DE3249661C2

DE3249661C2 - Target table

Info

Publication number: DE3249661C2
Application number: DE19823249661
Authority: DE
Inventors: Karl G. Campbell Calif. Volk
Original assignee: SEMPREX CORP CAMPBELL CALIF US
Current assignee: SEMPREX CORP CAMPBELL CALIF US
Priority date: 1981-06-23
Filing date: 1982-01-25
Publication date: 1985-06-27
Also published as: DE3202197A1; DE3202197C2; GB2100879A; GB2100879B; JPS582701A

Description

len enthalten, welche durch die V-genuteten Laufbahnen 21 und 27 gebildet sind. Drehung von Hand am Drehknopf 16 erzeugt ein Drehmoment an einem Treibrad (nicht gezeigt), das dem Triebbalken 13 an der Probenplattform 10 zugeordnet ist und dadurch die Probenplattform 10 in eine der beiden entgegengesetzten Bewegungsrichtungen längs dem Doppelpfeil 40 verfährt. Drehung am handbetätigbaren Drehknopf 15 erzeugt ein Drehmoment am Reibrad 30, das mit dem zweiten Triebbalken 13 an der Grundplatte 12 zusammenwirkt, to wodurch die Kupplungsbrücke 11 translatorisch in einer von den beiden entgegengesetzten Richtungen längs des Doppelpfeiles 41 verfahren wird. Da die Probenplattform 10 an der Kupplungsbrücke 11 mittels der oben beschriebenen Kugellaufbahn-Anordnung geführt ist, wird hierbei auch die Probenplattform 10 in der entsprechenden Bewegungsrichtung längs des Doppelpfeiles 41 nitgenommen.len contained by the V-grooved raceways 21 and 27 are formed. Rotation by hand on the rotary knob 16 generates torque on a drive wheel (not shown), which is assigned to the drive beam 13 on the sample platform 10 and thereby the sample platform 10 moves in one of the two opposite directions of movement along the double arrow 40. Rotation of the manually operated rotary knob 15 generates a torque on the friction wheel 30, which with the second Drive beam 13 cooperates on the base plate 12, to whereby the coupling bridge 11 translationally longitudinally in one of the two opposite directions of the double arrow 41 is moved. As the sample platform 10 guided on the coupling bridge 11 by means of the ball track arrangement described above is, the sample platform 10 is here in the corresponding direction of movement along the double arrow 41 included.

Gemäß Fig.6 sind Laufkugeln 22 in den V-förmig genuteten Laufbahnen mittels Auskleidungeii 24 vorgespannt, um zu gewährleisten, daß alle Kugeln gleichförmig in der V-Nut und bezüglich zueinander tragen und laufen, so daß eine glatte, sanfte Relativbewegung zwischen Probenplattform 10, Grundplatte 12 und Kupplungsbrücke 11 gewährleistet ist Die den Laufkugeln 22 mitgeteilte Vorspannung wirkt auch im Sinne einer Verringerung von Wackeln und Spiei bei Bewegung der Komponenten des Meßobjekttisches. Die Auskleidungen 24 erstrecken sich im wesentlichen über die gesamte Länge jeder V-Nut, sind aus gehärtetem Stahl gefertigt und haben größere Krümmungsradien als die Kugeln, um die gewünschte Druckkraft zu erzeugen. Ein Käfig 26 steuert die Bewegung der verschiedenen Kugeln relativ zueinander in Längsrichtung der Auskleidungen 24.According to FIG. 6, running balls 22 are V-shaped grooved raceways prestressed by means of lining 24, to ensure that all balls bear uniformly in the V-groove and with respect to one another and run so that a smooth, gentle relative movement between The sample platform 10, the base plate 12 and the coupling bridge 11 are ensured by the running balls 22 communicated bias also acts in the sense of a reduction in wobbling and play when moving the Components of the target table. The linings 24 extend essentially over the entire length Length of each V-groove, are made of hardened steel and have larger radii of curvature than the balls, to generate the desired compressive force. A cage 26 relatively controls the movement of the various balls to each other in the longitudinal direction of the linings 24.

Die V-genuteten Reibräder, die handsteuerbaren Drehknöpfe 15 und 16 und die Triebbalken 13 können in bekannter Weise (US-PS 41 89 953) ausgebildet sein. Die an den Enden der Triebbalken 13 ausgebildeten Blattfedern 14 werden durchgebogen, um eine Andrückkraft zwischen dem Triebbalken und den Reibrädem zu erzeugen. Eine Einstellung der Durchbiegung der Blattfedern läßt sich mittels den oben beschriebenen Nocken 29 bewirken.The V-grooved friction wheels, the manually controllable knobs 15 and 16 and the drive beams 13 can be in known manner (US-PS 41 89 953) be formed. The formed at the ends of the drive beam 13 Leaf springs 14 are deflected to exert a pressure between the drive beam and the friction wheels to create. The deflection of the leaf springs can be adjusted using the methods described above Effect cam 29.

