DE2640155C3 - Measuring device working according to the eddy current principle for continuous measurement of the thickness of a moving metal object. - Google Patents
Measuring device working according to the eddy current principle for continuous measurement of the thickness of a moving metal object.Info
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Description
Die Erfindung betrifft eine nach dem Wirbelstromprinzip arbeitende Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjekts, ζ. Β. einer Folie oder eines Blechs, mit einem die Temperatur der Meßobjekts messenden Element zur Erzeugung eines Kompensationssignals. The invention relates to a measuring device working according to the eddy current principle for continuous Measurement of the thickness of a moving metal object to be measured, ζ. Β. a slide or a Sheet metal, with an element measuring the temperature of the test object to generate a compensation signal.
Eine solche Meßvorrichtung, die insbesondere zur Messung der Dicke einer Folie oder eines Bleches dient, ist an sich bekannt (G B-PS 1! 73 828) und hat gegenüber anderen bekannten Vorrichtungen den grundsätzlichen Vorteil einer einfachen Handhabung und geringer Hersteilungskosten. Ein grundsätzlicher Nachteil einer nach dem Wirbelstromprinzip arbeitenden Meßvorrichtung besteht jedoch darin, daß das Meßergebnis durch Temperaturänderungen des Meßobjekts (Folie oder Blech) beeinflußt ist, da diese Temperaturänderungen den Widerstand des Materials des Meßobjekts verändern. Aus diesem Grunde wird bei der bekannten Meßvorrichtung das Meßobjekt (Folie oder Blech) über eine frei mitlaufende Rolle geführt, die sich auf die Temperatur des Meßobjekts erwärmt, wobei dann durch Messung der Temperatur der Rolle ein Kompensationssignal erzeugt werden kann. Die Verwendung einer speziellen Rolle für die Erzeugung des Kompensationssignals ist jedoch in den meisten Fällen nicht erwünscht, da die Meßvorrichtung durch die Rolle relativ aufwendig und teuer wird und in vielen Fällen die Verwendung einer solchen Rolle schon daran scheitert, daß beispielsweise in einem Walzwerk für die Unterbringung dieser Rolle nicht genügend Platz zur Verfügung steht. Außerdem besitzt die zur Messung der Temperatur bei der bekannten Meßvorrichtung vorgesehene Rolle eine relativ große Warmespeicherkapazität, so daß es nicht möglich isi, schnelle Temperaturänderungen bei der Kompensation zu erfassen.Such a measuring device, which is used in particular to measure the thickness of a foil or sheet metal, is known per se (G B-PS 1! 73 828) and has opposite other known devices the basic advantage of simple handling and less Manufacturing costs. A fundamental disadvantage of a measuring device working according to the eddy current principle is, however, that the measurement result by temperature changes of the measuring object (film or Sheet metal) is affected, as these temperature changes change the resistance of the material of the test object. For this reason, in the known measuring device, the object to be measured (foil or sheet metal) is over guided a freely rotating roller, which is heated to the temperature of the measurement object, with then a compensation signal can be generated by measuring the temperature of the roller. The usage however, in most cases there is no special role for the generation of the compensation signal desirable because the measuring device is relatively complex and expensive due to the role and in many cases the Use of such a role fails because, for example, in a rolling mill for the Not enough space is available to accommodate this role. It also has the for measuring the Temperature in the known measuring device provided role a relatively large heat storage capacity, so that it is not possible to detect rapid temperature changes in the compensation.
