DE2556298C2 - Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber - Google Patents
Piezoelektrischer BeschleunigungsgeberInfo
- Publication number
- DE2556298C2 DE2556298C2 DE2556298A DE2556298A DE2556298C2 DE 2556298 C2 DE2556298 C2 DE 2556298C2 DE 2556298 A DE2556298 A DE 2556298A DE 2556298 A DE2556298 A DE 2556298A DE 2556298 C2 DE2556298 C2 DE 2556298C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mass
- piezo element
- piezoelectric
- spherical
- accelerometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 25
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0907—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the compression mode type
Description
daß bei der Berechnung der Aufnahmecharakteristik mit guter Näherung vom quasistatischen Fall ausgegangen
werden kann. Dabei kann jeder auf die träge Masse wirkenden Kraft ein Vektor zugeordnet werden, der
sich, unabhängig von dessen Größe und Richtung, stets in die vorher genannten Anteile mit den, durch die
Berührungspunkte zwischen der tragen Masse und dem Piezoelement bzw. dem Stützelement bestimmten
Richtungen zerlegt Durch einfache Vektoraddition kann der auf das Piezoelement gerichtete Anteil
berechnet werden. Das Verhältnis einer auf den Schwerpunkt der tragen Masse einwirkenden Kraft zu
dem auf das Piezoelement umgelenkten Anteil liefert dann die Aufnahmecharakteristik des Beschleunigungsgebers in Abhängigkeit von der jeweiligen Richtung der
einwirkenden Kraft
Bei konstant gehaltener, auf die träge Masse einwirkender Kraft bestimmt die Lage der Berührungspunkte
der tragen Masse mit dem Stützelement die Größe des vom Stützelement aufgenommenen Kräfteanteils
und damit auch die Größe des verbleibenden, auf das Piezoelement wirkenden Anteils. Durch Veränderungen
dieser Berührungspunkte, d. h. durch Veränderungen des Stützelementes, kann somit auch die
Aufnahmecharakteristik des Beschleunigungsgebers in definierter Weise verändert werden.
Der erfindungsgemäße Beschleunigungsgeber soll anhand einiger, schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. Es zeigt
Fig. 1 einen Schnitt durch erfindungsgemäße Beschleunigungsgebermit
einer sphärischen trägen Masse und mit verschiedenen Stützelementen, deren keisförmige
öffnungen unterschiedliche Durchmesser und einen
a) zylindrischen Rand
b) kegligen Rand
c) abgerundeten Rand
aufweisen;
F i g. 2 a; bis c) die Aufnahmecharakteristik der in den
Fig. la bis c dargestellten Beschleunigungsgeber;
F i g. 3 einen Schnitt durch einen Beschleunigungsgeber mit zwei sphärischen Massen;
Fig.4 die Aufnahmecharakteristik des in Fig.3
dargestellten Beschleunigungsgebers;
Fig.5 eine Aufsicht auf einen Beschleunigungsgeber
mit einer teils sphärischen, teils kegligen trägen Masse und mit einem Stützelement, welches drei Auflagepunkte
aufweist;
F i g. 6 einen Schnitt durch den in F i g. 5 dargstellten Beschleunigungsgeber;
Fig. 7 und 8 ein detailliertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsgebers.
