DE2918384A1 - Verfahren zum optischen empfang von ultraschall-wellen - Google Patents

Verfahren zum optischen empfang von ultraschall-wellen

Info

Publication number
DE2918384A1
DE2918384A1 DE19792918384 DE2918384A DE2918384A1 DE 2918384 A1 DE2918384 A1 DE 2918384A1 DE 19792918384 DE19792918384 DE 19792918384 DE 2918384 A DE2918384 A DE 2918384A DE 2918384 A1 DE2918384 A1 DE 2918384A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test piece
original
illuminated
ultrasonic waves
rectified
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19792918384
Other languages
English (en)
Other versions
DE2918384C2 (de
Inventor
Erik Dipl Phys Dr Primbsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Krautkraemer GmbH
Original Assignee
Krautkraemer GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krautkraemer GmbH filed Critical Krautkraemer GmbH
Priority to DE2918384A priority Critical patent/DE2918384C2/de
Priority to US06/123,377 priority patent/US4275963A/en
Priority to JP55059877A priority patent/JPS6051643B2/ja
Priority to FR8010101A priority patent/FR2456321A1/fr
Publication of DE2918384A1 publication Critical patent/DE2918384A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2918384C2 publication Critical patent/DE2918384C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes
    • G01N29/2418Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Description

2918364
Krautkrämer GmbH - 2o.4.1979
Luxemburger Str. 449 Kw/bdl
5ooo Köln 41 K88
VERFAHREN ZUM OPTISCHEN EMPFANG VON ULTRASCHALL-WELLEN
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschall-Wellen insbesondere in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, wobei die durch die Ultraschall-Welle bedingte Oberflächenauslenkung am Prüfstück aus einem beleuchteten Teil der Prüfstückoberfläche, mit optischen Interferometeranordnungen empfangen und danach in elektrische Signale umgewandelt wird und diese elektrischen Signale zur Reurteilung des Prüfstückes benutzt werden.
Beim berührungslosen Empfang von Ultraschall-Wellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, mittels interferometrischer Methoden, z.B. mit einem Laufzeitinterferometer nach OS 2457253 wird die Prüfstückoberfläche mit monochromatischem Laserlicht bestrahlt. Die durch die Ultraschall-Welle bedingte Oberflächenauslenkung im Takt der Ultraschallfrequenz bewirkt eine Phasenmodulation des Streulichtes und das Laufzeitinterferometer setzt diese Phasenmodulation in ein elektrisches Signal um, dessen Höhe z.B. der Wegamplitude der ausgelenkten Prüfstückoberfläche proportional ist. Bei diesen interferometrischen Verfahren ist es nachteilig, daß mechanische Längenänderungen bzw. Verschiebungen im Interferometer eine Verschiebung des Arbeitspunktes für die Umwandlung der Phasenmodulation in eine elektrische Signalgröße bewirken, wodurch eine zeitliche Veränderung der Empfindlichkeit der optischen Empfangsvorrichtung für die Ultraschallwelle eintritt, Längenänderungen oder Verschiebungen von optisch maßgeblichen Teilen im Interferometer können durch thermische Ausdehnungen
030046/0392
ORlGtNAL INSPECTED
oder Vibrationen, z.B. Körperschall aus der Umgebung entstehen. Ein weiterer Nachteil dieser Verfahren ist es, daß bei rauher Oberfläche, wie sie in der Prüfpraxis vorhanden ist, durch Beugungseffekte eine statistische Helligkeitsverteilung im Streulicht zwangsläufig auftritt. Dieser Effekt ist als Granulation bekannt. Diese Granulation verursacht eine der statistischen Rauhigkeitsverteilung entsprechende ungleichmäßige Ausleuchtung des Gesichtsfeldes. Bei Relativbewegungen des Prüfstückes zu der interferometrischen Empfangsanordnung, wie sie bei in der Praxis benutzten Prüfeinrichtungen auftreten, bewegt sich auch das Granulationsmuster mit dem beleuchteten Teil der Prüfstückoberfläche. Hierdurch entsteht eine zusätzliche störende Amplitudenmodulation, die dem elektrischen Nutzsignal überlagert ist und damit die Nachweisempfindlichkeit für die Ultraschall-Welle herabsetzt.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren anzugeben, das eine nicht vermeidbare Arbeitspunktverschiebung und die Störmodulation infolge der Granulation so weit herabsetzt, daß dadurch das Nutzsignal nicht störend beeinflußt wird.
Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst:
daß die Prüfstückoberfläche (2) mit Laserlicht beleuchtet wird, das gleichzeitig zwei oder mehr diskrete Wellenlängen enthält;
daß die Streustrahlung aus dem beleuchteten Teil der Prüfstückoberfläche eine interferometrische Empfangsanordnung (4) durchläuft; .
daß nach Passieren der Empfangsanordnung die Streustrahlung spektral in ihre ursprünglichen diskreten Wellenlängen zerlegt wird;
daß jedem dieser monochromatischen Lichtstrahlen separate Fotodetektoren (6a-6f) zugeordnet sind;
daß die elektrischen Signale der Fotodetektoren in separaten Gleichrichtern (7a-7f) gleichgerichtet werden und
030046/0392
ORIGINAL INSPECTED
daß die gleichgerichteten Signale additiv zu einem Summensignal gemischt werden, welches die Information über den Schwingungszustand der Prüfstückoberfläche enthält.
Das Verfahren ist anhand der einzigen Figur erläutert.
Der Argonlaser 1 beleuchtet ein Teil 2 der Oberfläche des
Prüfstückes 3 mit, z.B. 6 diskreten Wellenlängen. Ein
Anteil des Streulichtes dieses Oberflächenanteils durchläuft
ein Empfangs interferometer 4 (z.B. nach OS 2457253) und wird
anschließend vorteilhafterweise spektral (z.B. durch ein
Prisma 5) in 6 Wellenlängen, jede unter einem anderen Brechungswinkel, zerlegt. Das in 6 Strahlen verschiedener Richtung
gefächerte Licht fällt auf 6 Fotodetektoren 6a-6f. Jeder
dieser Detektoren empfängt nur eine Wellenlänge. Den Detektoren nachgeschaltet sind 6 Zweiweggleichrichter 7a-7f. Die 6 in den Zweiweggleichrichtern gleichgerichteten Signale werden für die notwendige Mittelwertbildung additiv gemischt und es steht damit ein Summensignal am Punkt 8 zur Verfügung, das, gegebenenfalls über eine Pufferstufe 9, abgegriffen und als Nutzsignal, also
als Information über die Ultraschallschwingung des optisch abgetasteten Oborflächenanteils 2, benutzt werden kann. Dieses
Signal ist in seiner Amplitude - je nach der Arbeitsweise des
verwendeten Interferometers - proportional oder in einer anderen mathematischen Form abhängig von der Amplitude der Auslenkung
des vom Laser beleuchteten Teils der Prüfstückoberfläche durch die Ultraschallwelle.
Die Erfindung geht von dem Gedanken aus, daß bei Verwendung mehrerer monochromatischer Wellenlängen im Laserlicht
mit der Auftrennung in entsprechend viele Empfangskanäle der
Arbeitspunkt in der optischen Empfangsanordnung, z.B. einem
Interferometer, und daß eine auftretende Granulation immer von der Wellenlänge des Lichtes abhängen. Dadurch ergeben sich für jede diskrete Wellenlänge andere Arbeitspunkte und auch andere Empfangsverhältnisse, die zeitlichen Veränderungen oder
Schwankungen unterworfen sein können. So kann z.B. durch
Wegverlagerungen optisch wirksamer Teile im Interferometer infolge thermischer oder anderer Einflüsse und/oder Helligkeitsschwankungen durch die Granulation für eine diskrete Wellenlänge
030 04*8/0392
ORIGINAL INSPECTED1
am Ausgang des Interferometers ein Zustand eintreten, bei dem sich die beiden Interferenzstrahlen - also Referenzstrahl und Meßstrahl - auslöschen oder stark schwächen, wodurch das ultraschallabhängige Ausgangssignal zusammenbricht. Bei einer anderen diskreten Wellenlänge wird dieser ungünstige Zustand nicht gleichzeitig auftreten. Verwendet man also mehrere diskrete Wellenlängen im Laserlicht, die vorteilhafterweise ständig äquidistant bleiben, wird die Wahrscheinlichkeit, daß ein gut nutzbares Ausgangssignal vorhanden ist, bedeutend größer, da sämtliche Signale nach einer elektrischen Gleichrichtung addiert werden. In der Praxis ergeben bereits wenige diskrete Wellenlängen im Laserlicht, wie in unserem Beispiel 6 Wellenlängen, eine sehr gute Sicherheit für den ungestörten optischen Schallempfang.
030046/0392
Leerseite

