DE3538996A1

DE3538996A1 - Interferenzfilter

Info

Publication number: DE3538996A1
Application number: DE19853538996
Authority: DE
Inventors: Bruno Dr Rer Nat Vitt
Original assignee: Philips Patentverwaltung GmbH
Current assignee: Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Priority date: 1985-11-02
Filing date: 1985-11-02
Publication date: 1987-05-14

Description

Die Erfindung betrifft ein Interferenzfilter auf einem für den sichtbaren Teil des Spektrums transparenten Substrat aus abwechselnden dielektrischen Schichten jeweils aus Ma terial mit höherem (H) und mit niedrigerem (L) Brechungs index unter Anwendung von λ/4-Schichten, das so ausgelegt ist, daß Strahlung eines gewünschten Wellenlängenbereichs durchgelassen und Strahlung der benachbarten Wellenlängen bereiche reflektiert wird.

Interferenzfilter mit abwechselnden dielektrischen Schich ten aus Materialien mit unterschiedlichen Brechungsindices eignen sich zur Steigerung der Lichtausbeute von Glühlam pen. Interferenzfilter, die als Heißlichtspiegel wirken, sind für die sichtbare Strahlung des Spektrums im Wellen längenbereich von etwa 0,43 bis 0,70 µm weitgehend trans parent und für Strahlung der angrenzenden Spektralbereiche relativ hoch reflektierend, daher wird von der Wendel der Glühlampe ausgesandte Infrarotstrahlung von dem auf dem Lampenkolben befindlichen Interferenzfilter auf die Wendel reflektiert, während der von der Wendel emittierte sicht bare Anteil der Strahlung das Filter passieren kann.

Durch die Reflexion des infraroten Strahlungsanteils wird der Wendel zur Aufrechterhaltung der Betriebstemperatur zuzuführende elektrische Energie deutlich verringert.

Für die Erhöhung des Wirkungsgrades von Glühlampen sind allerdings nicht allein effiziente Filter erforderlich, es kommt darüberhinaus auch z.B. auf die exakte Zentrierung der Wendel und auf eine Wendel mit hohem Emissionsgrad an.

Da bei einer Glühlampe der weitaus größte Teil der aufge nommenen elektrischen Leistung von der Wendel als Wärme strahlung im nahen Infrarotbereich abgestrahlt wird und nur ein verhältnismäßig geringer Teil der Wendelstrahlung in den sichtbaren Spektralbereich fällt, tritt außerdem eine Wärmebelastung des beleuchteten Objektes durch den Infrarotanteil der Wendelstrahlung ein, was durch ein Fil ter, z.B.ein Interferenzfilter, vermieden werden kann.

Aus DE-OS 32 27 096 ist eine optische Beschichtung für Glühlampen in Form eines Interferenzfilters auf der Basis von λ/4-Schichten aus Siliciumdioxid SiO₂ und Tantalpent oxid Ta₂O₅ bekannt, das aus 27 dielektrischen Schichten aufgebaut ist.

Ein genereller Nachteil bei Interferenzfiltern ist, daß sie wegen des komplizierten Vielschichtenaufbaus außeror dentlich teuer in der Herstellung sind. Je mehr Filter schichten erforderlich sind, desto länger ist die Dauer des Beschichtungsverfahrens und desto kostspieliger werden die Filter. Ein weiterer Nachteil ist, daß die Filter umso weniger mechanisch haltbar sind, je mehr Schichten ange bracht werden müssen, je höher also der Schichtenstapel des Filters ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs genannte Interferenzfilter dahingehend zu verbessern, daß die gewünschte optische Filtercharakteristik, d.h. ein Maximum an effektiver Reflexion im Infrarotbereich des Spektrums und ein Maximum an Durchlässigkeit für den sichtbaren Strahlungsanteil des Spektrums mit einer mög lichst geringen Anzahl von dielektrischen Schichten er reicht wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ne ben λ/4-Schichten λ/2-Schichten eingesetzt sind mit ei ner Schichtenfolge in Form von zwei aufeinanderfolgenden Schichtstapeln (Doppelstapel), wobei der eine Schichtsta pel aus λ/4-(H-) und (L-) Schichten und der andere Schichtstapel aus abwechselnden λ/4- und λ/2-(H-) und (L-) Schichten besteht und wobei λ die Auslegungswellen länge des Interferenzfilters ist.

Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die Schichtenfolge an dem vom Substrat abgekehrten Ende von einer λ/8-Entspiegelungsschicht aus Material mit nie drigerem Brechungsindex begrenzt. Hiermit ist der Vorteil verbunden, daß die Transparenz für den sichtbaren Teil des Spektrums verbessert wird.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfin dung ist der eine Schichtstapel aus λ/4-Schichten dem Substrat benachbart angeordnet. Der andere Schichtstapel aus abwechselnden λ/4- und λ/2-Schichten liegt dann zwangsläufig am weitesten vom Substrat entfernt. Diese Schichtenfolge führt in bezug auf den integrierten Re flexionsgrad zu günstigeren Resultaten, wenn das aus ihr gebildete Interferenzfilter auf der Innenwandung eines Glühlampenkolbens angeordnet und der die λ/2-Schichten enthaltende Schichtstapel damit zur Seite des Lichtein falls hin angeordnet ist.

Nach einer vorteilhaften weiteren Ausgestaltung des Inter ferenzfilters gemäß der Erfindung ist ein weiterer Stapel aus λ/2-(H-) und (L-) Schichten als Verbreiterungsstapel vorgesehen, der zwischen einer ersten, unmittelbar auf dem Substrat angeordneten λ/4-Schicht und der weiteren Schichtenfolge, bestehend aus dem Doppelstapel, angeordnet ist.

Durch Einbau des Verbreiterungsstapels ergibt sich der Vorteil, daß der integrierte Reflexionsgrad der Schichten folge aus (H-) und (L-) Schichten bis auf 91% gesteigert werden kann, wobei die Breite des Transparenzgebietes im noch vertretbaren Rahmen reduziert wird. Es wurde gefun den, daß die Anzahl der Schichten des Verbreiterungssta pels vorzugsweise kleiner oder gleich der halben Anzahl der Schichten des Doppelstapels sein sollte. Optimal ist damit eine Anzahl von 10 Schichten für den Verbreiterungs stapel, da das Interferenzfilter aus verfahrenstechnischen und insbesondere Kostengründen insgesamt nicht mehr als 30 Schichten aufweisen sollte.

Vorzugsweise ist das Interferenzfilter auf der Seite des Substrates angeordnet, an der die zu reflektierende bzw. durchzulassende Strahlung einfällt. Bei Verwendung des In terferenzfilters als Wärmereflexionsfilter für Glühlampen wäre das Interferenzfilter damit auf der Innenwandung des Glühlampenkolbens anzuordnen. Es ist jedoch auch möglich, das Interferenzfilter auf der Außenwandung eines Glühlam penkolbens anzubringen.

Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, im Doppelstapel je weils alle (H-) Schichten aus Material mit höherem Bre chungsindex als λ/4-Schichten und die (L-) Schichten aus Material mit niedrigerem Brechungsindex dementsprechend zum Teil als λ/4- und zum anderen Teil als λ/2-Schichten auszubilden. Aus mechanischen Gründen kann es nun aber zweckmäßig sein, das Material mit niedrigerem Brechungsin dex nicht für λ/2-Schichten einzusetzen: für diesen Fall können für den Aufbau des Doppelstapels auch alle λ/4-Schichten aus Material mit niedrigerem Brechungsindex (L) hergestellt werden und dementsprechend wird dann ein Teil der Schichten aus Material mit höherem Brechungsindex (H) als λ/2- und der andere Teil als λ/4-Schichten aus gebildet.

Die mit der Erfindung erzielbaren Vorteile bestehen insbe sondere darin, daß Interferenzfilter mit integrierten Re flexionsgraden für Strahlung aus dem Infrarotbereich des Spektrums bis zu ≈ 91% mit einer vergleichsweise geringen Anzahl von Schichten aufgebaut werden können.

