DE3527165C1

DE3527165C1 - Mikrophotometer

Info

Publication number: DE3527165C1
Application number: DE19853527165
Authority: DE
Inventors: Hans Hartmann; Reinhard Dr. Wien Lihl
Original assignee: C Reichert Optische Werke AG
Current assignee: C Reichert Optische Werke AG
Priority date: 1985-07-30
Filing date: 1985-07-30
Publication date: 1986-09-25

Description

Mit 10 ist die Objektebene, mit 12 das Mikroskopobjektiv, mit 14 die Pupille des Mikroskopobjektives 12, mit 16 die Meßblende, mit 18 eine erste Projektionslinse, mit 20 ein Interferenzverlauffilter, mit 22 eine zweite Projektionslinse und mit 24 ein Photomultiplier bezeichnet Die Meßblende 16 ist senkrecht zum Strahlengang verschiebbar und befindet sich in der Abbildungsebene des Mikroskopobjektives 12, in der die Objektebene 10 abgebildet wird. Die Projektionslinse 18 bildet die Pupille 14 des Mikroskopobjektives auf das Interferenzverlauffilter 20 ab, das für ein Wellenlängenscanning ebenso wie die Meßblende 16 für ein Bildscanning quer zum Strahlengang verschiebbar ist. Die Abbildung B' der Pupille Pwird dann durch die zweite Projektionslinse 22 auf die photoempfindliche Schicht 26 des Photomultipliers 24 abgebildet Der Pupillenquerschnitt P' und P" ist ja der kleinstmögliche Querschnitt des aus der Pupille Pdes Mikroskopobjektives austretenden Strahles, innerhalb dem der durch die Meßblende 16 entsprechend einem bestimmten Punkt auf dem Objekt ausgewählte Strahl wandern kann. Daher können mit dieser Anordnung Bildscanning und Wellenlängenscanning gleichzeitig durchgeführt werden.

Claims

Patentanspruch: Mikrophotometer mit einer Meßblende (16) in einer Abbildungsebene eines vorgeschalteten Mikroskopobjektives (12), wobei die Meßblende (16) für ein Bildscanning in der Abbildungsebene verschiebbar ist, und einer zwischen einer Lichtmeßeinrichtung (24) mit einer lichtempfindlichen Schicht und der Meßblende angeordneten Projektionslinse (22) zur -Abbildung der Pupille (P) des Mikroskopobjektivs (12) auf die lichtempfindliche Fläche der Lichtmeßeinrichtung(24), dadurch gekennzeichn e t, daß ein senkrecht zur optischen Achse verschiebbares Interferenzverlauffilter (20) zwischen der Meßblende (16) und der Projektionslinse (22) sowie eine weitere Projektionslinse (18) zwischen der Meßblende (16) und dem Interferenzverlauffilter (20) zur Zwischenabbildung der Pupille (P) des Mikroskopobjektivs (12) in die Ebene des Interferenzverlauffilters angeordnet sind.

Die Erfindung betrifft ein Mikrophotometer gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs.

Ein Mikrophotometer dieser Art ist aus der DE-OS 32 13 145 bekannt. Bei dem bekannten Mikrophotometer kann nur ein Bildscanning durchgeführt werden.

In der älteren nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung P 3443 727 ist ein Mikrophotometer der gleichen Art beschrieben, das zusätzlich ein Interferenzverlauffilter nahe der Eintrittsstelle in die Lichtmeßeinrichtung aufweist.

Nach dieser deutschen Patentanmeldung kann nun entweder nur ein Bildscanning oder nur ein Wellenlängenscanning durchgeführt werden. Der Grund liegt darin, daß die Pupille des Mikroskopobjektives nicht genau auf dem lnterferenzverlauffilter abgebildet wird, so daß ein relativ großer Bereich auf dem Interferenzverlauffilter abgebildet wird, so daß ein relativ großer Bereich auf dem Interferenzverlauffilter (bei stationärem Interferenzverlauffilter) vorhanden ist, innerhalb dem während eines Bildscannings der von der Meßblende ausgewählte Strahl wandern kann, so daß die Lichtmeßeinrichtung, also bspw. ein Photomultiplier bei stationärem lnterferenzverlauffilter je nach gewähltem Bildausschnitt unterschiedliche Wellenlängen anzeigt, was ja nicht sein sollte. Daher wird für das Bildscanning nach der genannten deutschen Patentanmeldung das Interferenzverlauffilter aus dem Strahlengang gebracht, wohingegen beim Wellenlängenscanning die Meßblende stationär bleibt.

Ferner hat das Mikrophotometer nach der oben genannten deutschen Patentanmeldung noch den Nachteil, daß während des Bildscannings auch der Strahlquerschnitt auf der lichtempfindlichen Schicht der Lichtmeßeinrichtung in einem relativ großen Bereich wandert, da die Pupille des Mikroskopobjektives eben nicht unmittelbar auf der lichtempfindlichen Schicht abgebildet wird, sondern nahe der Eintrittsstelle in die Lichtmeßeinrichtung. Es ist nun aber bekannt, daß die Empfindlichkeit der lichtempfindlichen Schicht nicht über ihre gesamte Oberfläche absolut gleichmäßig ist, so daß durch ein Wandern des Lichtes auf der lichtempfindlichen Schicht durchaus nicht verlässigbare Meßfeh-1er hervorgerufen werden können.

Der Erfindung liegt nun ausgehend von dem bekannten Mikrophotometer die Aufgabe zugrunde, es so auszubilden, daß das Bildscanning bei einer mit einem Interferenzverlauffilter ausgewählten Wellenlänge durchgeführt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Nach der Erfindung ist aufgrund der Abbildung der Pupille des Mikroskopobjektives auf das Interferenzverlauffilter selbst der Strahlquerschnitt, der durch Verschieben der Meßblende ausfüllbar ist, am kleinsten, so daß Verschiebungen der Meßblende eine Bewegung des Lichtstrahles auf dem Interferenzverlauffilter nur noch in so kleinem Umfang zur Folge hat, daß eine negative Beeinflussung des Meßergebnisses ohne weiteres vernachlässigt werden kann. Der gleiche Effekt ergibt sich dann nochmals auf der lichtempfindlichen Schicht der Lichtmeßeinrichtung, wenn auf der lichtempfindlichen Schicht selbst die Pupille des Mikroskopobjektives abgebildet wird, wie dies ja vorzugsweise der Fall sein soll.

Dann sind auch Meßfehler, die durch ein Wandern des Lichtstrahles auf der nicht gleichmäßig empfindlichen lichtempfindlichen Schicht entstehen, weitgehend ausgeschaltet.

Weitere Vorteile, Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden, anhand der beiliegenden Zeichnung erfolgenden Beschreibung der Erfindung.

In der Zeichnung ist schematisch der Strahlengang des erfindungsgemäßen Mikrophotometers dargestellt.