Claims (1)

  1. Krautkrämer GmbH ■ 2o".4.1979
    Luxemburger Str. 449 Kw/bdl
    5ooo Köln 41 * K-088
    Patentanspruch
    Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschall-Wellen insbesondere in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, wobei die durch die Ultraschall-Welle bedingte Oberflächenauslenkung am Prüfstück aus einem beleuchteten Teil der Prüfstückoberfläche, mit optischen Interferometeranordnungen empfangen und danach in elektrische Signale umgewandelt wird und diese elektrischen Si^nile zur Beurteilung des Prüfstückes benutzt werden, dadurch gekennzeichnet, daß
    M^ Prüfstückoberflä-che (2) mit Laserlicht beleuchtet wir<l, das '"Leichzeitiß; zwei oder mehr diskrete Wellenlängen enthält;
    ii<> 'Ureustrahlung aus dem beleuchteten Teil der Prüfstückober .fLache eine interferometrische Empfangsanordnung (4) durchläuft;
    nach Passieren der Empfangsanordnung die Streustrahlung spektral in ihre ursprünglichen diskreten Wellenlängen zerlegt wird;
    jedem dieser monochromatischen Lichtstrahlen separate Fotodetektoren (6a-6f) zugeordnet sind;
    die elektrischen Signale der Fotodetektoren in separaten Gleichrichtern (7a-7f) gleichgerichtet werden und
    daß die gleichgerichteten Signale additiv zu einem Summensignal gemischt werden, welches die Information über den Schwingungszustand der Prüfstückoberfläche enthält.
    0300.48/0392
    ORIGINAL INSPECTED
DE2918384A 1979-05-08 1979-05-08 Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschallwellen Expired DE2918384C2 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2918384A DE2918384C2 (de) 1979-05-08 1979-05-08 Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschallwellen
US06/123,377 US4275963A (en) 1979-05-08 1980-02-21 Method and apparatus for sensing ultrasonic energy
JP55059877A JPS6051643B2 (ja) 1979-05-08 1980-05-06 工作片表面変形の検出方法および装置
FR8010101A FR2456321A1 (fr) 1979-05-08 1980-05-06 Procede pour la reception optique d'ondes ultrasonores

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2918384A DE2918384C2 (de) 1979-05-08 1979-05-08 Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschallwellen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2918384A1 true DE2918384A1 (de) 1980-11-13
DE2918384C2 DE2918384C2 (de) 1984-03-22

Family

ID=6070143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2918384A Expired DE2918384C2 (de) 1979-05-08 1979-05-08 Verfahren zum optischen Empfang von Ultraschallwellen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4275963A (de)
JP (1) JPS6051643B2 (de)
DE (1) DE2918384C2 (de)
FR (1) FR2456321A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4841140A (en) * 1987-11-09 1989-06-20 Honeywell Inc. Real-time color comparator
US5394752A (en) * 1993-03-16 1995-03-07 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method for determing shear direction using liquid crystal coatings
US5517022A (en) * 1994-05-03 1996-05-14 Universite Du Quebec A Hull Apparatus for measuring an ambient isotropic parameter applied to a highly birefringent sensing fiber using interference pattern detection
US5546187A (en) * 1995-03-15 1996-08-13 Hughes Aircraft Company Self-referencing laser-based ultrasonic wave receiver
US5814730A (en) * 1996-06-10 1998-09-29 Institute Of Paper Science And Technology And Georgia Institute Of Technology Material characteristic testing method and apparatus using interferometry to detect ultrasonic signals in a web
US6628408B1 (en) 1999-04-15 2003-09-30 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Amplitude measurement for an ultrasonic horn
US6534768B1 (en) * 2000-10-30 2003-03-18 Euro-Oeltique, S.A. Hemispherical detector
CN105043524B (zh) * 2015-04-30 2018-11-02 杭州电子科技大学 一种基于激光散斑离焦成像的振动检测方法
CN105043525A (zh) * 2015-04-30 2015-11-11 杭州电子科技大学 一种基于激光散斑行为的振动信息检测方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2457253A1 (de) * 1974-12-04 1976-06-10 Krautkraemer Gmbh Optisches interferometrisches verfahren zur messung der oberflaechenauslenkung eines prueflings unter ultraschalleinfluss
DE2517628C3 (de) * 1974-04-23 1979-01-18 Rca Corp., New York, N.Y. (V.St.A.)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3145252A (en) * 1961-02-21 1964-08-18 Bell Telephone Labor Inc Polychromatic interferometry
US3804521A (en) * 1972-02-22 1974-04-16 Itek Corp Optical device for measuring surface roughness
FR2345701A1 (fr) * 1976-03-23 1977-10-21 Cem Comp Electro Mec Procede et dispositif pour mesurer des deplacements ou vibrations d'une surface
DE2709686C2 (de) * 1977-03-05 1982-09-09 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Optisches interferometrisches Verfahren zur berührungslosen Messung der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings
US4145140A (en) * 1977-06-15 1979-03-20 Hitoshi Fujii Measurement of surface roughness

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2517628C3 (de) * 1974-04-23 1979-01-18 Rca Corp., New York, N.Y. (V.St.A.)
DE2457253A1 (de) * 1974-12-04 1976-06-10 Krautkraemer Gmbh Optisches interferometrisches verfahren zur messung der oberflaechenauslenkung eines prueflings unter ultraschalleinfluss

Also Published As

Publication number Publication date
FR2456321B1 (de) 1985-01-04
US4275963A (en) 1981-06-30
JPS55151206A (en) 1980-11-25
FR2456321A1 (fr) 1980-12-05
JPS6051643B2 (ja) 1985-11-15
DE2918384C2 (de) 1984-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2000026612A1 (de) Profilmesssystem und verfahren zur durchführung
DE102006015170B4 (de) Verfahren und Anordnung zur Erzeugung eines vergrößerten Messvolumens zur Bestimmung der Struktur und/oder Spulgeschwindigkeit textiler Fasern auf Basis der Laser-Doppler-Anemometrie
EP0062272A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Dickenkontrolle bzw. -messung von Materialschichten
DE102017211735A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungssystem
DE2918384A1 (de) Verfahren zum optischen empfang von ultraschall-wellen
EP0329986B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Erfassung des Rauheitsprofils einer Materialoberfläche
EP0023643B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur photoelektrischen berührungslosen Messung von Dehnungsabläufen
EP0586795B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Überprüfung der Oberflächenrauhigkeit von Materialien
EP0491749B1 (de) Vorrichtung zur absoluten zweidimensionalen positionsmessung
DE69526321T2 (de) Verfahren zum Bestimmen der Position einer optischen Faser
DE3418767A1 (de) Optisches messgeraet
DE2855877A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen und beruehrungslosen messung der form von walz-, zieh- und stranggusserzeugnissen
EP0398319B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Detektion von Oberflächenverschiebungen bei Festkörpern
DE112018007552T5 (de) Optische-Distanz-Messungseinrichtung und Bearbeitungseinrichtung
DE102004038239A1 (de) Luftfeder mit integrierter optischer Höhenstandssensorik
EP0346601B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit, insbesondere in einem Windkanal
DE7913173U1 (de) Vorrichtung zum optischen Empfang von Ultraschallwellen
DE4332022C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Winkellage eines Objekts, insbesondere beim Vermessen von länglichen Gegenständen
EP0356563A1 (de) Verfahren und Messvorrichtung zur Ermittlung von Risslängen und/oder von Dehnungen an Bauteilen, Proben oder dgl.
DE112018007623B4 (de) Optische-distanz-messungseinrichtung und bearbeitungseinrichtung
DE69218558T2 (de) Berührungsloses Verfahren und Vorrichtung zur Höhendifferenzmessung von zwei Oberflächen
EP0342337A2 (de) Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen, der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings
DE10027439B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung von Topographieparametern periodischer Oberflächenstrukturen
DE19816951C2 (de) Anordnung zur optischen Positions-, Bewegungsrichtungs- und Geschwindigkeitsbestimmung
AT407200B (de) Messeinrichtung zur berührungsfreien bestimmung von dehnungen in oberflächen, insbesondere zur bestimmung der oberflächenkörperschallintensität

Legal Events

Date Code Title Description
OAM Search report available
OAP Request for examination filed
OC Search report available
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee