DE3540856C2 - - Google Patents
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- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD26976884A DD229208B1 (de) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | Interferometer, insbesondere zur inkrementalen abtastung veraenderlicher interferenzstrukturen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3540856A1 DE3540856A1 (de) | 1986-05-28 |
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Family
ID=5562479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
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| DE (1) | DE3540856A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
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Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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| DE3930632A1 (de) * | 1989-09-13 | 1991-03-14 | Steinbichler Hans | Verfahren zur direkten phasenmessung von strahlung, insbesondere lichtstrahlung, und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1460861A (en) * | 1974-03-05 | 1977-01-06 | Nat Res Dev | Interferrometers |
| DE2926738C2 (de) * | 1979-07-03 | 1982-10-28 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur interferometrischen Oberflächenformanalyse |
| DD201191B1 (de) * | 1981-09-24 | 1987-07-15 | Ilmenau Tech Hochschule | Kippinvariantes interferometer mit ebenen spiegeln |
-
1984
- 1984-11-22 DD DD26976884A patent/DD229208B1/de not_active IP Right Cessation
-
1985
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- 1985-11-22 GB GB8528756A patent/GB2168476B/en not_active Expired
- 1985-11-22 FR FR8517360A patent/FR2573525A1/fr active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| DE3540856A1 (de) | 1986-05-28 |
| GB2168476B (en) | 1988-06-08 |
| GB8528756D0 (en) | 1985-12-24 |
| FR2573525A1 (fr) | 1986-05-23 |
| DD229208B1 (de) | 1988-02-10 |
| GB2168476A (en) | 1986-06-18 |
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