DE3132710C2 - Device for the production of layers on a planar support - Google Patents
Device for the production of layers on a planar supportInfo
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Herstellung von Schichten auf einem flächenhaften Träger (4), die aus einer Aerosol-Sprüheinrichtung, einem Hochspannungsgenerator und einer Sprühelektrode (1) besteht. Dabei werden die Partikel eines auf die Oberfläche (3) des Trägers (4) gesprühten Aerosols (9) in einer von der Sprühelektrode (1) ausgehenden Korona-Entladung (8) elektrisch aufgeladen und auf der Oberfläche (3) des Trägers (4) abgeschieden. Zur Erhöhung der Abscheiderate der Partikel ist die Sprühelektrode (1) besonders gestaltet, indem sie nebeneinander angeordnete Sprühspitzen (2, 2Δ) aufweist, die gleichen Abstand (a) von der Oberfläche (3) des Trägers (4) haben und deren Mittelachse (5, 5Δ) mit der Ebene (6) der Sprühspitzen (2, 2Δ) den gleichen spitzen Schrägstellungswinkel (7) einschließen. Dabei wird eine Abscheiderate von mehr als 80 erzielt.The invention relates to a device for producing layers on a planar support (4), which consists of an aerosol spray device, a high-voltage generator and a spray electrode (1). The particles of an aerosol (9) sprayed onto the surface (3) of the carrier (4) are electrically charged in a corona discharge (8) emanating from the spray electrode (1) and are deposited on the surface (3) of the carrier (4) deposited. To increase the separation rate of the particles, the spray electrode (1) is specially designed in that it has spray tips (2, 2Δ) arranged next to one another, the same distance (a) from the surface (3) of the carrier (4) and their central axis (5 , 5Δ) with the plane (6) of the spray tips (2, 2Δ) enclose the same acute angle of inclination (7). A separation rate of more than 80 is achieved.
Description
;. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstel-;. The invention relates to a device for producing
% lung von Schichten auf einem flächenhaften Träger mit % development of layers on a flat carrier with
te einer Aerosol-Sprüheinrichtung, einem Hochspan-an aerosol spray device, a high voltage
j; nungsgenerator und einer Sprühelektrode. Zur Be-j; voltage generator and a spray electrode. For loading
!.i schichtung werden die Partikel eines Aerosols auf die! .i layering are the particles of an aerosol on the
[■ Oberfläche des Trägers gesprüht, wobei sie mittels einer[■ Surface of the carrier sprayed, using a
ji,; von einer Hochspannungselektrode ausgehenden Koro-ji ,; coro emanating from a high-voltage electrode
t; na-Entladung elektrisch aufgeladen und anschließendt; Na discharge electrically charged and then
κ. auf der Trägeroberfläche, die entgegengesetztes elektri- κ. on the carrier surface, the opposite electrical
if sches Potential hat, abgeschieden werden.if it has potential to be deposited.
|';: Mit der vorgesehenen Vorrichtung lassen sich zum| '; : With the device provided, the
?;' Beispiel auf relativ einfache Weise Glasscheiben nach?; ' Example in a relatively simple way according to glass panes
!·,: dem Pyrolyse-Aerosol-Verfahren mit einem dünnen! · ,: the pyrolysis aerosol method with a thin
j'-■ Metalloxidfilm beschichten, um so ein optisch durchsich- j'- ■ coat metal oxide film to create an optically transparent
;":; tiges Wärmereflexionsfilter zu erhalten. Hierzu werden; ":; term heat reflection filter
entsprechende Metallverbindungen in einem geeigneten Lösungsmittel gelöst, zu feinen Aerosoltröpfchen vernebelt und mit Hilfe einer Trägergasströmung auf die erhitzte Glasplatte befördert, auf deren Oberfläche sich die gewünschte Metalloxidschicht durch Pyrolyse der Ausgangsstoffe bildet. Von besonderer Bedeutung ist dabei, daß die feinen Aerosolpartikel kontrolliert und möglichst vollständig auf der Substratoberfläche abgeschieden werden.Corresponding metal compounds dissolved in a suitable solvent to form fine aerosol droplets nebulized and conveyed onto the heated glass plate with the help of a carrier gas flow, on its surface the desired metal oxide layer is formed by pyrolysis of the starting materials. Really important is that the fine aerosol particles are controlled and deposited as completely as possible on the substrate surface will.
