DE3109701A1 - Verfahren zur bildauswertung mit optoelektronischer vorverarbeitung - Google Patents

Verfahren zur bildauswertung mit optoelektronischer vorverarbeitung

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DE3109701A1
DE3109701A1 DE19813109701 DE3109701A DE3109701A1 DE 3109701 A1 DE3109701 A1 DE 3109701A1 DE 19813109701 DE19813109701 DE 19813109701 DE 3109701 A DE3109701 A DE 3109701A DE 3109701 A1 DE3109701 A1 DE 3109701A1
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Eike Prof. Dr.-Ing. Mühlenfeld
Rolf-Dieter Dipl.-Phys. 3392 Clausthal-Zellerfeld Therburg
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V30/00Character recognition; Recognising digital ink; Document-oriented image-based pattern recognition
    • G06V30/10Character recognition
    • G06V30/14Image acquisition
    • G06V30/144Image acquisition using a slot moved over the image; using discrete sensing elements at predetermined points; using automatic curve following means

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Description

  • Verfahren zur Bildauswertung mit optoelektronischer Vorverarbeitung.
  • 1. Problemstellung Mit fortschreitendem Zwang zur Automatisierung stellt sich die Aufgabe, auch die Information selbsttätig zu erfassen und auszuwerten, die im optischen Erscheinungsbild (Bildmuster) von Werkstücken und anderen Objekten und Szenen deren Art, Lage und Beschaffenheit kennzeichnet. Ein Beispiel ist die Vollständigkeitsprüfung bestückter Leiterplatten. Bisher sind nur für einige wenige Aufgaben speziell entwickelte Geräte verfügbar /1/, /2/. Einer Automatisierung visueller Vorgänge stehen in den meisten Anwendungen zwei Probleme entgegen: 1. Mangelnder Kontrast und Störungen in Bild und Bildwandler; 2. Erhebliche Streuungen der Merkmale einzelner Musterklassen, z.B.
  • der Klasse fehlerhafter Objekte, wobei die Merkmale oft mehrmodale statistische Verteilungen zeigen. Ferner stehen oft nicht für alle Klassen im Lernvorgang genügend Repräsentanten zur Verfügung, um die statistischen Verteilungen und ihre Parameter zu ermitteln.
  • Die Erfindung betrifft 1. Ein Verfahren zur optoelektronischen Vorverarbeitung von Bildinformation, das Wandlerinhomogenitäten vermeidet und verschiedenartige Bildstörungen sowie Hintergrundstrukturen weitgehend unterdrückt.
  • Dieser Teil der Erfindung ist bei allen Arten von Bildverarbeitung nutzbar, z.B. zur Bildanalyse, zur bildgestützten Steuerung von Fertigungsautomaten und Flugkörpern und zur Mustererkennung. Für lassifikatiosaufgaben, wie die automatische Sichtprüfung, die im folgenden als beispielhafte Aufgabe betrachtet wird, betrifft die Erfindung ferner 2. Ein Verfahren zur Auswahl der Merkmale, die für die Klassifikation jeweils entscheidend sind, wobei nur diese ausgewählten Merkmale in die im Lernvorgang zu ermittelnde Statistik aufgenommen werden.
  • Aufgabe der Erfindung ist die Feststellung des Vorhandenseins und der Lage markanter Strukturen an Werkstücken und anderen Objekten. Die Lösung ist im Patentanspruch 1 angegeben, vorteilhafte Ausyestaitunge des Verfahrens sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
  • 2. Prinzip der optoelektronischen Vorverarbeitung Ein Gerät zur optoelektronischen Bild-Vorverarbeitung nach dem Prinzip der Erfindung wird wegen seiner besonderen Fähigkeit zur Detektion und Vermessung von Konturen Kontursensor genannt. Der Kontursensor führt eine Kreuzkorrelation durch, die unter bestimmten Voraussetzungen an die statistische Natur der Musterstörungen als optimale Klassifikation im Sinne der Bayer'suche Detektionstheorie anzusehen ist und z.B. optisch mit einfachen Mitteln realisiert werden kann. Solche optischen Korrelatoren sind für die Erkennung von nur schwach gestörten Druckzeichen und vororientierten Werkstücken, sowie zur Navigation durch Luftbild-Flächen-Korrelation entwickelt worden /3/.