Die in den Fig. la bis Ic dargeteilten Beschleunigungsgeber
bestehen aus einer elektrisch leitenden sphärischen Masse 1 mit großer Härte, z. B. einer
Stahlkugel, aus einem Piezoelement 2 und einem elektrisch leitenden, die sphärische Masse 1 fixierenden
Stützelement 3 mit großer Härte. Das druckempfindliche ebenflächige Piezoelement 2 liegt auf einer ebenen
elektrisch leitenden Auflage 4. An dieser Auflage 4 ist über einen isolierkörper 5 das ebenfalls elektrisch
leitende Stützelement 3 befestigt. Das Piezoelement 2 besieht aus einem ebenen piezoelektrischen Keramikplättchen
oder Kristall 2.1 und einer elektrisch leitendenharten Lag?rscheibe 2.2, auf deren ebene
Oberseite die sphärische Masse drückt und der ebene Unterseite auf dem piezoelektrischen Plättchen oder
Kristall 2.1 liegt. Der über den piezoelektrischen Kristall
oder der piezoelektrische Keramikplättchen Zl hinausragende Rand der Lagerscheibe 2.2 ist nur so weit
hochgezogen, daß die sphärische Masse bei zentraler Lage nicht auf diesen drückt, sondern nur so weit, daß
bei kleinen Horizontalauslenkungen der sphärischen Masse, bedingt durch die Elastizität der einzelnen
Bauteile, höchstens ein paralleles Mitverschieben der Lagerscheibe und des piezoelektrischen Kristalls oder
Keramikplättchens erfolgt Das Stützelement 3, welches mit dem Rand 3.1,3.2,33 der kreisförmigen öffnung auf
der sphärischen Masse aufliegt, drückt diese auf das Piezoelement 2. Die Auflage 4, der Isolierkörper 5 und
das Stützelement 3 sind so ausgebildet, daß auf das Piezoelement 2 ein definierter Vordruck zur Voreinstellung
ausgeübt wird.
Eine auf den Massenschwerpunict S der sphärischen
Masse einwirkende Kraft K wird entsprechend dem Berührungspunkt 7 der sphärischen Masse mit dem
Piezoelement bzw. der Berührungspunkte 3.1, 3.2, 33 zerlegt Die Kraftkomponente Kp i ;t dabei für die
piezoelektrische Ladung nach Größe und Vorzeichen ausschlaggebend, welche z. B. mit einem, mit der
Auflage 4 und dem Stützelement 3 verbundenen ladun^smeßgerät gemessen werden kann, für die im
folgenden angegebenen Aufnahmecharakteristiken gilt ohne Einschränkung der Allgemeinheit die Annahme,
daß nur Ladungen des geeigneten Vorzeichens berücksichtigt werden, denn das Piezoelement liefert ja
aufgrund seiner mechanischen Vorspannung elektrische Ladung eines gewissen Vorzeichens nicht nur bei
Druckzunahme, sondern auch die entgegengesetzte Ladung bei Druckabnahme.
Das Verhältnis der Durchmesser der Öffungen 3.1, 3.2, 33 und der sphärischen Masse 1 bestimmen dabei
wesentlich die Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers: Je Größer der aus den Fig. la bis Ic ersichtliche
Winkel inst, desto geringer wird die Empfindlichkeit des
Beschleunigungsgebers auf seitliche Beschleunigung hin sein.
Die Aufnahmecharakteristik, d. h. das Verhältnis der auf das Piezoelement wirkenden Kraft Kp zur einwirkenden
Kraft K der jeweiligen, in den Fig. la bis c gezeigten Beschleunigungsgeber ist in den F i g. 2a bis
2c dargestellt. Bei diesen Beschleunigungsgebern ist die Aufnahmechrakteristik rotationssymmetrisch zu der
durch den Massenschwerpunkt 5 und dem Berührungspunkt 7 der sphärischen Masse und des Piezoelements
verlaufenden Achse. Wird der Winkel zwischen dieser Achse und der au' den Massenschwerpunkt einwirkenden
Kraft K mit ^bezeichnet, so kann die theoretische Aufnahmecharakteristik für die in den Fig. la bis Ic
dargestellten Ausführungsbeispiele folgendermaßen angegeben
werden:
Una
für
Da die einzelnen Teile des Beschleunigungsgebers nicht ideal starr sind, treten im dynamischen Fall kleine
Verschiebungen der Berührungspunkte zwischen der sphärischen Masse 1 und dem Stützelement 3 auf. Durch
entsprechende Formgebung der Ränder der öffnungen 3.1, 3.2, 33 kanr somit die Aufnahmecharakteristik
zusätzlich beeinflußt werden, so kann z. B. durch einen trichterförmigen Rand 3.2 bzw. 33 eine Änderung der
Aufnahmecharakteristik bei zunehmender Krafteinwir-
kung unterdrückt oder durch einen zylindrischen Rand 3.1 bewußt erzeugt werden.
