DE2640377A1

DE2640377A1 - Vorrichtung zum zonenziehen von einkristallstaeben

Info

Publication number: DE2640377A1
Application number: DE19762640377
Authority: DE
Inventors: Fritz Bubeck; Dietrich Dr Ing Drechsel; Joachim Dipl Ing Floymayr; Karl Ing Grad Jericho
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1976-09-08
Filing date: 1976-09-08
Publication date: 1978-03-09
Also published as: JPS5332886A; IT1107729B; DK397377A; NL7707753A; US4218424A

Description

-mc. HANS ZAPFE

PATENTANWALT

D - 605 OFFENBACH (MAIN) KAISERSTRASSE 9 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

TELEFON (06 11) 88 27 21

6. August 1976 Zap/Han

Akte: 76509

LEYBOLD-HERAEUS GmbH & Co. KG Bonner Straße 504

5000 Köln 51

Vorrichtung zum Zonenziehen von Einkristal !stäben "

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Zonenziehen von Einkristallstäben, bestehend aus einem gasdichten Gehäuse mit im Innern des Gehäuses drehbar und vertikal beweglich übereinander angeordneten Stabhalterungen und einer dazwischen befindlichen, ortsfesten Hochfrequenz-Heizeinrichtung, sowie mit je einem Transportschlitten mit Schlittenführung und Spindeltrieb für die unabhängige Vertikalbewegung der Stabhalterungen, und mit je einem Antrieb für die Rotation der Stabhalterungen.

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Eine Vorrichtung der vorstehend beschriebenen Gattung ist durch die DT-AS 15 19 871 bekannt. Bei ihr sind die Schlittenführungen und die Spindel triebe für die Stabhalterungen außerhalb des Gehäuses angeordnet, und die Wellen, an deren Enden die Stabhalterungen angeordnet sind, sind von außen durch die Wandung des Gehäuses hindurchgeführt. Die Heizeinrichtung in Form einer Hochfrequenz-Spule ist ortsfest etwa in der Mitte des Gehäuses angeordnet.

Bei einer solchen Bauweise muß zunächst grundsätzlich das Gehäuse eine Bauhöhe aufweisen, die etwas größer ist als die doppelte Maximallänge des tiegellos umzuschmelzenden Stabes bzw. des herzustellenden Einkristalls, da der Stab mit praktisch seiner gesamten Länge durch die Heizeinrichtung hindurchgeführt werden muß. Zur Bauhöhe des Gehäuses addieren sich noch die Längen für beide Antriebswellen für die Stabhalterungen, da diese einen entsprechenden Hub außerhalb des Gehäuses durchführen müssen. Außerdem kommen noch Abstände zur Gesamtbauhöhe hinzu, die durch die unvermeidlichen Lagerungen, Führungen und deren Gehäuse sowie der Antriebsmotoren bedingt

20. sind. Den Vertikalbewegungen der vorstehend beschriebenen Antriebsteile bzw. Stabhalterungen muß naturgemäß auch die Länge der außerhalb des Gehäuses angeordneten Spindel triebe entsprechen. Die Bauhöhe derartiger bekannter Vorrichtungen unterschreitet daher im allgemeinen nicht das etwa 5 bis 6-fache der nutzbaren Kristal länge, die kleiner ist als die Länge des rohen Einkristalls, da noch der Übergangskonus etc. verworfen werden müssen. Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel beträgt die Gesamthöhe der Vorrichtung 8,0 m, wobei lediglich eine nutzbare Kristallänge von maximal 1,4 m zu erzielen ist.

Eine derartige Bauhöhe ist jedoch für die meisten Anwendungsfälle untragbar, da nur selten Fabrikationsräume entsprechender Höhe zur Verfugung stehen.

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Es ist auch bereits bekannt, die Bauhöhe von Zonenziehanlagen durch ein anderes Konstruktionsprinzip zu verringern. Hierbei wird der umzuschmelzende Stab im wesentlichen in der gleichen Höhe'innerhalb des Gehäuses gehalten, woBei nur eine der beiden Stabhalterungen eine geringfügige Vertikalbewegung auszuführen hat, die dem einzuhaltenden Streck-Stauch-Verhältnis bei der Kristallherstellung entspricht. Für die Ausführung der erforderlichen Relativbewegung zwischen Stab und Heizeinrichtung muß in einem solchen Fall jedoch die Hochfrequenzspule in vertikaler Richtung bewegt werden. Eine solche Maßnahme führt jedoch zu besonderen Problemen im Hinblick auf die Stromversorgung der Hochfrequenzspule. Eine Kabelverbindung zum Hochfrequenzgenerator ist nicht nur nachteilig für die Betriebssicherheit sondern führt auch zu erheblichen LeistungsVerlusten, die durch die Kabellänge bedingt sind.

Eine etwaige starre Verbindung der Hochfrequenzspule mit dem erforderlichen Schwingkreis macht es erforderlich, diesen in das Gehäuse zu verlegen. Auf diese Weise muß ein ungünstig großer Kesseldurchmesser in Kauf genommen werden, wobei das Problem der beweglichen Stromzuführung nach wie vor nicht gelöst ist. Hinzu kommt, daß ein Schwingkreis für eine Leistung von 50 kW ein -Gewicht in der Größenordnung von ca. 250 kg hat, so daß im Falle einer Vertikalbewegung des Schwingkreises eine entsprechend stabile Führung mit einem leistungsfähigen Antrieb vorgesehen werden muß. Es ist dabei außerordentlich schwierig, die erforderliche Erschütterungsfreiheit einzuhalten. Ein derartiges Konstruktionsprinzip ist daher bisher auch nur für relativ kleine Einkristalle angewandt worden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung im Hinblick auf die Bauhöhe erheblich zu verkleinern und das Antriebssystem beträchtlich

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zu vereinfachen.

Einem besonders vorteilhaften Ausführungsbeispiel liegt die weitere Aufgabe zugrunde, die Exzentrizität der beiden Stabteile auf einfache Weise veränderbar zu gestalten.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Vorrichtung erfindungsgemäß dadurch, daß die Schlittenführungen und Spindel triebe innerhalb des Gehäuses angeordnet sind.

Durch die angegebene Maßnahme wird die Bauhöhe des Gehäuses selbst nur unwesentlich verlängert. Die genannten Antriebselemente sind in das Gehäuse hineinverlegt worden, so daß sich die entsprechenden Baulängen für die Schlittenführungen und Spindeltriebe nicht addieren. Bei der Bemessung der Antriebswellen für die Stabhalterungen braucht auf deren Längs-Längsverschiebung keine Rücksicht genommen zu werden, so daß sie außerordentlich kurz, kompakt und steif ausgeführt werden können, was sich vorteilhaft auf die Schwingungsneigung der Gesamtkonstruktion auswirkt. Eine Längsverschiebung von Antriebsteilen außerhalb des Gehäuses findet nicht statt, so daß auch hier kein entsprechender Raum für die Vertikalbewegung von Antriebsteilen vorgesehen werden muß. Es hat sich gezeigt, daß durch die erfindungsgemäße Lehre eine Bauhöhe von 5,0m und darunter eingehalten werden kann, womit eine nutzbare Kristalllänge von 1,4m erzielbar ist. Auf'vertikal beweglichen Stromverbindungen zwischen Generator und Hochfrequenzspule kann vollständig verzichtet werden.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes ist dadurch gekennzeichnet, daß die Schlittenführungen aus zwei einen Rahmen bildenden Führungssäulen bestehen, und daß der Rahmen im Gehäuse aufgehängt ist. Eine

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derartige Rahmenkonstruktion läßt sich nicht nur kompakt ausführen, sie hat auch eine hohe mechanische Festigkeit, die durch die Aufhängung im Gehäuse noch unterstützt wird. Das Gehäuse selbst besitzt von Haus aus eine hohe Eigensteifigkeit -die nicht durch äußere Rahmen, Gestelle etc. verstärkt zu werden braucht.

Ein mechanisch besonders zuverlässiges und hinsichtlich der Antriebskräfte und Reaktionskräfte besonders einfaches System ist gemäß der weiteren Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsspindeln im wesentlichen in der gleichen Ebene wie die Führungssäulen liegen und mit ihrem Antriebsende durch die Wandung des Gehäuses zu den Spindelmotoren hinduxhgeführt sind, und daß die Stabhalterungen an einer aus der Ebene der Führungssäulen und der Antriebsspindel herausragenden Konsole am Transportschlitten befestigt sind.

Eine derartige Konstruktion bedingt für jede Stabhaiterung und die dafür benötigte Antriebsspindel nur eine einzige Gehäusedurchführung, die es zu dem noch ermöglicht, die Exzentrizität bzw. den seitlichen Versatz der Rotationsachsen der beiden Stabteile einstellbar zu gestalten. Dies geschieht in sehr einfacher Weise dadurch, daß mindestens einer der Rahmen um die Drehachse der zugehörigen Antriebsspindel schwenkbar aufgehängt ist. Bei einer Schwenkbewegung um diese Drehachse führt die herausragende Konsole eine Schwenkbewegung aus, der die Drehachse des Stabteiles folgt, so daß auf diese Weise der seitliche Versatz der Drehachsen der beiden Stabteile zueinander verändert werden kann.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung gestattet es aber auch - im Gegensatz zum Stande der Technik - die Antriebsmotoren für die Stabrotation innerhalb des Gehäuses anzuordnen. Hierzu dienen in besonders vorteilhafter Weise drehzahlregelbare Vielpolmotoren

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die koaxial zur Rotationsachse des Stabes ausgerichtet und unmittelbar mit den Stabhalterungen verbunden sind. Derartige Vielpolmotoren sind für andere Verwendungszwecke bekannt geworden. Ihre Drehzahl kann in einem sehr weiten Bereich zwischen beispielsweise 0,1 und 2.000 Umdrehungen pro Minute verändert werden. Dennoch besitzen sie von Haus aus eine sehr kompakte Bauweise.

Im Hinblick auf die vorgegebenen Betriebsbedingungen innerhalb des Gehäuses (Vakuum oder Schutzgas) sowie auf die geforderte Erschütterungsfreiheit des Antriebs ist es dabei besonders vorteilhaft, die Antriebsmotoren hermetisch gegenüber dem Gehäuse zu kapseln und mit einem Gaslager, bzw. einem hydrodynamischen Lager auszustatten. Die Konstruktion wird dann besonders vereinfacht, wenn die Antriebsmotoren als sogenannte Außenläufermotoren ausgebildet sind, wobei an dem Außenläufer koaxial zweckmäßig eine Vorrichtung zum Einspannen des Stabendes befestigt ist.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und seine Wirkungsweise seien nachfolgend anhand der Figuren 1 bis 6 näher beschrieben.

Es zeigen:

Figur 1 in schematischer Darstel1ung· eine Seitenansicht einer vollständigen Vorrichtung bei abgenommener Vorderwand des Gehäuses,

Figur 2 eine Ansicht des Gegenstandes gemäß Figur

im rechten Winkel dazu, d.h. in Richtung des Pfeils II,

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Figur 3 einen Teilausschnitt des Gegenstandes

nach Figur 2 innerhalb des Kreises III in vergrößertem Maßstab,

Figur 4 einen Teilausschnitt des Gegenstandes nach Figur 2 innerhalb des Kreises IV

in vergrößertem Maßstabe,

Figur 5 eine Draufsicht auf den Gegenstand gemäß

Figur 1 in Richtung des Pfeils V bei abgenommenen Gehäuse und

Figur 6 einen Vertikalschnitt des Details innerhalb

des Kreises VI in Figur 2 in spiegelbildlicher Anordnung sowie in vergrößertem Maßstab.

In Figur 1 ist mit IQ ein gasdichtes Gehäuse bezeichnet, in dem ein Vakuum oder eine Schutzgasatmosphäre oder eine Atmopshäre zum Dotieren von Halbleitermaterial erzeugt werden können. Das Gehäuse 10 ist mit einem Saugstutzen zum Anschluß an eine nicht dargestellte Vakuumpumpe versehen. Das Gehäuse 10 besteht im wesentlichen aus einem zylindrischen Kesselmantel 12, der oben und unten durch Stirnwände 13 und 14 verschlossen ist.

Dem Gehäuse 10 ist eine Hochfrequenzheinzeinrichtung 15 zugeordnet, die aus einem Hochfrequenzschwingkreis 16", einer koaxialen Gehäusedurchführung 17 und einer Hochfrequenzspule 18 besteht. Die Gesamtanordnung 16, 17 und 18 ist in Richtung des Pfeils verschiebbar, um die Achse der Hochfrequenzspule 18 gegenüber der Achse des Gehäuses 10 justieren zu können.

Im Gehäuse 10 befinden sich eine obere Schlittenführung 20 und

+) eines nicht dargestellten Hochfrequenzgenerators,

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eine untere Schlittenführung 21. Beide Schlittenführungen bestehen aus je zwei vertikalen Führungssäulen 22 bzw. 23, die durch Quertraversen 24 bzw. 25 miteinander verbunden sind, die zusammen Rahmen 26 bzw. 27 bilden. Auf den Führungssäulen bzw. 23 ist je ein Transportschlitten 28 bzw. 29 längsverschiebbar angeordnet, der in seiner Mitte eine ausladende Konsole 30 bzw. 31 besitzt.

In den Traversen 24 bzw. 25 ist je eine Antriebsspindel 32 bzw..33 in der Weise gelagert, daß ihre Drehachse mit den Achsen der Führungssäulen 22 bzw. 23 in einer Ebene liegen. Die Antriebsspindeln 32 und 33 sind durch die Transportschlitten 28 und 29 hindurchgeführt und wirken mit dort angeordneten, nicht näher bezeichneten Spindelmuttern zusammen. Der auf diese Weise gebildete Spindeltrieb ist nach dem System einer Kugelrol1spindel ausgeführt. Durch entsprechende Drehung der Antriebsspindeln 32 bzw. 33 ist es möglich, die Transportschlitten 28 bzw. 29 auf den zugehörigen Führungssäulen in der Höhe zu verfahren, und zwar sowohl in gleicher Richtung und mit gleicher Geschwindigkeit, als auch unabhängig voneinander. Die zuletzt genannte Möglichkeit dient vorzugsweise zur - geregelten - Veränderung des Stauch-Streck-Verhältnisses.

Die Antriebsspindeln sind mit den Spindelenden 34 bzw. 35 durch die Stirnwände 13 bzw. 14 des Gehäuses 10 hindurchgeführt und stehen mit Spindelmotoren 36 und 37 in Verbindung, beispielsweise durch einen Riementrieb.

An den Konsolen 30 und 31 der Transportschlitten 28 und 29 sind Antriebsmotoren 38 und 39 angeordnet, die mit drehbaren Stabhalterungen 40 und 41 versehen sind. Die Anordnung ist dabei so getroffen, daß der Antriebsmotor 38 mit der Stabhalterung des oberen Antriebs nach unten gerichtet ist und daß der Antriebsmotor 39 mit der Stabhalterung 41 nach oben gerichtet ist.

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Zwischen den beiden Stabhalterungen 40 und 41 befindet sich der zu einem Einkristall umzuschmelzende Stab 42, der im Bereich der Hochfrequenzspule 18 die für di'eses Verfahren typische, wespentai1lenförmige Einschnürung aufweist. Mittels der unteren Stabhaiterung 41 wird der sogenannte Keimkristall oder Impfling gehalten. Der untere Teil des Stabes 42 ist zu diesem Zweck von einer Klemmvorrichtung 43 umgeben, die jedoch nicht Gegenstand der Erfindung und in der Patentanmeldung P 25 15 850.3 beschrieben ist.

In den nachfolgenden Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen, so daß sich Widerholungen erübrigen.

Aus Figur 2 ist gegenüber Figur 1 deutlich erkennbar, daß die Konsölen 30 und 31 aus der Ebene der Rahmen hervorragen, die durch die Führungssäulen 22 bzw. 23 und die Traversen 24 bzw. 25 gebildet werden, so daß die Drehachsen der Antriebsmotoren 38 und 39 und der Stabhalterungen 40 und 41 mit merklichem, seitlichem Abstand von der Drehachse der Antriebsspindeln 32 und 33 angeordnet sind. Auf diese Weise überschneiden sich die genannten Antriebsmittel teilweise, so daß sich ihre-Länge nicht addiert. Außerdem wird durch diese Maßnahme eine Veränderung des seitlichen Versatzes der Dreh-■ achsen der beiden Teile des Stabes 42 möglich, worauf im Zusammenhang mit Figur 5 noch näher eingegangen wird. Die jeweils am inneren Ende der Antriebsspindeln 32 bzw. 33 gelegenen Traversen 24 und 25 sind über Querstreben 44 und 45 mit dem Kesselmantel 12 verbunden, um auf diese Weise eine hohe Eigensteifigkeit des Antriebssystems zu gewährleisten. Die betreffende Traverse 24 ist zu dem gegenüber der Querstrebe 44 schwenkbar, und zwar um die gemeinsame Achse der Antriebsspindel 32, worauf im Zusammenhang mit Figur 5 gleichfalls noch näher eingegangen werden wird.

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In Figur 3 ist die (obere) Durchführung der Antriebsspindel

32 durch die Stirnwand 13 des Gehäuses 10 gezeigt. Zu diesem Zweck ist in die Stirnwand 13 eine Hülse 46 eingesetzt, in der eine weitere Hülse 47 drehbar angeordnet ist. Zwischen der Hülse 47 und der Antriebsspindel 32 befindet sich eine Anordnung von Dichtungen 48. Mit dem oberen Ende der Hülse ist ein Hebel 49 und mit dem unteren Ende der Hülse 47 die Traverse 24 drehfest verbunden. Durch seitliches Verschwenken des Hebels 49 ist es auf diese Weise möglich, die Traverse 24 in gleichem Maße zu verschwenken. Auf weitere Einzelheiten wird in Verbindung mit Figur 5 noch näher eingegangen werden. Am oberen Ende der Antriebsspindel 32 befindet sich eine Riemenscheibe 50, die über einen nicht dargestellten Riemen mit dem Spindelmotor 36. (Figur 1) in Verbindung steht. -

Figur 4 zeigt eine ähnliche Durchführung der Antriebsspindel

33 durch die untere Stirnwand 14 des Kesselmantels 12. In diesem Falle ist jedochkein Verschwenkmechanismus für die betreffende Traverse des Rahmens 27 vorhanden; vielmehr ist die Traverse 25 unmittelbar mit einer Hülse 51 verschraubt, die drehfest in die Stirnwand 14 eingesetzt ist. Eine Dichtungspackung 52 sorgt auch hier für die erforderliche Gasdichtheit. Die Antriebsspindel 33 ist über eine Riemenscheibe 53 mit dem Spindelmotor 37 mittels eines Keilriemens verbunden.

Figur 5 zeigt die Einrichtung zur Veränderung des seitlichen Versatzes zwischen den Drehachsen der beiden Teile des Stabes 42. Die Traversen 24 und die Führungssäulen 22, die den Rahmen 26 in Figur 1 bilden, sind in Übereinstimmung mit Figur 3 mittels des Hebels 49 um die Drehachse der Antriebsspindel schwenkbar. Für die Durchführung der Schwenkbewegung ist ein entsprechender Antrieb 54 vorgesehen. Hierbei führt die seit-

lieh ausladende Konsole 30 eine Schwenkbewegung aus, der die Stabachse "A" folgt. Da die Stabachse des unteren Teils des Stabes 42 seitlich nicht verschoben wird, ergibt sich aus der Differenz ein entsprechender seitlicher Versatz.

In Figur 6 ist folgendes zu sehen. Der Antriebsmotor 38 für die Stabrotation ist mit senkrechter Motorwelle an der Konsole 30 befestigt, die ihrerseits Teil des nicht dargestellten Transportschlittens 28 ist. Der Antriebsmotor 38 ist ein vielpoliger sogenannter Außenläufermotor, dessen Wicklungen mit 55 bezeichnet sind. Der Motor besitzt ein hermetisch abgedichtetes Gehäuse 56, welches auf einer feststehenden Hohlwelle 57 mittels eines Gaslagers 58 drehbar gelagert ist. Die Hohlwelle 57 ist fest mit einem Befestigungsflansch 59 verbunden, der seinerseits mit der Konsole 30 verschraubt ist. Zwischen der Hohlwelle 57 und dem Gehäuse 56 befindet sich noch ein Tachogenerator 60, der für die Rückmeldung der Drehzahl und die Drehzahlregelung des Motors 38 dient. Das Druckgas für die Gaslagerung wird über eine Leitung 61 zugeführt, strömt von hier aus durch den Ringspalt 62 zum Gaslager 58 und durch ein zentrales Röhrchen 63 durch die Hohlwelle zurück. Die Rückleitung für das Druckgas ist der Einfachheit halber fortgelassen. Die Hohlwelle 57 dient außerdem zur Aufnahme der nicht dargestellten Zuleitungen für die Wicklung 55 sowie für den Tachogenerator 60.

Das Gehäuse 56 ist an seiner unteren Stirnseite durch eine Platte 64 hermetisch verschlossen, an der die Stabhalterung 40 koaxial befestigt ist. Die Stabhalterung 40 besitzt mehrere Spannschrauben 65 für das Einspannen des Stabes Der Antriebsmotor 39 für die untere Stabhalterung ist völlig identisch ausgebildet, jedoch in umgekehrter Lage einge-

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baut. Figur 6 läßt die äußerst kompakte Ausführung des Antriebs bei geringstmöglicher Baulänge erkanen, die einen erschütterungsarmen, störungsfreien Betrieb in derjenigen Atmosphäre erlaubt, die im Innern des Gehäuses 10 herrscht.

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Leerseite

Claims

Vorrichtung zum Zonenziehen von Einkristallstäben, bestehend aus einem gasdichten Gehäuse mit im Innern des Gehäuses drehbar und vertikal beweglich übereinander angeordneten Stabhalterungen und einer dazwischen befindlichen ortsfesten Hochfrequenz-Heizeinrichtung, sowie mit je einem Transportschlitten mit Schlittenführung und Spindeltrieb für die unabhängige Vertikalbewegung der Stabhalterungen_s und mit je einem Antrieb für die Rotation der Stabhai tertingen, dadurch gekennzeichnet, daß Schlittenführungen (2o, 21) und Spindeltriebe (32, 33) innerhalb des Gehäuses (10) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Schiittenführungen (2O₁ 21) aus mindestens zwei einen Rahmen {26, 27) bildenden Führungssäulen (22, 23) bestehen und daß der Rahmen achsparallel im Gehäuse (10) aufgehängt ist.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsspindeln (32, 33) im wesentlichen in der gleichen Ebene wie die Führungssäulen (22,23) liegen und mit ihrem Antriebsende (34, 35) durch die Wand (13, 14) des Gehäuses (10) zu den Spindelmotoren (36, 37) hindurchgeführt sind und daß die Stabhalterungen (40, 41) an einer aus der Ebene der Führungssäulen und der Antriebsspindel herausragenden Konsole (30, 31) am Transport- Schlitten (28, 29) befestigt sind.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Rahmen (26) um die Drehachse der zugehörigen Antriebsspindel (32) schwenkbar aufgehängt ist.

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ORIGINAL INSPECTED

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5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spindel triebe als Kugelspindeltriebe und die Schiittenführungen als Kugel- oder Rollführungen ausgebildet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmotoren (38, 39) für die Stabrotation innerhalb des Gehäuses (10) angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmotoren (38, 39) für die Stabrotation als drehzahlregelbare Vielpolmotoren ausgebildet, koaxial zur Rotationsachse des Stabes (42) ausgerichtet und unmittelbar mit den Stabhalterungen (40, 41) verbunden sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmotoren (38, 39) hermetisch gegenüber dem Gehäuse (10) gekapselt und mit einem Gaslager (58) ausgestattet sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmotoren (38, 39) als Außenläufermotoren ausgebildet sind.

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