DE2951593C2 - Scanning mirror - Google Patents

Scanning mirror

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DE2951593C2
DE2951593C2 DE19792951593 DE2951593A DE2951593C2 DE 2951593 C2 DE2951593 C2 DE 2951593C2 DE 19792951593 DE19792951593 DE 19792951593 DE 2951593 A DE2951593 A DE 2951593A DE 2951593 C2 DE2951593 C2 DE 2951593C2
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Germany
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recesses
scanning mirror
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mirror
bores
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DE19792951593
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DE2951593A1 (en
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Georg 6901 Dossenheim Kurotschka
Gerhard 6900 Heidelberg Raubinger
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Eltro Gesellschaft fur Strahlungstechnik 6900 Heidelberg De GmbH
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Eltro Gesellschaft fur Strahlungstechnik 6900 Heidelberg De GmbH
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

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Description

2525th

Die Erfindung bezieht sich auf einen Abtastspiegel gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs I.The invention relates to a scanning mirror according to the preamble of claim I.

Ein Abtastspiegel dieser Art ist bekannt; in einem der Ausführungsbeispiele sind Aussparungen auch von der der reflektierenden Fläche gegenüberliegenden Seite jo her eingebracht. Mit diesen Aussparungen soll das Gewicht des Spiegelkörpers reduziert werden, während die Stabilität im wesentlichen durch die Härte des verwendeten Werkstoffes, wie z. B. (Quarz-) Glas, Synthetischen Rubin, weißen Saphier oder keramischen s> Werkstoffe, erreicht wird.A scanning mirror of this type is known; In one of the exemplary embodiments, recesses are also introduced from the side jo opposite the reflective surface. With these recesses, the weight of the mirror body is to be reduced, while the stability is essentially due to the hardness of the material used, such as. B. (quartz) glass, synthetic is ruby, sapphire or ceramic white s> Materials achieved.

Die Aufgabe dei Erfindung wird darin gesehen, bei dem gattungsgemäßen Spiegel das Gewicht unter Wahrung einer stabilen Struktur noch weiter zu verringern. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 genannten Merkmale gelöst. Durch eine gemeinsame Anwendung von sich kreuzenden, zur Reflexionsfläche parallelen Ausnehmungen mit solchen, die zu ihr senkrecht verlaufen, erhält man einen hinsichtlich seines Gewichts optimalen Spiegelkörper, ohne daß dadurch seine Stabilität nachteilig beeinflußt würde; sie ist vielmehr in allen drei durch den Verlauf der Kanäle vorgegebenen Richtungen gleich groß. Für den Fall, daß ein solcher Spiegel in einer Abtastvorrichtung gelagert im. erhöht das niedrige Gewicht die Lebensdauer der Lager und dan.,1 des gesamten Systems.The object of the invention is seen in the generic mirror the weight while maintaining a stable structure to decrease. According to the invention, this object is achieved by what is stated in the characterizing part of claim 1 Features solved. Through a joint application of intersecting, parallel to the reflection surface Recesses with those that are perpendicular to it, you get one in terms of its weight optimal mirror body without adversely affecting its stability; rather, it is in all three directions given by the course of the channels are the same. In the event that such a Mirror stored in a scanning device. the low weight increases the life of the bearings and dan., 1 of the entire system.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteranspriiche.Further developments of the invention are the subject of the subclaims.

Im folgenden wird an Hand der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert, wobei die in den einzelnen Figuren einander entsprechenden Teile dieselben Bezngszahlen aufweisen. Es zeigtIn the following, an embodiment of the invention is explained in more detail with reference to the drawing, the parts corresponding to one another in the individual figures have the same reference numbers. It shows

Fig. 1 die schematische Darstellung eines hinsichtlich der Aussparungen einlagigen Spiegelkörpers undFig. 1 shows the schematic representation of a with regard to the recesses single-layer mirror body and

Fig. 2 einen Teil des Spiegelkörpers in perspektivi scher Ansicht und in vergrößertem Maßstab mn angedeutetem Verlauf der ihn durchziehenden Aussparungen. Fig. 2 shows a part of the mirror body in perspective Scher view and on an enlarged scale mn indicated course of the cutouts running through it.

