DE2807593A1

DE2807593A1 - JET ELECTROLYSIS DEVICE

Info

Publication number: DE2807593A1
Application number: DE19782807593
Authority: DE
Inventors: Michel Tribout
Original assignee: FMC FOMECACHIM
Current assignee: FMC FOMECACHIM
Priority date: 1977-02-24
Filing date: 1978-02-22
Publication date: 1978-08-31
Also published as: FR2381567B1; JPS53124129A; FR2381567A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf die elektrolytische Behandlung von Werkstücken, d.h. auf eine elektrolytische Abscheidung oder Abhebung bzw. Aussparung eines metallischen Materials auf Werkstücken, die zumindest teilweise leitend sind.The invention relates to the electrolytic treatment of workpieces, i.e. to electrodeposition or lifting or recess of a metallic material on workpieces that are at least partially conductive.

i. ιi. ι

Zur Durchführung dieser Bearbeitung bringt man stets die Werkstücke in ein elektrolytisches Bad ein, in welchem sich auch zumindest eine metallische Elektrode in einem bestimmten Abstand von den Werkstücken befindet; diese Elektrode ist mit einem Gleichspannungsanschluß verbunden, während die Werkstücke im allgemeinen über Rahmen und Halterungen oder bei einer Elektrolysewanne durch direkten Kontakt mit einer Wand mit dem anderen Spannungsanschluß verbunden sind. Die Werkstücke bilden je nach dem, ob es sich um Aussparen oder Abscheiden von Material handelt, die Anode oder die Kathode.To carry out this processing, the workpieces are always placed in an electrolytic bath in which at least one metallic electrode is also at a certain distance from the workpieces; this electrode is with connected to a DC voltage connection, while the workpieces generally via frames and brackets or at a Electrolysis tub are connected to the other voltage connection by direct contact with a wall. Form the workpieces depending on whether it is a matter of recessing or depositing material, the anode or the cathode.

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Dresdner Bank (München) Kto. 3939 844Dresdner Bank (Munich) Account 3939 844 Postscheck (München) Kto. 670-43-804Postal check (Munich) account 670-43-804

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Mit den üblichen Verfahren hat man damit stets eine große Elektrolytmenge meistens in offenen Wannen, die Dämpfe und eine Luftvergiftung hervorruft, wobei wegen des Abstandes zwischen der Elektrode und den Werkstücken eine große Spannung erforderlich ist und eine der Gesamtfläche der Werkstücke proportionale große Stromstärke entsteht; ferner treten relativ bedeutende Bearbeitungsfehler aufgrund von Randeffekten auf, d.h. weil sich das elektrische Feld und daher die elektrolytische Aktivität an den vorstehenden Teilen oder den Rändern von ebenen Werkstücken konzentriert und sehr stark abnimmt an den konkaven Teilen oder in der Mitte von ebenen Werkstücken, was selbst bis zu einer praktischen Aufhebung der Wirkung im Innern von tiefen Löchern führt. Ferner sind bei der Bearbeitung mit Rahmen äußerst umfangreiche Handhabungen bei der Befestigung und beim Lösen der Werkstücke erforderlich. Dies gilt ebenfalls für die Handhabung der Rahmen angefangen von Elektrolysewannen bis zu Umlaufwannen; hierbei tritt ein Zeitverlust wegen der Notwendigkeit ein, die Bearbeitung während der Handhabung und beim Abtropfen der Rahmen zu unterbrechen. Außerdem treten hohe Verluste am Elektrolyt auf, der sich in dem Abtropfwasser befindet, was weitere Bearbeitungsprobleme zur Vermeidung von Wasserverschmutzung herbeiführt.With the usual methods, you always have a large amount of electrolyte, mostly in open tubs, the vapors and causes air pollution, because of the distance a large voltage is required between the electrode and the workpieces and one of the total area of the workpieces proportional large amperage arises; Furthermore, relatively significant processing errors occur due to edge effects, that is, because the electric field and hence the electrolytic activity are located on the protruding parts or the edges Concentrated on flat workpieces and decreases very sharply on the concave parts or in the middle of flat workpieces, which even leads to a practical abolition of the effect inside deep holes. Also are in the process of editing With a frame, extremely extensive handling is required when attaching and loosening the workpieces. this applies also for handling the frames from electrolysis tubs to circulating tubs; here there is a loss of time because of the need to stop machining while handling and draining the frames. aside from that high electrolyte losses occur in the dripping water, which leads to further processing problems Avoidance of water pollution brings about.