Weiterhin ist ein Tempei aturmeßgerät bekannt (DE-OS 14 98 490), welches ausschließlich zur berührungslosen Bestimmung der Temperatur von bahnförmigen Meßobjekten geeignet ist, die sich an dem Temperaturmeßgerät vorbeibewegen. Das vorzugsweise rohrförmige und in seinem inneren mit einem ίο Temperaturfühler versehene Temperaturmeßgerät ist an seinem dem Meßobjekt zugewandten Ende mit einer Fläche versehen, die mit der Oberfläche des Meßobjekts einen sich in Bewegungsrichtung dieses Meßobjektes verengenden, etwa keilförmigen Raum bildet In der diesen keilförmigen Raum bildenden Fläche sind öffnungen vorgesehen, die den keilförmigen Raum mit dem Inneren des Tercperaturmeßgerätes bzw. mit dem Raum des Temperaturmeßgerätes verbinden, in welchem der Temperaturfühler angeordnet ist Durch den zwischen Meßobjekt und Temperaturmeßgerät gebildeten keilförmigen Raum soll bei diesem bekannten Temperaturmeßgerät eine möglichst genaue Bestimmung der Temperatur eines sich schnell bewegenden Meßobjektes erreicht werden. Das bekannte Meßgerät eignet sich jedoch nicht zur Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes, und auch die angestrebte Verbesserung hinsichtlich der Genauigkeit der Temperaturbestimmung wird nur dann erreicht, wenn sich das Meßobjekt sehr schnell an dem Temperaturmeßgerät vorbeibewegt Bei sich langsam bewegenden Meßobjekten hat der keilförmige Raum des bekannten Temperaturmeßgerätes nicht die angestrebte Wirkung. Ein grundsätzlicher Nachteil des bekannten Temperaturmeßgerätes besteht noch darin, daß der Abstand zwischen dem Temperaturmeßgerät und der Oberfläche des Meßobjekts sehr gering und äußerst konstant sein muß. Das bekannte Temperaturmeßgerät eignet sich daher in erster Linie zur Messung der Temperatur rotierender, rotationssymmetrischer Körper. Zur Messung der Temperatur von Folien oder Blechen ist das bekannte Temperaturmeßgerät sicherlich nicht geeignet, da Foüen bzw. Bleche nach dem Verlassen der Walzen eines Walzwerkes in der Regel vibrieren und außerdem sich die Bewegungsgeschwindigkeit einer Folie bzw. eines Bleches stark ändern kann, d.h. bei der Herstellung eines Bleches oder einer Folie gibt es Phasen, in denen das Blech bzw. die Folie stillsteht oder sich nur langsam bewegt. Bekannt ist weiterhin ein Temperaturmeßgerät zum berührungslosen Messen der Temperatur eines Meßobjektes (DE-AS 2103 048). Dieses bekannte Temperaturmeßgerät besteht aus einem Gehäuse, in welchem ein Temperaturfühler untergebracht ist. Der Temperaturfühler befindet sich dabei in einem Kanal, der zu der dem Meßobjekt benachbart liegenden Seite des Temperaturmeßgeräts bzw. des Gehäuses hin durch eine erste Öffnung offen ist. Um diese erste Öffnung sind mehrer zweite Öffnungen angeordnet, durch die ein Gas austritt, welches durch Entlangströmen am Meßobjekt erwärmt wird und in die erste Öffnung eintritt. Der Temperaturfühler mißt dann die Temperatur des an ihm vorbeiströmenden Gases, so daß hieraus die Temperatur des Meßobjektes ermittelt werden kann. Auch dieses bekannte Gerät ist nichi geeignet, um die Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes zu bestimmen. Grundsätzlich hat das bekannte Temperaturmeßgerät den Nachteil, daß auch die TemperaturFurthermore, a Tempei aturmeßgerät is known (DE-OS 14 98 490), which is used exclusively for the non-contact determination of the temperature of web-shaped Objects to be measured is suitable, which move past the temperature measuring device. Preferably that tubular temperature measuring device with a temperature sensor inside it provided at its end facing the measurement object with a surface that is aligned with the surface of the measurement object in the direction of movement of this measurement object narrowing, approximately wedge-shaped space This wedge-shaped space forming surface openings are provided, which with the wedge-shaped space connect the interior of the temperature measuring device or with the room of the temperature measuring device in which the temperature sensor is arranged between the object to be measured and the temperature measuring device The wedge-shaped space formed should be as accurate as possible in this known temperature measuring device Determination of the temperature of a fast moving object to be measured can be achieved. The known However, the measuring device is not suitable for measuring the thickness of a moving metal Measurement object, and also the desired improvement in terms of the accuracy of the temperature determination is only achieved if the measurement object moves past the temperature measuring device very quickly In the case of slowly moving objects to be measured, the wedge-shaped space of the known temperature measuring device has not the desired effect. A fundamental disadvantage of the known temperature measuring device is still in the fact that the distance between the temperature measuring device and the surface of the measuring object must be very small and extremely constant. The known