DE2934549A1 - Kuehlkoerper, insbesondere fluessigkeitskuehlkoerper fuer hochleistungs- halbleiterelemente - Google Patents

Kuehlkoerper, insbesondere fluessigkeitskuehlkoerper fuer hochleistungs- halbleiterelemente

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DE2934549A1 DE19792934549 DE2934549A DE2934549A1 DE 2934549 A1 DE2934549 A1 DE 2934549A1 DE 19792934549 DE19792934549 DE 19792934549 DE 2934549 A DE2934549 A DE 2934549A DE 2934549 A1 DE2934549 A1 DE 2934549A1
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Description

  • Kühlkörper, insbesondere Flüssigkeitskühlkörper für
  • Hochlei-stungs-Halbleiterelemente Die Erfindung bezieht sich auf einen Kühlkörper, insbesondere einen Flüssigkeitskühlkörper für Hochleistungs-Halbleiterelemente nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
  • Ein Flüssigkeitskühlkörper der vorgenannten Art ist bekannt aus Siemens-Zeitschrift 52 (1978), Heft 1, Seiten 45 und 46a Hier sind innerhalb eines blockförmigen Wärmeleitkörpers zueinander parallel angeordnete Kühlkanäle vorgesehen, die entweder nach Umlenkung mit Hilfe entsprechender Verbindungs-Kanäle in Reihenschaltung oder aber in Parallelschaltung zwischen Eintritts- und Auslassleitung von einer Kühlflüssigkeit durchströmt werden. Die wärmeabgebenden Halbleiterelemente werden in flächenhafter Anlage mit den Stirnseiten eines solchen Kühlkörpers verbunden, so dass die Wärme über grosse Querschnitte des Wärmeleitkörpers zu den ab führenden Kühlkanälen geleitet wird. Der Wärmeübergang zwischen dem Kühlkörper und dem die Kühlkanäle durchströmenden Medium ist bei einer solchen Ausführung jedoch vergleichsweise gering, weil sich in den im wesentlichen geradlinigen Kühlkanälen eine mehr oder weniger laminare Strömung ausbildet, während für einen optimalen Wärmeübergang bekanntlich eine intensiv turbulente Strömung erforderlich ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung eines Kühlkörpers, der sich bei einfacher Konstruktion und ohne Korrosionsgefahr infolge Stromfluss über Trennstellen und metallische Berührungsflächen innerhalb des Kühlmittelsystems durch guten Wärmeübergang zum Kühlmittel auszeichnet. Die erfindungsgemässe Lösung dieser Aufgabe ist bestimmt durch die im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmale. Das danach vorgesehene System von im Winkel zueinander angeordneten und sich durchdringenden Kühlkanälen ergibt eine entsprechende Vielzahl von sich überlagernden und gegenseitig verwirbelnden Teilströmungen und damit eine äussert intensive Turbulenz der gesamten im Kühlkörper befindlichen Kühlmittelmasse. Die sich durchdringenden Kühlkanäle ermöglichen ferner innerhalb eines vorgegebenen Kühlkörpervolumens eine vergleichsweise grosse Wärmeübergangsfläche zwischen Kühlmittel und Kühlkörper. Die Herstellung eines solchen Kühlkörpers gestaltet sich insbesondere bei zylindrischen Kühlkanälen vergleichsweise einfach, weil jeweils eine grössere Anzahl von Kühlkanälen zueinander parallel angeordnet sein können und daher durch Bohren mit Mehrspindelwerkzeugen herstellbar sind.
  • Vorzugsweise werden die Achsen der sich durchdringenden Scharen von ersten und zweiten Kühlkanälen bezüglich der Achse eines Kühlmittel-Eintrittskanals bzw.#bezüglich der Richtung eines Kühlmittel-Eintrittstromes gegensinnig symmetrisch geneigt angeordnet. Dadurch ergibt sich eine im wesentlichen gleichmässige Verteilung des Kühlmittelstromes auf die ersten und zweiten Kühikanäle, insgesamt also eine gleichmässige Durchströmung und optimale Ausnutzung des Wärmeleitkörpers. Dazu wird zweckmässig ein mit einer Mehrzahl von ersten und zweiten Kühlkanälen verbundener Eintrittverteiler und gegebenenfalls ein ebensolcher Anlassamler vorgesehen. Dies begünstigt die Einstellung einer gleichmässigen Druckverteilung über die Kühlkanäle an deren Eintritt- und Auslasseite, d.h. nicht zu stark differierende Differenz- drücke über den verschiedenen Teilen des Kanalsystems.
