DE3509390A1 - Gekapselte laengenmesseinrichtung - Google Patents

Gekapselte laengenmesseinrichtung

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Description

  • Gekapselte Längenmeßeinrichtung
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine gekapselte IEngenmeßeinrichtung, insbeaondere auf Mittel zur Befestigung des Meßsystems an einer Werkseug- oder Meßmaschine.
  • Aus der DD-PS 122584 ist eine Lingenmeßeinrichtung zum Messen und Einstellen der Relativlage zweier Objekte, z.B. eines Bettes und eines Schlittens einer Maschine, bekennt, bei welcher eine Meßteilung und eine Abtastbaueinheit in einem langgestreckten Hohlkörper untergebracht sind, welcher an seinen Stirnseiten durch Winkelteile abgeschlossen ist. Dabei wird Jeweils ein Schenkel eines Winkelteiles, der gelenkig an dem Jeweiligen Winkelteil angeordnet ist, an der Maschine befestigt.
  • Diese Lösung besitzt erhebliche Nachteile. So ist ein Ausgleich von Ungenauigkeiten der Anschraubfläche an der Maschine oder an der Meßeinrichtung und von lageungenauigkeiten der Längenmeßeinrichtung nur in einer Ebene möglich. Bei Verwindung der Anschraubflächen erfolgt kein derartiger Ausgleich, und es wirken Zwangakräfte auf die gesamte Meßeinrichtung ein. Außerdem ist mit den Winkelteilen nur eine Anschraublage realisierbar. Bei Temperaturschwankungen erfolgt kein Längenausgleich zwischen iängenneßeinrichtung und Meschine.
  • Bei der Lngenmeßeinrichtung nach AE-AS 2630880 sind als Befestigungselemente an einem Ende eines die Meßteilung und die Abtastbaueinheit einschließenden Hohlkörpers zwei quer zur Meßrichtung hintereinander fest angebrachte Kugeln und am gegentiberliegenden Ende des Hohlkörpers eine etwa in der Mitte zwischen den vorgenannten Kugeln angeordnete kippbare Kugelscheibe vorgesehen, so daß eine Art Dreipunktauflage verwirklicht ist.
  • Bei dieser Einrichtung ist ein Ausgleich der Ungenauigkeiten der Anschraubfläche der Maschine - bzw. Meßeinrichtung nur bedingt in zwei Preiheitagraden möglich. Beim Festspannen mittels Schrauben entsteht Jedoch bedingt durch die Richtung der Gewindebohrung für die Schraube bezogen auf die Anschraubfläche bzw. durch die Richtung der Bohrung im Anschraubblocks speziell an den Befestigungselementen mit nur einer Kugelscheibe eine Verspannung, durch welche Zwangskräfte auf die Keßeinrichtung ausgetibt werden.
  • Desweiteren erfolgt kein Längenausgleich zwischen Maschine und Längenmeßeinrichtung bei Temperaturschwankungen.
  • Weiterhin bekannt ist eine Befestigung einer Meßeinrichtung an einer laschine mittels an den Stirnseiten des Sohlkörpers der Meßeinriohtung angeordneter Doppelwinkel oder fester Endstticke (Druckschrift der Fa. kitutoyo, JP, Katalog-Nr.
  • E-529 (2)D, Digitales Längenmeßsstem Linear Scale, Serie 529). Hierbei sind zwar zwei Anschraublagen für das Meßsystem vorgesehen, aber beim Anschrauben werden die Ungenauigkeiten der Anschraubflächen und Lageungenauigkeiten der Meßeinrichtung voll auf das Meßsystem Ubertragen. Es wirken Zwangskräfte auf die Längenmeßeinrichtung ein und bei Temperaturunterschieden und -schwankungen ist ein Längenausgleich nicht gegeben.
  • Es ist Ziel der ErSindung, die Genauigkeit der Längenmeßeinrichtung im eingebauten Zustand und damit den Gebrauchswert zu erhöhen und einen vielseitigen Anwendungsbereich derselben zu erzielen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer gekapselten Längenmeßeinrichtung Mittel vorzusehen, mit denen diese an einer Maschine in unterschiedlichen Anbaulagen spannungs-, versugs- und zwangs kräfte frei befestigt werden kann und mit denen die Meßeinrichtung vom Temperaturgang der Maschine und / oder des BeßobJektes entkoppelbar ist.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gekapselten iängenmeßeinrichtung, umfassend eine Meßteilung und eine dazu relativ bewegbare Abtastbaueinheit, wobei Meßteilung und Abtastbaueinheit in einem langgestreckten Hohlkörper angeordnet sind, welcher an seinen Stirnseiten durch Je einen Abschlußdeckel abgeschlossen ist, dadurch gelöst, daß die Abschlußdeckel des Hohlkörpers dber mindestens ein elastisches ZwischenstE¢k mit Jeweils einem Befestigungsblock verbunden sind, wobei an drei orthogonalen Blächen eines Jeden Befestigungsblockes Mittel zur elastischen Befestigung an der Maschine vorgesehen sind, und daß der Hohlkörper an drei zueinander orthogonalen Längsflächen Nuten zur Aufnahme von elastisch wirkenden Befestigungsmitteln besitzt.