Im Rahmen der Aufgabenstellung der Erfindung liegt die Schaffung einer neuartigen Elektrolysevorrichtung, mit der die vorhergehend angegebenen Nachteile vermieden werden können und die mit einem geringen Elektrolytvolumen und einer geringen elektrischen Spannung arbeiten kann, wobei die Randeffekte vermieden werden und die Handhabung vereinfacht wird und außerdem in großem Umfang Luft- und Wasserverschmutzung vermindert wird.Within the scope of the object of the invention is the Creation of a new type of electrolysis device with which the above-mentioned disadvantages can be avoided and which can work with a small electrolyte volume and a low electrical voltage, avoiding the edge effects and handling is simplified, and air and water pollution are also greatly reduced.

Erfindungsgemäß wird Elektrolyt auf die zu behandelnde Oberfläche mittels eines durch eine Pumpe eingespeisten Strahls gespritzt, der kontinuierlich Elektrolyt auf einen begrenzten Bereich der Oberfläche der Werkstücke aufbringt; diese Werkstücke sind auf einem Träger angeordnet, der ihre elektrische VerbindungAccording to the invention , electrolyte is sprayed onto the surface to be treated by means of a jet fed in by a pump, which continuously applies electrolyte to a limited area of the surface of the workpieces; these workpieces are arranged on a carrier that makes their electrical connection

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28Q7593 mit einem Pol einer Spannungsquelle gewährleistet, während der andere Pol mit einer anderen Elektrode verbunden ist, die in dem Elektrolytumlaufkreis stromauf des Strahls angeordnet ist. Der Strahl kann eine für die zu behandelnde Oberfläche geeignete Form besitzen und festliegen ebenso wie das diese Oberfläche tragende Werkstück. Man kann ebenfalls eine Rampe oder einen feststehenden Strahl in Form eines flüssigen Blatts verwenden, der auf bewegliche Werkstücke einwirkt, wobei eine verschiebbare elektrische Verbindung für diese Werkstücke oder für ihren Träger vorgesehen ist. In dem besonderen Fall von ebenen Werkstücken, beispielsweise gedruckten Schaltungen, kann der Träger durch Transportbänder gebildet sein mit einer über Schleifkontakte gebildeten direkten elektrischen Verbindung zu den Werkstücken. Die elektrolytischen Bearbeitungszellen können von verschiedenen Bearbeitungszellen vervollständigt werden, beispielsweise mit Umlauf oder chemischer Behandlung, wobei Dichtlippen zwischen den Zellen vorgesehen sind und ggfls. Gasüberdruck verwendet wird, um eine kontinuierliche und automatische Durchführung alle Fabrikationsvorgänge-einer vollständigen gedruckten Schaltung ohne Längenbegrenzung zu ermöglichen. 28Q7593 guaranteed with one pole of a voltage source, during the other pole is connected to another electrode located in the electrolyte circulation circuit upstream of the jet. The jet can have a shape suitable for the surface to be treated and can be fixed, as can this surface load-bearing workpiece. You can also use a ramp or a fixed jet in the form of a liquid sheet, which acts on moving workpieces, with a sliding electrical connection for these workpieces or is intended for their wearer. In the special case of flat workpieces, such as printed circuits, can the carrier can be formed by conveyor belts with a direct electrical connection formed via sliding contacts the workpieces. The electrolytic processing cells can be completed by various processing cells, for example with circulation or chemical treatment, sealing lips being provided between the cells and, if necessary. Overpressure gas is used to continuously and automatically carry out all manufacturing operations-a complete one to enable printed circuit without length limitation.