Eine fast exakte Kugelcharakteristik kann mit der in
Fig.3 dargetellten Ausführung eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsgebers erreicht werden. Die
Aufnahmecharakteristik dazu ist in F i g. 4 dargstellt. Bei dieser Ausführung ist ein Piezoelement 2 zwischen zwei
sphärischen Massen l.t und 1.2 eingeklemmt, welche jeweils durch zwei gegenüberliegende Stützelemente 3
gehalten werden. Das Piezoelement besteht bei diesem Ausfuhrungsbeispiel aus einem planen piezoelektrischen Kristall 2.1 und aus zwei, zwischen dem Kristall
und den Massen 1.1 und 1.2 angeordneten Lagerscheiben 2.2.
Soll die Aufnahmecharakteristik eines Beschleunigungsgebers nicht wie in den in Fig. I und 3
dargestellten Ausführungsbeispielen rotationssymmetrisch sein, so kann die träge Masse durch entsprechende Formgebung des Stützelementes, z. B. nur in
einzelnen, fest vorgegebenen Punkten abgestützt werden. Ein Stützelement 6 mit drei Auflagepunkten
6.1,6.2,6.3 ist in den Fi g. 5 und 6 dargestellt. Die träge
Masse ist bei diesem Ausführungsbeispiel im Bereich des Piezoelementes sphärisch und im Bereich des
Stützelementes kreiskegelförmig ausgebildet. Die Aufnahmecharakteristik ließe sich bei diesem Ausführungsbeispiel, ähnlich wie in den vorangegangenen, durch
Zerlegung der einwirkenden Kraft in Teilkräfte berechnen, deren Richtung durch die Lage der
Auflagepunkte bestimmt wird.
F i g. 7 und F i g. 8 zeigen ein Ausführungsbeispiel bei
dem die dem Piezoelement 2 erteilte definierte mechanische Vorspannung dadurch ausgeübt wird, daß
ίο das hier wiederum mit zylindrischem Rand ausgebildete
Stützelement 3 mittels einer Tellerfeder 9 mit einer gegenüber den auf die sphärische Masse 1 erwartungsgemäß auftretenden Trägheitskräften großen Kraft an
den Berührungspunkten 3.1 gegen die sphärische Masse
gedrückt wird. Der Isolierkörper 5 übernimmt hier also
keine Federaufgaben und ist in zwei Teilen 5.1 und 5.2 ausgebildet. Der Teil 5.1 wird durch einen Schraubdekkel 11 in das hier als Auflage 4 ausgebildete Gehäuse
gepreßt, während der Teil 5.2 zur Durchführung des
elektrischen Anschlußstiftes 10 dient, dessen Spannung
gegen das Gehäuse 4 abgenommen werden kann, in welchem Befestigungslöcher 12.1, 12.2 und 12J
eingebohrt sind. Der Deckel 11 wird mittels zweier Sacklöcher 13.1 und 13.2 aufgeschraubt.
Claims (9)
1. Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber mit einem Pjezoelement und mindestens einer auf dieses
einwirkenden tragen Masse, die mit einer ebenen Räche des Piezoelementes in Berührung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Umlenkung von auf die träge Masse (1) wirkenden Trägheitskräften in eine zur ebenen Fläche des
Piezoelementes (2) senkrechten Richtung mindestens ein, die Masse fixierendes Stützelement (3, 6)
vorgesehen ist, welches durch die Lage des bzw. der Berührungspunkte (3.1,3.2,33; 6.1, 6.2, 63) mit der
tragen Masse (1) die Richtungsabhängigkeit der Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers bestimmt
2. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die träge Masse mindestens teilweise sphärisch und/oder kreiskegelförmig
ausgebilder ist
3. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch zwei sphärische und/oder
kreiskegelförmige Massen (1.1,1.2), zwischen denen das Piezoelement (2) angeordnet ist
4. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das
Piezoelement (2) einen piezoelektrischen Kristall oder ein piezoelektrisches Keramikplättchen (2.1)
mit einer der trägen Masse (1) zugewandten ebenen Fläche und eine zwischen dem Kristall oder
Keramikpläuchen (2.2) und der Masse (I) angeordnete Lagerscheibe (2.3) mit c'iem über den Kristall
oder das Keramikpläuchen hinausragenden, überhöhten Rand aufweist
5. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das
Stützelement (3, 6) eine kreisförmige Öffnung aufweist, deren Durchmesser kleiner als der der
tragen Masse (1) ist und daß das Stützelement mit dem Rand (3.1, 3.2, 3J) dieser öffnung auf der
tragen Masse aufliegt.
6. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die kreisförmige öffnung
des Stützelementes (3) einen zylindrischen (3.1), kegligen (3.2) oder abgerundeten Rand (33)
aufweist.
7. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die kreisförmige
Öffnung des Stützelementes (3) konzentrisch zu der durch den Schwerpunkt (S^der trägen Masse (1) und
senkrecht zur ebenen Fläche des Piezoelementes (2) verlaufenden Achse angeordnet ist.
8. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
kreisförmige Öffnung des Stützelementes exzentrisch zu der durch den Schwerpunkt (S) der trägen
Masse (I) und senkrecht zur ebenen Fläche des Piezoelementes (2) verlaufenden Achse angeordnet
ist.
9. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche I bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
Stützelement (6) mindestens drei definierte Auflagepunkte (6.1, 6.2,63) aufweist.
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Beschleunigungsgeber mit einem Piezoelement und
mindestens einer auf dieses einwirkenden trägen Masse, die mit einer ebenen Fläche des Piezoelementes in
Berührung steht
Aus der DE-AS 19 55 040 ist ein piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler bekannt, dessen piezoelektrisches Element mit einer Seite über ein Auflager
mit sphärischer Stützfläche abgestützt ist und iiuf dessen
to vordere Seite eine seismische Masse über eine Zwischenscheibe einwirkt Die Masse wird in einem
zylindrischen Gehäuse geführt und überträgt daher nur eine Beschleunigungsrichtung in eindeutiger und reproduzierbarer Weise.
Ein aus der DE-AS 21 32 830 bekannter piezoelektrischer Beschleunigungsgeber soll Beschleunigungen
nicht nur in einer bestimmten Richtung, sondern in einem weiten Winkel erfassen. Dazu besitzt das
Piezoelement eine sphärische Innenausnehmung, in
weiche die ebenfalls sphärische Gestalt gleichen Radius
aufweisende träge Masse eingreift Aufgrund der pshärischen Formgebung von Piezoelement und träger
Masse soll das von dem Piezoelement abgeleitete elektrische Signal innerhalb eines vorbestimmten
Winkelbereiches weitgehend unabhängig von der Richtung der einwirkenden Beschleunigungskraft sein.
Inwieweit die Empfindlichkeit eines derartigen Beschleunigungsgebers winkelunabhängig und vorausbestimmbar ist, hängt wesentlich von den mechanischen
Fertigungsgenauigkeiten ab, speziell davon, wie genau die sphärischen Flächen des Piezoelementes und der
trägen Masse übereinstimmen.
Piezoelemente mit sphärischen Flächen sind jedochselbst bei geringen Anforderungen an die Genauigkeit
schwer herzustellen. Da außerdem eine hundertprozentige Obereinstimmung der sphärischen Flächen des
Piezoelementes und der trägen Masse nie zu erreichen ist, wird die sphärische Masse stets nur einen oder
mehrere undefinierbare Berührungspunkte mit dem
Piezoelement haben, so daß die ge.iaue Winkelabhängigkeit des Beschleunigungsgebers von Gerät zu Gerät
verschiedenist und nur durch Messungen bestimmt werden kann.
