DE3207698A1 - Industrieroboter mit einer einrichtung zur erhoehung der arbeitsgenauigkeit - Google Patents

Industrieroboter mit einer einrichtung zur erhoehung der arbeitsgenauigkeit

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DE3207698A1
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Description

  • Industrieroboter mit einer Einrichtung zur Erhöhung der
  • Arbeitsgenauigkeit Die Erfindung betrifft einen Industrieroboter mit einer Einrichtung zur Erhöhung der Arbeitsgenauigkeit und/oder Schnelligkeit mit Hilfe einer Meßeinrichtung zum Erfassen von Abweichungen des freien Endes eines Roboterarmes von der Soll-Lage, hervorgerufen durch das Eigengewicht und andere auf das freie Ende einwirkende Kräfte.
  • Um Industrieroboter universell und rationell einsetzen zu können, werden sehr häufig hohe Anforderungen an die Arbeitsgenauigkeit, die Schnelligkeit und die Belastbarkeit gestellt. Gleichzeitig soll die Steuerung und die Bedienbarkeit bzw. die Programmierbarkeit möglichst einfach sein. Eine hohe Anforderung an die Arbeitsgenauigkeit und die Belastbarkeit bedingt einen stabilen und damit verbundenen schweren Aufbau, wobei dies auch für die weitausladenden Teile insbesondere für einen Roboterarm zutrifft. Große Massen und eine hohe Belastbarkeit, insbesondere des Roboterarmes: gehen jedoch zu Lasten der Schnelligkeit und Arbeitsgenauigkeit, die sich auch unter Verwendung aufwendiger Konstruktionen und teuren Materials nur bis zu einer vorgegebenen, wirtschaftlich sinnvollen Grenze erhöhen lassen. Der Schnelligkeit stehen hierbei vor allem die Fliehkraft oder Corioliskraft im Wege, während die Belastbarkeit des freien Endes des Roboterarmes sehr stark die Arbeitsgenauigkeit bzw. Pòsitioniergenaugkeit beeinflußt.
  • Um diesen Schwierigkeiten entgegenzuwirken ist es bekannt (siehe z.B.
  • DE-OS 2508 968), zusätzliche Meßeinrichtungen oder Sensoren zum Erfassen von Abweichungen des freien Endes des Roboterarmes vorzusehen, diese Abweichungen über die Steuerung der entsprechenden Achsen anzugleichen, so daß größere Toleranzen zugelassen werden können als dies für die Arbeitsgenauigkeit erforderlich ist. Derartige Meßeinrichtungen haben jedoch den Nachteil, daß sie sich nur für bestimmte Arbeitsgänge eignen oder für andere Arbeitsgänge umgerüstet oder neu eingerichtet werden müssen. Einen ähnlichen Nachteil weisen auch Steuerungen mit Korrekturwertspeicher auf, in die vor dem AutomAikbetrieb ausgemessene Korrekturwerte eingespeichert und danach im Automatikbetrieb mit berücksichtigt werden. Vor allem wenn die Belastung größeren Toleranzen unterliegt oder sich häufig ändert, kann die Ermittlung der Korrekturwerte sehr aufwendig und schwierig sein oder starken Schwankungen unterliegen. Von besonderem Nachteil kann es auch sein, daß diese Korrekturwerte nur zu einzelnen Positionspunkten zu ermitteln sind und sich z.B. während der Bewegung des Roboterarmes keine Abweichungen ermitteln lassen.
  • Es sind auch Fühleranordnungen für Manipulatoren bekannt (siehe z.B.
  • DE-OS 26 28 701), die der Ermittlung der durch das aufgenommene Objekt auf die Greifwerkzeuge ausgeübten Kräfte dienen, wobei über Dehnungsmeßelemente eine laufende Oberwachung oder Steuerung in unterschiedlichen Achsrichtungen möglich ist. Rein theoretisch kann über die einwirkenden Kräfte auch eine Berechnung der jeweils zu erwartenden Lageabweichung erfolgen, jedoch ist eine derartige Berechnung nur mit sehr großem Rechneraufwand oder langen Rechenzeiten möglich.