Die Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen näher erläutert. ■·"· The invention is explained in more detail below with reference to schematic drawings of exemplary embodiments. ■ · "·

Fig. 1, 2 und 3 zeigen eibe perspektivische Ansicht vonFigs. 1, 2 and 3 show a perspective view of FIG

Strahlen verschiedener Formen für die örtliche Behandlung von Werkstücken;Blasting of various shapes for the local treatment of workpieces;

Fig. 4 zeigt einen vertikalen Längsschnitt einer Elektrolysezelle, der zwei verschiedene Bearbeitungszellen vorangehen; undFig. 4 shows a vertical longitudinal section of an electrolytic cell, preceded by two different processing cells; and

Fig. 5 zeigt eine perspektivische Teilansicht von wesentliehen Teilen der Elektrolysezelle.Fig. 5 shows a partial perspective view of the essentials Parts of the electrolytic cell.

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Gemäß Darstellung in Fig. 1 sind die zu bearbeitenden Werkstücke 1. nicht in ein Bad eingetaucht, sondern befinden sich in einer Gasatmosphäre, und man spritzt auf ihre Oberfläche einen Elektrolytstrahl 2 auf, der durch eine Strahldüse 3 gebildet wird, die durch ein Rohr 4 gespeist wird. Verwendet man nur einen einzigen Strahl, steigt dieser vorzugsweise auf, wie dies in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist, damit das AIjLaufen der Elektrolyten vereinfacht wird, der durch Schwerkraft in ein nicht dargestelltes Becken zurückfällt, wo er augenblicklieh - vorzugsweise durch eine Tauchpumpe - wieder erfaßt wird und in das Rohr 4 zurückbefördert wird. Daraus ergibt sich, daß man nur ein sehr geringes Elektrolytvolumen unabhängig von der Größe der Werkstücke 1 verwendet.As shown in FIG. 1, the workpieces to be processed 1. are not immersed in a bath, but are located itself in a gas atmosphere, and one splashes on its surface an electrolyte jet 2 which is formed by a jet nozzle 3 which is fed through a pipe 4. If you use only a single beam, this preferably rises, as shown in Figs. 1 to 3, so that the AIjlauf the electrolyte is simplified, which falls back by gravity into a basin, not shown, where he instantly - Preferably by a submersible pump - is detected again and is conveyed back into the pipe 4. It follows that only a very small volume of electrolyte is used regardless of the size of the workpieces 1.

Erfindungsgemäß ist eine der Elektroden, beispielsweise die Anode bei elektrolytischer Abscheidung im Innern des Rohrs 4 angeordnet, d.h. stromauf der den Strahl 2 bildenden Strahldüse 3, während das Werkstück 1 natürlich stromab vom Strahl angeordnet ist. Bei der Abscheidung kann es sich natürlich um eine lösliche oder nicht lösliche Anode handeln. Nach einem wesentlichen Merkmal der Erfindung kann der Strahl eine für den zu behandelnden Bereich 5 geeignete Form haben, was die in den Fig. 1 bis 3 gezeigten verschiedenen Formen ergibt. Daraus ergibt sich, daß das die Elektrolyse hervorrufende elektrische Feld in dem einzigen Querschnitt des Strahl konzentriert ist, d.h. allein in dem zu bearbeitenden Bereich 5, wodurch die Randeffekte ausgeschaltet werden und eine wirkungsvollere und homogenere Behandlung ermöglicht wird, was selbst bei der Hohlflächenbearbeitung gemäß Darstellung in Fig. 3 der Fall ist.According to the invention, one of the electrodes is, for example the anode is placed inside the tube 4 in the case of electrodeposition, i.e. upstream of the jet nozzle forming the jet 2 3, while the workpiece 1 is naturally positioned downstream of the beam. In the case of deposition, it can of course be act as a soluble or insoluble anode. According to an essential feature of the invention, the beam can be one for the to be treated area 5 have a suitable shape, resulting in the various shapes shown in Figs. From this it follows that the electric field causing the electrolysis is concentrated in the single cross-section of the beam, i.e. only in the area 5 to be processed, whereby the edge effects are eliminated and a more effective and homogeneous one Treatment is made possible, even with the machining of hollow surfaces as shown in Fig. 3 is the case.

