DE3512794A1 - Vorrichtung zur messung von ueber-, unter- und differenzdruecken im bergbau - Google Patents

Vorrichtung zur messung von ueber-, unter- und differenzdruecken im bergbau

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DE3512794A1 DE19853512794 DE3512794A DE3512794A1 DE 3512794 A1 DE3512794 A1 DE 3512794A1 DE 19853512794 DE19853512794 DE 19853512794 DE 3512794 A DE3512794 A DE 3512794A DE 3512794 A1 DE3512794 A1 DE 3512794A1
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    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices

Description

  • Vorrichtung zur Messung von über, Unter-
  • und Differenzdrücken im Bergbau Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Messung von Drücken im Bergbau der eingangs genannten Art.
  • Eine derartige Vorrichtung ist bisher nur in Form eines Handmessgerätes bekannt geworden, welches als Flüssigkeits-Manometer ausgebildet ist. Es gibt hier die Art eines U-Rohr-Manometers oder auch die Ausführung als Schrägrohr-Manometer. Der Einsatz derartige Flüssigkeits-Manometer im Bergbau ist problematisch, denn die Handhabung bezüglich Transport, Justierung und Ablesung ist nicht betriebssicher genug.
  • Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß auf einfache und betriebssichere Weise die genannten Drücke im Bergbau gemessen werden können.
  • Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der elektrische Druckaufnehmer auf dem piezoelektrischen Prinzip beruht und aus einem abdichtend in einem Gehäuse angeordneten Silizium-Chip besteht, welcher zwei Kammern abteilt, von denen jede über einen Schlauchstutzen mit dem Meßdruck verbunden ist, und daß auf dem Silizium-Chip eine eingeätzte Druckmembran mit darauf angeordneten, elektrischen Widerständen angeordnet ist, die zu einer Wheatstone'schen Vollbrücke geschaltet sind.
  • Wesentliches Merkmal der vorliegenden Erfindung ist also die elektrische Erfassung der im Bergbau vorkommenden Drücke und deren digitale Anzeige an einem entsprechenden Anzeigenfeld eines leicht tragbaren und leicht handhabbaren kleinen Meßgerätes.
  • Damit ergibt sich ein wesentlich erweiterter Anwendungsbereich einer Vorrichtung nach der Erfindung, denn die Differenzdrücke werden im Bergbau beispielsweise als über- oder Unterdruck in Leitungen und Kanälen gegenüber dem Luftdruck der Umgebung, z.B. bei Lutten-Leitungen, Gasabsauge-Leitungen und Wetterkanälen gemessen.
  • Ebenso ist die Erfindung einsetzbar bei der Ermittlung des Druckabfalls in Leitungen, Kanälen und Formstücken.
  • Ebenso kann der dynamische Druck zur Ermittlung der Geschwindigkeit in strömenden Medien erfasst werden und ferner der Druck an Druckerzeugern, wie Lüftern und Verdichtern beim Feststellen des Betriebspunktes.
  • Ein weiterer wesentlicher Einsatzbereich der Erfindung ist die Druckmessung an Wettertüren.
  • Das eigensichere, elektronische Mikro-Manometer nach der vorliegenden Erfindung ermöglicht die Messung positiver und negativer Drücke, sowie Druck-Differenzen in schlagwetter- und explosionsgefhrdeten Bereichen. Es ist weitaus bequemer in der Handhabung als herkömmliche Flüssigkeits-Manometer durch unkomplizierte Bedienung, Kompaktheit, leichte Transportierbarkeit , hohe Genaugkeit und durch eine LCD-Anzeige, bei der Ablesefehler ausgeschlossen sind.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst das Mikro-Manometer den Meßbereich von Null bis 1999 Pa und ist als Vergleichsgerät bei der Prüfung stationärer Druckmeßeinrichtungen unter Tage sowie bei der Ermittlung der Druckverteilung in Grubengebäuden besonders geeignet.