  • So ändern sich z.B. die Lageabweichungen des freien Endes eines Roboterarmes bei gleichbleibender Belastung wenn dieser seine Ausladung ändert oder in der vertikalen Ebene geschwenkt wird.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung die Korrektur von Lageabweichungen ohne großen Rechneraufwand zu ermöglichen, wobei in jeder Position ein,der Lageabweichung entsprechendes Korrektursignal- verfügbar ist.
  • Die Erfindung, wie sie in den Patentansprüchen gekennzeichnet ist, löst diese Aufgabe, wobei es in Weiterbildung der Erfindung-besonders vorteilhaft sein kann, wenn die Korrektursignale dem Lageregelkreis auch während der Bewegung zugeführt werden und die Lageregelung derart beeinflussen, daß diese einem Schwingen, insbesondere Oberschwingen des Roboterarmes entgegenwirken.
  • Je nach Anwendungsfall und/oder Konstruktion des Roboters kann hierdurch die Belastbarkeit, die Schnelligkeit und/oder die Arbeitsgenauigkeit erhöht werden ohne die Stabilität des Roboterarmes zu erhöhen, was üblicherweise zu vergrößerten Massen mit größeren Flieh-oder Corioliskräften führt.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, es zeigt Fig. 1 einen Industrieroboter mit stabil gelagertem Roboterarm, Fig. 2 bis Fig. 4 Roboterarme mit Meßeinrichtungen zum Erfassen der Lageabweichungen über ein Gestänge, Fig. 5 und 5 a eine Meßeinrichtung im Roboterarm mit einer Laseroptik, Fig. 6 eine Meßeinrichtung für einen weitausladenden abgestrebten Roboterarm, Fig. 7 einen Industrieroboter mit Doppel arm, Fig. 8 und 8 a eine optische Meßeinrichtung für horizontale und vertikale Abweichungen und Fig. 9 Diagramm mit Kurven zur Steuerung eines Roboterarmes-Industrieroboter lassen sich noch verhältnismäßig einfach - wie z.B.
  • in Fig. 1 dargestellt - in ihren Grundachsen sehr stabil aufbauen, wobei beispielsweise die Führungssäule 1 durch eine obere Lagerung 2 in einem hintergreifenden bügelförmigen Gestell 3 in sehr stabiler Lage gehalten werden kann. Durch diese oder ähnliche stabile Bauformen wird es möglich, die Halterung 4 für einen Roboterarm höhenverstellbar, horizontal und/oder vertikal verschwenkbar in einer Weise auszubilden, daß bei schnellen Bewegungen, Belastungsänderungen usw. nur geringfügige Lagetoleranzen entstehen. Wollte man den Roboterarm 5 genau so stabil ausbilden, würde dies - vor allem wenn dieser weit ausgreifbar ausgelegt sein muß - eine wesentliche Erhöhung der Masse dieses Roboterarmes bewirken, die dann wiederum eine Verstärkung der Grundachsen erforderlich macht. Gleichzeitig würde, insbesondere bei großen Ausladungen des Roboterarmes große Drehmomente erforderlich werden, die auch aufgefangen werden müßten bzw. zu einer Herabsetzung der Geschwindigkeit zwingen.
  • Erfindungsgemäß verzichtet man auf einen Teil der Stabilität des Roboterarmes 5 und läßt z.B. elastische Verbiegungen 6 des freien Endes 9 in vertikaler Richtung zu, die über die geforderten Toleranzgrenzen hinausgehen, und gleicht die hierbei entstehenden Lageänderungen des Greifers 7 durch eine entsprechende Korrektur in der Z-Achse 8 oder durch Aufwärtsschwenken des Roboterarmes 5 aus.
  • Während bei einem Aufwärtsschwenken auch die in gleicher Richtung liegende Greiferachse zumindest teilweise berichtigt wird, kann es z.B. bei einer Korrektur Uber die Z-Achse 8 sinnvoll sein, gleichzeitig auch die Schwenkachse des Greifers nach entsprechender Umformung oder Umrechnung des Korrektursignals zusätzlich zu korrigieren.
  • Der Aufbau der Meßeinrichtung für die Erzeugung eines der Lageabweichung entsprechenden Meßwertes hängt stark von der Konstruktion, insbesondere des Roboterarmes, der maximal zugelassenen Abweichung und der erforderlichen Korrekturgenauigkeit ab. Die Meßeinrichtung kann sowohl innerhalb z.B. im Innern eines rohrförmigen Roboterarmes, zwischen zwei parallel geführten, vorn miteinander verbundenen Armgestängen oder auch außen entlang eines Roboterarmes angebracht werden.
  • So kann gemäß Fig. 2 im hinteren, stabil gelagertem Teil 10 eines Roboterarmes 11 ein Gestänge 12 mit einer Buchse 13 befestigt sein, das sich verjüngend bis direkt an das freie Ende 14 des Roboterarmesll erstreckt.
  • An diesem vorderem Gestängenende 15 ist ein Stift 16 vorgesehen über den z.B. ein induktiver, kapazitiver oder optischer Lagewertgeber 17 eingestellt wird, der das Gestängenende nur geringfügig belastet. Da das Gestänge im wesentlichen nur durch das Eigengewicht belastet wird, kann es sehr leicht ausgebildet sein. Es kann z.B. aus einem Aluminiumprofil oder einfach aus drei dünnen Stäben bestehen, die vorn in einem Punkt (15) miteinander verbunden sind.
  • Der Aufbau des Gestänges 12 kann hierbei derart gewählt werden, daß die Schwingungen des Endes 15 auch bei raschen Anderungen des Roboterarmes gering bleiben. Sie können erforderlichenfalls über zusätzliche oder im Lagewertgeber 17 vorgesehenen Dämpfungsglieder reduziert werden.
  • Da das Gestängenende weitgehend frei von den auf den Roboterarm einwirkenden Kräften montiert ist, können im Lagewertgeber 17 von der Größe der Lageabweichung des freien Endes 14 des Roboterarmes 11 abhängige Signale erzeugt werden.
  • In Fig. 3 ist am freien Ende 20 eines Roboterarmes 21 ein leichtes Gestänge 22 schwenkbar angelenkt, das sich nahezu über die gesamte Länge des Roboterarmes 21 erstreckt. Etwa in der Mitte des Gestänges 22 befindet sich ein zweiter Lagerpunkt 23. Dort ist das Gestänge gleichfalls schwenkbar im vorderem Teil einer Hülse 24 gehaltert, die fest mit dem stabil gelagerten Teil des Roboterarmes verbunden bzw.
  • verklemmt ist. Das hintere, frei schwenkbare Ende 25 stellt einen Lagewertgeber 26 ein, der z.B. eine Vielzahl von Fotoelementen aufweist, die je nach Lage eines am Gestängenende 25 angebrachten Spiegels oder einer Fotodiode ein unterschiedliches Ausgangssignal abgeben.
  • Ein ähnliches Gestänge 30 kann auch gemäß Fig. 4 an den beiden Enden 31 und 32 an den jeweiligen Enden des Roboterarmes 33 schwenkbar angelenkt sein. Etwa in der Mitte des Gestänges ist ein kleiner, leichter teilzylinderförmig gekrümmter Hohlspiegel 34 befestigt, der im Strahlengang einer in Fig. 4 a und b vergrößert dargestellten Lichtoptik liegt.
  • Die Lichtoptik 35 besteht aus einer Lichtquelle 36 mit Reflektor 37 und Linse 38, welche die Lichtstrahlen gebündelt auf den Spiegel 34 wirft.
  • Der Spiegel 34 wirft die Lichtstrahlen auf einen Streifen 39, der eine Reihe, direkt aneinander angeordnete Fotosensoren 40 trägt.
