DE2556298C2 - Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber - Google Patents

Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber

Info

Publication number
DE2556298C2
DE2556298C2 DE2556298A DE2556298A DE2556298C2 DE 2556298 C2 DE2556298 C2 DE 2556298C2 DE 2556298 A DE2556298 A DE 2556298A DE 2556298 A DE2556298 A DE 2556298A DE 2556298 C2 DE2556298 C2 DE 2556298C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mass
piezo element
piezoelectric
spherical
accelerometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2556298A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2556298A1 (de
Inventor
Norbert Dipl.-Phys. 8899 Aresing Nißl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airbus Defence and Space GmbH
Original Assignee
Messerschmitt Bolkow Blohm AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Messerschmitt Bolkow Blohm AG filed Critical Messerschmitt Bolkow Blohm AG
Priority to DE2556298A priority Critical patent/DE2556298C2/de
Priority to US05/747,601 priority patent/US4104921A/en
Priority to JP51147207A priority patent/JPS5273076A/ja
Priority to GB51443/76A priority patent/GB1568975A/en
Priority to FR7637347A priority patent/FR2334958A1/fr
Publication of DE2556298A1 publication Critical patent/DE2556298A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2556298C2 publication Critical patent/DE2556298C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0907Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the compression mode type

Description

daß bei der Berechnung der Aufnahmecharakteristik mit guter Näherung vom quasistatischen Fall ausgegangen werden kann. Dabei kann jeder auf die träge Masse wirkenden Kraft ein Vektor zugeordnet werden, der sich, unabhängig von dessen Größe und Richtung, stets in die vorher genannten Anteile mit den, durch die Berührungspunkte zwischen der tragen Masse und dem Piezoelement bzw. dem Stützelement bestimmten Richtungen zerlegt Durch einfache Vektoraddition kann der auf das Piezoelement gerichtete Anteil berechnet werden. Das Verhältnis einer auf den Schwerpunkt der tragen Masse einwirkenden Kraft zu dem auf das Piezoelement umgelenkten Anteil liefert dann die Aufnahmecharakteristik des Beschleunigungsgebers in Abhängigkeit von der jeweiligen Richtung der einwirkenden Kraft
Bei konstant gehaltener, auf die träge Masse einwirkender Kraft bestimmt die Lage der Berührungspunkte der tragen Masse mit dem Stützelement die Größe des vom Stützelement aufgenommenen Kräfteanteils und damit auch die Größe des verbleibenden, auf das Piezoelement wirkenden Anteils. Durch Veränderungen dieser Berührungspunkte, d. h. durch Veränderungen des Stützelementes, kann somit auch die Aufnahmecharakteristik des Beschleunigungsgebers in definierter Weise verändert werden.
Der erfindungsgemäße Beschleunigungsgeber soll anhand einiger, schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. Es zeigt
Fig. 1 einen Schnitt durch erfindungsgemäße Beschleunigungsgebermit einer sphärischen trägen Masse und mit verschiedenen Stützelementen, deren keisförmige öffnungen unterschiedliche Durchmesser und einen
a) zylindrischen Rand
b) kegligen Rand
c) abgerundeten Rand
aufweisen;
F i g. 2 a; bis c) die Aufnahmecharakteristik der in den Fig. la bis c dargestellten Beschleunigungsgeber;
F i g. 3 einen Schnitt durch einen Beschleunigungsgeber mit zwei sphärischen Massen;
Fig.4 die Aufnahmecharakteristik des in Fig.3 dargestellten Beschleunigungsgebers;
Fig.5 eine Aufsicht auf einen Beschleunigungsgeber mit einer teils sphärischen, teils kegligen trägen Masse und mit einem Stützelement, welches drei Auflagepunkte aufweist;