  • Weitere Anwendungsgebiet sind Klima- und Lüftungstechnik, Chemie- und Verfahrenstechnik.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach dem Gegenstand des Anspruches 2 ist vorgesehen, daß der elektrische Druckaufnehmer auf dem piezoelektrischen Prinzip beruht und aus einem abdichtend in einem Gehäuse angeordneten Silizium-Chip besteht, welcher zwei Kammern abteilt, von denen jede über einen Schlauchstutzen mit dem Meßdruck verbunden ist, und daß auf dem Silizium-Chip eine eingeätzte Druckmembran mit darauf angeordneten, elektrischen Widerständen angeordnet ist, die zu einer Wheatstone'schen Vollbrücke geschaltet sind.
  • Damit ergibt sich im gewünschten Druckbereich eine hohe Auflösung und eine lineare,brummfreie Ausgangsspannung, die dem Differenz- oder Relativdruck proportional ist.
  • Mit dem erfindungsgemässen Aufbau wird eine qute Reproduzierbarkeit der Meßergebnisse, eine geringe Hysterese und eine hohe Langzeit-Stabilität erreicht.
  • Unter Druckeinwirkung biegt sich die erwähnte Membran durch. Dabei ändern sich die zu einer Vollbrücke geschalteten Widerstände und rufen eine druckproportionale, genau vorherbestimmbare Ausgangsspannung hervor.
  • Weitere Merkmale der Erfindung sind Gegenstand der übrigen Unteransprüche.
  • Der Erfindungsgegenstand der vorliegenden Erfindung ergibt sich nicht nur aus dem Gegenstand der einzelnen Patentansprüche, sondern auch aus der Kombination der einzelnen Patentansprüche untereinander.
  • Alle in den Unterlagen offenbarten Angaben und Merkmale, insbesondere die in den Zeichnungen dargestellte , räumliche Ausbildung werden als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand von lediglich einen Ausführungsweg darstellende Zeichnungen näher erläutert.
  • Hierbei gehen aus den Zeichnungen und ihrer Beschreibung weitere erfindungswesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung hervor.
  • Es zeigen: Fig 1: Draufsicht auf das Gehäuse des Mikro-Manometers, Figur 2: Seitenansicht des Gehäuses mit angedeuteten Einbauteilen, Figur 3: Prinzip-Aufbau des Drucksensors, Figur 4: interne elektrische Schaltung des Drucksensors, Figur 5: Stromlaufplan der gesamten Meßschaltung.
  • An der Oberseite eines vorzugsweise aus einem leit'ähigen Kunststoffmaterial bestehenden Gehäuses 1 ist eine LCD-Anzeige 2 eingebaut. An der einen Stirnseite des Gehäuses 1 sind zwei Schlauchstützen 3a, 3b angebaut, die intern über entsprechende Schläuche und Schlauchverbinder mit den Druckanschlüssen des Drucksensors gemäss Figur 3 verbunden sind.
  • Aus Figur 2 ergibt sich, daß das Gehäuse 1 in zwei Kammern geteilt ist, wobei in der unteren Kammer der Energieblock 8 bestehend aus beispielsweise acht Ni-Ca-Zellen eingebaut ist. Entsprechend dem Schaltbild in Figur 5 sind den Zellen zwei Widerstände und eine Sicherung zur Strombegrenzung zugeordnet, damit der Energieblock 8 den Anforderungen der Eigensicherheit entspricht. Über die beiden Dioden (Figur 5) ist die Stromversorgung mit den Ladekontakten 4 verbunden. Die Dioden bewirken, daß die Akku-Spannung nicht an den Ladebuchsen 4 anliegt. Alle Teile der Stromversorgung sind im Gehäuseboden vergossen.
  • In der oberen Kammer des Gehäuses 1 sind zwei räumlich voneinander getrennte und über zugeordnete Steckverbinder elektrisch miteinander verbundene Elektronik-Platinen 5,6 angeordnet, wobei die Elektronik-Platine 5 im wesent- lichen zur Ansteuerung der LCD-Anzeige 2 dient, während die Elektronik-Platine 6 die eigentliche Meßschaltung für den darunter angeordneten Druckaufnehmer 7 enthält.