Anhand der Zeichnung werden Ausführungsbeispiele der Er findung beschrieben und in ihrer Wirkungsweise erläutert. Es zeigen:

Fig. 1a Prinzipdarstellung einer linearen Halogen-Glüh lampe

Fig. 1b vergrößerter Ausschnitt der Wandung der in Figur la dargestellten Halogen-Glühlampe mit Wärme reflexionsfilter,

Fig. 2 Schematische Darstellung des erwünschten spektralen Verlaufes des Reflexionsgrades R λ eines Wärmereflexionsfilters für Glühlampen anwendung,

Fig. 3 bis 11b graphische Darstellung des Reflexions grades R λ für unterschiedlich aufgebaute Inter ferenzfilter nach der Erfindung für unterschied liche Wellenlängenbereiche.

In Fig. 1 ist schematisch eine lineare Halogen-Glühlampe 10 mit einem Lampenkolben 3, einem Lampenkolbenteil 5 in Form eines zylindrischen Quarzrohres als Träger für ein Wärmereflexionsfilter, das in seinem Schichtaufbau in Fig. 1b gemäß dem Ausschnitt A aus Fig. 1a dargestellt ist, mit einer Fadenwendel 7, z.B. aus Wolfram, und Monta gehalterungen 9 für die Fadenwendel 7.

Auf der Innenwandung des Lampenkolbenteiles 5 in Form ei nes zylindrischen Quarzrohres ist ein Interferenzfilter angebracht, das aus einem Doppelstapel 20 mit einer Schichtenfolge von Schichten 21, 211 aus Material mit hö herem Brechungsindex (H) und von Schichten 23, 231 aus Ma terial mit niedrigerem Brechungsindex (L) besteht.

Als Material mit niedrigerem Brechungsindex (L) wurde vor zugsweise SiO₂ eingesetzt, als Material mit höherem Bre chungsindex (H) wurde vorzugsweise TiO₂ eingesetzt. Der Brechungsindex des TiO₂ in Form von Rutil ist im relevan ten Wellenlängenbereich 0,3 bis 3 µm n _H≈2,45 und für SiO₂ nL≈1,45.

Das Interferenzfilter weist bis zu 30 Schichten insgesamt auf, auf den Aufbau spezieller Filter wird weiter unten im einzelnen eingegangen.

Die Filterschichten 21, 211, 23 und 231 können auf unter schiedliche Weise auf dem Substrat, in den Ausführungsbei spielen ein Lampenkolben aus Quarzglas, angebracht werden. Brauchbare Resultate werden erhalten, wenn die Schichten auf dem auf eine Temperatur < 400°C erhitzten Substrat aus einer reaktiven Gasphase niedergeschlagen werden (chemical vapour deposition, CVD). Als Ausgangsverbindungen kommen SiCl₄+ O₂ für die Abscheidung von SiO₂ und TiO₂ + O₂ für die Abscheidung von Ti 0 i 2 in betracht. Die Schichten können jedoch auch mittels eines Tauchverfahrens aus metallor ganischen Verbindungen in alkoholischer Lösung abgeschie den werden. Die erwähnten Beschichtungstechniken sind dem Fachmann bekannt, z.B. aus Philips Technical Review 41 (1983/84), Nr. 7/8, Seiten 225 bis 238 oder aus "Coatings on Glass", H.K. Pulker, Elsevier (1984).

In Fig. 2 ist der erwünschte spektrale Verlauf des Re flexionsgrades R _λ eines Wärmereflexionsfilters für Glüh lampenanwendung dargestellt. W _λ ist dabei die spezifische Ausstrahlung der Drahtwendel der Glühlampe bei 3000 K mit einem angenommenen Emissionsgrad für Wolfram nach de Vos. V _λ bezeichnet die spektrale Hellempfindlichkeit des Auges.