  • Gemäss einer Weiterbildung der Erfindung sind die sich gegenseitig durchdringenden Kühlkanäle in mindestens zwei wenigstens annähernd parallelen Ebenen innerhalb eines Kühlkörpers angeordnet, wobei zweckmässig für die Kühlkanäle der verschiedenen Ebenen ein gemeinsamer Eintrittverteiler bzw.
  • Auslassammler vorgesehen ist. Eine solche Konstruktion ermöglicht einen hohen Ausnutzungsgrad auch von Wärmeleitkörpern mit vergleichsweise grosser Bauhöhe, die beispielsweise bei der Verwendung solcher Kühlkörper in abwechselnder Aufeinanderfolge mit Leistungs-Halbleiterelementen innerhalb einer säulenartigen Ventil-Baueinheit aus konstruktiven Gründen vorgegeben sein kann. Insbesondere ermöglicht ein solches Kühlsystem mit Kanälen in mehreren Ebenen eine intensive Wärmeabfuhr von beiden Stirnseiten des Kühlkörpers, was ebenfalls für Säulenanordnungen der vorgenannten Art wesentlich ist.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden anhand des in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Hierin zeigt Fig. 1 einen Radialschnitt eines zylindrischen Kühlkörpers, wobei die Schnittebene durch ein System von sich quer durchdringenden Kühlkanälen geführt ist, Fig. 2 einen Axialschnitt des Kühlkörpers gemäss Schnittebene II-II in Fig. 1 und Fig. 3 einen Axialschnitt des Kühlkörpers gemäss Schnitt- ebene III-III in Fig. 1.
  • Der dargestellte Kühlkörper umfasst einen zylindrischen Wärmeleitkörper WK mit quer zur Zylinderachse Z-Z in drei Ebenen Ea, Eb, Ec angeordneten Kühlkanälen Kl und K2. Diese ersten und zweiten Kühlkanäle sind in Form je einer Parallelschar mit ihren Achsen X-X bzw. Y-Y unter einem Winkel von 90 in jeder der genannten Ebenen Ea bis Ec angeordnet. Demgemäss schneiden sich die Kanalachsen rechtwinklig, so dass sich die zylindrischen Wandungsflächen der Kanäle gegenseitig durchdringen, wie dies insbesondere anschaulich aus Fig. 2 und 3 ersichtlich ist. Es kommt nicht auf eine genau schneidende Anordnung der Kanalachsen X-X und Y-Y in den betreffenden Ebenen an, vielmehr können sich die Achsen der zueinander im Winkel angeordneten Kanäle auch mit einem Abstand kreuzen, solange nur eine gegenseitige Durchdringung der beiden Kanalscharen mit entsprechender Verwirbelung der Teilströmungen vorhanden ist. Optimal ist allerdings die dargestellte Ausführung mit schneidender Anordnung der Kanalachsen in jeweils einer Ebene.
  • Das Kühlmittel, beispielsweise eine Kühlflüssigkeit wie Oel oder hochreines, elektrisch schwach leitendes Wasser, wird mit Strömungsrichtung gemäss Pfeil P1 über einen Eintrittstutzen S1 und eine nachgeschaltete Drossel D1 einem Eintrittverteiler Rl zugeführt, der als segmentförmige Aussparung des Wärmeleitkörpers WK ausgebildet ist. Infolge der Eintrittsdrossel D1 tritt bereits im Verteiler R1 eine Verwirbelung sowie anschliessend eine gleichmässige Druckverteilung über die Einlasseiten der Kühlkanäle Kl und K2 auf. Nach Durchströmen des Kanalsystems gelangt die auf- geheizte Kühlflüssigkeit über einen Auslassammler R2, der konstruktiv in gleicher Weise wie der Eintrittverteiler R1 ausgebildet ist, sowie über eine nachgeschaltete Drossel D2 in einen Auslassstutzen S2, in dem wieder eine laminare Strömung gemäss Pfeil P2 herrschen kann. Durch den Rückstau infolge der Drossel D2 wird auch im Auslassammler R2 eine annähernd gleichmässige Druckverteilung begünstigt, so dass sich die Strömung nicht zu stark unterschiedlich auf die parallel geschalteten Kanäle des Kühlsystems verteilt, Dies gilt insbesondere auch im Hinblick auf die Strömungsverteilung auf die ebenfalls parallel geschalteten Kanalebenen Ea bis Ec. Weiterhin wird eine nicht zu stark ungleichmässige Strömungsaufteilung durch die aus Fig. 1 ersichtliche, gegensinnig symmetrisch geneigte Anordnung der Kühlkanalachsen X-X und Y-Y gegen die Eintritt:Sbimungsrichtung P1 begünstigt.
  • Die sich kreuzweise schneidenden Kühlkanäle treten an den - bezüglich der allgemeinen Durchströmungsrichtung V-V -seitlichen Umfangsbereichen des Wärmeleitkörpers WK frei aus.
  • Diese Austrittsstellen müssen ebenso wie der Eintrittverteiler R1 und der Auslassammler R2 umfangseitig verschlossen werden. Hierfür ist ein den zylindrischen Wärmeleitkörper koaxial umgebender Mantelkörper M vorgesehen, an dem die Stutzen S1 und S2 angeschweisst sind und der mit entsprechenden Bohrungen die Drosseln D1 und D2 bildet, Der Mantelkörper kann zweckmässig durch einen Schrumpf- oder Presssitz auf dem Umfang des Wärmeleiterkörpers WK befestigt werden. Dieser Schrumpf- oder Pressitz muss jedenfalls die axial äusseren Randbereiche der Umfangs fläche U des Wärmeleitkörpers WK erfassen, um einen dichten Abschluss des Kühlmittels nach aussen hin zu erreichen. Gegebenenfalls kann der Umfang des Wärmeleitkörpers in dem axial inneren Bereich mit einem leicht verminderten Durchmesser versehen werden, um an den axial äusseren Randbereichen einen sicheren Schrumpf- oder Press-Sitz zu erreichen. Gegebenenfalls kommt auch eine stoffschlüssige Verbindung zwischen Wärmeleitkörper und Mantelkörper in Betracht, vorzugsweise durch Schweissung oder auch durch Klebung, wenn besonders hohe Anforderungen hinsichtlich Dichtheit gegeben sind.
  • Vorteilhaft einfach gestaltet sich die Herstellung des Kühlkörpers in der aus Fig. 1 und 2 ersichtlichen Weise dadurch, dass der Eintrittverteiler R1 und der Auslassammler R2 als segmentförmige Umfangsaussparungen des Wärmeleitkörpers WK ausgebildet sind, und zwar mit einer Ausdehnung in Richtung der Zylinderachse Z-Z, die einen beiderseitigen Abstand der segmentförmigen Aussparungen von den axialen Stirnflächen 01 und 02 des Wärmeleitkörpers zur Folge hat. Durch diese Ausbildung ergibt sich auf einfache Weise ein Abschluss der Räume R1 und R2 in Axialrichtung sowie eine Konzentration der abdichtenden Schrumpf- oder Pressspannungen auf die entsprechenden axialen Randbereiche der Umfangs fläche des Wärmeleitkörpers.
  • Im Beispielsfall ist der Wärmeleitkörper WK als ganzes einstückig ausgebildet. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass beim Einsatz in einer Ventilsäule die Ströme der Halbleiterelemente zwischen den Stirnflächen 01 und 02 keine Oberflächen-Berührungsstellen zu passieren brauchen. Damit werden elektrolytische Korrosionserscheinungen vermieden. Ausserdem ergeben sich keine Kontaktierungsprobleme innerhalb des Wärmeleitkörpers und insbesondere im Bereich des KUhlmittels. Dies ist besonders bei Verwendung von Wasser als Kühlmittel in Verbindung mit einem Wärmeleitkörper aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung von Bedeutung.
  • Zusammenfassung Bei Kühlkörpern für Leistungs-Halbleiterelemente besteht das Problem des möglichst intensiven Wärmeüberganges zwischen einem Wärmeleitkörper, der einerseits mit den wärmeabgebenden Elementen in Berührung steht und andererseits von einem Kühlmittel durchströmte Kühlkanäle aufweist, und dem Kühlmittel. Hierfür ist eine starke Turbulenz des Kühlmittels in den Kühlkanälen erforderlich, ebenso eine nicht zu stark unterschiedliche Strömungsverteilung auf die Kanäle, da sonst die Wärmeabfuhr über die Oberflächen des Wärmeleitkörpers sehr stark ungleichmässig verteilt ist und örtliche Ueberhitzungen auftreten können.
  • Die Lösung sieht eine Mehrzahl von sich vorzugsweise rechtwinklig durchdringenden Kühlkanälen (K1, K2) innerhalb eines vorzugsweise zylindrischen Wärmeleitkörpers (WK) vor, der einstückig ausgebildet ist und keiner elektrolytischen Korrosion unterliegt.
  • Bezugszeichenliste D1, D2 Drossel Ea,Eb,Ec Kanalebene K1, K2 Kühlkanäle M Mantelkörper Pl, P2 Pfeile R1 Eintrittverteiler R2 Auslasssamrnler S1 Eintrittsstutzen S2 Auslassstutzen U Umfangsfläche des Wärmeleitkörpers WK V-V, X-X, Kanalachsen Y-Y, Z-Z WK Wärmeleitkörper 01, 02 Stirnflächen Leerseite

Claims (14)

  1. Patentansprüche Kühlkörper, insbesondere Flüssigkeitskühlkörper für Hochleistungs-Halbleiterelemente, der an mindestens einem Oberflächenabschnitt mit einem zu kühlenden Gegenstand, insbesondere einem Halbleiterelement, in Wärmeleitverbindung steht und der eine Mehrzahl von einem Kühlmittel insbesondere einer Kühlflüssigkeit durchströmbaren Kühlkanälen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von sich unter einem Neigungswinkel durchdringenden ersten und zweiten Kühlkanälen (K1, K2) in einem einstückigen Wärmeleitkörper (WK) angeordnet ist.
  2. 2. Kühlkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlkanäle (K1, K2) zylindrisch ausgebildet sind.
  3. 3. Kühlkörper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Kühlkanäle (K1, K2) mit ihren Achsen (X-X, Y-Y) unter einem Winkel von wenigstens annähernd 90 kreuzend oder schneidend angeordnet sind.
  4. 4. Kühlkörper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Achsen der ersten und zweiten Kühlkanäle (K1, K2) bezüglich der Achse (V-V) eines Kühlmittel-Eintrittskanals (S1) bzw. bezüglich der Richtung (P1) eines Kühlmittel-Eintrittstromes gegensinnig symmetrisch geneigt angeordnet sind.
  5. 5. Kühlkörper nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit einer Mehrzahl von ersten und zweiten Kühlkanälen (K1, K2) verbundener Eintrittsverteiler (R1) vorgesehen ist.
  6. 6. Kühlkörper nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit einer Mehrzahl von ersten und zweiten Kühlkanälen (K1, K2) verbundener Auslassammler (R2) vorgesehen ist.
  7. 7. Kühlkörper nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die sich gegenseitig durch dringenden Kühlkanäle (K1, K2) in mindestens zwei wenigstens annähernd parallelen Ebenen (Ea, Eb, Ec) innerhalb eines Kühlkörpers angeordnet sind.
  8. 8. Kühlkörper nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass für die Kühlkanäle (K1, K2) der verschiedenen Ebenen (Ea, Eb, Ec) ein gemeinsamer Eintrittsverteiler (ruf) und/ oder Auslassammler (R2) vorgesehen ist.
  9. 9. Kühlkörper nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass a) ein zylindrischer, einstückig ausgebildeter Wärmeleitkörper (WK) mit im wesentlichen quer zur Zylinderachse (Z-Z) in wenigstens einer Ebene (Ea, Eb, Ec) angeordneten, sich gegenseitig durchdringenden Kühlkanälen (K1, K2) und b) ein zur Zylinderachse (Z-Z) koaxial angeordneter Mantelkörper (M) für den äusseren Abschluss der Kühlkanäle (K1, K2) vorgesehen ist.
  10. 10. Kühlkörper nach einem der Ansprüche 5 bis 8 und nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass am Umfang des zylindrischen Wärmeleitkörpers (WK) wenigstens eine vorzugsweise segmentförmige Aussparung als Eintrittverteiler (R1) oderAublassammler (R2) vorgesehen ist.
  11. 11. Kühlkörper nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,dass die als Eintrittverteiler (R1) oder Auslassammler (R2) vorgesehene Umfangsaussparung des Wärmeleitkörpers (WK) in seiner Ausdehnung in Richtung der Zylinderachse (Z-Z) mit Abstand von den beiderseitigen axialen Stirnflächen (01, 02) des Wärmeleitkörpers (WK) angeordnet ist.
  12. 12. Kühlkörper nach einem der Ansprüche 5 bis 8, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass dem Eintrittverteiler (R1) und/oder dem Auslassammler (R2) eine Drossel (D1, D2) vor- bzw. nachgeschaltet ist.
  13. 13. Kühlkörper nach Anspruch 9 oder nach diesem und einem oder mehreren der übrigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantelkörper (M) mit den axial äusseren Randbereichen der Umfangs fläche (U) des zylindrischen Wärmeleitkörpers (WK) durch einen Schrumpf- oder Press-Sitz gegen das Kühlmittel dichtend verbunden ist.
  14. 14. Kühlkörper nach Anspruch 9 oder nach diesem und einem oder mehreren der übrigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantelkörper (M) mindestens mit den axial äusseren Randbereichen der Umfangs fläche (U) des zylindrischen Wärmeleitkörpers (WK) stoffschlüssig, insbesondere durch Schweissung oder Klebung, gegen das Kühlmittel dichtend verbunden ist.
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DE3131773A1 (de) * 1981-08-08 1983-02-24 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt "kuehldose fuer scheibenthyristoren"
AT406535B (de) * 1988-03-18 2000-06-26 Singerewitsch Boris Vorrichtung zur erwärmung eines strömenden mediums, insbesondere wasser

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Non-Patent Citations (1)

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Title
DE-Z: Siemens-Zeitschrift 52, 1978, Heft 1, Seiten 45, 46 *

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