  • Der prinzipielle Aufbau des Drucksensors 7 ergibt sich aus Figur 3. Hierbei ist ein Silizium-Chip 29 abdichtend und unter Bildung von zwei voneinander getrennten Kammern 31,32 in ein Gehäuse eingebaut. Hierdurch wird eine offene Druckkammer 28 ausgebildet, so daß sich die in dem Silizium-Chip eingearbeitete Membran nach beiden Seiten hin ausdehnen kann.
  • Der Druckaufnehmer 7 misst stets einen Druck mit Bezug auf einen anderen Druck. In der Beschaltung als Differenzdruckaufnehmer werden die zu messenden Drücke beiden Schlauchanschlüssen 3a, 3b zugeführt. In der Beschaltung als Über- oder Unterdruckaufnehmer ist der Anschluß 3b dem Umgebungsdruck ausgesetzt, während der Meßdruck über den Schlauchanschluß 3a einwirkt. Die in Figur 4 gezeigte elektrische Schaltung ist in dem aus einem Thermoplast-Material bestehenden Gehäuse 30 eingebaut. An dem Schlauchanschluß 3b dürfen nur relativ saubere Gase , wie Luft oder Freon-Gas angeschlossen werden, während am Schlauchanschluß 3a im wesentlichen alle Gase und Flüssigkeiten angeschlossen werden können, mit Ausnahme solcher, die Polyester-,Silizium- Silikon-Verbindungen angreifen.
  • Gemäss der vorstehenden Beschreibung ist auf dem Silizium-Chip eine Druckmembran eingeätzt, auf der als Vollbrücke geschaltete Widerstände implantiert sind. Unter Druckeinwirkung biegt sich die Membran durch. Dabei ändern sich die zu der Vollbrücke geschalteten Widerstände und rufen eine druckproportionale Ausgangsspannung hervor.
  • Gemäss Figur 4 ist im Gehäuse 3O eine Temperatur-Komsensationsschaltung eingebaut, ebenso wie eine Nullpunkt-und Meßbereichsabgleichschaltung. Der vorgesehene Drucksensor 7 muß daher nicht mehr nachträglich abgeglichen oder nachgeeicht werden.
  • Die Anschlüsse 33,34 , 35 gemäss Figur 4 sind in Figur 5 in ihrer Einbaulage dargestellt.
  • Zunächst wird bei der Elektronik-Platine 6 der Schaltung nach Figur 5 die Festspannungs-Regelung näher erläutert: Der Bezugspunkt der Schaltung (0 Volt) ist mit einer Z-Diode 10 gegenüber der Masse angehoben, um für die nachgeschalteten Verstärker 9,11 , 16 eine negative Versorgungsspannung zu erzeugen.
  • Der Verstärker 9 enthält zusätzlich noch eine Referenz-Spannungsquelle. Mit ihm wird durch Widerstandsbeschaltung am Ausgang Pin 6 eine positive Festspannung von 5 Volt gegenüber dem Bezugspunkt erzeugt.
  • Nachfolgend wird die Spannungsüberwachung erläutert: Der Verstärker 11 wird zur überwachung der Versorgungsspannung eingesetzt. Als Referenzspannung dafür wird die 5-Volt-Festspannung genommen. Beim Unterschreiten der mit dem Spannungsteiler 37 am Pin 6 des Verstärkers 11 eingestellten Sollspannung wird der Transistor 12 durchgeschaltet. Über die Steckverbindung 13 Pin 4,7 und 8 werden dann die drei Kommastellen der LCD-Anzeige 2 angesteuert, die optisch eine zu geringe Versorgungsspannung signalisieren. Zur Vorwarnung blinken die Kommastellen auf. Dies wird durch eine Mitkupplung über den Kondensator 14 an Pin 5 und 7 des Verstärkers 11 erreicht.
  • Der Transistor 15 dient dazu, das Backplane-Signal des AD-Wandlers 17 zu invertieren. Das invertierte Signal wird für die Ansteuerung der Kommas benötigt.
  • Als Meßverstärker für den Drucksensor 7 dient der Verstärker 16. Der Meßwert am Anschluß 35 vom Drucksensor 7 kommend wird über eine Integrierkette, bestehend aus den Widerständen 20 und den Kondensatoren 18 und 19 dem Eingang des Verstärkers 16 zugeführt. Damit wird ein Rauschen des Meßsignals unterdrückt.