Es ist bereits bekannt, Aerosolpartikel in einer Korona-Entladestrecke zwischen einer Hochspannungselektrode und der auf entgegengesetztem elektrischen Potential gehaltenen Substratoberfläche stark aufzuladen. Bei der hierzu benutzten Vorrichtung ist dabei nachteilig der hohe konstruktive Aufwand für einen die Hochspannungselektrode umgebenden Verteiler, der bezüglich Temperatur- und Durchschlagsfestigkeit sehr hohen Anforderungen genügen muß. Da außerdem den besonderen, in der Korona-Entladezone unmittelbar über der sehr heißen Substratoberfläche auftretenden störenden Strömungsproblemen nicht Rechnung getragen wird, ist die Abscheidungsrate unbefriedigend (deutsche Offenlegungsschrift 25 29 076).It is already known to place aerosol particles in a corona discharge path between a high-voltage electrode and the substrate surface, which is held at the opposite electrical potential, is strong to charge. In the device used for this purpose, the disadvantage is the high structural complexity for a distributor surrounding the high-voltage electrode, the temperature and dielectric strength must meet very high requirements. There is also the special one in the corona discharge zone No disturbing flow problems occurring directly above the very hot substrate surface Is taken into account, the deposition rate is unsatisfactory (German Offenlegungsschrift 25 29 076).
Bei der in der US-Patentschrift 42 19 864 beschriebenen Vorrichtung zur Befeuchtung und Entladung von Objekten aus elektrisch isolierendem Material sind mehrere Hochspannungselektroden von einem Führungs- und Abschirmrohr umgeben. Die stabförmigen Hochspannungselektroden selbst sind in Halterungen aus Material hoher elektrischer Durchschlagsfestigkeit eingebettet. Die geringe Schrägstellung dor ringförmig in zwei Ebenen angeordneten Elektroden zur Mittellinie des Führ.ingsrohres hin dient einer Bündelung des vorbeiströmenden Aerosolnebels mittels des von den Elektrodenspitzen ausgehenden elektrischen Feldes. Die Verwendung nur weniger Einzelelektroden, deren Spitzen überdies in zwei verschiedenen Ebenen angeordnet sind, führen zu einem über die Querschnittsfläche des Aerosolstromes äußerst ungleichmäßig elektrischen Feld mit völlig Undefinierten Strömungsverhältnissen. Für eine gleichmäßige, kontrollierte Beschichtung eines flächenhaften Trägers mit hoher Abscheiderate der verwendeten Aerosolpartikel ist diese Vorrichtung deshalb nicht geeignet.In that described in US Pat. No. 4,219,864 Device for humidifying and discharging objects made of electrically insulating material several high-voltage electrodes surrounded by a guide and shielding tube. The rod-shaped High-voltage electrodes themselves are in holders made of material with high dielectric strength embedded. The slight inclination of the electrodes, which are arranged in a ring in two planes, to the center line of the Führ.ingsrohres serves to bundle the aerosol mist flowing past by means of the electric field emanating from the electrode tips. The use of only a few individual electrodes, the tips of which are also in two different planes are arranged, lead to an extremely non-uniform across the cross-sectional area of the aerosol flow electric field with completely undefined flow conditions. For an even, controlled Coating of a flat carrier with a high separation rate of the aerosol particles used is this device is therefore not suitable.
Die in der US-Patentschrift 22 39 695 vorgeschlagene Hochspannungselektrode weist eine Anzahl nadeiförmiger, spitzer Einzelelektroden aus Metall auf, die zur Vermeidung von Hochspannungsentladungen an nicht erwünschten Stellen in einem Körper aus halbleitendem Material eingebettet sind, der wiederum an einen kreiszylindrischen Körper aus dielektrischem Material angebaut ist. Diese Verbundbauweise iit konstruktiv außerordentlich aufwendig.The high-voltage electrode proposed in US Pat. No. 22 39 695 has a number of needle-shaped, pointed individual electrodes made of metal, which are used to avoid high-voltage discharges desired locations are embedded in a body made of semiconducting material, which in turn is attached to a circular cylindrical body made of dielectric material is grown. This composite construction is constructive extremely complex.