Zur Bewegungsbegrenzung der Probenplattform 10 und der Kupplungsbrücke U sind, wie bekannt, nicht gezeigte Anschläge vorgesehen (US-PS 41 89 953). Wenn die sich bewegende Probenplattform 10 oder die Kupplungsbrücke 11 an einem Anschlag anläuft, wird der Reibungseingriff zwischen dem Triebbdken und dem zugehörigen Reibrad aufgehoben, weil ein zusätzliches Drehmoment in bekannter Weise ausgeübt wird (US-PS 41 89 953).To limit the movement of the sample platform 10 and the coupling bridge U are, as is known, not Stops shown provided (US-PS 41 89 953). When the moving sample platform 10 or the Clutch bridge 11 runs up against a stop, the frictional engagement between the drive deck and the associated friction wheel canceled because an additional torque is exerted in a known manner (U.S. Patent 4,189,953).

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
55 For this purpose 2 sheets of drawings
55

6060

6565

Claims

1 2 forming slots in the ends of the drive beam a patent claims: are left and thus allow bending of the leaf springs (US-PS 41 89 953). This requires a bigger one

1. Meßobjekttisch mit einer Grundplatte, die längs Spiel zwischen der Kupplungsbrücke und dem TriebbaJ-zweier gegenüberliegender, paralleler Außenkanten 5 kea Eine Einstellmöglichkeit der Federkraft der Blattfe-(23) in einer ersten Ebene angeordnete erste Lauf- dem ist nicht gegeben.1. Measurement object table with a base plate, the length of play between the coupling bridge and the drive base - two opposite, parallel outer edges 5 kea There is no possibility of adjusting the spring force of the leaf spring (23) arranged in a first plane.

bahnen (27) aufweist, mit einer Probenplattform (10), Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Haltedie im Bereich gegenüberliegender paralleler Kan- rung der Triebbalken so zu gestalten, daß bei verringerten (25) in einer zweiten Ebene angeordnete zweite tem Spiel eine einfache Einstellung der Andrückkraft Laufbahnen (24) aufweist, wobei die ersten und 10 der Triebbalken an dem jeweiligen Reibradantrieb gezweiten Laufbahnen zueinander orthogonal und die schaffen wird.tracks (27), with a sample platform (10). The invention is based on the object of designing the holding of the parallel channeling of the drive beams in the area opposite one another so that with reduced (25) a second system clearance arranged in a second plane easy adjustment of the pressing force Has raceways (24), the first and 10 of the drive beams on the respective friction wheel drive second raceways orthogonal to one another and which will create.

erste und zweite Ebene parallel zueinander verlau- Die Aufgabe ist gemäß der Erfindung durch die keiui-first and second level run parallel to each other- The task is according to the invention by the keiui-

fen, und mit einer Kupplungsbrücke mit Laufbahnen, zeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöstfen, and solved with a coupling bridge with raceways, drawing features of claim 1

die in zwei entsprechend der ersten Ebene und der Die Erfindung ist im folgenden anhand schematischerin two corresponding to the first level and the The invention is shown below with reference to schematic

zweiten Ebene zueinander versetzten Ebenen zum 15 Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel mit weite-second level offset levels for 15 drawings of an embodiment with wide-

Zusammenwirken mit den Laufbahnen an der ren Einzelheiten näher erläutert Es zeigtInteraction with the raceways on the ren details explained in more detail It shows

Grundplatte und der Probenplattfonn unter Zwi- Fig. 1 eine perspektivische Unteransicht eines Meß-Base plate and the sample platform below. Fig. 1 is a perspective bottom view of a measuring

schenschaltung von Kugellagern zusammenwirken, objekttisches gemäß der Erfindung;circuit circuit of ball bearings cooperate, object table according to the invention;

wobei an jedem Ende von an der Probenplattfonn F i g. 2 eine Seitenansicht der Kupplungsbrücke, dieat each end of the sample platform F i g. 2 is a side view of the coupling bridge, which

bzw. der Grundplatte angebrachten Triebbalken 20 bei dem Meßobjekttisch nach F i g. 1 verwendet ist;or the drive beam 20 attached to the base plate in the test object table according to FIG. 1 is used;

(13X welche eine Verstellung der Probenplattfonn Fig.3 eine Unteransicht der Kupplungsbrücke nach(13X which an adjustment of the sample platform Fig. 3 shows a view from below of the coupling bridge

mittels Reibradantrieb in zwei Richtungen erlauben, F i g. 2;allow by means of friction drive in two directions, F i g. 2;

Blattfedern (14) zum Erzeugen einer federnden An- F i g. 4 eine Draufsicht von unten auf den Meßobjekt-Leaf springs (14) for generating a resilient start. 4 is a plan view from below of the test object

drückkraft zwischen Triebbalken und Reibradan- tisch nach F i g. 1;pressing force between the drive beam and the friction wheel table as shown in FIG. 1;

trieb vorgesehen sind, dadurch gekenn- 25 Fig.5 eine Seitenansicht des Meßobjekttisches nachDrive are provided, characterized by a side view of the test object table

zeichnet, daß Niederhalter (28) zum bewegli- F i g. ι undrecords that hold-down device (28) for movable F i g. ι and

chen Anbringen des Triebbaikens an der Proben- Fig.6 eine vergrößerte Teilansicht eines doppelt V-plattform bzw. der Grundplatte und Einstellnocken genuteten Führungskanals, der durch die V-genuteten bzw. -Exzenter (29) zum Einstellen der auf die Blatt- Laufbahnen in der Kupplungsbrücke und der Grundfedern wirkenden Kräfte vorgesehen sind. 30 platte des Meßobjekttisches nach Fig. 1 gebildet ist,6 an enlarged partial view of a double V-platform or the base plate and adjusting cams grooved guide channel through the V-grooved or eccentric (29) are provided for adjusting the forces acting on the leaf raceways in the coupling bridge and the base springs. 30 plate of the test table according to Fig. 1 is formed,

2. Meßobjekttisch nach Anspruch 1, dadurch ge- wobei Einzelheiten der Kugellageranordnung dargekennzeichnet, daß die Niederhalter (28) und die Ein- stellt sind.2. Measurement object table according to claim 1, characterized in that details of the ball bearing arrangement are shown in that the hold-down devices (28) and the setting are.

Stellnocken (29) wie für den ersten Triebbalken auch Die in F i g. 1 gezeigte Grundplatte 12 ist typisch amAdjusting cam (29) as for the first drive beam also The one in FIG. 1 base plate 12 shown is typically on

für den zweiten Triebbalken (13) vorgesehen sind. Rahmen eines Mikroskopes oder einer anderen Vor-are provided for the second drive beam (13). Frame of a microscope or other

35 richtung befestigt, welche einen Meßobjekttisch ver-35 direction, which provides a measuring object table

wendet Die Anbringung der Grundplatte ist nicht gezeigt, um die Erfindung klarer verdeutlichen zu können. Mit der Grundplatte 12 ist eine Bodenplatte 10 überThe attachment of the base plate is not shown in order to illustrate the invention more clearly. With the base plate 12, a base plate 10 is over

Ein Meßobjekttisch mit den Merkmalen des Oberbe- eine Kupplungsbrücke 11 verbunden. Die Kupplungsgriffs des Anspruchs 1 ist bekannt (US-PS 41 89 953). 40 brücke U ist vorzugsweise einstückig ausgebildet und Daraus ist ein Antriebssystem mit Triebb&Sken bekannt, hat V-förmige Kugellaufbahnen 21 längs gegenüberliewelche je eine angeschrägte Längskante haben und be- genden Innenkanten 31. Die Laufbahnen 21 sind längs weglich an der Probenplattform und an der Grundplatte der Innenkanten 31 derart angeordnet, daß ähnliche V-des Meßobjekttisches montiert sind. Die angeschrägte genutete Laufbahnen 27 längs außen an den Kanten 23 Längskante jedes Triebbalkens wirkt mit einer V-Um- 45 und 25 der Probenplattfonn 10 und der Grundplatte 12 fangsnut an je einem Reibrad zusammen, wobei die bei- damit zur Aufnahme von Lagerkugeln 22 zusammenden Reibräder koaxial an einer Zwischenanordnung wirken können. Somit führt die Probenplattfonn 10 die zwischen Probenplattfonn und Grundplatte montiert Kupplungsbrücke 11, und die Kupplungsbrücke 11 führt sind und koaxial mit entsprechenden handsteuerbaren die Grundplatte 12 auf Lagerkugeln 22. Drehknöpfen zusammenwirken. Die Drehung eines der 50 Bei einer Ausführung sind Triebbalken 13 beweglich Drehknöpfe treibt entweder die Probenplattform allein an der Probenplattform 10 und an der Grundplatte 12 längs ihrer einen Bewegungsrichtung und die Drehung mittels Halterungen 18 befestigt Die Halterungen 18 des anderen Drehknopfes treibt die Zwischenanord- umfassen je einen Niederhalter 28 und einen Nocken 29, nung gemeinsam mit der Probenplattfonn in deren an- welche beide mit Maschinenschrauben befestigt sind, deren Bewegungsrichtung. An den Enden der Triebbai- 55 Wenn der Nocken 29 gedreht wird, wird jeweils die auf ken sind Blattfedern vorgesehen, welche die ange- einen Blattfederabschnitt 14 an jedem Triebbalken wirschrägte Längskante der Triebbalken in die Umfangs- kende Andrückkraft zur Montage eingestellt nut des betreffenden Reibrades pressen, wodurch der Wie die Ansicht von F i g. 3 zeigt, ist die Kupplungs-Reibeingriff verstärkt wird. Zusätzlich sind die Enden brücke 11 rahmenförmig ausgebildet Längs gegenüberder angeschrägten Längskanten der Triebbalken so ge- 60 liegender, paralleler Innenkanten 31 der Kupplungsstaltet, daß die Reibräder von den Triebbalken freikom- brücke 11 sind V-genutete Laufbahnen 21 zur Aufnahmen können, wenn die Probenplattform in einer ihrer me von Lagerkugeln 22 vorgesehen. Ähnliche V-genu-Grenzstellungen in beiden Bewegungsrichtungen ge- tete Laufbahnen 27 sind längs den Außenkanten 23 der langt. Probenplattform 10 und den Außenkanten 25 derA test object table with the features of the Oberbe- a coupling bridge 11 is connected. The clutch handle of claim 1 is known (US-PS 41 89 953). 40 bridge U is preferably formed in one piece and A drive system with Triebb & Sken is known from this, has V-shaped ball raceways 21 longitudinally opposite which each have a beveled longitudinal edge and surrounding inner edges 31. The raceways 21 are longitudinal movably arranged on the sample platform and on the base plate of the inner edges 31 in such a way that similar V-sections of the test object table are mounted. The beveled grooved raceways 27 longitudinally on the outside of the edges 23 The longitudinal edge of each drive beam acts with a V-um 45 and 25 of the sample platform 10 and the base plate 12 retaining groove on one friction wheel each, whereby the friction wheels that come together to accommodate bearing balls 22 can act coaxially on an intermediate arrangement. Thus, the sample platform 10 leads The coupling bridge 11 is mounted between the sample platform and the base plate, and the coupling bridge 11 leads are and coaxial with the corresponding manually controllable base plate 12 on bearing balls 22. Rotary knobs work together. The rotation of one of the 50. In one embodiment, drive beams 13 are movable Rotary knobs either drive the sample platform alone on the sample platform 10 and on the base plate 12 fixed along their one direction of movement and the rotation by means of brackets 18 The brackets 18 the other knob drives the intermediate assembly each include a hold-down device 28 and a cam 29, tion together with the sample platform in which both are fastened with machine screws, their direction of movement. At the ends of the Triebbai- 55 When the cam 29 is rotated, each of the Leaf springs are provided which adjust the longitudinal edge of the drive beam, which is attached to each drive beam, to the circumferential end pressure force for assembly press nut of the friction wheel in question, whereby the like the view of F i g. Fig. 3 shows the clutch frictional engagement is reinforced. In addition, the ends of the bridge 11 are frame-shaped, parallel inner edges 31 of the coupling structure lying parallel to the beveled longitudinal edges of the drive beams in such a way that the friction wheels are free from the drive beams one of their me of bearing balls 22 is provided. Similar V-genu limit positions in both directions of movement are tracked along the outer edges 23 of the is enough. Sample platform 10 and the outer edges 25 of the

Bei dem eingangs beschriebenen Meßobjekttisch sind 65 Grundplatte 12 zur Aufnahme von Lagerkugeln 22 vordie Triebbalken an der Probenplattform bzw. der gesehen. Wenn die Grundplatte 12 mit der Kupplungs-Grundplatte 12 mittels Schrauben befestigt, die mit brücke 11 gemäß Fig.5 zusammengebaut ist, sind La-Spiel Löcher durchsetzen, welche in den die Blattfedern gerkugeln 22 in den doppelt-V-förmig genuteten Kanä-In the case of the test object table described above, 65 base plate 12 for receiving bearing balls 22 are seen in front of the drive beams on the sample platform or on the. If the base plate 12 is fastened to the coupling base plate 12 by means of screws, which are assembled with the bridge 11 according to FIG.