temperature measuring device is therefore suitable in primarily for measuring the temperature of rotating, rotationally symmetrical bodies. To measure the The known temperature measuring device is certainly not suitable for the temperature of foils or sheets, since Foüen or sheets usually vibrate after leaving the rollers of a rolling mill and also the speed of movement of a foil or sheet metal can change significantly, i.e. during the In the manufacture of a sheet metal or a foil, there are phases in which the sheet metal or the foil stands still or moves slowly. Also known is a temperature measuring device for non-contact measurement of the Temperature of an object to be measured (DE-AS 2103 048). This known temperature measuring device consists of a housing in which a temperature sensor is housed. The temperature sensor is located in a channel on the side of the temperature measuring device adjacent to the measurement object or the housing is open through a first opening. There are several second openings around this first opening Arranged openings through which a gas exits, which heats by flowing along the measurement object and enters the first opening. The temperature sensor then measures the temperature of the on him gas flowing past, so that the temperature of the measurement object can be determined from this. This too known device is not suitable for measuring the thickness of a moving metal object to be measured to determine. Basically, the known temperature measuring device has the disadvantage that the temperature
des aus den zweiten Öffnungen austretenden Gases ermittelt werden muß, um zu genauen Meßergebnissen zu gelangen- Darüber hinaus ist dieses bekannte Temperaturmeßgerät im Aufbau relativ kompliziert und daher teuer. Durch seine konstruktionsbedingten relativ großen Abmessungen ist es weiterhin nicht möglich, dieses bekannte Temperaturmeßgerät in unmittelbarer Nähe eines Meßkopfes für die Dickenmessung anzuordnen. Gerade bei dünnen Folien bzw. Blechen tritt eine starke Abkühlung auf, so daß zur Erzeugung des Kompensationssignals die Temperatur bei einer nach dem Wirbelstromprinzip arbeitenden Dickenmeßvorrichtung in unmittelbarer Nähe des Dicken-Meßkopfes ermittelt werden muß. Dies wäre bei Verwendung des bekannten Temperaturmeßgerätes nicht möglich.of the gas emerging from the second openings must be determined in order to obtain accurate measurement results To arrive- In addition, this known temperature measuring device is relatively complicated in structure and therefore expensive. Due to its construction-related relatively large dimensions, it is still not possible to to arrange this known temperature measuring device in the immediate vicinity of a measuring head for thickness measurement. Particularly in the case of thin foils or sheets, strong cooling occurs, so that the generation of the Compensation signal the temperature in a thickness measuring device working according to the eddy current principle must be determined in the immediate vicinity of the thickness measuring head. This would be when using the known temperature measuring device is not possible.
Es wurde bereits auch vorgeschlagen (CH-PS 2 08 570), bei einer Meßvorrichtung zur Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes die Temperatur dieses MeC Objektes durch berührungslos arbeitende elektrische Mittel zu messen, um dann das so erhaltene elektrische Signal der eigentlichen Meßeinrichtung in der Weise zuzuführen, daß der Einfluß der Temperaturänderungen auf das Meßergebnis kompensiert wird.It has already been proposed (CH-PS 2 08 570), in a measuring device for measuring the Thickness of a moving measuring object made of metal, the temperature of this MeC object through to measure non-contact electrical means in order to then use the electrical signal obtained in this way actual measuring device in such a way that the influence of temperature changes on the Measurement result is compensated.
Die bedeutendste Anwendung dieser Meßvorrichtung ist die Messung der Dicke von Aluminiumfolien während der Herstellung bzw. während des Walzvorganges. Da jedoch Aluminium eine sehr geringe Emissionsfähigkeit aufweist und diese Emissionsfähigkeit außerdem in weiten Grenzen mit der Oberflächenbeschaffenheit sowie mit der Dicke und Qualität des ölfilmes sich ändert, der stets während des Walzvorganges auf der Oberfläche vorhanden ist, ist die Anwendung derartiger Strahlungstemperatur-Meßeinrichtungen äußerst problematisch.The most important application of this measuring device is the measurement of the thickness of aluminum foils during manufacture or during the rolling process. However, since aluminum has a very low Has emissivity and this emissivity also has broad limits with the surface properties as well as changes with the thickness and quality of the oil film, which always changes during the rolling process is present on the surface, the use of such radiation temperature measuring devices is extreme problematic.
Für die kontaktlose Temperaturmessung bei einer Meßvorrichtung zur Messung der Dicke eines Meßobjektes muß daher auf einen Temperaturfühler zurückgegriffen werden, z. B. auf einen Thermistor oder ein Platin-Widerstand-Thermometer, welcher die Temperatur des Meßobjektes (Folie oder Blech) in der Nähe der Oberfläche mißt. Da die Strahlung nur einen geringen Beitrag für diese Temperaturmessung liefert, mißt der Temperaturfühler im wesentlichen die Temperatur der Luft, und zwar an einem Punkt, wo dieser Fühler montiert ist. Um nun den Temperaturfühler vor Beschädigungen durch das sich sehr schnell bewegende B!ech bzw. durch die sich sehr schnell bewegende Folie zu bewahren, welches bzw. welche z, B. zufällig oder aber durch sorglose Behandlung des Bedienungspersonals reißen kann, ist es grundsätzlich nicht möglich, den Temperaturfühler bzw. das die Temperatur des Meßobjektes messende Element in unmittelbarer Nähe des Meßobjektes anzuo-dnen. Der Temperaturfühler muß vielmehr innerhalb einer Schutzkammer angeordnet werden, die normalerweise innerhalb des Dicken-Meßkopfes vorgesehen ist oder aber gesondert an diesem Meßkopf angebracht ist. Die warme Luft steigt zwar langsam von der Oberfläche des Meßobjektes durch Konvektion auf, bis diese Luft jedoch den Temperaturfühler erreicht, hat sie sich längst mit kälterer Umgebungsluft vermischt und wird darüber hinaus außerdem noch durch die Wände des Schutzgehäuses abgekühlt. Der Meßkopf selbst wärmt sich langsam auf und sein Kühleffekt auf das die Temperatur messende Element ist aus diesem Grunde abnehmend. Das langsame Aufwärmen des Meßkopfes setzt sich auch dann noch fort, wenn das Meßobjekt bereits eine endgültige, nahezu konstante Walztemperatur erreicht hat, wodurch eine Verschiebung der Temperaturkompensation eintritt.For contactless temperature measurement in a measuring device for measuring the thickness of a measurement object must therefore be resorted to a temperature sensor, z. B. on a thermistor or a Platinum resistance thermometer, which shows the temperature of the measuring object (foil or sheet metal) in the vicinity of the surface. Since the radiation only makes a small contribution to this temperature measurement, the temperature sensor measures essentially the temperature of the air, at a point where this sensor is installed. In order to protect the temperature sensor from being damaged very quickly to preserve moving B! ech or by the very fast moving film, which or which For example, it can tear accidentally or as a result of careless handling by the operating staff, it is fundamentally the case not possible to move the temperature sensor or the element measuring the temperature of the measuring object in in the immediate vicinity of the measurement object. Rather, the temperature sensor must be inside a protective chamber are arranged, which is normally provided within the thickness measuring head or else is attached separately to this measuring head. The warm air rises slowly from the surface of the Object to be measured by convection, until this air reaches the temperature sensor, however, it has long been mixed with colder ambient air and is also still through the walls of the protective housing cooled down. The measuring head itself warms up slowly and its cooling effect on the temperature for this reason the measuring element is decreasing. The slow warm-up of the measuring head continues continues even when the test object has already reached a final, almost constant rolling temperature has, whereby a shift in the temperature compensation occurs.
Aus diesem Grunde ist die Temperaturkompensation durch die beschriebenen Mittel ungenau und einer stetigen Änderung unterworfen.For this reason, the temperature compensation by the means described is imprecise and one subject to constant change.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes zu schaffen, bei der mit einfachen Mitteln eine genaue Temperaturkompensation möglich ist und bei der die Temperaturkompensation keiner Verschiebung bzw. Änderung unterworfen ist.The invention is based on the object of a measuring device for the continuous measurement of the To create the thickness of a moving object to be measured, made of metal, with simple means an exact temperature compensation is possible and in which the temperature compensation does not shift or is subject to change.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Meßvorrichtung der eingangs geschilderten Art erfindungsgemäß so ausgebildet, daß das Element in einer schützenden Kammer in der Nähe der Oberfläche des Meßobjekts angeordnet ist, daß die Kammer eine auf das Meßobjekt gerichtete öffnung aufweist, daß Mittel vorgesehen sind, um Luft von der Oberfläche des Meßobjekts durch die Kammer anzusaugen, und daß das von dem Element ggf. unter Verwendung eines Meßwandlers erzeugte, von der Temperatur des Meßobjektes abhängige elektrische Signal dem elektrischen Schaltkreis der Meßvorrichtung als Kompensationssignal zugeführt wird.In order to achieve this object, a measuring device of the type described at the outset is according to the invention as follows formed that the element in a protective chamber near the surface of the test object it is arranged that the chamber has an opening directed towards the measurement object, that means are provided to draw air from the surface of the measurement object through the chamber and that from the element possibly generated using a transducer and dependent on the temperature of the test object electrical signal fed to the electrical circuit of the measuring device as a compensation signal will.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird durch das in der Kammer angeordnete, die Temperatur des Meßobjektes messende Element die Temperatur der Luft bestimmt, die durch diese Kammer angesaugt wird. Die Lufttemperatur folgt in engen Grenzen der tatsächlichen Temperatur des Meßobjektes, so daß hierdurch ein Kompensationssignal erhalten wird, mit welchem Einflüsse durch Temperaturänderungen des Meßobjektes auf das Meßergebnis (Dickenmessung) sehr exakt kompensiert werden können.In the device according to the invention is arranged in the chamber, the temperature of the The measuring object measuring element determines the temperature of the air that is sucked in through this chamber. The air temperature follows the actual temperature of the test object within narrow limits, so that as a result, a compensation signal is obtained, with which influences by temperature changes of the Measurement object can be compensated very precisely for the measurement result (thickness measurement).
Der Kühleffekt an den Wänden des Gehäuses bzw. der Kammer wird vernachlässigbar klein, da die Luft in der Nähe des temperaturmessenden Elementes kontinuierlich und schnell durch schnell fließende heiße Luft ersetzt wird. Die Aerodynamik des Luftstromes ist so gewählt, daß der Luftstrom parallel zu der Oberfläche des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches auf die Öffnung der Kammer hin gerichtet ist, so daß die Luftströmung die Temperatur des Meßobjektes annimmt und nur ein geringer Teil an kühlerer Umgebungsluft in die Kammer gelangt.The cooling effect on the walls of the housing or the chamber is negligibly small, since the air in the proximity of the temperature measuring element continuously and quickly through fast flowing hot air is replaced. The aerodynamics of the air flow is chosen so that the air flow is parallel to the surface of the test object or the film or sheet is directed towards the opening of the chamber, so that the Air flow assumes the temperature of the measuring object and only a small part of cooler Ambient air enters the chamber.
Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, den Anteil kühlerer Umgebungsluft, die in die Kammer eintritt zu reduzieren. Entsprechend der Erfindung kann ein Element, welches eine im wesentlichen ebene Oberfläche aufweist, in der Nähe des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches montiert werden, wobei die ebene Oberfläche parallel zur Oberfläche des Meßobjektes verläuft. Dieses Element bildet vorzugsweise einen Teil des Meßkopfes, wobei die Kammer mit dem Temperatur messenden Element in dem genannten Element vorgesehen ist und wobei der Abstand der öffnung der Kammer von der Kante der erwähnten Ebene größer ist als die Öffnung der Kammer. Das erwähnte Element mit der ebenen Oberfläche bildet vorzugsweise eine Abdeckung des zur Messung der Dicke dienenden Meßkopfes. Wenn nun Luft mit genügender Geschwindigkeit in die Kammer eingesaugt wird, bildet sich im Spalt zwischen dem Meßobjekt und der Ebene ein Luftstrom mit solcher Aerodynamik aus, daß lediglich eine dünne Luftschicht in der Nähe des Meßobjektes, die sehr schnell die TemDeratur diesesAnother feature of the invention is the proportion of cooler ambient air that enters the chamber reduce entry. According to the invention, an element which has a substantially planar Has surface, in the vicinity of the measurement object or the foil or the sheet are mounted, the flat surface parallel to the surface of the measurement object runs. This element preferably forms part of the measuring head, the chamber with the Temperature measuring element is provided in said element and wherein the distance of the opening of the chamber from the edge of the mentioned plane is larger than the opening of the chamber. That Mentioned element with the flat surface preferably forms a cover for measuring the Thickness serving measuring head. When air is sucked into the chamber at sufficient speed an air flow with such aerodynamics is formed in the gap between the measuring object and the plane, that only a thin layer of air in the vicinity of the measurement object, which very quickly increases the temperature of this
Meßobjektes annimmt, in die Kammer eintritt, wobei der Zutritt von kühler Umgebungsluft vermieden wird.Assumes the object to be measured, enters the chamber, the entry of cool ambient air is avoided.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß das die Temperatur messende Element (Temperaturfühler) oberhalb oder aber auch unterhalb des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches montiert werden kann, während bei bekannten Dicken-Meßvorrichtungen mit berührungslos arbeilenden temperaturmessenden Elementen nur eine Anordnung dieser Elemente oberhalb des Meßobjektes möglich war. Es kann beispielsweise auch der Fall sein, daß das von dem temperaturmessenden Element erhaltene Signal nicht genau der Gesetzmäßigkeit folgt, die für eine exakte Temperaturkompensation notwendig ist. Um hier eine gewisse Korrektur zu schaffen, kann ein Funktionsgenerator zusätzlich vorgesehen werden.Another advantage of the invention is that the element measuring the temperature (temperature sensor) can be mounted above or below the measurement object or the foil or sheet, while in known thickness measuring devices with non-contact working temperature measuring elements only an arrangement of these elements above the test object was possible. For example also be the case that the signal obtained from the temperature measuring element is not exactly that This follows a regularity that is necessary for an exact temperature compensation. To get some here To create a correction, a function generator can also be provided.
Die Erfindung wird im folgenden im Zusammenhang mit den Figuren an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. Es zeigtThe invention is explained in more detail below in connection with the figures using an exemplary embodiment explained. It shows
F i g. 1 eine Ausführungsform des Meßkopfes;F i g. 1 shows an embodiment of the measuring head;
Fig.2 ein Wirbelstrom-Dicken-Meßgerät mit automatischer Temperaturkompensation.Fig.2 an eddy current thickness measuring device with automatic Temperature compensation.
In F i g. 1 sind 1 eine zu messende Folie, 2 und 3 zwei Teile eines Meßkopfes, 4 und 5 Abdeckungen aus isolierendem Material, 6 und 7 Primär- bzw. Sekundärspule, 8 ein Element zum Messen einer Temperatur, z. B. ein Widerstandsthermometer, ein Thermistor oder ein Thermoelement, 9 eine Ausnehmung in der Abdeckung 4. 10 Luftleitungen, 11 eine Luftpumpe und 12 elektrische Verbindungsleitungen an das Element zum Messen der Temperatur.In Fig. 1, 1 is a film to be measured, 2 and 3 are two parts of a measuring head, 4 and 5 are covers insulating material, 6 and 7 primary or secondary coil, 8 an element for measuring a temperature, e.g. B. a resistance thermometer, a thermistor or a thermocouple, 9 a recess in the cover 4. 10 air lines, 11 an air pump and 12 electrical connection lines to the element for Measure the temperature.
In F i g. 2 sind 13 ein Oszillator, 1 die zu messende Folie, 6 bzw. 7 Primär- bzw. Sekundärspulen, 14 ein Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsgrad; 15 ein Gleichrichter, 16 ein Vervielfacher, 17 ein Wandler, der einen Funktionsgenerator enthalten kann, 8 ein Element zum Messen der Temperatur, 18 eine Vergleichsschaltung, 19 eine Bezugsspannung und 20 ein Anzeigegerät. Während des Betriebes pumpt die Pumpe 11 Luft vonIn Fig. 2 are 13 an oscillator, 1 the film to be measured, 6 or 7 primary or secondary coils, 14 a Amplifier with adjustable gain; 15 a rectifier, 16 a multiplier, 17 a converter, the may contain a function generator, 8 an element for measuring the temperature, 18 a comparison circuit, 19 a reference voltage; and 20 a display device. During operation, the pump 11 pumps air from
ι der Oberfläche der Folie 1 in die Kammer bzw. Ausnehmung 9. Die Luft fließt dann über die Leitungen 10 und die Pumpe 11 in die Atmosphäre. Das Element 8 zum Messen der Temperatur erfaßt sofort die Temperatur der schnell fließenden Luftströmung, wobeiι the surface of the film 1 in the chamber or recess 9. The air then flows over the lines 10 and pump 11 into the atmosphere. The element 8 for measuring the temperature immediately detects the temperature of the fast flowing air flow, wherein
in diese Temperatur in sehr engen Grenzen der Folientemperatur folgt bzw. entspricht. Verbindungsleitungen 12 verbinden das Element 8 mit einem Umformer 17. Das Signal am Ausgang des Umformers 17 ist eine Funktion der Folientemperatur. Die Spannung, die inin this temperature within very narrow limits of the film temperature follows or corresponds. Connecting lines 12 connect the element 8 to a converter 17. The signal at the output of the converter 17 is a function of the film temperature. The tension that is in
\ί der Spule 7 induziert wird, ist eine Funktion der Foliendicke, hängt jedoch gleichzeitig auch von der Folientemperatur ab. Diese Spannung wird im Verstärker 14 verstärkt, anschließend durch den Gleichrichter \ ί of the coil 7 is induced is a function of the film thickness, but at the same time also depends on the film temperature. This voltage is amplified in amplifier 14, then by the rectifier
15 gleichgerichtet und ebenso wie das Signal des 2« Umformers 17 dem Vervielfacher bzw. Multiplikator 16 zugeführt, wodurch der Einfluß von Variationen bzw. Änderungen der Folientemperatur auf das Meßergebnis kompensiert wird. Das Ausgangssignal des Multiplikators 16 wird einer Vergleichsschaltung 18 zugeführt, die gleichzeitig auch mit einer Bezugsspannung 19 beaufschlagt ist. Wenn das Ausgangssignal des Multiplikators15 rectified and, like the signal from the converter 17, to the multiplier 16 supplied, whereby the influence of variations or changes in the film temperature on the measurement result is compensated. The output signal of the multiplier 16 is fed to a comparison circuit 18 which a reference voltage 19 is also applied at the same time. When the output of the multiplier
16 der Vergleichsspannung entspricht, zeigt das Null-Instrument 20 den Wert Null an. Die Verstärkung des in seinem Verstärkungsgrad variablen Verstärkers16 corresponds to the comparison voltage, the zero instrument 20 displays the value zero. The reinforcement of the variable gain amplifier
jo 14 ist so eingestellt, daß das Nullinstrument 20 immer dann den Wert Null anzeigt, wenn die Folie die erforderliche Nenn-Dicke aufweist.jo 14 is set so that the zero instrument 20 always then shows the value zero if the film has the required nominal thickness.
Die Erfindung kann bei jeder Einrichtung zur Dickenmessung angewandt werden, die nach demThe invention can be applied to any device for thickness measurement, which according to the
)5 Wirbelstrom-Prinzip arbeilet.) 5 Eddy current principle works.
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings
Claims (3)
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| JPS5112270B1 (en) * | 1970-01-22 | 1976-04-17 |
-
1976
- 1976-09-07 DE DE19762640155 patent/DE2640155C3/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2640155A1 (en) | 1977-03-24 |
| DE2640155B2 (en) | 1981-05-21 |
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Legal Events
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| OD | Request for examination | ||
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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