Wird ein Aerosolstrom einfach senkrecht auf die Oberfläche eines zu beschichtenden Substrates geleitet, bildet sich vor dieser eine ebene Staupunktströmung aus, die dazu führt, daß ein großer Anteil der Aerosolpartikel seitlich weggetragen werden. Bei einer hohen Oberflächentemperatur des Substrats kommt noch eine Wärmekonvektionsströmung der umgebenden Luft hinzu, von der insbesondere kleine und damit leichte Aerosoipartikel erfaßt und entgegen der ursprünglichen Strömungsrichtung des Aerosols davongetragen werden. Diese Partikel gehen entweder verloren, was den Abscheidegrad verschlechtert, oder sie fallen nach unbestimmter Zeit auf die Substratoberfläche zurück, was das kontrollierte Aufwachsen der gewünschten Schicht stört. Bei Verwendung einer Korona-Entladung zur Verbesserung der Abscheideverhältnisse muß außerdem als Nebeneffekt eine zusätzliche, störende Luftströmung in Kauf genommen werden, die aligemein als elektrischer Wind bekannt ist und welche immer vom Bereich höchster Feldstärke zur hierIf an aerosol stream is simply directed vertically onto the surface of a substrate to be coated, a level stagnation point flow forms in front of this, which leads to a large proportion of the Aerosol particles are carried away to the side. When the surface temperature of the substrate is high another heat convection flow of the surrounding Air added, from which in particular small and thus light aerosol particles are captured and contrary to the original direction of flow of the aerosol are carried away. These particles go either lost, which worsens the degree of separation, or they fall after an indefinite period of time on the substrate surface back, which interferes with the controlled growth of the desired layer. When using a Corona discharge to improve the separation conditions must also have an additional side effect, disruptive air flow, which is commonly known as electric wind, and which always from the area with the highest field strength to here
als Gegenelektrode dienenden Subsiratoberfläche gerichtet ist Dieser elektrische Wind führt zur Ausbildung einer ebenen Staupunktströmung unmittelbar vor der zu beschichtenden Fläche. Zusammen rr.it der ihm überlagerten Wärmekonvektionsströ:nung bilden sich wirbelhafte Luftströmungen aus, denen ein großer Teil der Aerosolpartikel trotz ihrer hohen elektrischen Aufladung entgegen dem Feldlinienverlauf dar Korona-Entladung folgen. Die Beherrschung dieser Schwierigkeiten ist bisiier ungelöst geblieben.as a counter electrode serving subsirate surface is directed This electric wind leads to training a flat stagnation point flow immediately in front of the surface to be coated. Together rr.it the him Superimposed heat convection currents, eddy air currents form, which a large part of them of the aerosol particles, despite their high electrical charge, contrary to the field lines of the corona discharge follow. The mastery of these difficulties has so far remained unsolved.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei der Beschichtung von flächenhaften Trägern unter Verwendung einer Koror-a-Entladung die Abscheiderate von Aerosolpartikeln auf die Trägeroberfläche entscheidend zu erhöhen und gleichzeitig ein kontrolliertes Schichtwachstum zu gewährleisten, ohne jedoch die durch wirbelhafte Strömungen des elektrischen Windes bedingten Nachteile in Kauf nehmen zu müssen: Ziel ist es, bei minimalem konstruktiven Aufwand den Gesamtwirkungsgrad des Beschichtungsverfahren und damit dessen Wirtschaftlichkeit erheblich zu "erbessern.The invention is based on the object of using in the coating of planar supports a Koror-a discharge the deposition rate of To significantly increase aerosol particles on the carrier surface and at the same time a controlled layer growth to ensure, however, without being caused by the eddy currents of the electric wind to have to accept the disadvantages: The aim is to increase the overall efficiency with a minimum of design effort to improve the coating process and thus its economy considerably.
Bei der Lösung dieser Aufgabe wird von einer Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 ausgegangen und gelöst wird die Aufgabe dadurch, daß der Querschnitt der Sprühelektrode der Form einer Keule mit spitzem Keulenende entspricht, wobei der Verrundungsradius des Keulenkopfes höchstens die Hälfte der Länge der Keule beträgt, die Sprühspitzen in die sich aus dieser Querschnittsform ergebenden scharfen Unterkanten der Sprühelektrode sägezahnförmig eingearbeitet sind und der Schrägstellwinkel zwischen 40 und 50 Winkelgrade beträgt.In solving this problem, a device according to the preamble of claim 1 assumed and the object is achieved in that the cross section of the spray electrode The shape of a club with a pointed club end corresponds, with the radius of curvature of the club head at most half the length of the club, the spray tips in this cross-sectional shape resulting sharp lower edges of the spray electrode Are incorporated in a sawtooth shape and the skew angle is between 40 and 50 degrees.
In einer vorteilhaften Ausführungsform einer derartigen Sprühelektrode sind die Sprühspitzen in zwei zueinander parallelen Längsachsen angeordnet und die Mittelachsen der Sprühspitzen einer Längsachse sind dabei spiegelbildlich zu denjenigen der anderen Längsachse nach innen geneigt. Der Aerosolstrom wird zweckmäßigerweise in den Raum zwischen den beiden Hälften einer solchen Doppelelektrode eingeleitet. Die stromführenden Feldlinien der Koronaentladung bilden eine Art abschirmenden elektrischen Vorhang, der ein seitliches Wegdriften von Aerosolpartikeln wirksam verhindert.In an advantageous embodiment of such a Spray electrode, the spray tips are arranged in two parallel longitudinal axes and the Central axes of the spray tips of a longitudinal axis are a mirror image of those of the other Longitudinal axis inclined inwards. The aerosol flow is expediently in the space between the two Halves of such a double electrode introduced. Form the current-carrying field lines of the corona discharge a kind of shielding electrical curtain that effectively prevents aerosol particles from drifting away to the side prevented.
Durch die symmetrische Schrägstellung der beiden Sprühspitzenreihen um 40 bis 50 Winkelgrade zueinander ergeben sich folgende Vorteile:Due to the symmetrical inclination of the two rows of spray tips by 40 to 50 degrees to each other the following advantages arise:
Es verringert sich nicht nur der nicht stromführende Bereich zwischen den Elektrodenhälften infolge Zusammendrängens der senkrecht aus der metallenen Elektrodenoberfläche austretenden Feldlinien, wodurch eine sehr gute elektrische Aufladung der Aerosolpartikel erzielt wird, sondern es wird auch die Ausbildung der elektrischen Windströmung erschwert und diese darüberhinaus so geführt, daß praktisch keine Wirbelbildung mehr auftritt, so daß die Aerosolpartikel auf geradem Wege zur Oberfläche des zu beschichtenden Trägers gelangen. Hierdurch wird gegenüber dem bekannten Stand der Technik ein sehr hoher Abscheidegrad der in die Korona-Entladung eingeleiteten Aerosolpartikel von bis zu über 80% erzielt — was (insbesondere bei der Beschichtung mit teuren Materialien) von großer Bedeutung ist — und infolge des kontrollierten Transportes der einzelnen Partikel auf die Substratoberfläche eine ausgezeichnete Beschichtungsqualität gewährleistet.Not only does the non-current-carrying area between the electrode halves decrease as a result of crowding the field lines emerging vertically from the metal electrode surface, whereby a very good electrical charge of the aerosol particles is achieved, but it is also the formation of the electrical wind flow made difficult and this moreover so guided that practically no vortex formation occurs more, so that the aerosol particles on a straight path to the surface of the to be coated Get carrier. This results in a very high degree of separation compared to the known prior art of the aerosol particles introduced into the corona discharge of up to over 80% - what (especially when coating with expensive materials) is of great importance - and as a result of controlled transport of the individual particles on the substrate surface an excellent coating quality guaranteed.
Die besondere Querschnittsausbildung der erfindunsseemäßcn Sprühelektrode in Form einer untenThe special cross-sectional training of the erfindunsseemäßcn Spray electrode in the form of a bottom
spitzen Keule hat den Zweck, Entladungserscheinungen an anderen Stellen des Elektrodenkörpers als an den hierfür vorgesehenen Sprühspitzen wirkungsvolJ zu unterbinden. Hierdurch wird es erst möglich, die Sprühelektrode einteilig und ganz aus Metall herzustellen und auf jegliche Einbettung oder Abschirmung in halb- bzw. nichtleitendes Material zu verzichten. Überdies ergeben sich bei dieser Form des Elektrodenkörpers besonders günstige Strömungsverhältnisse bezüglich der Führung des Aerosolstroms durch die Korona-Entladung. Geringe Verschmutzungsneigung der Sprühelektrode durch Aerosolpartikel und hohe elektrische Betriebssicherheit werden somit gewährleistet. The purpose of the pointed lobe is to prevent discharge phenomena at other points on the electrode body than at the the spray tips provided for this purpose prevent. This makes it possible for the first time to manufacture the spray electrode in one piece and entirely from metal and to forego any embedding or shielding in semi-conductive or non-conductive material. In addition, this shape of the electrode body results in particularly favorable flow conditions regarding the guidance of the aerosol flow through the corona discharge. Low tendency to soiling the spray electrode through aerosol particles and high electrical operational safety are guaranteed.
Bei einer zweiten Ausführungsform der Erfindung sind die Sprühspitzen der Sprühelektrode auf einem Kreis angeordnet, wobei deren Mittelachsen mit der zur Ebene des Kreises senkrecht stehenden Achse durch den Kreismittelpunkt den gleichen spitzen Winkel einschließen. Bei dieser Anordnung wird das Aerosol axial in den Kreisring eingeleitet; sie findet vornehmlich Anwendung bei der Beschichtung kleiner Flächen.In a second embodiment of the invention, the spray tips of the spray electrode are on one Circle arranged, with their central axes with the axis perpendicular to the plane of the circle through enclose the center of the circle at the same acute angle. With this arrangement, the aerosol axially introduced into the annulus; it is mainly used for coating small areas.
Zur Beschichtung mittelgroßer Flächen wird vorteilhaft eine weitere Ausführungsform der Erfindung verwendet, bei der die Sprühspitzen der Sprühelektrode auf einer geschlossenen Linie angeordnet sind, die sich aus geraden und stetig in diese übergehenden gekrümmten Linienstücken zusammensetzt. Eine solche Linie könnte zum Beispiel ein langgestrecktes Oval sein.Another embodiment of the invention is advantageous for coating medium-sized surfaces used, in which the spray tips of the spray electrode are arranged on a closed line that extends composed of straight and continuously curved line pieces that merge into these. Such For example, line could be an elongated oval.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigtThe invention is explained below with reference to the drawings. It shows
Fig. 1 die erfindungsgemäße Vorrichtung unter Verwendung einer Sprühelektrode mit in zwei zueinander parallelen Achsen angeordneten Sprühspitzen, in einem Vcrtikalschnitt;1 shows the device according to the invention using a spray electrode with two to one another spray tips arranged in parallel axes, in a vertical section;
Fig. 2 einen Teil der Sprühelektrode nach Fig. 1 in einer Seitenansicht, in vergrößertem Maßstab;FIG. 2 shows a part of the spray electrode according to FIG. 1 in a side view, on an enlarged scale;
Fig. 3 den Teil der Sprühelektrode nach Fig. 2 in einem Querschnitt, geschnitten entlang der Linie III-1II in Fig. 2;3 shows the part of the spray electrode according to FIG. 2 in a cross section along the line III-1II in Fig. 2;
F i g. 4 eine zweite Ausführungsform einer Sprühelektrode mit auf einem Kreis angeordneten Sprühspitzen, in einer Draufsicht;F i g. 4 a second embodiment of a spray electrode with spray tips arranged on a circle, in a plan view;
Fig. 5 die Sprühelektrode nach Fig. 4 in einer Vorderansicht.FIG. 5 shows the spray electrode according to FIG. 4 in a front view.
Die vorgeschlagene, in F i g. 1 schematisch dargestellte Vorrichtung zur Herstellung von Schichten auf einem flächenhaften Träger weist eine Sprühelektrode 1 aus einem geeigneten Metall auf, die mit Sprühspitzen 2 bewehrt ist. Zur Oberfläche 3 des zu beschichtenden Trägers 4 haben alle in zwei zueinander parallelen Längsachsen 10, 10' angeordneten Sprühspitzen 2 den gleichen Abstand a. Die Mittelachsen 5 der Sprühspitzen 2 schließen mit der Ebene 6, in der die SprühspitzenThe proposed, in F i g. 1 shown schematically Apparatus for producing layers on a planar carrier has a spray electrode 1 a suitable metal, which is reinforced with spray tips 2. To surface 3 of the to be coated Supports 4 all have spray tips 2 arranged in two mutually parallel longitudinal axes 10, 10 ' same distance a. The central axes 5 of the spray tips 2 close with the plane 6 in which the spray tips
2 angeordnet sind, den gleichen Schrägstellwinkel 7 ein. Die in dieser Ausführungsform aus zwei gleichen Teilen bestehende Sprühelektrode 1 ist an einen — nicht dargestellten — Hochspannungsgenerator angeschlossen. Zwischen der Sprühelektrode 1 und der Oberfläche2 are arranged, the same skew angle 7 a. The spray electrode 1, which in this embodiment consists of two identical parts, is connected to one - not shown - high voltage generator connected. Between the spray electrode 1 and the surface
3 des zu beschichtenden Trägers 4, der sich elektrisch auf Erdpotential befindet, liegt somit eine Gleichspannung positiver oder auch negativer Polarität an, deren Höhe von der geometrischen Anordnung der Vorrichtung bestimmt wird und im Kilovoltbcrcich liegt. Zwischen den Sprühspitzen 2 und dem Träger 4 bildet sich dadurch eine Korona-Entladung 8 aus, deren Feldlinienverlauf in F i g. 1 mit Strichlinien angedeutet ist.3 of the carrier 4 to be coated, which is electrically at ground potential, is thus a DC voltage positive or negative polarity, the height of which depends on the geometric arrangement of the device is determined and is in the kilovolt range. Forms between the spray tips 2 and the carrier 4 this results in a corona discharge 8, the field lines of which are shown in FIG. 1 indicated with dashed lines is.
In den Raum zwischen den beiden langgestreckten Teilen der Sprühelektrode 1 wird das mittels einer nicht dargestellten Aerosol-Sprüheinrichtung erzeugte, durch einen Pfeil dargestellte Aerosol 9 eingeleitet, dessen Partikel in der Korona-Entladung 8 elektrisch stark aufgeladen werden. Die Partikel folgen den Feldlinien und werden auf der Oberfläche 3 des Trägers 4 abgeschieden.In the space between the two elongated parts of the spray electrode 1, this is not done by means of a Aerosol spraying device shown generated, initiated by an arrow shown aerosol 9, whose Particles in the corona discharge 8 are strongly charged electrically. The particles follow the field lines and are deposited on the surface 3 of the carrier 4.
Die in die scharfe Unterkante der Sprühelektrode 1 sägezahnförmig eingearbeiteten Sprühspitzen 2 (vergleiche Fig.2) sind in einer Längsachse 10 in gleichem Abstand nebeneinander angeordnet. Der Querschnitt der beiden Teile der Sprühelektrode 1 — dargestellt in Fig.3 — ist mit demjenigen einer Keule vergleichbar, wobei das Keulenende 11 spitz zulaufend die Sprühspitzen 2 bildet und der Keulenkopf 12 einen Verrundungsradius 13 aufweist, der ein Drittel der Länge 14 der Keule beträgt.The spray tips 2 worked into the sharp lower edge of the spray electrode 1 in a sawtooth shape (cf. Fig.2) are in a longitudinal axis 10 in the same Spaced next to each other. The cross section of the two parts of the spray electrode 1 - shown in FIG Fig. 3 - is comparable to that of a club, the lobe end 11 tapering the spray tips 2 forms and the club head 12 has a radius of curvature 13 which is a third of the length 14 of the Club is.
Die F i g. 4 und 5 zeigen eine zweite Ausführungsform der Sprühelektrode Γ, bei der die Sprühspitzen 2" auf einem Kreis 15 angeordnet sind. Die Mittelachsen 5" der Sprühelektrode Γ schließen mit der zur Kreisebene 16 senkrecht stehenden Achse 17 einen gleichen spitzen Winkel 18 ein. Dieser Winkel 18 ergänzt sich zusammen mit dem Schrägstellwinkel T zwischen den Mittelachsen 5' der Sprühspitzen 2" und der Kreisebene 16 zu 90 Winkelgraden.The F i g. 4 and 5 show a second embodiment of the spray electrode Γ, in which the spray tips 2 ″ are arranged on a circle 15. The central axes 5 ″ of the spray electrode Γ form an equally acute angle 18 with the axis 17 perpendicular to the circular plane 16. This angle 18, together with the inclination angle T between the central axes 5 'of the spray tips 2 "and the circular plane 16, adds up to 90 degrees.
Zusammenstellung der verwendeten BezugsziffernCompilation of the reference numbers used
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings
Claims (4)
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| DE19813132710 DE3132710C2 (en) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | Device for the production of layers on a planar support |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| DE19813132710 DE3132710C2 (en) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | Device for the production of layers on a planar support |
Publications (2)
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| DE3132710A1 DE3132710A1 (en) | 1983-03-10 |
| DE3132710C2 true DE3132710C2 (en) | 1983-11-24 |
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Family Applications (1)
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