Bei Untersuchungen, die der vorliegenden Erfindung zugrun deliegen, hat sich gezeigt, daß Filterkennlinien, die dem gewünschten Reflexionsgrad, wie er in Fig. 2 schematisch dargestellt ist, entsprechen, mit λ/4- oder λ/2-Schichten in bestimmter Konfiguration zu realisieren sind, d.h. n _Hd_H= λ/4 oder λ/2, n _Ld_L= λ/4 oder λ/2 (worin n _H der Brechungsindex für das Material mit höherem Brechungsindex (H), n _L der Brechungsindex des Materials mit niedrigerem Brechungsindex (L), d_H,L die geometrischen Schichtdicken dieser Materialien und die Auslegungswellenlänge des Filters λ = 1,1 µm).

Es wurde überraschenderweise gefunden, daß für jede Schichtenzahl des Doppelstapels bis N = 20 eine Doppelstapel-Struktur, die für das Material mit höherem Brechungsindex (H) nur λ/4- und für das Material mit nie drigerem Brechungsindex (L) λ/4- und λ/2-Schichten zu läßt, zu optimalen Filterkennlinien im Sinne der Fig. 2 führt. Der Doppelstapel kann jedoch auch so aufgebaut wer den, daß alle (L-) Schichten als λ/4-Schichten und die (H-) Schichten zum einen Teil als λ/4-Schichten und zum anderen Teil als λ/2-Schichten ausgebildet sind. Geeigne te Doppelstapelfilterstrukturen sind in den nachfolgenden Beispielen beschrieben.

Beispiel 1

Interferenzfilter mit einem Doppelstapel aus N = 9 Schichten + 1 Entspiegelungsschicht mit der Konfiguration:

S/HLHLHL′HL′H L′′;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′= SiO₂ als λ/2-Schicht L′′= SiO₂ als λ/8-Schicht.

Das Reflexionsspektrum der Interferenzfilterstruktur gemäß Beispiel 1 ist in Fig. 3 dargestellt, wobei von einem Wert für die Auslegungswellenlänge des Filters λ = 0,90 µm ausgegangen wurde. Die (H-) und (L-) Schichtenfolge des Doppelstapels 20 dieses Interferenzfilters ist in Fig. 1b dargestellt, wobei die vom Substrat 5 aus gesehen ersten vier (H-) und (L-) Schichten 211, 121, 23 den einen Schicht stapel und die folgenden fünf (H-) und (L-) Schichten 21, 23 den anderen Schichtstapel des Doppelstapels 20 bil den. Mit dem Bezugszeichen 231 ist die Entspiegelungs schicht bezeichnet.

Beispiel 2

Interferenzfilter mit einem Doppelstapel mit N = 11 Schichten mit der Konfiguration:

S/HLHLHLHL′HL′H;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′= SiO₂ als λ/2-Schicht.

Beispiel 3

Interferenzfilter mit einem Doppelstapel aus N = 17 Schichten mit der Konfiguration:

S/HLHLHLHLHL′HL′HL′HL′H;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′= SiO₂ als λ/2-Schicht.

Die Anordnung des die λ/2- (L-) Schichten enthaltenden Schichtstapels zur Seite der einfallenden zu reflektieren den bzw. durchzulassenden Strahlung hin führt dabei zu ge ringfügig günstigeren Filterkennlinien.

Fig. 4 zeigt das Reflexionsspektrum des Doppelstapels mit N = 17 Schichten, wobei die Transparenz im sichtbaren Be reich des Spektrums durch die Addition einer λ/8-(L-) Entspiegelungsschicht als am weitesten vom Substrat ent fernt liegende Schicht noch deutlich verbessert wird (vergleiche Fig. 5). Auslegungswellenlänge dieses Filters ist λ = 1,1 µm. Der außerhalb des Transparenzbereiches für Strahlung einer Wellenlänge von 0,43 bis 0,7 µm über die Wendelstrahlung (vergleiche Fig. 2) gemittelte Reflexions wert beträgt für dieses Ausführungsbeispiel 77%. Die Aus legung der Bandkante auf λ≈0,75 µm bei senkrechtem Licht einfall bewirkt, daß die Blauverschiebung des Transparenz bereiches für Winkel bis ρ≈45° keine Farbortänderung her vorruft.