  • Der hier beschriebene Kontursensor hat nicht ganze Bildmuster, sondern nur einfachste Musterelemente zu erkennen. Wenn vom einzelnen Bildpunkt abgesehen wird, dessen Helligkeit ohne den Kontext benachbarter Punkte allein noch keine Bedeutung hat, so ist das einfachste Musterelement eine Kette von Bildpunkten, deren Helligkeit sich von der Helligkeit eines Teils ihrer Umgebung unterscheidet. Diese Bildpunkte können eine Linie bilden oder, wie in Fig. 1, den Rand einer flächenhaften Struktur.
  • Solche Linien- oder Konturelemente werden vom Sensor durch optische Korrelation des Bildes mit einer rotierenden Spaltblende nach Fig. 1 ermittelt, deren Spalt einseitig radial von einem Zentrum ausgeht, um das die Spaltblende rotiert. Liegt dieses Rotationszentrum im Gebiet eines Helligkeitsgradienten, beispielsweise auf einer Bildkontur oder einer Linie, so gelangt der Spalt bei seiner Rotation mit raschem übergang aus einem hellen in einen dunklen Bereich oder umgekehrt. Die Lichtmenge, die durch den Spalt dringt und von einem Rezeptor hinter der Blende gesammelt wird, ändert sich entsprechend.
  • Die Differenz der Werte des Rezeptorsignals vor und nach dem Konturdurchgang ist ein Maß für den Kontrast; Der Zeitpunkt des Konturdurchgangs ist ein Maß für die Richtung der Kontur.
  • Die Differenz der Signalwerte wird durch Differenzieren des Rezeptorsignals von einem elektronischen Hochpaß, einem R-C-Glied gebildet. Da Filterung und Korrelation als lineare Operationen in ihrer Reihenfolge vertauschbar sind, entspricht diese Vorgehensweise einer anisotropen Ortsfrequenzfilterung, die radiale Konturen richtungssequentiell herausfiltert. Das Ausgangssignal als Funktion der momentanen Spaltrichtung werde Richtungsspektrum genannt.
  • Der Spalt mittelt bei der Korrelation über die ganze Spaltlänge, so daß Unterbrechungen und Einbuchtungen der Kontur oder Linie entsprechend ihrem Verhältnis zur Spaltlänge nur einen kleinen Störanteil im Signal erzeugen. Entsprechendes gilt für Ausbuchtungen und isolierte Punkte. Andererseits wird eine linienhafte Folge isolierter Punkte durchaus als Linie interpretiert, wie das auch ein menschlicher Beobachter tut.
  • Da nur ein Rezeptor verwendet wird, treten Wandlerinhomogenitäten nicht auf. Drift und Rauschen des Rezeptors werden bereits weitgehend unterdrückt, weil das Signalband durch den zum Differenzieren des Signals eingesetzten Hochpaß nach unten begrenzt wird.
  • Auch zu hohen Frequenzen ist eine Bandbegrenzung vorzusehen, deren Grenzfrequenz von der geforderten Winkelauflösung für die Konturrichtungen abhängt.
  • Die Keilform des Spalts der rotierenden Blende ist nicht wesentlich; der Spalt kann z.B. ebensogut rechteckig sein. Wesentlich ist eine vorzugsweise radiale Ausdehnung der Blendenöffnung. Ohne mechanische Rotation läßt sich die Korrelation auch durch punktförmige Abtastung des Bildes auf einer stern- oder rosettenförmigen, jedenfalls vorzugsweise radialen Bahn durchführen, wenn jeweils über ein radiales Abtastsegment elektronisch integriert wird. Hierzu kann eine Fernsehröhre oder ein Bildpunktabtaster benutzt werden. Solche Verfahren erlauben auch eine Anpassung der Abtastbahn an eine Konturkrümmung. Außer dem Mittelwert läßt sich durch Integration der quadratischen Abweichung vom Mittelwert auch die Streuung der Helligkeitswerte im Abtastsegment berechnen.
  • 3. Realisierungsbeispiel für die optoelektronische Vorverarbeitung Die zu analysierende Vorlage oder das zu erkennende Objekt wird von drei mit Gleichstrom oder je einer Drehstromphase versorgten Projektorlampen beleuchtet. Die Lampen sind mit je 120° Versatz in einem sechseckig-kegelformigen Lichtzelt über der Vorlage angeordnet, so daß im Zusammenwirken mit den Streureflexionen eine brummfreie, homogene Beleuchtung erreicht wird. Um Reflexe bei räumlichen Objekten zu vermeiden, wird jegliche direkte Einstrahlung vermieden.
  • Bildvorlage oder Objekt werden von einem motorisch abgetriebenen Koordinatentisch mit einer Geschwindigkeit von 100 mm/sec in einem (x0,y0)-Bereich von 200 mm x 200 mm auf 20 tjm genau positioniert.
  • Für Anwendungen, die eine Verschiebung des Objektes nicht zulassen, ist ein kardanisch gelagerter, motorisch angetriebener Ablenkspiegel vorhanden, der jedoch programmtechnisch Verzerrungskorrekturen erfordert und daher vorerst nicht benutzt wird.
  • Das von der Vorlage kommende Licht wird, wie in Fig. 2 zu sehen ist, mit einem aus zwei Achromaten zusammengesetzten Objektiv in die Ebene des rotierenden Keilspaltes abgebildet. Die wirksame Spaltlänge kann durch eine auswechselbare Lochblende an die Vorlage angepaßt werden. Der Spalt wird von-einem geregelten Gleichstrommotor mit konstanter Drehzahl über einen Zahnriemen angetrieben. Auf der Spaltträgerplatte ist die Schlitzscheibe eines inkrementalen Winkelgebers montiert. Außer den Schrittpulsen liefert der Geber pro Umlauf einen Bezugs impuls zur Festlegung der Nullgradrichtung. Durch die starre Verbindung von Spalt und Winkelgeber ist die Anordnung unempfindlich gegen Drehzahlschwankungen des Motors oder Schlupf des Riemens, da nur die tatsächliche Lage des Spaltes zur Ausgabe der Winkelinformation herangezogen wird. Unmittelbar auf den Spalt folgt eine kurzbrennweitige Sammellinse. Durch sie wird eine Integration der gesamten durch den Spalt tretenden Lichtmenge auf die aktive Fläche einer Fotodiode mit integriertem Verstärker erreicht. Die Differentation des Rezeptorsignals erfolgt, wie Fig 2 zeigt, durch einen aktiven elektronischen Hochpaß 1. Ordnung. Nach einer weiteren Verstärkerstufe wird das Signal durch einen Tiefpaß bandbegrenzt um einerseits dem Abtasttheorem zu genügen und andererseits Drift und Rauschen des Rezeptors weitgehend zu unterdrücken. Die Grenzfrequenz hängt dabei von der geforderten Winkelauflösung für die Konturrichtungen ab. Über einen Impedanzwandler wird das vorverarbeitete Signal dann einem Halteglied und einem Analog-Digital-Wandler zugeführt.
  • Das mit einer Auflösung von 8 Bit im Takte des Winkelschrittgebers digitalisierte Signal wird nach der Wandlung in einen externen Halbleiterspeicher eingelesen. Nach einem vollständigen Spaltumlauf steht dort ein ganzes Richtungsspektrum zur Verfügung. Die Anzahl der während eines Umlaufes gemessenen und gespeicherten Werte ist vom Rechner aus binär zwischen 128 und 1024 vorwählbar.
  • Hieraus folgt eine einstellbare Winkelauflösung zwischen 2,80 und 0,35°. Anhand der Impulse des Winkelschrittgebers wird bereits im externen Speicher eine Zuordnung zwischen der Speicheradresse und dem Winkel bezüglich einer digital frei wählbaren Vorzugsrichtung (Nullinie) hergestellt. Da der Speicher schrittweise laufend aktualisiert wird, liegt zu jedem Zeitpunkt ein vollständiges aktuelles Richtungsspektrum vor, das der Rechner bei Bedarf über einen DMA (Direct-Memory-Access) - Eingang in rechnerinterne Speicher kopieren kann. Das Richtungsspektrum steht im Rechner sofort in einem Fortranfeld für die weitere Verarbeitung zur Verfügung. Der Inhalt eines Feldelementes gibt die Signalamplitude und der zugehörige Feldindex die Richtung bezüglich der Nullinie wieder.
  • Abhängig von der Struktur des Analyseprogramms steuert der Rechner nun den nächsten Bildpunkt an und wählt auf diese Weise weitere Bildinformationen aus. Im einfachsten Fall ergibt sich dies aus einem einmal festgelegten Scanprogramm, ist also datenunabhängig.
  • Wird dagegen z.B. ein Konturfolgeprogramm gefahren, so hängt die Vorlagensteuerung unmittelbar von den Meßdaten ab. In allen Fällen liefert die Ablaufsteuerung Vorzeicheninformationen und Schrittzahlen für die Ablenkeinheiten in x- und y-Richtung. Diese Daten werden dann über einen IEC-Bus-Anschluß einer externen Leistungselektronik übergeben, die die Schrittmotoren ansteuert.
  • 4. Typische Anwendungen Zur Steuerung von Fertigungsautomaten, z.B zum Schweißen oder Montieren, müssen häufig Lagetoleranzen von Werkstücken vermessen und berücksichtigt werden. Dies geschieht durch Vermessung geeigneter Bezugskonturen mit dem beschriebenen Kontursensor.
  • Bei der Prüfung von Objekten auf Vollständigkeit werden außer den Bezugskonturen des Gesamtobjekts die Konturen seiner Teile mit dem Kontursensor vermessen, um ihr Vorhandensein und ihre Lagetoleranzen zu prüfen. Für die Prüfung beliebiger Strukturen eines Objekts oder seiner Oberfläche sind die im folgenden beschriebenen statistischen Verfahren vorgesehen.
  • 5. Merkmalsbildung Das Richtungsspektrum liege indiskreter Form vor, enthält also eine Folge von Werten, die zu diskreten Richtungen gehören. AuS diesen Werten werden durch Reihenentwicklung nach orthonormalen Funktionensystemen oder nach heuristischen Verfahren Merkmalswerte berechnet /4/. Ein heuristisches Verfahren, das die Bildinformation von Ecken und Linienverzweigungen besonders gut in wenige Merkmale komprimiert, stellt erfindungsgemäß die Richtungen vom Extrema des Richtungsspektrums fest und faßt die Extrema paarweise zusammen, indem deren duale Winkeldaten (z.B. von je 5 Bit) zu einer Dualzahl (im Beispiel von 10 Bit) zusammengefaßt werden.
  • Über eine Indextabelle oder ein Hash-Verfahren wird dieser Dualzahl ein Index zugeordnet, der das Merkmal kennzeichnet, während aus den Werten der beiden Extrema ein Merkmalswert vorzugsweise multiplikativ errechnet wird.
  • Der Einfachheit halber werden in der folgenden Darstellung die diskretisierten Abtastrichtungen als Merkmale und die zugehörigen Abtastwerte als Merkmalswerte betrachtet.
  • 6. Klassifikation Ein Prüfprozeß ist als Klassifikationsvorgang anzusehen, der festzulegen hat, zu welcher Qualitätsklasse ein Objekt gehört.
  • Ohne Fehlerdiagnose ist die Klassifikation binär und stellt fest, ob das Objekt gut oder schlecht ist. Für die Klassifikation eines durch Merkmale beschriebenen Musters sind aus der Theorie der Nachrichtentechnik /5/ und der Theorie der Mustererkennung /4/ viele Verfahren bekannt. Alle Verfahren speichern in einem mehr oder weniger stark von Menschen beeinflußten Lernvorgang Daten über die Gegebenheiten eines Lernkollektivs von Objekten, deren Klasse dabei bekannt sein muß. Parametrische Verfahren ermitteln im Lernvorgang Kenngrößen der statistischen Verteilungen der Merkmalswerte für jede Objektklasse. Im Prüfvorgang werden aus den Lerndaten und den aktuell ermittelten Merkmalsdaten Prüfgrößen ermittelt, die sich im allgemeinen als Abstandsmaße des Prüflings von klassencharakteristischen Objekten (Klassenbezug) auffassen lassen. Aufgrund der Abstände zu den einzelnen Klassen wird dann z.B. für die nächstgelegene Klasse entschieden. Bei Prüfvorgängen werden die unterschiedlichen Kosten der verschiedenen Fehlentscheidungen zu berücksichtigen sein, und man wird daher auf die allgemeine Form des Bayes'schen Empfängers / 5/ zurückgehen. Das Klassifikationsverfahren selbst ist insoweit nicht Gegenstand der Erfindung.
  • Insbesondere bei binärer Klassifikation können Abstände für jedes einzelne Merkmal unabhängig von anderen Merkmalen berechnet und geprüft werden. Die Merkmale können jedoch auch zu einem oder mehreren Merkmalsvektoren zusammengefaßt werden; die Prüfgrößen sind dann als Abstände im Vektorraum anzusehen.
  • Ein schlechtes Objekt wird sich oft nur in wenigen Prüfgrößen von guten unterscheiden. Es genügt aber andererseits, wenn eine einzige Prüfgröße außerhalb der Gut-Klassen-Grenze liegt. Die Klassengrenzen sind daher erfindungsgemäß so zu legen, daß es nach Möglichkeit für jedes Schlecht-Objekt ein Merkmal oder einen Merkmalsvektor gibt, dessen Abstand zum Klassenbezug größer als der Abstand der Klassengrenze zum Klassenbezug ist. Nur das Merk mal, für das das Verhältnis dieser Abstände am größten ist, wird im Lernvorgang berücksichtigt und in die Statistik der Schlecht-Klasse aufgenommen, denn die übrigen Merkmale würden die Verteilungsfunktionen der Schlecht-Klasse unnötigerweise in den Bereich der Gut-Klasse ausdehnen.
  • 7. Lernen und Adaptieren Da die Klassengrenzen die Auswahl des für die Erkennung von Schlecht-Objekten entscheidenden Merkmals bestimmen, müssen sie zu Beginn des Lernvorgangs als Anfangswerte festgelegt werden.
  • Mit fortschreitendem Lernvorgang werden sich die Klassengrenzen verschieben, was die Merkmalsauswahl ändern kann. Der Lernprozeß ist daher iterativ durchzuführen, wobei stets das gleiche Lern-Daten-Material benutzt werden kann, das zu diesem Zweck auf einen Magnetschichtspeicher aufgezeichnet wird. Zur späteren Adaption während des Betriebs können falsch klassifizierte Objekte einbezogen werden.
  • Damit das Lernverfahren rasch konvergiert, sollten die Anfangswerte der Klassengrenzen nicht willkürlich festgelegt werden.
  • Erfindungsgemäß werden daher zunächst die Verteilungsfunktionen der Gut-Klassen-Merkmale ermittelt und die Abstände zu prüfender Objekte entsprechend der oben erwähnten Theorie normiert. Im einfachsten Fall bedeutet dies für ein skalares Merkmal eine Division durch die Streuung dieses Merkmals. Die so normierten Abstände entsprechen der Wahrscheinlichkeit dafür, daß ein Objekt mit dem gemessenen Merkmalswert fehlerfrei, also gut ist. Daher läßt sich für alle normierten Abstände anfänglich die gleiche Klassengrenze wählen. Diese dimensionslose Klassengrenze gibt dann an, um welchen Faktor ein Merkmal eines Gut-Objekts die Streuung oder Standardabweichung dieses Merkmals überschreiten darf. Wegen ihrer geringen a-priori-Wahrscheinlichkeit sind Daten über Schlecht-Objekte oft nicht in ausreichender Anzahl zu beschaffenr um in einem Lernvorgang statistische Kenndaten hinreichender Signifikanz für die Schlecht-Klasse berechnen zu können. Außerdem wird die tatsächliche Verteilungsfunktion in ihren kritischen Ausläufern durch die vorauszusetzende Normalverteilung oft nur unzureichend beschrieben. Zur optimierenden Adaption der Klassengrenzen werden daher die tatsächlichen statistischen Verteilungen der einzelnen Merkmale für beide Klassen dem Bedienungspersonal graphisch dargestellt. Ausgehend von den Anfangswerten lassen sich die Klassengrenzen auf diese Weise interaktiv verbessern.

Claims (12)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zur Abtastung und Verarbeitung von Bildmustern, z.B.
    Objekten und Szenen, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildinformation ausschnittweise durch eine im wesentlichen radiale, z.B.
    strahlen- oder rosettenförmige Abtastung in elektrische Signale gewandelt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dieses Verfahren in der Fertigungs- oder Prüftechnik zur Vermessung der Lage von Objektkonturen, bzw. zur Prüfung von Objekten und deren Oberflächen auf Unvollständigkeit, Beschädigungen und andere Fehler eingesetzt wird.
  3. 3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den von der Abtastung erfaßten Grauwerten statistische Kenngrößen, z.B. Mittelwert und/oder Streuung, gebildet werden, wobei die Mittelung sich vorzugsweise jeweils über einen Winkelbereich der im wesentlichen radialen Abtaststruktur erstreckt.
  4. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtaststrahl einer Kamera-Röhre oder eines Lichtpunktabtasters eine Anspruch 1 entsprechende Bahn beschreibt, wobei diese Bahn der Kontur entsprechend gekrümmt sein kann.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bildausschnitt mit einer Spaltblende korreliert wird, die um einen Punkt des Blendenspalts rotiert, oder auf einen segmentartig eingeteilten Bildwandler abgebildet wird.
  6. 6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den statistischen Kenngrößen benachbarter Winkelbereiche durch Bildung von Differential- oder Differenzenquotienten deren tangentialen Gradienten oder ähnliche Größen berechnet werden.
  7. 7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den für die gewählten Abtastrichtungen bzw. Winkelbereiche erfaßten oder berechneten Werten Merkmale dadurch gebildet werden, daß Richtungen von Extrema des Richtungsspektrums paarweise zu einem Datenwort zusammengefaßt werden
  8. 8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Lernvorgang an einem Kollektiv von Objekten bekannter Qualitätsklasse klassenspezifische statistische Verteilungen der Merkmalswerte ermittelt werden, woraus Kenngrößen berechnet werden können,z.B. Mittelwert und Streuungen bzw., wenn statistische Abhängigkeiten zwischen den Merkmalen berücksichtigt werden sollen, die Kovarianzmatrizen.
  9. 9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Prüfvorgang das zu prüfende Objekt aufgrund seiner Merkmale nach einem beliebigen Kriterium, z.B. Maximum-Likelihood oder quadratischer Abstand, klassifiziert wird.
  10. 10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Lernvorgang in die Statistik der Entscheidungsklassen mit hinreichend kompakt liegenden Merkmalen jeweils mehrere oder sämtliche Merkmale eines Lernrepräsentanten aufgenommen werden, während in der Statistik der stark streuenden Entscheidungsklassen nur die Merkmale berücksichtigt werden, die den größten Abstand von den übrigen Klassen haben.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Adaption an die Statistik der im allgemeinen seltenen Schlecht-Objekte die Verfahrensschritte nach Anspruch 8 bis 10 iterativ eingesetzt werden.
  12. 12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Konturen vermessen werden, die bei streifenförmiger Objektbeleuchtung das Höhenprofil des Objekts erkennbar machen.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019025556A1 (de) * 2017-08-04 2019-02-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur erfassung und identifikation von miteinander mit einem fügeverfahren verbundenen bauteilen

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH554543A (de) * 1972-04-15 1974-09-30 Elektro Optik Gmbh & Co Kg Verfahren und vorrichtung zur mittelpunktsmodulation in einem optischen zielverfolgungs-geraet.

Patent Citations (1)

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