  • Die Lichtstrahlen fallen in Form einer schmal zusammengespreßten Ellipse, nahezu als schmaler waagrechter Lichtbalken auf die Fotosensoren 40 auf. Die Lichtoptik 35 und der Streifen 39 mit den Fotosensoren 40 sind fest im stabil gelagerten Teil des Roboterarmes angeordnet. Das Gestänge 30 ist seitlich in leichtem Bogen an der Lichtoptik vorbeigeführt und so - erforderlichenfalls außermittig -im Roboterarm angebracht, daß auch bei maximal zugelassener Verbiegung des Roboterarmes (die nach unten größer gewählt sein kann) das Gestänge 30 und der Spiegel 34 nirgendwo anschlägt. Wird der Roboterarm durch eine äußere Last herabgebogen, überträgt sich diese Bewegung auch auf den Spiegel 34 und die Lichtstrahlen treffen nun auf einen weiter oben liegenden Bereich des Spiegels auf. Hierdurch werden die Lichtstrahlen nach unten abgelenkt und der auf den Streifen 39 fallende Lichtbalken wandert nach unten aus.
  • In Fig. 5 ist anstelle der Lichtoptik eine Laseroptik 50 vorgesehen, die einen scharf gebündelten Laserstrahl 51 auf Fotosensoren 52-wirft die am freien Ende 53 des Roboterarmes 54 angebracht sind.
  • Hierbei kann auf ein Meßgestänge vollständig verzichtet werden.
  • Bei einigen Robotertypen können sich auch einfachere Meßmethoden als sinnvoll erweisen. So kann bei einem Roboter gemäß Fig. 6 mit weit ausladendem Arm der z.B. mit einer leichten, doppel-T-förmigen Schiene 60 aufgebaut ist und eine Zahnstange 61 aufweist. Auf der Schiene 60 ist ein Aufbau 62 angebracht, der z.B. als Gitteraufbau einem Verbiegen des Roboterarmes entgegenwirkt oder über den die Enden des Roboterarmes z.B. mit einem Spannseil nach oben vorgespannt sind. Auch eine solche Konstruktion läßt sich mit geringerer Masse aufbauen, wenn man elastische Verbiegungen des Roboterarmes zuläßt und diese über die Steuerung ausgleicht. Als Meßeinrichtung kann hier ein einfacher Spanndraht 63 oder ein Spannband dienen, das am freien Ende 64 des Roboterarmes 60 befestigt ist, über eine möglichst weit vom Roboterarm 60 abliegende Umlenkung 65, und einen Meßwertgeber-Antrieb 66 geführt an einer Zugfeder 67 endet. Der Meßwertgeber 68 kann als hochauflösender Drehwertgeber oder mit einer entsprechenden Obersetzung ausgebildet sein.
  • Bei diesen Ausführungsbeispielen wurde nur von Abweichungen in vertikaler Richtung ausgegangen. Abweichungen in horizontaler Richtung führen im allgemeinen zu keinem Positionsfehler, jedoch können in beiden Richtungen Schwingungen auftreten, die z.B. ein zu greifenden Gegenstand umwerfen, beschädigen oder zu Defekten am Greifer führen können. In einigen Fällen läßt sich durch eine entsprechende Konstruktion, z.B. mit zwei parallelen Armen 70 gemäß Fig. 7 Schwingungen in horizontaler Richtung gering halten. Obwohl die Arme 70 hierbei schwächer ausgebildet werden können, benötigt dann der Arm einen breiteren Freiraum und insbesondere eine verwindungssteife vordere Verbindung 71 der beiden Arme, die einen zusätzlichen die Masse erhöhenden Aufwand bedingen.
  • Dieser Aufwand kann verringert werden, wenn über eine zweite Meßeinrichtung auch die horizontalen Abweichungen erfaßt werden, oder die Meßeinrichtung derart ausgebildet ist, daß Abweichungen gleichzeitig in beiden Richtungen gemessen werden können. Dies kann z.B. durch einen entsprechend flächenhaft ausgebildeten Meßwertgeber bewirkt werden, wobei der Lagewertgeber 26 in Fig. 3 bzw. 52 in Fig. 5 eine wie in Fig. 5 a dargestellte Fläche 55 aufweist, die mit einer Vielzahl einzelner Fotosensoren bestückt ist.
  • Die Fotosensoren können auch - wie in Fig. 8 und in einem vergrößertem Ausschnitt in Fig. 8 a dargestellt - aus einzelnen schmalen, parallel verlaufenden Sensorstreifen 80 bestehen, die auf einer lichtdurchlässigen Trägerplatte 81 im Abstand nebeneinander aufgebracht sind.
  • Unter der Trägerplatte 81 ist eine zweite Trägerplatte 82 mit in gleicher Weise aufgebrachten Sensorstreifen 83 angeordnet, die umein Winkel von 900 verdreht ist. Wird nun der abtastende Lichtstrahl 84 derart gewählt, daß er größer ist als die Breite eines Sensorstreifens, so wird zumindest stets ein Sensorstreifen 83 zusammen mit einem Sensorstreifen 80 auf beiden Trägerplatten 81 und 82 von Lichstrahlen getroffen. Die beiden Trägerplatten 81, 82 können auf einem flachen, darunterliegenden Elektronikteil (nicht dargestellt) befestigt sein, das die Signale auswertet und als Digital- oder Analogwert über ein mehradriges Kabel 85, erforderlichenfalls zeitmultiplex getastet, der Steuerung zuführt.
  • In Fig. 9 ist der Verfahrweg Z über die Zeit t in einem Diagramm dargestellt, wobei von einem Ausganspunkt 0 mit vorgegebener Geschwindigkeit der Punkt Z1 angefahren werden soll. Wie z.B. bei bekannten numerischen Steuerungen üblich, wird hierbei ein sich annähernd linear ändernder Sollwert 87 erzeugt, der zum Zeitpunkt tl dem Endwert Z1 entspricht. Der vom Istwertgeber für diese Achse (Z) ermittelte Istwert 88 hinkt dem Sollwert 87 jeweils um einen Betrag 89 hinterher, der als Stellgröße aus einer Soll-Ist-Wervergleichsstufe für das aufzubringende Drehmoment des Servoantriebes dieser Achse (Z) dient.
  • Wird nun z.B. im Punkt 0 vom Greifer eine Last aufgenommen, so ergibt sich bei kleiner Bewegungsgeschwindigkeit durch eine Verbiegung des Roboterarmes eine Verfahrkurve 90, wobei das Ende des Roboterarmes nicht Z1 sondern einen darunterliegenden Punkt Z1' erreicht. Wird die Abweichung 91 während des Verfahrweges erfindungsgemäß gemessen und als Korrekturwert 92 von der Steuerung ausgewertet, erfolgt ein Stillsetzen des Antriebs zum Zeitpunkt t2 erst dann, wenn das Armende des Roboters den Punkt Z1 erreicht hat. Wird nun jedoch mit größerer Geschwindigkeit der Roboterarm angehoben, wird dieser in Schwingungen 93 versetzt, die eine sich ständig ändernde Abweichung 94 bewirkt.
  • In Weiterbildung der Erfindung wird nun diese Abweichung 94 ständig zusammen mit dem Betrag 89 aus der Soll-Ist-Wertvergleichsstufe in einer Größe dem Servoantrieb zugeführt, daß dieser die Schwingungen weitgehend ausgleicht. Hierbei bewirkt schon eine geringfügige Abweichung 95 zusammen mit der Soll-Ist-Abweichung 96 eine vergrößerte Beschleunigung, jedoch wird, sobald ein Uberschwingen erfolgt, die Geschwindigkeit durch die hierbei auftretende Richtungsänderung des Abweichungssignals 97 s-tark herabgesetzt. Bei richtiger Dimensionierung des Abweichungssignals, der Regelsteilheit, der Regelgeschwindikeit usw., kann hierdurch die Schwingung weitgehend unterdrückt werden. Mit geringem Aufwand an Einstellmitteln kann ein Schwingungsausgleich erfolgen, der nur noch Restschwingungen mer Antriebsachse zuläßt während sich das freie Ende des Roboterarmes nahezu schwingungsfrei bewegt.
  • Wird der Soll-Ist-Wert zu Null, bleibt das Abweichsignal weiter bestehen bis das Ausgangssignal aus der Soll-Ist-Wertvergleichsstufe einen entgegengesetzten Wert gleicher Größe aufweist und das zusammengesetzte Signal zu Null wird. Hierdurch kann die Lageabweichung des Roboterarmendes auskorrigiert werden.
  • In gleicher Weise kann eine Schwingung des Roboterarmes in horizontaler Ebene gedämpft werden, wenn ein Meßwertgeber (wie z.B. in Fig. 8 dargestellt) verwendet wird, der Abweichungen in der Horizontalen erfaßt.