Anzumerken ist, daß bei Winkeln ab ρ45° eine scharfe Reflexionsspitze bei λ = 0,50 µm auftritt, deren Einfluß auf den Farbort jedoch durch leichtes Verstimmen des Dop pelstapels gemildert wird. Unter Verstimmen ist eine ge ringfügige Erhöhung aller geometrischen Dicken der L-Schichten um den gleichen Prozentsatz (≈ 2%) zu verste hen.

In Fig. 6 ist die Stabilität eines entspiegelten Doppel stapels mit N = 17 Schichten + 1 Entspiegelungsschicht gegenüber einer statistischen Variation der Schichtdicken (Schichtdickenfehler maximal ± 5%) dargestellt. Während die Filterkonfiguration im infraroten Spektralbereich völlig stabil gegen derartige Fehler zu sein scheint, kön nen im sichtbaren Bereich des Spektrums Farbortänderungen auftreten.

Ein Vergleich der Fig. 7 und 5 zeigt, daß der Einfluß der Dispersion des TiO₂ Brechungsindex nur im Wellenlän genbereich unterhalb von 0,5 µm spürbar ist, insgesamt je doch bei der Gestaltung der Interferenzfilter eine unter geordnetere Rolle spielt.

Es kann aus Gründen der mechanischen Spannungsfreiheit vorteilhaft sein, die (L-) Schichten des Interferenzfil ters nicht als λ/2-Schichten auszubilden; für diesen Fall bieten sich komplementäre, inverse Doppelstapelstrukturen an. Diese verwenden im Falle des (L-) Materials nur λ/4- Schichten und erweisen sich bezüglich der Infrarotre flexion als gleichwertig zu Filtern mit λ/2-(L-) Schich ten. Das Reflexionsspektrum im Transparenzbereich ist für diese Schichten etwas ungünstiger.

Beispiel 4

Interferenzfilter mit einem inversen Doppelstapel mit N = 17 Schichten + 1 Entspiegelungsschicht mit der Konfiguration:

S/HLHLHLHLH′LH′LH′LH′LH′L″;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht H′= TiO₂ als λ/2-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′′= SiO₂ als λ/8-Schicht.

Das Reflexionsspektrum dieses Interferenzfilters ist in Fig. 8 dargestellt.

Beispiel 5

Interferenzfilter mit einem inversen, jedoch anders struk turierten Doppelstapel aus N = 17 Schichten + 1 Entspiege lungsschicht mit der Konfiguration:

S/HLH′LH′LH′LH′LHLHLHLH L′′;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht H′= TiO₂ als λ/2-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′′= SiO₂ als λ/8-Schicht.

Das Reflexionsspektrum dieser Filterstruktur ist in Fig. 9 dargestellt.

Der außerhalb des Spektralbereiches für sichtbare Strah lung (0,43 bis 0,70 µm) über die spezifische Ausstrahlung der Wendel bei 3000 K (W _λ) gemittelte Reflexionsgrad der Interferenzfilter gemäß den Beispielen 1 bis 5 bleibt - auch bei beliebig hoher Schichtenzahl - auf 80% begrenzt, da das Gebiet hoher Reflexion nur bis λ≈2 µm reicht.

Um im infraroten Spektralbereich eine breitbandigere Re flexion zu erreichen, ist es möglich, die Doppelstapel strukturen gemäß den Beispielen 1 bis 5 durch einen Ver breiterungsstapel aus L- und H-Schichten zu erweitern, wo bei dieser Verbreiterungsstapel vorzugsweise λ/2- (L- und H-) Schichten bei einem Wert für die Auslegungswellenlange des Filters λ = 1,1 µm aufweist.

Beispiel 6

Interferenzfilter mit einem Doppelstapel aus N = 17 Schichten + 1 Entspiegelungsschicht + Verbreiterungsstapel mit 8 Schichten mit der Konfiguration:

S/HL′H′L′H′L′H′L′ HLHLHLHL HL′HL′HL′HL′H L′′;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht H′= TiO₂ als λ/2-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′= SiO₂ als λ/2-Schicht L′′= SiO₂ als λ/8-Schicht.