Hier setzt nun die Erfindung ein, deren Aufgabe es ist,
einen piezoelektrischen Beschleunigungsgeber mit
definierter, vorbestimmbarer Winkelabhängigkeit zu
schaffen, der einfach und billiger als der bisher bekannte
Beschleunigungsgeber herzustellen ist
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß zur Umlenkung von auf die träge Masse wirkenden
Trägheitskräften in eine zur ebenen Fläche des Piezoelementes senkrechten Richtung mindestens ein,
uie Masse fixierendes Stützelement vorgesehen ist, welches durch die Lage des bzw. der Berührungspunkte
mit der trägen Masse die Richtungsabhängigkeit der
Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers bestimmt.
Eine auf die träge Masse einwirkende, gerichtete
Kraft - z. B. Trägheitskraft - wird durch die
erfindungsgemäße Anordnung des Piezoelementes und
des Stützelementes stets in zwei Anteile zerlegt Ein Teil
der Kraft ist, vom Schwerpunkt der tragen Masse ausgehend, auf den bzw. die Berührungspunkte der
trägen Masse mit dem Piezoelement. der andere Teil auf den bzw. die Berührungspunkte der phärischen Masse
mit dem Stützelement gerichtet. Da die gesamte Anordnung starr ist, wird ihre Geometrie im dynamischen Fall, d. h. beispielsweise bei Einwirken von
Beschleunigungskräften, nahezu unverändert bleiben, so
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2556298A DE2556298C2 (de) | 1975-12-13 | 1975-12-13 | Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber |
US05/747,601 US4104921A (en) | 1975-12-13 | 1976-12-06 | Piezoelectric acceleration transducer |
JP51147207A JPS5273076A (en) | 1975-12-13 | 1976-12-09 | Voltage acceleration generator |
GB51443/76A GB1568975A (en) | 1975-12-13 | 1976-12-09 | Piezo-electric acceleration transducer |
FR7637347A FR2334958A1 (fr) | 1975-12-13 | 1976-12-10 | Accelerometre piezo-electrique |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2556298A DE2556298C2 (de) | 1975-12-13 | 1975-12-13 | Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2556298A1 DE2556298A1 (de) | 1977-06-16 |
DE2556298C2 true DE2556298C2 (de) | 1982-05-13 |
Family
ID=5964358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2556298A Expired DE2556298C2 (de) | 1975-12-13 | 1975-12-13 | Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4104921A (de) |
JP (1) | JPS5273076A (de) |
DE (1) | DE2556298C2 (de) |
FR (1) | FR2334958A1 (de) |
GB (1) | GB1568975A (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4334296A (en) * | 1978-03-16 | 1982-06-08 | Western Geophysical Co. Of America | Seismic method and apparatus |
FR2443067A1 (fr) * | 1978-11-30 | 1980-06-27 | Thomson Csf | Accelerometre a ondes elastiques de surface |
FR2448721A1 (fr) * | 1979-02-09 | 1980-09-05 | Cartier Jean | Accelerometre piezoelectrique |
US4378510A (en) * | 1980-07-17 | 1983-03-29 | Motorola Inc. | Miniaturized accelerometer with piezoelectric FET |
DE3205578A1 (de) * | 1982-02-17 | 1983-08-25 | Ingenieurbüro für Industrietechnik Manfred Knüfelmann GmbH, 4000 Düsseldorf | Piezoelektrischer beschleunigungsmesser |
DE3518382C1 (de) * | 1985-05-22 | 1986-12-04 | Boge Gmbh, 5208 Eitorf | Vorrichtung zur Messung der Beschleunigung von Fahrzeugteilen |
DE3518383C1 (de) * | 1985-05-22 | 1986-12-04 | Boge Gmbh, 5208 Eitorf | Beschleunigungsmesser |
US4767973A (en) * | 1987-07-06 | 1988-08-30 | Sarcos Incorporated | Systems and methods for sensing position and movement |
US5251728A (en) * | 1989-07-05 | 1993-10-12 | Boge Ag | Hydraulic vibration damper or shock absorber with electrical control connections and connector therefor |
JPH071280B2 (ja) * | 1989-10-06 | 1995-01-11 | タカタ株式会社 | 衝撃センサー |
DE4029195C2 (de) * | 1990-09-14 | 1996-09-26 | Telefunken Microelectron | Aufprallsensor |
FR2666888B1 (fr) * | 1990-09-17 | 1994-04-15 | Asulab Sa | Capteur de mesure d'une grandeur physique. |
US6111338A (en) * | 1993-05-28 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and method for producing the same |
US5661361A (en) * | 1995-08-29 | 1997-08-26 | Pruftechnik Dieter Busch Ag | Balanced compression accelerometer |
EP2521904B1 (de) * | 2010-01-04 | 2019-03-20 | PSA Automobiles SA | Abhorchklemme für ein vibroakustisches diagnoseinstrument für den vorwiegenden gebrauch in der automobilbranche |
CN111366290A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-07-03 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种半球万向敏感压电冲击传感器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3006280A (en) * | 1954-04-13 | 1961-10-31 | Aircraft Armaments Inc | Fuze |
US3407667A (en) * | 1965-11-17 | 1968-10-29 | Honeywell Inc | Omnidirectional inertial trigger apparatus |
AT293065B (de) * | 1968-11-06 | 1971-09-27 | List Hans | Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler |
FR1595412A (de) * | 1968-12-19 | 1970-06-08 |
-
1975
- 1975-12-13 DE DE2556298A patent/DE2556298C2/de not_active Expired
-
1976
- 1976-12-06 US US05/747,601 patent/US4104921A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-12-09 GB GB51443/76A patent/GB1568975A/en not_active Expired
- 1976-12-09 JP JP51147207A patent/JPS5273076A/ja active Pending
- 1976-12-10 FR FR7637347A patent/FR2334958A1/fr active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2556298A1 (de) | 1977-06-16 |
US4104921A (en) | 1978-08-08 |
GB1568975A (en) | 1980-06-11 |
FR2334958A1 (fr) | 1977-07-08 |
JPS5273076A (en) | 1977-06-18 |
FR2334958B3 (de) | 1979-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2556298C2 (de) | Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber | |
DE3041743C2 (de) | Vorrichtung zur Beschleunigungsmessung | |
DE19643182B4 (de) | Schwingungskonstruktion | |
DE102008040525B4 (de) | Mikromechanisches Sensorelement | |
DE4432837A1 (de) | Beschleunigungssensor und Meßverfahren | |
DE102012218501A1 (de) | Bauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur | |
DE102011083487A1 (de) | Beschleunigungssensor und Verfahren zum Betrieb eines Beschleunigungssensors | |
EP2106551B1 (de) | Mehrachsiger mikromechanischer beschleunigungssensor | |
EP1243930A1 (de) | Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor | |
DE102009000594A1 (de) | Beschleunigungssensor und Verfahren zum Betreiben eines Beschleunigungssensors | |
EP0447810B1 (de) | Elektrische Messanordnung zur Messung bzw. Berechnung des Füllstandes oder anderer mechanischer Daten einer elektrisch leitenden Flüssigkeit | |
WO2002012906A1 (de) | Mikromechanisches bauelement | |
DE102011076008B4 (de) | Kraftaufnehmer, insbesondere Wägezelle | |
DE102008043796A1 (de) | Drehratensensor | |
DE10123499A1 (de) | Vibrations-Kontakterfassungssensor | |
DE4431232C2 (de) | Integrierbares Feder-Masse-System | |
DE2316130B2 (de) | Gerät zum Erfassen von Bewegungen am menschlichen oder tierischen Körper | |
DE19942573B4 (de) | Beschleunigungssensor | |
DE1276950B (de) | Messeinrichtung fuer extrem kleine Beschleunigungen und Eichvorrichtung hierfuer | |
DE19529178C2 (de) | Halbleiterbeschleunigungssensor | |
DE2712359C2 (de) | Elektromechanischer Kraftmesser | |
DE102005048384B3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschlüssigen Verbindung zweier Körper | |
DE2812689A1 (de) | Piezoelektrischer druck- bzw. beschleunigungsaufnehmer | |
WO2004039714A1 (de) | Fadenspannungssensor | |
DE4431327C2 (de) | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01P 15/09 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |