vorbehandelte Getter 3 entnommen und
in die vorgesehene Elektronenstrahlröhre eingebaut.By applying a heating voltage to the corresponding bushings, the getter 1 is heated to the desired temperature, in particular to a temperature of approximately 900 °, and this temperature treatment is advantageously carried out for about 100 hours. Previously, the vacuum vessel 1 was brought to a negative pressure of approximately 10 -4 torr by means of the now melted pump connector 6 . After the temperature treatment has been carried out, the vacuum vessel 1 is destroyed and the pretreated getter 3 is removed and installed in the provided electron beam tube.