Das Reflexionsspektrum des Interferenzfilters gemäß Bei spiel 6 ist in den Fig. 10a und 10b für verschiedene Wellenlängenbereiche dargestellt. Der integrierte Reflexi onsgrad des Interferenzfilters mit Doppelstapelstruktur gemäß den Beispielen 4 und 5 wird durch den Verbreite rungsstapel aus λ/2-(H- und L-) Schichten von 77% auf 89% gesteigert, wobei die Breite des spektralen Bereiches, für den das Interferenzfilter durchlässig ist, etwas reduziert wird. Dieser Transparenzbereich wird geringfügig vergrö ßert bei der nachfolgenden Filterstruktur gemäß Beispiel 7.

Beispiel 7

Interferenzfilter mit einem Doppelstapel aus N = 21 Schichten + 1 Entspiegelungsschicht + Verbreiterungsstapel aus 8 Schichten mit der Konfiguration:

S/HL′H′L′H′L′H′L′ HLHLHLHLHL HL′HL′HL′HL′HL′H L′′;
S= Substrat aus Quarzglas H= TiO₂ als λ/4-Schicht H′= TiO₂ als λ/2-Schicht L= SiO₂ als λ/4-Schicht L′= SiO₂ als λ/2-Schicht L′′= SiO₂ als λ/8-Schicht.

Das Reflexionsspektrum des Interferenzfilters gemäß Bei spiel 7 ist in den Fig. 11a und 11b für verschiedene Wellenlängenbereiche dargestellt. Mit diesem Interferenz filter wird ein integrierter Reflexionsgrad von 91% er reicht.

Es hat sich gezeigt, daß mit Anwendung eines Verbreite rungsstapels aus λ/2- (L- und H-) Schichten ebenfalls ei ne breitbandige Reflexion im Infraroten erreicht werden kann bei einer inversen Doppelstapel-Struktur, d.h. bei einer Struktur, bei der alle (L-) Schichten des Doppelsta pels λ/4-Schichten, die (H-) Schichten des einen Schicht stapels dagegen λ/4- und des anderen Schichtstapels λ/2-Schichten sind.

Claims

1. Interferenzfilter auf einem, für den sichtbaren Teil des Spektrums transparenten Substrat aus abwechselnden dielektrischen Schichten jeweils aus Material mit höherem (H) und mit niedrigerem (L) Brechungsindex unter Anwendung von λ/4-Schichten, das so ausgelegt ist, daß Strahlung eines gewünschten Wellenlängenbereichs durchgelassen und Strahlung der benachbarten Wellenlängenbereiche reflek tiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß neben λ/4-Schichten λ/2-Schichten eingesetzt sind mit einer Schichtenfolge in Form von zwei aufeinanderfol genden Schichtstapeln (Doppelstapel) (20), wobei der eine Schichtstapel aus λ/4- (H-) und (L-) Schichten und der andere Schichtstapel aus abwechselnden λ/4- und λ/2- (H-) und (L-) Schichten besteht und wobei λ die Ausle gungswellenlänge des Interferenzfilters ist.

2. Interferenzfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtenfolge an dem vom Substrat (5) abgekehrten Ende von einer λ/8-Entspiegelungsschicht (231) aus Mate rial mit niedrigerem Brechungsindex begrenzt ist.

3. Interferenzfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Substrat (5) unmittelbar benachbarte Schicht (211) eine λ/4-Schicht ist.

4. Interferenzfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Substrat (5) unmittelbar benachbarte Schicht (211) aus Material mit höherem Brechungsindex besteht.

5. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Schichtstapel aus λ/4-Schichten dem Substrat (5) benachbart angeordnet ist.

6. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Schichtstapel aus abwechselnd λ/4- und λ/2-Schichten dem Substrat (5) benachbart angeordnet ist.

7. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein weiterer Stapel aus λ/2- (H-) und (L-) Schichten als Verbreiterungsstapel vorgesehen ist, der zwischen ei ner ersten, unmittelbar auf dem Substrat angeordneten λ/4-Schicht (211) und der weiteren Schichtenfolge, be stehend aus dem Doppelstapel (20), angeordnet ist.