Tatsächlich wird der nicht behandelte Bereich nicht bespritzt und nicht dem elektrischen Feld ausgesetzt, so daß man auf der Hohlfläche 5 ein gleichmäßiges Feld erhält, ohne irgendeine Formelektrode zu benötigen.In fact, the untreated area will not be splashed or exposed to the electric field, so that you can be on the Hollow surface 5 receives a uniform field without needing any form electrode.

Diese auf Abstand durchgeführte elektrolytische Behandlung gemäß den anhand der Fig.. 1 bis 3 beschriebenen Beispielen kann zwischen einem oder mehreren festen Strahlen undThis electrolytic treatment carried out at a distance according to the examples described with reference to FIGS. 1 to 3, between one or more solid beams and

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einem ebenfalls festen Werkstück erfolgen, das elektrisch an die andere Polarität angeschlossen ist. Die Erfindung ist jedoch besonders interessant bei der fortlaufenden Behandlung, d.h. bei Verwendung einer Rampe, die zahlreiche Strahldüsen trägt und bei Bildung eines ebenen Flüssigkeitsblattes, das feststehend quer zur Verschiebung angeordnet ist, wobei die zu bearbeitenden Werkstücke mit einer kontinuierlichen Bewegung verschoben werden und die Flüssigkeitswand durchqueren; die elektrische Verbindung wird durch Gleitkontakte entweder direkt an den Werkstücken oder über einen die Werkstücke tragenden . Träger hergestellt.an equally solid workpiece that is electrically connected to the other polarity. However, the invention is particularly interesting for continuous treatment, i.e. when using a ramp that carries numerous jet nozzles and upon formation of a flat sheet of liquid which is fixedly arranged transversely to the displacement, the to machined workpieces are moved with a continuous movement and traverse the liquid wall; the electrical connection is established by sliding contacts either directly on the workpieces or via one that supports the workpieces . Carrier made.

Für die Behandlung von kleinen Werkstücken, die gewöhnlich in der Elektrolysewanne mit den vorstehend beschriebenen Nachteilen bearbeitet werden, kann man insbesondere für den Schutz von Löchern erfindungsgemäß die Werkstücke in Massen auf einem horizontalen Endlosgitter anordnen, das den vorzugsweise unter dem Gitter angeordneten Strahlbereich quert; die elektrische Verbindung mit den Werkstücken wird mit oberen Metallbürsten hergestellt, die unmittelbar auf die Werkstücke oder über das Gitter wirken, wenn dieses leitend ist. Natürlich ist die Bearbeitungskammer, -zelle oder -behälter, in deren Innenraum die Strahlen erzeugt werden, vollständig mit einer Gasatmosphäre gefüllt und vorzugsweise im oberen Teil genauso wie im unteren Teil abgeschlossen, um Dämpfe und Umweltverschmutzungen zu vermeiden; das Eintreten und Austreten der'Werkstücke und des Gitters findet über einen engen Spalt vorzugsweise mit Flüssigkeitsvorhang statt. For the treatment of small workpieces, which are usually in the electrolysis tank with the disadvantages described above can be processed, you can especially for the protection of holes according to the invention, the workpieces in bulk on one Arrange a horizontal endless grid that crosses the beam area, which is preferably arranged below the grid; the electrical connection The workpieces are made with upper metal brushes that are placed directly on the workpieces or over the grid work when this is conductive. Of course, the processing chamber, cell or container is in the interior of which the rays are generated, completely filled with a gas atmosphere and preferably closed in the upper part as well as in the lower part, to avoid fumes and pollution; the entry and exit of the workpieces and the grid takes place over a narrow gap, preferably with a liquid curtain.