  • Um einen umfassenden Ausgleich von UngenauLgkeiten und Relativbewegungen zwischen Maschine und Meßeinrichtung zu erzielen, ist es vorteilhaft, daß ein Abschlußdeckel durch ein, Ungenauigkeiten und Relativbewegungen in zwei Freiheitsgraden ausgleichendes, elastisches Zwischenglied und der andere Abschlußdeckel durch ein, Ungenauigkeiten und Relativbewegungen in vier Freiheitsgraden ausgleichendes, elastisches Zwischenglied mit dem Befestigungsblock verbunden sind. Es ist vorteilhaft, wenn das elastische ZwischenstEck ein biegeelastischer Stift ist, der mit seinem einen Ende mit dem Befestigungsblock fest verbunden ist.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausfuehrung ergibt sich, wenn als elastisches Zwischensttick eine mit Durchbrnchen versehene Membran aus Metall, Gummi oder Plaste vorgesehen ist, welche vorzugsweise durch Schrauben am Abschlu£deckel und Befestigungsblock befestigt ist.
  • Es ist ferner vorteilhaft, daß das elastische Zwischenstäck ein Bauteil, bestehend aus zwei Flanschen und einem diese verbindenden, biegeelastischen Steg, ist, welches mit einem Flansch mit dem Befestigungsblock verbunden ist.
  • Gemäß einer weiteren Ausführung sind Abschlußdeckel und Befestigungsblock ein Bauteil mit dazwischen angeordnetem Steg.
  • Zur Vermeidung der Durchbiegung, insbesondere bei langen Hohlkörpern, ist es von Vorteil, daß Je nach Länge des Hohlkörpers ein oder mehrere Befestigungswinkel an der Maschine vorgesehen sind, die durch in die Nuten des Hohlkörpers eingreifende Nutenstein und Schrauben über elastische Zwischenlagen mit der Längenmeßeinrichtung in deren Längserstreckung relativ beweglich verbunden sind.
  • Dabei ist es weiterhin vorteilhaft, daß als elastische Zwischenlagen reibungsarme Platten aus Metall, Kunststoff oder Gummi oder in die Befestigungswinkel eingesetzte, profilierte Elemente aus Gummi oder Kunststoff vorgesehen sind.
  • Bei dem mit seinen Befestigungsblöcken und gegebenenfalls mit den Befestigungswinkeln an der Maschine vorteilhaft durch Schrauben befestigten, durch den allseitig geschlossenen Hohlkörper gegen Umwelteinflusse abgekapselten Längenmeßsstem erfolgt durch die zwischen den Abschlußdeckeln und den Befestigungsblöcken angeordneten elastischen ZwischenstEcken ein Lagen und Längenausgleich in mehreren Freiheitsgraden zwischen Maschine und Meßeinrichtung in allen vorgesehenen Anschraublagen der MeBeinrichtung an der Maschine. Diese werden dadurch erreicht, daß an drei orthogonalen Flächen der Befestigungsblöcke Mittel zum Anschrauben an der Maschine vorgesehen sind. In allen diesen Ansohraublagen wird eine spannungs-, verzugs und zwangskräftfreie Befestigung der Meßeinrichtung an der Maschine realisiert.
  • Ein weiterer Vorteil besteht in der Vereinfachung und Verbesserung der Montage durch die Möglichkeit der justierlagefixierung in allen Anbaulagen. Die bei der Fertigung des Hohlkörpers, der Abschlußdeckel und der Befestigungsblöcke einzuhaltenden Genauigkeiten können wesentlich vermindert werden, da stets ein lageausgleich ueber die angeordneten ZwischenstEcke und -lagen erfolgt.
  • Die Erfindung soll nachstehend an einem AusfUhrungsbeispiel näher erläutert werden. In der Zeichnung zeigen Fig. 1 eine komplette gekapselte längenmeßeinrichtung, Pig. 2 einen Schnitt A-A durch ein Ende der Meßeinrichtung nach Fig. 1, Fig. 3 einen Schnitt B-B durch das andere Ende der Meßeinrichtung nach Fig. 1, Fig. 4 einen Schnitt C-C durch die Meßeinrichtung nach Fig. 1, Fig. 5 eine Ansicht auf D-D ein elastisches Zwischensttick als Metallmembran, Fig. 6 eine Ansicht auf ein elastisches Zwischensttick aus Gummi oder Plast, Fig. 7 eine Ansicht auf einen Befestigungsblock, Fig. 8 Abschlußdeckel und Befestigungsblock als ein Bauteil, Fig. 9 ein eingeschweißtes elastisches Zwischenstück Fig.10 ein Zwischensttick mit zwei Flanschen Fig.11 die Befestigung des Hohlkörpers an einer Längsfläche mit elastischen Zwischenlagen, Fig.12 die Befestigung des Hohlkörpers an einer Längsfläche mit profilierten Elementen Fig. 13 eine Aufsicht auf Fig. 12.
  • Die in Fig. 1 dargestellte gekapselte Längenmeßeinrichtung umfaßt einen biegesteifen Hohlkörper 1, in welchen sich, (nicht dargestellt) eine Meßteilung und eine Abtastbaueinheit befinden und welcher an seinen Enden durch Je einen Abschlußdeckel 2; 3 hermatisch abgeschlossen ist. Ein bschlußdeckel 2 ist über ein elastisches ZwischenstEck 4, z.B. einen biegeelastischen Stift (Fig. 2) mit einem Befestigungsblock 5 elastisch verbunden, wobei das Zwischenstück 4, wie in Fig. 2 dargestellt, im Abschlußdeckel 2 und im Befestigungsblock 5 eingepreßt oder, wie in Fig. 9 dargestellt, eingeschweißt sein kann. Dieses ZwischenstUck 4 gewährleistet eine relative Beweglichkeit zwischen Abschlußdeckel 2 und Befestigungsblock in zwei Freiheitsgraden. Der andere Abschlußdeckel 3 am anderen Ende des Hohlkörpers 1 ist über ein weiteres elastisches Zwischenstilck 6, z.3. eine Membran aus Gummi oder Plaste (Fig. 5) oder aus Metall (Fig.
  • 6), mit einem weiteren BeSestigungsblock 7 elastisch bewegbar in vier Freiheitsgraden verbunden. Diese Beweglichkeit wird durch zweckmäßig gestaltete und angeordnete Durchbrüche 8 in dem Zwischensttick 6 realisiert. Vorteilhaft ist dieses Zwischensttick 6 durch Schrauben 9; 10 sowohl mit dem Abschlußdeckel 3 als auch mit dem Befestigungsblock 7 verbunden.
  • An den BeSestigungsblöcken 5 und 7 sind an drei orthogonalen Flächen Mittel 11; 12 vorgesehen, in die Schrauben zur Befestigung der Meßeinrichtung an der Anschraubfläche einer Maschine 13 eingreifen.
  • Wie in Fig. 10 dargestellt, kann das elastische Zwischenstnck ein Bauteil sein, welches aus zwei Flanschen 14; 15 und einem diesen verbindenden, biegeelastischen Steg 16 besteht und welches mit seinem einen Flansch 14 am Befestigungsblock 5 und mit dem anderen Flansch 15 am Abschlußdeckel 2 mittels Schrauben 17; 18 befestigt ist.
  • Bei der AusfUhrungsform nach Fig. 8 bilden ein Abschlußdeckel 19 und der Befestigungsblock 20 gemeinsam mit einem durch Werkstoffaussparungen hergestellten Steg 21 ein einziges Bauteil. Der Absehlußdeekel 19 ist z.B. durch Schrauben 22 am Hohlkörper 1 befestigt.
  • Um eine Durchbiegung insbesondere langer Hohlkörper 1 in den verschiedenen Anschraublagen des Meßsystems zu verhindern, besitzt der Hohkörper 1 an drei orthogonalen Flachen lângaverlaufende Nuten 23; 24; 25; 26 (Figuren 1, 4, 11 und 12) zur Aufnahme von Eefestigungsmlttela 27, z.B. Nutensteine, in die Schrauben 28 eingreifen. Durch diese Schrauben 28 wird der Hohlkörper 1 unter Zwischenschaltung elastischer Zwischenlagen 29; 30 in Form von reibungsarmen Platten (Fig.4 und 11) oder in die Befestigungswinkel 31 eingesetster Elemente aus Gummi oder Kunststoff (Fig. 12 und 13) an den Befestigungswinkeln 31 angeschraubt, die an der Anschraubfläche der Maschine 13 befestigt werden. Durch diese Art der Befestigung des Hohlkörpers 1 unter Verwendung dieser elastischen Zwischenlagen 29; 30 werden Durchbiegungen des Hohlkörpers 1 und eine Schwingungstibertragung auf das Längenmeßsstem verhindert, jedoch gleichzeitig eine Längsverschieb barkeit gewährleistet, die die Notwendigkeit ist, um durch Temperatureinflllsse bedingte Relativverschiebungen zwischen Teilen unterschiedlichen Werkstoffs zu ermöglichen. Ebenso wird durch die elastischen Zwischenlagen 29; 30 verhindert, daß durch Befestigungswinkel 31 Spannungen auf den Hohlkörper 1 und damit auf das Meßsystem übertragen werden.
  • - Leeisveite -

Claims (1)

  1. Patentansprtiche 1. Gekapselte Längenmeßeinrichtung, umfassend eine Meßteilung und eine dazu relativ bewegbare Abtastbaueinheit, wobei Meßteilung und Abtastbaueinheit in einem langgestreckten Hohlkörper angeordnet sind, welcher an seinen Stirnseiten durch Je einen Abschlußdeckel abgeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Absohlußdeckel des Hohlkörpers über mindestens ein elastisches Zwischenstück mit Jeweils einem BoSostigungsblock verbunden sind, wobei an drei orthogonalen Flächen eines jeden Befestigungsblookes Mittel zur elastischen BbBestigung an der Maschine vorgesehen sind, und daß der Hohlkörper an drei zueinander orthogonalen Längsflächen Nuten zur Aufnahme von elastisch wirkenden Befestigungsmitteln besitzt 2. Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ibschlußdeckel durch ein, Ungenauigkeiten und Relativbewegungen in zwei Freiheitsgraden ausgleichendes, elastisches Zwischenglied mit dem BeSestigungsblock verbunden sind.
    3. iängenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Zwischenstllck ein biegeelastischer Stift ist, der mit seinem einen Ende mit dem Abschlußdeckel und mit seinem anderen Ende mit dem Befestigungsblock fest verbunden ist.
    4. längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als elastisches Zwischenstck eine mit Durchbrüchen versehene Umbran aus Metall, Gummi oder Plaste vorgesehen ist, welche vorzugsweise durch Schrauben am Abschlußdeckel und BeSestigungsblock befestigt ist.
    5. Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Zwischenstück ein Bauteil, bestehend aus zwei Flanschen und einem diese verbindenden, biegeelastischen Steg, ist, welches mit einem Blansch mit dem Abschlußdeckel und mit seinem anderen Flansch mit dem Beiestigungsblock verbunden ist.
    6. Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Abschlußdeckel und Beiestigungsblock ein Bauteil mit dazwischen angeordnetem Steg ist.
    7. iängenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je nach Länge des Hohlkörpers ein oder mehrere BeSestigungswinkel an der Maschine vorgesehen sind, die durch in die Nuten des Hohlkörpers eingreifenden Nutensteine und Schrauben Aber elastische Zwischenlagen mit der iängenmeßeinrichtung in deren Längserstreckung relativ beweglich verbunden sind.
    8. Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß als elastische Zwischenlagen reibungsarme Platten aus Metall, Kunststoff oder Gummi oder in die Beiestigungswinkel eingesetzte, profilierte Elemente aus Gummi oder Kunststoff vorgesehen sind.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0254834A2 (de) * 1986-07-30 1988-02-03 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
DE3709220A1 (de) * 1987-03-20 1988-09-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
EP0323550A1 (de) * 1987-10-14 1989-07-12 Linear System S.R.L. Optischer Massstab
EP0351509A2 (de) * 1988-07-21 1990-01-24 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Positionsmesseinrichtung
DE4406799A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4406798A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US6612047B1 (en) 2002-02-19 2003-09-02 Acu-Rite, Inc. Length measuring device
EP3736542A1 (de) 2019-05-08 2020-11-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Anordnung zum endseitigen befestigen eines sich in einer längsrichtung erstreckenden trägers mit einer messteilung zur positionsmessung zumindest in längsrichtung an einer anbaufläche eines grundkörpers

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT401819B (de) * 1990-10-02 1996-12-27 Rsf Elektronik Gmbh Längenmesssystem
US5942827A (en) * 1997-04-03 1999-08-24 Interelectric Ag Electric motor

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD122584A5 (de) * 1975-02-11 1976-10-12
DE2630880B2 (de) * 1976-07-09 1978-04-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE2853771A1 (de) * 1978-12-13 1980-06-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Gekapselte laengenmesseinrichtung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD122584A5 (de) * 1975-02-11 1976-10-12
DE2630880B2 (de) * 1976-07-09 1978-04-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE2853771A1 (de) * 1978-12-13 1980-06-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Gekapselte laengenmesseinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Prospekt: Fa. Mitutoyo Meßgeräte GmbH, Digitales Längenmeßsystem "Sinear Scale", Serie 529, Katalog-Nr. E-529 (2) D *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0254834A2 (de) * 1986-07-30 1988-02-03 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
EP0254834A3 (de) * 1986-07-30 1991-03-20 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
DE3709220A1 (de) * 1987-03-20 1988-09-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
EP0323550A1 (de) * 1987-10-14 1989-07-12 Linear System S.R.L. Optischer Massstab
EP0351509A2 (de) * 1988-07-21 1990-01-24 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Positionsmesseinrichtung
EP0351509A3 (de) * 1988-07-21 1991-02-06 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Positionsmesseinrichtung
DE4406799A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4406798A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
EP0671607A2 (de) * 1994-03-02 1995-09-13 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung
US5551163A (en) * 1994-03-02 1996-09-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Low-vibration fastening for the housing of a position measuring arrangement
EP0671607A3 (de) * 1994-03-02 1997-01-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung.
US5655311A (en) * 1994-03-02 1997-08-12 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Position measuring device
US6612047B1 (en) 2002-02-19 2003-09-02 Acu-Rite, Inc. Length measuring device
DE10255456B4 (de) * 2002-02-19 2015-02-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmessgerät
EP3736542A1 (de) 2019-05-08 2020-11-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Anordnung zum endseitigen befestigen eines sich in einer längsrichtung erstreckenden trägers mit einer messteilung zur positionsmessung zumindest in längsrichtung an einer anbaufläche eines grundkörpers

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Publication number Publication date
DE3509390C2 (de) 1994-01-20
JPS6117010A (ja) 1986-01-25
JPH0473524B2 (de) 1992-11-24
DD224655A1 (de) 1985-07-10

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