  • Je nach Aufbau der Steuerung und der Antriebsregelkreise kann es auch von Vorteil sein, getrennte, aus dem Abweichsignal abgebildete Signale einmal für die Korrektur der Lage des Roboterarmendes und ein zweites Signal zur Schwingungsdämpfung zu verwenden.
  • Das Abweichsignal bzw. bestimmte Gebersignal der Meßeinrichtung für die Abweichungen, können auch dazu verwendet werden, die Abweichungen -z.B. durch eine Verringerung der Verfahrgeschwindigkeit - zu begrenzen oder ein Stillsetzen bewirken, wenn eine Oberlastung vorliegt. Hierzu können z.B. die Ausgangssignale der äußeren Streifen der Fotosensoren gemäß Fig. 8 dienen oder es wird das Signal anwählbarer,weiter innen liegender Streifen verwendet, die der maximalen Belastung entsprechen.
  • Damit bei einem Oberschwingen des Lichtpunktes 84 Uber den letzten Streifen hinaus keine Störung eintritt, kann bei fehlendem Gebersignal ein Sperrsignal für weitere Bewegungen an die Steuerung gegeben werden, oder falls ein derartiges Oberschwingen zulässig ist, das Signal des letzten Streifens gespeichert am Ausgang des Gebers anliegen, bis der Lichtpunkt 84 diesen Streifen ein zweites Mal trifft oder durch Auftreffen auf den zweitletzten Streifen dieses Ausgangssignals gelöscht wird.
  • Je nach Konstruktion des Roboters kann es auch vorteilhaft sein in weiteren Grund- oder Armachsen gleichartige Korrektureinrichtungen vorzusehen, oder auch eine Torsionsverbiegung des Roboterarmes zu erfassen, um diese über eine andere, insbesondere Greiferachse auszugleichen. So kann z.B. die hintere Lagerung 32 des Gestänges 30 in Fig. 4 eine zusätzliche Drehlagerung erhalten und an diesem Gestängeende ein Drehwertgeber vorgesehen sein, der die Torsionsverbiegungen mißt.

Claims (14)

  1. Patentansprüche il. Industrieroboter mit einer Einrichtung zur Erhöhung der Arbeitsgenauigkeit und/oder Schnelligkeit mit einer Meßeinrichtung zum Erfassen von Abweichungen des freien Endes eines Roboterarmes von der Soll-Lage, hervorgerufen durch das Eigengewicht und anderer auf das freie Ende einwirkende Kräfte, dadurch gekennzeichnet, daß Teile der Meßeinrichtung in der Nähe des freien Endes (9) des Roboterarmes (5) angebracht sind, die auf andere Teile der Meßeinrichtung in Richtung zur Lagerung (4) des Roboterarmes (5) derart einwirken, daß am Meßwertgeber ein.direkt der Größe der Lageabweichung (6) abhängiges Ausgangssignal anliegt und dieses Ausgangssignal einer Korrekturstufe. in dem der Meßrichtung entsprechenden Lageregelkreis, zugeführt ist.
  2. 2. Industrieroboter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Lageabweichung (6) abhängige Ausgangssignal zusätzlich einer weiteren Korrekturstufe im Lageregelkreis einer anderen Achse, insbesondere einer Handachse zur Korrektur des, durch ein Durchbiegen des Roboterarmes hervorgerufenen Winkelfehlers, zugeführt ist.
  3. 3. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrekturstufe dem Lageregelkreis während der Bewegung des Roboterarmes Korrektursignale (95, 96) zuführt, die sowohl die Lageabweichung des freien Endes des Roboterarmes korrigieren, wie auch einem Schwingen insbesondere einem Oberschwingen des Roboterarmes entgegenwirken.