Die Durchführung des kontinuierlichen Prozesses ist besonders vereinfacht bei ebenen Werkstücken, beispielsweise Rechtecken oder dünnen Blechbändern, bei denen man elektrolytische Elektroformung mit Hilfe von beispielsweise auf photochemischem Wege aufgebrachten Masken durchführt, um Filtergitter oder Elektrorasierer herzustellen. Wenn diese Werkstücke eine bestimmte Länge haben, kann das Gitter vorteilhafterweiseThe implementation of the continuous process is particularly simplified in the case of flat workpieces, for example Rectangles or thin sheet metal strips, in which one electrolytic electroforming with the help of for example on photochemically applied masks performs to produce filter grids or electric razors. When these workpieces Have a certain length, the grid can advantageously

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weggelassen werden und durch eine Folge von Stützbändern oder Paare von Stützbändern ersetzt werden, die einander gegenüberstehen und eine kontinuierliche Förderung der Werkstücke quer zur flüssigen Bearbeitungswand gewährleisten. In diesem Fall wird die elektrische Verbindung unmittelbar auf das Werkstück oder über den Rand des zu dessen Herstellung vorgesehenen Zuschnitts hergestellt. Für ebene Werkstücke ist die Bildung von Dichtlippen am Eingang und am Ausgang der Bearbeitungszellen besonders einfach. Dadurch ergibt sich eine quasi vollständige Vermeidung von Elektrolytverlusten, wodurch Abwasserbehandlungsprobleme beseitigt sind. Demgegenüber ist es beim ständigen Wiederumlauf eines kleinen Elektrolytvolumens mit einer sehr geringen Erneuerung notwendig, eine Regenerierungsbehandlung des Elektrolyten vorzunehmen.can be omitted and replaced by a series of support bands or pairs of support bands facing each other and ensure that the workpieces are continuously conveyed across the liquid processing wall. In this In this case, the electrical connection is made directly to the workpiece or over the edge of the intended for its production Made to size. For flat workpieces, sealing lips must be formed at the entrance and exit of the processing cells particularly easy. This results in a more or less complete avoidance of electrolyte losses, as a result of which Sewage treatment problems are eliminated. In contrast, it is a constant recirculation of a small volume of electrolyte with very little renewal necessary, a regeneration treatment of the electrolyte.

Unter'den durch die erfindungsgemäße Vorrichtung automatisch und kontinuierlich bearbeitbaren ebenen Werkstücken müssen insbesondere die gedruckten Schaltungen wegen des großen Anwendungsumfangs hervorgehoben werden. Es ist auf die Herstellung der doppelseitigen gedruckten Schaltungen hinzuweisen, bei der von bakelisiertem Karton ausgegangen wird, der auf seinen beiden Seiten mit Kupfer beschichtet ist. Zuerst müssen die Verbindungsund Anschlußlöcher gebohrt werden; dann wird auf beiden Seiten ein Photowiderstand in flüssiger oder Blattform aufgebracht und dieser auf beiden"¹ Seiten entsprechend den herzustellenden Leiterbahnen photographisch belichtet.!.,Der um die Löcher herum und längs den Leiterbahnen sitzende nicht belichtete Photowiderstand wird entfernt. Die Innenseiten der Löcher werden chemisch behandelt, um sie leitend zu machen. Dann wird Kupfer elektrolytisch an den Innenwänden der Löcher aufgebracht, um Verbindungsbrücken zwischen den beiden Seiten zu schaffen.. Das Kupfer wird elektrolytisch verstärkt. Dann wird eine elektrolytische Verstärkung mit einer Zinn-Bleilegierung durchgeführt. Schließlich wird der belichtete Photowiderstand entfernt und das Kupfer an all den Teilen chemisch geätzt, die nicht durch die Zinn-Bleiverbindung geschützt sind. Hinzu kommt noch die Endspülung und die notwendigen Zwischenspülungen.Among the planar workpieces that can be machined automatically and continuously by the device according to the invention, the printed circuits in particular must be emphasized because of the large scope of application. Reference should be made to the manufacture of double-sided printed circuits, which is based on bakelised cardboard coated with copper on both sides. First the connection and terminal holes must be drilled; then a photoresist! The inner sides of the holes on both sides applied in liquid or sheet form, and this exposed on both ^"1 pages in accordance with the produced conductor tracks photographically.., The around the holes and along the conductor tracks seated non-exposed photoresist is removed. be chemically treated to make them conductive. Then copper is electrolytically deposited on the inner walls of the holes to create bridges between the two sides. The copper is electrolytically strengthened. Then an electrolytic strengthening with a tin-lead alloy is carried out. Finally, is the exposed photoresistor is removed and the copper is chemically etched on all the parts that are not protected by the tin-lead compound.

