DE3130651C2 - Large vacuum valve that can be baked out - Google Patents

Large vacuum valve that can be baked out

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DE3130651C2 DE19813130651 DE3130651A DE3130651C2 DE 3130651 C2 DE3130651 C2 DE 3130651C2 DE 19813130651 DE19813130651 DE 19813130651 DE 3130651 A DE3130651 A DE 3130651A DE 3130651 C2 DE3130651 C2 DE 3130651C2
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Friedrich 7530 Pforzheim Bubeck
Lutz 6450 Hanau Grein
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

Bei einem ausheizbaren großen Vakuumventil mit tellerfederförmigen Dichtlippen (70), welche im Gehäuse (80) auf eine axiale Auflage (82) gedrückt und durch die dabei eintretende Verformung radial auf die Dichtflächen (84) im Gehäuse angepreßt werden, besteht die Dichtlippe (70) aus Titan oder einer Titanlegierung. en. Die Naht muß geschlossen werden, wenn der Schlauch eingesetzt ist. Damit deIn the case of a large vacuum valve that can be baked out and has sealing lips (70) in the shape of a plate spring, which are pressed onto an axial support (82) in the housing (80) and pressed radially onto the sealing surfaces (84) in the housing as a result of the deformation that occurs, the sealing lip (70) consists of made of titanium or a titanium alloy. en. The seam must be closed when the hose is in place. So that de

Description

axiale Auflage 13 am Gehäuse 11. Beim weiteren Anpressen verformt sich dann die Dichtlippe 2 und hebt hierbei von der Stützplatte 6 ab. Hierdurch vergrößert sich der die Dichtfläche 14 bildende äußere Umfang der Dichtlippe 2. Die Dichtfläche 14 legt sich an die zylindrisehe Dichtfläche 15 am Gehäuse 11 an. Bei Weiterverformung der Dichtlippe 2 tritt jetzt eine Erhöhung des radialen Anpreßdruckes auf die Dichtflächen 14,15 eiaaxial support 13 on the housing 11. When the pressure is continued, the sealing lip 2 is then deformed and lifted here from the support plate 6. As a result, the outer circumference of the sealing surface 14 is enlarged Sealing lip 2. The sealing surface 14 rests against the cylinder rise Sealing surface 15 on the housing 11. If the sealing lip 2 is deformed further, there is now an increase in the radial contact pressure on the sealing surfaces 14,15 eia

Bei der Verformung der Dichtlippe schwenkt diese um das durch Kontur 3, 5 gebildete Lager, wobei sich der Kompensatorring 7 verformt Eine Begrenzung der Verformung kann durch Anschlagschrauben 16 erreicht werden, die an der Dichtplatte 1 befestigt sind.When the sealing lip is deformed, it pivots about the bearing formed by the contour 3, 5, whereby the compensator ring 7 deforms The deformation can be limited by stop screws 16 attached to the sealing plate 1.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf »große Vakuumventile«. Vorteilhaft sind die erfindungsgemä-Ben Ideen bei Ventilen ab Nennweite 400 mm anwendbar. The present invention relates to "large vacuum valves". The invention-Ben are advantageous Ideas can be used for valves with a nominal diameter of 400 mm or more.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

2020th

2525th

3030th

3535

4040

5050

5555

6060

6565

Claims (1)