j. Wie die Fig. 1 und 2 erkennen lassen, wird der Spiegelkörper 2 von mehreren parallelen, in der Ebene der Reflexionsfläche ti verlaufenden und dicht nebeneinander angeordneten Aussparungen 14, z, B, Bohrungen, durchzogen. Diese schneiden sich mit ebenso ausgebildeten Bohrungen 14'. die zu ersteren in Querrichtung verlaufen. Durch den Querschnitt der Bohrungen 14 und 14' stoßen — zu ihnen und zur Reflexionsfläche 11 senkrecht verlaufende — weitere Bohrungen 14" derselben Art. Die Pfeile in Fig. 1 deuten an, daß mit den Bezugszahlen 14, 14' und 14" Bohrungen und nicht etwa nur Kreise gemeint sind. Daß es sich um »echte« Bohrungen handelt, kann man in dieser Figur an den — in Blickrichtung — hintersten mit den Bezugszahlen 14 und 14" erkennen,j. As can be seen in FIGS. 1 and 2, the mirror body 2 is traversed by several parallel recesses 14, for example bores, which run in the plane of the reflection surface ti and are arranged close to one another. These intersect with similarly designed bores 14 '. which run transversely to the former. By the cross-section of the bores 14 and 14 'abut - to them and to the reflection f Smile Friend 11 extending perpendicularly - additional drilling 14'.. The same type The arrows in Figure 1 indicate that with the reference numerals 14, 14 'and 14 "holes and not just circles are meant. The fact that these are "real" bores can be seen in this figure by the furthest - in the direction of view - with the reference numbers 14 and 14 ",

In den Figuren ist jeweils ein Spiegelkörper 2 bzw. ein Teil desselben dargestellt, der immer nur eine einzige Lage von Bohrungen 14, 14' enthält. Bei anderen, zeichnerisch nicht dargestellten Ausführungsbeispielen ist es denkbar, daß in ein und demselben Spiegelkörper auch mehrere Lagen der Bohrungen 14 und 14' in zueinander parallelen Ebenen übereinandergeschichtet sind. In beiden Fällen — bei nur einer oder bei mehreren Lagen — enden die hierzu senkrechten Bohrungen 14" in halber Höhe der letzten vor der Spiegelfläche 11 vorgesehenen Lage der Bohrungen 14,14'. Mit 12 ist die der Reflexionsfläche 11 gegenüberliegende Fläche des Spiegelkörpers 2 bezeichnet.In the figures there is a mirror body 2 or a Part of the same shown, which always contains only a single layer of holes 14, 14 '. With others, embodiments not shown in the drawing, it is conceivable that in one and the same mirror body several layers of the bores 14 and 14 'are also stacked one on top of the other in planes parallel to one another are. In both cases - with only one or more layers - the perpendicular holes 14 "end halfway up the last position of the bores 14, 14 'provided in front of the mirror surface 11. At 12 she is the surface of the mirror body 2 opposite the reflective surface 11 denotes.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (4)

Patentansprüche:Patent claims: !. Abtastspiegel, in dessen Spiegelkörper (2) parallel zu seiner Reflexionsfläche (11) sich kreuzen de, unter sich parallel verlaufende Aussparungen > (14; 14') eingearbeitet sind, dadurch gekennzeichnet, daß weitere Aussparungen (14") in senkrechter Richtung zur Reflexionsfläche eingearbeitet sind.! Scanning mirror, in the mirror body (2) parallel to its reflective surface (11) cross each other, are incorporated under parallel recesses> (14; 14 '), characterized in that that further recesses (14 ") incorporated in the direction perpendicular to the reflection surface are. 2. Abtastspiegel nach Anspruch 1, dadurch ge- m kennzeichnet, daß die in senkrechter Richtung zur Reflexionsfläche (11) verlaufenden Aussparungen (14") in den Schnittpunkten der sich kreuzenden Aussparungen (14; 14') angeordnet sind.2. scanning mirror according to claim 1, characterized overall m denotes that the extending in the direction perpendicular to the reflecting surface (11) recesses (14 ") in the points of intersection of intersecting recesses (14; 14 ') are arranged. 3. Abtastspiegel nach Anspruch 1 und 2, dadurch : gekennzeichnet, daß die Aussparungen (14 bis 14") einen runden Querschnitt besitzen.3. scanning mirror according to claim 1 and 2, characterized in: that the recesses (14 to 14 ") have a round cross-section. 4. Abtastspiegel nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegelkörper (2) aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung besteht.4. scanning mirror according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror body (2) is made of aluminum or an aluminum alloy.
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