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Erfindungsgemäß wird ein solches Fabrikationsverfahren für doppelseitige gedruckte Schaltungen in seiner Gesamtheit automatisch und kontinuierlich durchgeführt, indem eine bestimmte Anzahl von Elektrolytzellen und Zellen für Spülung oder chemische Behandlung, aneinandergesetzt werden, wovon die Ausbringung des Photowiderstandes und die photographische Belichtung umfaßt sind. Die einfach zurechtgeschnittenen und gebohrten Platten werden flach an einem Ende der Fabrikationsstrecke eingeführt und von einem Ende zum anderen durch An- ■ triebsbänder der im vorhergehend beschriebenen Art befördert; sie laufen von Zelle zu Zelle über in Fig. 4 mit der Bezugsziffer 6 bezeichnete Dichtlippen und treten am'änderen Ende fertig hervor.Such a manufacturing method is according to the invention for double-sided printed circuits in its entirety automatically and continuously carried out by a certain Number of electrolyte cells and cells for rinsing or chemical treatment, of which one is put together the application of the photoresist and the photographic exposure are included. The simply cut to size and Drilled plates are inserted flat at one end of the production line and from one end to the other by means of an ■ transports drive belts of the type described above; they run from cell to cell over sealing lips designated by the reference number 6 in FIG. 4 and occur at the other end finished.

In Fig. 4 sieht man insbesondere auf der linken Seite eine erfindungsgemäße Elektrolysezelle mit Elektrolytspeiserohren 7, die auf jeder Seite der Platten 8 nicht dargestellte Strahlen in Form von Flüssigkeitszungen bilden, die jeweils zwischen einem zentralen Kern 9 und einem von zwei Außenwänden 10 laufen, die mit dem entsprechenden Rohr 7 verbunden sind. In der durch diese beiden Wände 10 gebildeten rechteckigen Führung ist eine Elektrode 11 vorgesehen, die sich somit erfindungsgemäß stromauf der Strahlen befindet, während sich die zu behandelnden Werkstücke 8 stromab davon befinden. Die Antriebs- und Trä.gerbänder 12 und 13 sind in Fig. 4 dargestellt; selbstverständlich sind,sie untereinander zwischen den verschiedenen Zellen synchronisiert. Die Schleifkontakte für die Stromeinspeisung sind in Fig. 5 dargestellt und werden von Konsolen 15 getragen. Diese Schleifkontakte wirken direkt auf die Bereiche der Schaltung, die keinen Photolack (Photowiderstand) aufweisen, oder auf Randbereiche 16,die ggfls. dann weggelassen werden.In Fig. 4 you can see in particular on the left side an electrolytic cell according to the invention with electrolyte feed tubes 7, which are not shown on each side of the plates 8 Form jets in the form of fluid tongues, each between a central core 9 and one of two outer walls 10, which are connected to the corresponding pipe 7. In the rectangular formed by these two walls 10 Guide an electrode 11 is provided, which is thus according to the invention located upstream of the beams, while the workpieces to be treated 8 are downstream thereof. the Drive and carrier belts 12 and 13 are shown in FIG. 4; of course, they are among each other between the different cells synchronized. The sliding contacts for the power supply are shown in Fig. 5 and are from Consoles 15 worn. These sliding contacts act directly on the areas of the circuit that do not have a photoresist (photoresist) have, or on edge areas 16 which, if necessary. then omitted will.