  4. 4. Industrieroboter nach Anspruch 3 dadurch gekennzeichnet, daß ein Lageregelkreis mit einer Soll-Ist-Wertvergleichsstufe vorgesehen ist, dessen Ausgangsspannung das Drehmoment des Antriebes bestimmt und dieser Ausgangsspannung eine Korrekturspannung aus der Korrekturstufe in einer Weise überlagert ist, daß die Summenspannung erst zu Null wird, wenn durch eine entsprechend entgegengerichtete Ausgangsspannung aus der Soll-Ist-Wertvergleichstufe die Korrekturspannung kompensiert ist und die Korrekturspannung derart gewählt ist, daß dies dann erfolgt, wenn das freie Ende des Roboterarmes die korrigierte Endstellung eingenommen hat.
  5. 5. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung ein steifes Gestänge (12, 24, 30) aufweist, das in der Nähe zumindest des einen Endes des Roboterarmes (11, 21, 33) befestigt ist, parallel zum Roboterarm längs dessen Verbiegebereiches derart angeordnet ist, daß es unbelastet von den auf das freie Ende (14, 20, 31) des Roboterarmes einwirkenden Kräften bleibt, Teile des Gestänges in oder am Roboterarm bei dessen Belastung eine geänderte Lage einnehmen und diese Lageänderung einen Meßwertgeber (17, 26, 40) übertragen wird.
  6. 6. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß am freien Ende (64) des Roboterarmes (60) eine Spannvorrichtung - insbesondere ein Spanndraht oder Spannband (63)-befestigt ist, die auf eine oberhalb oder unterhalb der Lagerstelle des Roboterarmes liegenden Umlenkvorrichtung (65) geführt und nachgiebig abgespannt ist, bei einem Durchbiegen des Roboterarmes (60) einen mit der Spannvorrichtung verbundener Meßwertgeber (68) betätigt, der ein der Durch biegung entsprechendes Gebersignal liefert.
  7. 7. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die Lageveränderung des freien Endes des Roboterarmes den Strahlengang einer optischen Einrichtung (34, 35) derart verändert, daß je nach Größe und Richtung der Lageveränderung andere Teile eines Fotosensors (40) im Strahlengang liegen.
  8. 8. Industrieroboter nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß die Lageveränderung mechanisch auf einen gekrümmten Spiegel (34) übertragen wird, der im Strahlengang der optischen Einrichtung (35) liegt und die Krümmung des Spiegels (34) derart gewählt ist, daß mit einer Lageänderung des Spiegels (34) die zurückgeworfenen Strahlen ihre Richtung ändern und gebündelt auf jeweils andere Fotosensoren (40) fallen.
  9. 9. Industrieroboter nach Anspruch 8 dadurch gekennzeichnet, daß ein, die beiden Enden des Roboterarmes verbindendes, in sich steifes Gestänge (30) vorzugsweise im Roboterarm (33) vorgesehen ist, das an den Enden schwenkbeweglich gelagert ist und in dem mittleren Bereich einen Spiegel (34) trägt, der je nach Lage des Gestänges (30) Strahlen auf einzelne Sensoren (40) eines optischen Lagewertgebers zurückwirft und der optische Lagewertgeber und die dazugehörige Strahlenquelle (36) am gehalterten Teil des Roboterarmes befestigt ist.
  10. 10. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch gekennzeichnet, daß der Meßwertgeber (55, 83, 84) Lageabweichungen sowohl in der Vertikalen wie auch Horizontalen erfaßt oder für beide Richtungen getrennte Meßwertgeber vorgesehen sind.
  11. 11. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 10 dadurch ge kennzeichnet, daß gleichartige Meßeinrichtungen in oder an anderen Führungsgliedern zur Lagerung und/oder Führung der Halterung des Roboterarmes - vorgesehen sind.
  12. 12. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 11 dadurch gekennzeichnet, daß über den Meßwertgeber oder einen zusätzlichen Meßwertgeber Torsionsabweichungen erfaßt werden.
  13. 13. Industrieroboter nach einem der Ansprüche 1 bis 12 dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal für eine extreme Lageabweichung solange gespeichert bleibt, bis ein Signal für eine nicht so große Abweichung anliegt.
  14. 14. Industrieroboter nach Anspruch 13 dadurch gekennzeichnet, daß das Extremwertsignal zusätzlich weiteren Steuerstufen zur Verringerung der Armgeschwindigkeit oder Notabschaltung zugeführt ist.
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