8. Interferenzfilter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Verbreiterungsstapel (H- und L-) Schichten in ei ner Anzahl hat, die kleiner oder gleich der halben Anzahl der Schichten des Doppelstapels (20) ist.

9. Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schichtstapel des Doppelstapels (20) je weils eine gleiche oder um Eins verschiedene Anzahl von Schichten haben.

10. Interferenzfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es auf der Seite des Substrats (5) angeordnet ist, an der die zu reflektierende bzw. durchzulassende Strahlung einfällt.

11. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (5) aus Quarzglas besteht.

12. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Material für die (H- und L-) Schichten absorp tionsfreie Oxide eingesetzt sind.

13. Interferenzfilter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Material für die (H-) Schichten (21, 211) mit hö herem Brechungsindex TiO₂ vorzugsweise in Form von Rutil, ist.

14. Interferenzfilter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Material für die (L-) Schichten (23, 231) mit nie drigerem Brechungsindex SiO₂ ist.

15. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß seine Gesamtschichtanzahl N 30 beträgt.

16. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Doppelstapel (20) insgesamt eine Anzahl von (H- und L-) Schichten aufweist N = 9 bis 21.

17. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß es für sichtbare Strahlung im Wellenlängenbereich von 0,43 bis 0,70 µm eine hohe Durchlässigkeit und für Strah lung außerhalb des sichtbaren Teils des Spektrums, insbe sondere für Strahlung des nahen Infrarotbereichs, einen hohen Reflexionsgrad aufweist.

18. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt neun abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, unmittel bar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂-Schicht ist, wobei die erste bis fünfte, die siebte und die neunte Schicht jeweils λ/4-Schichten sind und wobei die sechste und die achte Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

19. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt elf abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, unmittel bar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂-Schicht ist, wobei die erste bis siebte, die neunte und die elfte Schicht jeweils λ/4-Schichten sind und wobei die achte und die zehnte Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

20. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt siebzehn abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, un mittelbar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂-Schicht ist, wobei die erste bis neunte, die elfte, dreizehnte, fünfzehnte und die siebzehnte Schicht jeweils λ/4-Schichten sind und wobei die zehnte, die zwölfte, die vierzehnte und die sechzehnte Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

21. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt siebzehn abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, un mittelbar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂-Schicht ist, wobei die erste bis achte, die zehnte, die zwölfte, die vierzehnte und die sechzehnte Schicht je weils λ/4-Schichten sind und wobei die neunte, die elfte, die dreizehnte, die fünfzehnte und die siebzehnte Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

22. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt siebzehn abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, un mittelbar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂- Schicht ist, wobei die erste, die zweite, die vierte, die sechste, die achte und die zehnte bis siebzehnte Schicht jeweils λ/4-Schichten sind und wobei die dritte, die fünfte, die siebte und die neunte Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

23. Interferenzfilter nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Ausbildung eines Wärmereflexionsfilters auf der Wandung eines Glühlampenkolbens als Substrat mit einer Schichtenfolge von insgesamt fünfundzwanzig abwechselnden TiO₂- und SiO₂-Schichten angebracht ist, wovon die erste, unmittelbar auf dem Substrat befindliche Schicht eine TiO₂-Schicht ist, wobei die erste, die neunte bis siebzehnte, die neunzehnte, die einundzwanzigste, die dreiundzwanzigste und die fünfundzwanzigste Schicht jeweils λ/4-Schichten sind und wobei die zweite bis achte, die achtzehnte, die zwanzigste, die zweiundzwanzigste und die vierundzwanzigste Schicht jeweils λ/2-Schichten sind.

24. Interferenzfilter nach den Ansprüchen 17 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß als jeweils letzte, am weitesten vom Substrat entfernt liegende Schicht der Schichtenfolge eine SiO₂-Schicht als λ/8-Schicht angebracht ist.

25. Verwendung des Interferenzfilters nach den Ansprüchen 1 bis 24 als Wärmereflexionsfilter für Glühlampen, insbesondere für lineare Halogenlampen.