  • Der Spannungsteiler 21 dient zur Nullpunkt-Einstellung des Drucksignals.
  • über einen Trimmer 38 im Spannungsteiler am Ausgang des Verstärkers 16 (Pin 1) wird der Meßwert abgegriffen und über die Leitungen 22,23 der Steckverbindung 13 dem Eingang des AD-Wandlers 17 zugeführt. Der Meßwert wird so eingestellt, daß 200 nV einem Meßwert von 2000 Pa entsprechen.
  • Im folgenden werden Besonderheiten der Beschaltung des AD-Wandlers 17 erläutert: Um auch negative Meßwerte anzeigen zu können, muß der AD-Wandler 1 7 mit einer negativen Spannung versorgt werden.
  • Dazu dient die Schaltung mit dem invertierenden Sechsfachtreiber 24. Mit ihm wird in einer Oszillatorschaltung 27 eine Wechselspannung erzeugt, die durch eine Villard-Schaltung 36 negativ gleichgerichtet und verdoppelt wird.
  • Mit der Z-Diode 25 und dem parallel dazu angeordneten verstimmbaren Spannungsteiler 26 wird die für den AD-Wandler 17 notwendige Referenzssannung erzeugt.
  • ZEICHNUNGS-LEGENDE 1 Gehäuse 2 LCD-Anzeige 3a,b, Schlauchstutzen 4 Ladekontakt 5 Elektronikplatine 6 Elektronikplatine 7 Druckaufnehmer 8 Energieblock 9 Verstärker 10 Z-Diode 11 Verstärker 12 Transistor 13 Steckverbindung 14 Kondensator 15 Transistor 16 Verstärker 17 AD-Wandler 18 Kondensator 19 Kondensator 20 Widerstände 21 Spannungsteiler 22 Leitung 23 Leitung 24 invertierender Sechsfachtreiber 25 Z-Diode 26 verstimmbarer Spannungsteiler 27 Oszillator-Schaltung 28 offene Druckkammer 29 Silizium-Chip 30 Gehäuse 31 Kammer 32 Kammer 33 Anschluß 34 Anschluß 35 Anschluß 36 Villard-Schaltung 37 Spannungsteiler 38 Trimmer - Leerseite -

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1. Vorrichtung zur Messung von über-, Unter- und Differenzdrücken im Bergbau, d a d u r c h g e k e n n z e i c hn e t , daß der Druck von einem elektrischen Druckaufnehmer erfasst wird, dessen elektrisches Ausgangssignal von einer digitalen Anzeige (2) angezeigt ist und daß die gesamte Schaltung (5,6) und die Stromversorgung in einem eigensicheren Gehäuse (1) angeordnet ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der elektrische Druckaufnehmer (7) auf dem piezoelektrischen Prinzip beruht und aus einem abdichtend in einem Gehäuse (30) angeordneten Silizium-Chip (29) besteht, welcher zwei Kammern (31,32) abteilt, von denen jede über einen Schlauchstutzen (3a,3b) mit dem Meßdruck verbunden ist, und daß auf dem Silizium-Chip (29) eine eingeätzte Druckmembran mit darauf angeordneten, elektrischen Widerständen angeordnet ist, die zu einer Wheatstone'schen Vollbrücke geschaltet sind.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n ze i c h n e t , daß bei einer positiven, einfachen Versorgungsspannung von z.B. 5 Volt mit der digitalen Anzeige (2) sowohl positive als auch negative Drücke gegenüber einem Referenzdruck dadurcil anzeigbar sind, daß der der digitalen Anzeige (2) vorgeschaltete AD-Wandler mit einer negativen Spannung ve£2orgt wird.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zur Erzeugung einer negativen Spannung die positive Versorgungsspannung einem invertierenden Sechsfachtreiber (24) zugeführt wird, der eine Oszillatorschaltung (27) ansteuert, deren Ausgangs-Wechselspannung durch eine Villard-Schaltung (36) negativ gleichgerichtet und verdoppelt wird.
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