Erfindungsgemäß kann man auf diese Weise den vollständigen Fabrikationszyklus - abgesehen von der Bohrung - der verschiedenen gedruckten Schaltungen automatisch und kontinuierlich mit großer Produktivität dank der Konzentration des Feldes in den flüssigen Strahlen (oder Zungen oder Lanzen) durchführen undAccording to the invention you can in this way the complete Production cycle - apart from the drilling - of the various printed circuits automatically and continuously to carry out and great productivity thanks to the concentration of the field in the liquid jets (or tongues or lances)

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28Ü7593 dies mit den bereits angegebenen Vorteilen, die auf die geringe verwendete Elektrolytmenge und den geringen Elektrolytverbrauch, die Vermeidung von Luft— und Wasserverschmutzung und die Vermeidung von Randeffekten zurückzuführen sind. Außerdem bringt die erfindungsgemäße Vorrichtung einen relativ geringen Raumbedarf mit sich und erlaubt dennoch gedruckte Schaltungen zu bearbeiten, deren Format in Längsrichtung keine Beschränkung besitzt.28Ü7593 this with the advantages already stated, which are based on the low amount of electrolyte used and the low electrolyte consumption, the avoidance of air and water pollution and the avoidance are due to edge effects. In addition, the device according to the invention requires a relatively small amount of space with itself and still allows printed circuits to be processed, the format of which is not restricted in the longitudinal direction owns.

Mit der Erfindung wird somit eine Strahl-Elektrolysevorrichtung für die Abscheidung oder das Aussparen eines metallischen Materials auf Werkstücken, die zumindest teilweise leitend sind, geschaffen. Erfindungsgemäß ist zumindest ein Strahl vorgesehen, der durch eine Pumpe eingespeist wird und kontinuierlieh Elektrolyt auf einen auf der Oberfläche von Werkstücken befindlichen Bereich spritzt. Diese Werkstücke sind auf einem Träger angeordnet, wobei eine Vorrichtung vorgesehen ist, die ihren elektrischen Anschluß an einen Pol einer Gleichspannungsquelle gewährleistet, während der andere Pol mit einer Elektrode verbunden ist, die in dem Flüssigkeitskreis stromauf des Strahls angeordnet ist.The invention thus provides a jet electrolysis device for the deposition or recessing of a metallic Material on workpieces that are at least partially conductive created. According to the invention, at least one beam is provided, which is fed by a pump and continuously discharges electrolyte onto one on the surface of workpieces the area. These workpieces are arranged on a carrier, with a device being provided which their electrical connection to one pole of a DC voltage source ensured, while the other pole with an electrode is connected, which is arranged in the liquid circuit upstream of the jet.

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Claims

1. Jet electrolysis device for deposition or recessing of a metallic material on at least partially conductive workpieces, in which the Workpieces are processed by electrolyte jet, with electrical slide connections, the electrolyte in a transverse to the direction of displacement of the workpieces lying liquid wall is sprayed and through a continuous liquid. ■ Ramp or blade is formed, this device being used in particular for flat workpieces, characterized in that the workpieces (1, 8) on carrier tapes (13) and between pairs of drive rollers (12) are arranged on both sides of the liquid wall that a closed cell with sealing lips (6) is formed at the entrance and exit for the workpieces is and that the electrical slide connection is formed by at least one sliding contact (14) which directly acts on suitable areas (16) of the workpieces or indirectly on a conductive endless grid carrying the workpieces.

2. Beam electrolysis device for the production of printed circuits using photoelectrodeposition, characterized by the use of several devices according to claim 1 connected to different processing cells where the output connections of a cell are the input

111 / 1 1 Dresdner Bank (München) Kto. 3939 844 Postscheck (München) Kto. 67<M3-804111/1 1 Dresdner Bank (Munich) Account 3939 844 Postscheck (Munich) Account 67 <M3-804

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ORIGINAL / NSPECTED

Form output connections of the following cell, with an Oxidierungsmxttel provided in certain processing cells is and also a positive pressure of a neutral gas that the Prevents air ingress, thereby continuously completing the full succession of printed manufacturing operations Circuits with the exception of the drilling is carried out.

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