1 2 aber gezeigt, daß mit zunehmender Zahl der Schließvor- Patentansprüche: gänge eine starke Verdrängung dieser Zwischenschich ten aus den Dichtflächen eintritt Diese Verdrängung ist1 2, however, it has been shown that with an increasing number of closing claims: a strong displacement of these intermediate layers occurs from the sealing surfaces. This displacement occurs 1. Ausheizbares Vakuumventil mit einer tellerfe- zum Teil dadurch begründet, daß bei der Rückverforderförmigen, an einer Dichtplatte gehalterten Dicht- s mung des Grundmaterials das Zwischenschichtmaterial lippe, die im Gehäuse auf eine axiale Auflage ge- sich von der Oberfläche löst und abspalten.1. Bake-out vacuum valve with a tellerfe- partly due to the fact that in the return request-shaped, the intermediate layer material is mounted on a sealing plate of the base material lip that detaches from the surface on an axial support in the housing and splits off. drückt und durch die dabei eintretende Verformung Der Einsatz von hochlegierten, harten Stah'körpern radial auf Dichtflächen im Gehäuse angepreßt wird in Verbindung mit weniger harten Oberflächen hat auch und die als separater Ringkörper gestaltet ist, da- nicht zu ausreichenden Ergebnissen geführt, da insbedurch gekennzeichnet, daß die Dichtlippe io sondere bei großen Abmessungen der Durchflußöffnun-(2) an der Dichtplatte (1) in an sich bekannter Weise gen erhebliche elastische Verformungen zur Anpresschwenkbar gehaltert ist und daß zur vakuumdich- sung nötig sind und bei dieser Kombination extrem noten Verbindung der Dichtlippe mit der Dichtplatte he spezifische Anpreßdrücke benötigt werden,
ein federnder Ringsteg (7) vorgesehen ist Aus den DE-OS 26 23 906 und 28 40 618 sowie aus derThe use of high-alloy, hard steel bodies is pressed radially onto sealing surfaces in the housing in conjunction with less hard surfaces, and which is designed as a separate ring body, has not led to sufficient results because it is characterized by it that the sealing lip io special with large dimensions of the Durchflußöffnun- (2) on the sealing plate (1) is held in a known manner against considerable elastic deformations for Anpresschwenkbar and that for vacuum sealing are necessary and with this combination extremely important connection of the Sealing lip with the sealing plate he specific contact pressures are required,
a resilient annular web (7) is provided From DE-OS 26 23 906 and 28 40 618 and from the 2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- 15 französischen Anmeldung 24 48 085 sind Vakuumventinet, daß die schwenkbare Halterung nach Art einer Ie der eingangs erwähnten Art bekannt, bei denen die gelenkartigen Lagerung gestaltet ist von einem separaten Ringkörper gebildeten Dichtlip-2. Valve according to claim 1, characterized marked- 15 French application 24 48 085 are vacuum ventinet, that the pivotable bracket is known in the manner of an Ie of the type mentioned, in which the joint-like storage is designed by a separate ring body formed sealing lip 3. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- pen jeweils starr mit der Dichtplatte verbunden sind. Bei net, daß die Dichtplatte (1) mit einer radial nach den erforderlichen extrem hohen Anpreßdrücken ergeaußen gerichteten Nut (5) und die Dichtlippe (2) mit 20 ben sich dadurch starke Beanspruchungen am Übereiner inneren gerundeten Kante (3) versehen ist gang von dem Ringkörper zur Dichtplatte, welche auch3. Valve according to claim 1, characterized in that they are each rigidly connected to the sealing plate. at net that the sealing plate (1) ergeaußen with a radially after the extremely high contact pressures required directed groove (5) and the sealing lip (2) with 20 ben thereby strong stresses on the overhead inner rounded edge (3) is provided passage from the ring body to the sealing plate, which also 4. Ventil nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, die Verformung des äußeren Dichtlippenrandes beeindadurch gekennzeichnet, daß der Dichtlippe An- trächtigen.4. Valve according to one of claims 1, 2 or 3, the deformation of the outer edge of the sealing lip being thereby characterized in that the sealing lip is affected. schlage (6,16) zugeordnet sind. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu-schlage (6,16) are assigned. The present invention aims to 5. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich- 25 gründe, ein Vakuumventil der eingangs erwähnten Art net, daß der die Dichtlippe (2) in ihrer Grundposition derart zu verbessern, daß bei Verformungen des Dichtfixierende Anschlag von einer mit der Dichtplatte (1) lippenrandes starke Beanspruchungen am Übergang verschraubten Anschlagplatte (6) gebildet wird. zur Dichtplatte vermieden sind, so daß die Dichtlippe5. Valve according to claim 4, characterized marked 25 reasons, a vacuum valve of the type mentioned net that the sealing lip (2) can be improved in its basic position in such a way that deformations of the sealing end Stop of a heavy load on the edge of the lip with the sealing plate (1) at the transition screwed stop plate (6) is formed. to the sealing plate are avoided, so that the sealing lip 6. Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprü- sich maximal elastisch verformen kann.6. Valve according to one of the preceding claims, can deform maximally elastically. ehe, dadurch gekennzeichnet, daß der die Dichtlippe 30 Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, (2) mit der Dichtplatte (1) verbindende Ringsteg (7) daß die Dichtlippe an der Dichtplatte in an sich bekannein Kompensatorring ist ter Weise schwenkbar gehaltert ist und daß zur vaku-before, characterized in that the sealing lip 30 according to the invention, this object is achieved by (2) with the sealing plate (1) connecting the annular web (7) that the sealing lip on the sealing plate is known per se Compensator ring is held in a pivotable manner and that for vacuum 7. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da- umdichten Verbindung der Dichtlippe mit der Dichtdurch gekennzeichnet, daß der die Dichtplatte (1) platte ein federnder Ringsteg vorgesehen ist Infolge der mit der Dichtlippe (2) verbindende Ringsteg (7) Be- 35 schwenkbaren Halterung bzw. Lagerung der Dichtlippe standteil des die Dichtlippe bildenden Ringkörpers an der Dichtplatte treten hohe Beanspruchungen im Beist. reich des Überganges dieser Bauteile nicht mehr auf, so7. Valve according to one of claims 1 to 5, a tight connection between the sealing lip and the sealing through-hole characterized in that the sealing plate (1) plate a resilient annular web is provided as a result of the with the sealing lip (2) connecting the annular web (7) pivotable holder or mounting of the sealing lip part of the annular body forming the sealing lip on the sealing plate, high stresses occur in the presence. rich of the transition of these components no longer on, so 8i Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprü- daß die Flexibilität der wie eine separate Tellerfeder8i valve according to one of the preceding claims that the flexibility of the like a separate disc spring ehe, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtlippe (2) wirkenden Dichtlippe nicht mehr beeinträchtig istbefore, characterized in that the sealing lip (2) acting sealing lip is no longer impaired aus Titan oder einer Titanlegierung besteht 40 Es ist zwar schon aus der CH-PS 6 11 687 (F i g. 4) einconsists of titanium or a titanium alloy 40 It is already a part of CH-PS 6 11 687 (Fig. 4) 9. Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprü- Vakuumventil bekannt, bei dem eine tellerfederförmige9. Valve according to one of the preceding Ansprü- vacuum valve known, in which a cup spring-shaped ehe, dadurch gekennzeichnet, daß seine Nennweite Dichtlippe nicht starr am Ventilstempel gehaltert ist.before, characterized in that its nominal diameter sealing lip is not held rigidly on the valve stem. 400 mm oder mehr beträgt. Diese Dichtlippe liegt aber der Gegendichtfläche400 mm or more. However, this sealing lip lies on the mating sealing surface nicht unmittelbar auf, da das gesamte untere Ende desnot immediately, as the entire lower end of the 45 Ventilstempels mit einer dem Korrosionsschutz dienenden Kappe abgedeckt ist.45 valve stem is covered with a corrosion protection cap. Die Erfindung soll anhand eines in der Figur darge-The invention is to be based on one shown in the figure Die Erfindung betrifft ein ausheizbares Vakuumventil stellten Ausführungsbeispieles erläutert werden,
mit einer tellerfederförmigen, an einer Dichtplatte ge- Die Figur zeigt eine Dichtplatte 1 eines Ventils, an der halterten Dichtlippe, die im Gehäuse auf eine axiale 50 die im wesentlichen tellerfederförmig gestaltete Dicht-Auflage gedrückt und durch die dabei eintretende Ver- lippe 2 schwenkbar befestigt ist Dazu weist die Dichtformung radial auf Dichtflächen im Gehäuse angepreßt lippe 2 eine gerundete Innenkante 3 auf. Diese Kante 3 wird und die als separater Ringkörper gestaltet ist. wird warm über den Ringwulst 4 in die Nut 5 an der Wegen der zum Teil hohen Temperaturen beim Aus- Dichtplatte 1 aufgezogen und dadurch in diese gepreßt, heizen (bis 300° C) können für die Abdichtung der Dicht- 55 Hierdurch ergibt sich eine gelenkartige Lagerung der platten keine Elastomerdichtungen Verwendung finden. Dichtlippe 2 in der Dichtplatte 1. Hierbei ist die Grund-Die Abdichtung muß durch Metalloberflächen erfolgen. position der Dichtlippe 2 durch die Anschlagplatte 6, Derartige Oberflächen geben aber schon bei der ge- welche mit der Dichtplatte 1 verschraubt ist, fixiert,
ringsten Rauhigkeit oder Unebenheit keine ausreichen- Die vakuumdichte Abdichtung erfolgt über den de Abdichtung. Es ist daher nötig, die Metalloberfläche 60 Ringsteg bzw. Kompensatorring 7, der an der Dichtlipmit sehr hohen spezifischen Drücken a-feinar.derzu pe 2 mit der Naht 8 und an der Dichtplatie 1 rnii der pressen, so daß gewisse plastische Verformungen in der Naht 9 angeschweißt oder in bekannter Weise mit Zwi-Oberfläche eintreten und dadurch fast ein Ineinander- schenlage einer Metalldichtung verschraubt ist. Anstelle fließen der Oberflächen eintritt. dieses Kompensatorringes 7 kann auch ein Steg der Man hat versucht, durch Aufbringen von Metallzwi- 65 Dichtlippe 2 mit entsprechend dünner Wandstärke an schenschichten mit höherer Plastizität — z. B. Gold- die Dichtplatte 1 angeschweißt sein,
und Silberschichten — diesen Oberflächenvorgang des Wird die Dichtplatte 1 gegen das Gehäuse 11 bewegt, gegenseitigen Einfließens zu erleichtern. Es hat sich so legt sich Auflagefläche 12 der Dichtlippe 2 auf dieThe invention relates to a bake-out vacuum valve presented exemplary embodiment to be explained
The figure shows a sealing plate 1 of a valve on the mounted sealing lip, which in the housing is pressed onto an axial sealing support, which is essentially in the form of a cup spring, and is pivotably fastened by the lip 2 entering it For this purpose, the sealing molding has lip 2 pressed radially onto sealing surfaces in the housing and a rounded inner edge 3. This edge 3 and which is designed as a separate ring body. is drawn warm over the annular bead 4 into the groove 5 on the Because of the sometimes high temperatures during the sealing plate 1 and thus pressed into it, heating (up to 300 ° C) can be used to seal the seal Storage of the plates no elastomer seals are used. Sealing lip 2 in sealing plate 1. The basic principle here is that the seal must be made using metal surfaces. position of the sealing lip 2 through the stop plate 6, but such surfaces are already fixed when the one is screwed to the sealing plate 1,
the slightest roughness or unevenness is not sufficient- The vacuum-tight seal is made via the de seal. It is therefore necessary to press the metal surface 60 of the ring web or compensator ring 7, which on the sealing lip with very high specific pressures a-feinar.derzu pe 2 with the seam 8 and on the sealing plate 1 rnii the, so that certain plastic deformations in the seam 9 welded on or enter in a known manner with an intermediate surface and thereby almost an interlacing of a metal seal is screwed. Instead of flowing the surfaces enters. this Kompensatorringes 7 can also be a web of one has tried, by applying Metallzwi- 65 sealing lip 2 with a correspondingly thin wall thickness on layers with higher plasticity - z. B. gold the sealing plate 1 be welded,
and silver layers - this surface process of moving the sealing plate 1 against the housing 11 to facilitate mutual flow. It has become so contact surface 12 of the sealing lip 2 lies on the
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