DE29814972U1 - Near-field optical microscope probe and nahfeldoptisches - Google Patents

Near-field optical microscope probe and nahfeldoptisches

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G01Q60/22Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders

Description

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Claims (25)

1. Nahfeldoptische Sonde zur Abbildung eines Gegenstandes bzw. einer Probe mit 1. near-field optical probe for imaging an object or a sample with
  • 1. 1.1 einem Sondengehäuse ( 3 ); 1. 1.1 a probe housing (3);
  • 2. 1.2 einer Nahfeldspitze ( 5 ) zur Emission von Licht durch eine optische Apertur, die viel kleiner als die zur Abbildung verwendete Lichtwellenlänge ist; 2. 1.2 a Nahfeldspitze (5) for emitting light through an optical aperture which is much smaller than the wavelength of light used for imaging; dadurch gekennzeichnet , daß characterized in that
  • 3. 1.3 die Nahfeldspitze ( 5 ) in dem Sondengehäuse ( 3 ) angeordnet ist und 3. 1.3 the Nahfeldspitze (5) is arranged in the probe housing (3) and
  • 4. 1.4 das Sondengehäuse ( 3 ) derart ausgestaltet ist, daß es anstelle eines herkömmlichen Objektives an einem Mikroskop befestigt werden kann. 4. 1.4 the probe housing (3) is designed such that it can be attached instead of a conventional lens of a microscope.
2. Nahfeldoptische Sonde gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sondengehäuse im wesentlichen die Abmessungen eines Mikroskopobjektives aufweist. 2. near-field optical probe according to claim 1, characterized in that the probe housing has substantially the dimensions of a microscope objective.
3. Nahfeldoptische Sonde gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Sondengehäuse Befestigungsmittel zur Befestigung desselben im Einschraubgewinde ( 30 ) eines Mikroskopobjektives aufweist. 3 comprises near-field optical probe according to one of claims 1 or 2, characterized in that the probe housing attachment means thereof for fastening the thread (30) of a microscope objective.
4. Nahfeldoptische Sonde gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde Mittel zum Justieren der Nahfeldspitze im Sondengehäuse aufweist. 4. near-field optical probe according to one of claims 1 to 3, characterized in that the probe means for adjusting the Nahfeldspitze in the probe housing has.
5. Nahfeldoptische Sonde gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Nahfeldspitze im Meßbetrieb örtlich feststehend im Sondengehäuse angeordnet ist. 5. near-field optical probe according to claim 4, characterized in that the Nahfeldspitze is arranged in the measuring operation locally fixed in the probe housing.
6. Nahfeldoptische Sonde gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Nahfeldspitze von einer Metallkanüle ( 40 ) aufgenommen und die Metallkanüle mittels Klemmung in einem Halteblock ( 7 ) gehalten wird. 6. near-field optical probe according to one of claims 1 to 5, characterized in that the Nahfeldspitze taken up by a metal cannula (40) and the metal needle is held by clamping in a holding block (7).
7. Optische Nahfeldspitze nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Halteblock von einem Kohlefaserelement gehalten wird. 7. Optical Nahfeldspitze according to claim 6, characterized in that the holding block is supported by a carbon fiber element.
8. Optisches Mikroskop mit 8. An optical microscope with
8.1 Mitteln zum Halten einer Probe; 8.1 means for holding a sample;
8.2 mindestens einer Halterung für mindestens ein Mikroskopobjektiv; 8.2 at least one holder for at least a microscope objective;
8.3 mindestens einer nahfeldoptischen Sonde; 8.3 at least one near-field optical probe; dadurch gekennzeichnet, daß characterized in that
8.4 die nahfeldoptische Sonde derart ausgestaltet ist, daß sie anstelle eines herkömmlichen Objektives in der mindestens einen Mikroskopobjektivhalterung befestigt werden kann. 8.4 the near-field optical probe is designed such that it can be attached instead of a conventional lens in the at least one microscope objective holder.
9. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die nahfeldoptische Sonde eine Sonde gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 ist. 9. The optical microscope according to claim 8, characterized in that the near-field optical probe is a probe according to any one of claims 1 to. 7
10. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Nahfeldspitze im Sondengehäuse justierbar und im Meßbetrieb örtlich feststehend angeordnet ist. 10. An optical microscope according to claim 9, characterized in that the Nahfeldspitze is adjustable in the probe housing and disposed locally fixed in the measuring mode.
11. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Mikroskop des weiteren Mittel zur konfokalen Mikroskopie umfaßt. 11. An optical microscope according to one of claims 8 to 10, characterized in that said optical microscope further comprises means for confocal microscopy.
12. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Mikroskop des weiteren Mittel zur Laser-Scanning-Mikroskopie umfaßt. 12. An optical microscope according to one of claims 8 to 10, characterized in that said optical microscope further comprises means for laser scanning microscopy comprising.
13. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Mikroskop einen Mikroskoprevolver als Mikroskopobjektivhalter umfaßt. 13. An optical microscope according to one of claims 8 to 12, characterized in that the optical microscope includes a microscope turret as a microscope objective holder.
14. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikroskoprevolver noch weitere Mikroskope für konventionelle Mikroskopie aufnimmt und die nahfeldoptische Sonde im Mikroskoprevolver derart angeordnet ist, daß die Nahfeldspitze parafokal zu den weiteren Objektiven ist. 14. An optical microscope according to claim 13, characterized in that the microscope turret or receives more microscopes for conventional near-field optical microscopy, and the probe is arranged in the microscope turret such that the Nahfeldspitze is parafocal to the other lenses.
15. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop des weiteren Mittel zur Kraftmikroskopie umfaßt. 15. An optical microscope according to one of claims 8 to 14, characterized in that the microscope further comprises means to force microscopy.
16. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Halten der Probe einen Scantisch umfassen, mit dem eine darauf angeordnete Probe in allen drei Raumrichtungen relativ zur Nahfeldspitze verschoben werden kann. 16. An optical microscope according to one of claims 8 to 15, characterized in that the means for holding the sample include a scanning stage to which a sample disposed thereon in all three spatial directions can be moved relative to the Nahfeldspitze.
17. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Scantisch einen Scanbereich in XY-Richtung von wenigstens 1 µm und eine Ortsauflösung von wenigstens 0,1 µm aufweist. 17. An optical microscope according to claim 16, characterized in that the scanning stage has a scan range in the XY direction of at least 1 micron and a spatial resolution of at least 0.1 microns.
18. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Scantisch einen Scanbereich in Z-Richtung von wenigstens 0,1 µm und eine Ortsauflösung von wenigstens 0,01 µm aufweist. 18. An optical microscope according to claim 16 or 17, characterized in that the scanning stage has a scan range in the Z direction of at least 0.1 microns and a spatial resolution of at least 0.01 microns.
19. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 8 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Scangeschwindigkeit wenigstens 0,1 Zeile/s beträgt. 19. An optical microscope according to one of claims 8 to 18, characterized in that the scanning speed is at least 0.1 bar / s.
20. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Detektionsmikroskop zur Detektion des durch die Probe transmittierten Lichtes Mittel zur Anzeige der Absolutposition (mit einer Auflösung von wenigstens 1 µm) umfaßt. 20. An optical microscope according to any one of claims 16 to 19, characterized in that the detection microscope for the detection of the transmitted light through the sample, means for indicating the absolute position comprises (with a resolution of at least 1 micrometer).
21. Optisches Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 16 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Nahfeldmikroskop eine Speichereinheit zum Abspeichern einer Nullposition des Scantisches umfaßt. 21. An optical microscope according to one of claims 16 to 20, characterized in that the near-field microscope includes a storage unit to store a zero position of the scan table.
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