F i g. 6 einen Schnitt durch den in F i g. 5 dargstellten Beschleunigungsgeber;
Fig. 7 und 8 ein detailliertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsgebers.
Die in den Fig. la bis Ic dargeteilten Beschleunigungsgeber bestehen aus einer elektrisch leitenden sphärischen Masse 1 mit großer Härte, z. B. einer Stahlkugel, aus einem Piezoelement 2 und einem elektrisch leitenden, die sphärische Masse 1 fixierenden Stützelement 3 mit großer Härte. Das druckempfindliche ebenflächige Piezoelement 2 liegt auf einer ebenen elektrisch leitenden Auflage 4. An dieser Auflage 4 ist über einen isolierkörper 5 das ebenfalls elektrisch leitende Stützelement 3 befestigt. Das Piezoelement 2 besieht aus einem ebenen piezoelektrischen Keramikplättchen oder Kristall 2.1 und einer elektrisch leitendenharten Lag?rscheibe 2.2, auf deren ebene Oberseite die sphärische Masse drückt und der ebene Unterseite auf dem piezoelektrischen Plättchen oder Kristall 2.1 liegt. Der über den piezoelektrischen Kristall oder der piezoelektrische Keramikplättchen Zl hinausragende Rand der Lagerscheibe 2.2 ist nur so weit hochgezogen, daß die sphärische Masse bei zentraler Lage nicht auf diesen drückt, sondern nur so weit, daß bei kleinen Horizontalauslenkungen der sphärischen Masse, bedingt durch die Elastizität der einzelnen Bauteile, höchstens ein paralleles Mitverschieben der Lagerscheibe und des piezoelektrischen Kristalls oder Keramikplättchens erfolgt Das Stützelement 3, welches mit dem Rand 3.1,3.2,33 der kreisförmigen öffnung auf der sphärischen Masse aufliegt, drückt diese auf das Piezoelement 2. Die Auflage 4, der Isolierkörper 5 und das Stützelement 3 sind so ausgebildet, daß auf das Piezoelement 2 ein definierter Vordruck zur Voreinstellung ausgeübt wird.
Eine auf den Massenschwerpunict S der sphärischen Masse einwirkende Kraft K wird entsprechend dem Berührungspunkt 7 der sphärischen Masse mit dem Piezoelement bzw. der Berührungspunkte 3.1, 3.2, 33 zerlegt Die Kraftkomponente Kp i ;t dabei für die piezoelektrische Ladung nach Größe und Vorzeichen ausschlaggebend, welche z. B. mit einem, mit der Auflage 4 und dem Stützelement 3 verbundenen ladun^smeßgerät gemessen werden kann, für die im folgenden angegebenen Aufnahmecharakteristiken gilt ohne Einschränkung der Allgemeinheit die Annahme, daß nur Ladungen des geeigneten Vorzeichens berücksichtigt werden, denn das Piezoelement liefert ja aufgrund seiner mechanischen Vorspannung elektrische Ladung eines gewissen Vorzeichens nicht nur bei Druckzunahme, sondern auch die entgegengesetzte Ladung bei Druckabnahme.
Das Verhältnis der Durchmesser der Öffungen 3.1, 3.2, 33 und der sphärischen Masse 1 bestimmen dabei wesentlich die Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers: Je Größer der aus den Fig. la bis Ic ersichtliche Winkel inst, desto geringer wird die Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers auf seitliche Beschleunigung hin sein.
Die Aufnahmecharakteristik, d. h. das Verhältnis der auf das Piezoelement wirkenden Kraft Kp zur einwirkenden Kraft K der jeweiligen, in den Fig. la bis c gezeigten Beschleunigungsgeber ist in den F i g. 2a bis 2c dargestellt. Bei diesen Beschleunigungsgebern ist die Aufnahmechrakteristik rotationssymmetrisch zu der durch den Massenschwerpunkt 5 und dem Berührungspunkt 7 der sphärischen Masse und des Piezoelements verlaufenden Achse. Wird der Winkel zwischen dieser Achse und der au' den Massenschwerpunkt einwirkenden Kraft K mit ^bezeichnet, so kann die theoretische Aufnahmecharakteristik für die in den Fig. la bis Ic dargestellten Ausführungsbeispiele folgendermaßen angegeben werden:
Una
für
Da die einzelnen Teile des Beschleunigungsgebers nicht ideal starr sind, treten im dynamischen Fall kleine Verschiebungen der Berührungspunkte zwischen der sphärischen Masse 1 und dem Stützelement 3 auf. Durch entsprechende Formgebung der Ränder der öffnungen 3.1, 3.2, 33 kanr somit die Aufnahmecharakteristik zusätzlich beeinflußt werden, so kann z. B. durch einen trichterförmigen Rand 3.2 bzw. 33 eine Änderung der Aufnahmecharakteristik bei zunehmender Krafteinwir-
kung unterdrückt oder durch einen zylindrischen Rand 3.1 bewußt erzeugt werden.
Eine fast exakte Kugelcharakteristik kann mit der in Fig.3 dargetellten Ausführung eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsgebers erreicht werden. Die Aufnahmecharakteristik dazu ist in F i g. 4 dargstellt. Bei dieser Ausführung ist ein Piezoelement 2 zwischen zwei sphärischen Massen l.t und 1.2 eingeklemmt, welche jeweils durch zwei gegenüberliegende Stützelemente 3 gehalten werden. Das Piezoelement besteht bei diesem Ausfuhrungsbeispiel aus einem planen piezoelektrischen Kristall 2.1 und aus zwei, zwischen dem Kristall und den Massen 1.1 und 1.2 angeordneten Lagerscheiben 2.2.
Soll die Aufnahmecharakteristik eines Beschleunigungsgebers nicht wie in den in Fig. I und 3 dargestellten Ausführungsbeispielen rotationssymmetrisch sein, so kann die träge Masse durch entsprechende Formgebung des Stützelementes, z. B. nur in einzelnen, fest vorgegebenen Punkten abgestützt werden. Ein Stützelement 6 mit drei Auflagepunkten 6.1,6.2,6.3 ist in den Fi g. 5 und 6 dargestellt. Die träge Masse ist bei diesem Ausführungsbeispiel im Bereich des Piezoelementes sphärisch und im Bereich des Stützelementes kreiskegelförmig ausgebildet. Die Aufnahmecharakteristik ließe sich bei diesem Ausführungsbeispiel, ähnlich wie in den vorangegangenen, durch Zerlegung der einwirkenden Kraft in Teilkräfte berechnen, deren Richtung durch die Lage der Auflagepunkte bestimmt wird.
F i g. 7 und F i g. 8 zeigen ein Ausführungsbeispiel bei dem die dem Piezoelement 2 erteilte definierte mechanische Vorspannung dadurch ausgeübt wird, daß
ίο das hier wiederum mit zylindrischem Rand ausgebildete Stützelement 3 mittels einer Tellerfeder 9 mit einer gegenüber den auf die sphärische Masse 1 erwartungsgemäß auftretenden Trägheitskräften großen Kraft an den Berührungspunkten 3.1 gegen die sphärische Masse gedrückt wird. Der Isolierkörper 5 übernimmt hier also keine Federaufgaben und ist in zwei Teilen 5.1 und 5.2 ausgebildet. Der Teil 5.1 wird durch einen Schraubdekkel 11 in das hier als Auflage 4 ausgebildete Gehäuse gepreßt, während der Teil 5.2 zur Durchführung des elektrischen Anschlußstiftes 10 dient, dessen Spannung gegen das Gehäuse 4 abgenommen werden kann, in welchem Befestigungslöcher 12.1, 12.2 und 12J eingebohrt sind. Der Deckel 11 wird mittels zweier Sacklöcher 13.1 und 13.2 aufgeschraubt.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

Patentansprüche;
1. Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber mit einem Pjezoelement und mindestens einer auf dieses einwirkenden tragen Masse, die mit einer ebenen Räche des Piezoelementes in Berührung steht, dadurch gekennzeichnet, daß zur Umlenkung von auf die träge Masse (1) wirkenden Trägheitskräften in eine zur ebenen Fläche des Piezoelementes (2) senkrechten Richtung mindestens ein, die Masse fixierendes Stützelement (3, 6) vorgesehen ist, welches durch die Lage des bzw. der Berührungspunkte (3.1,3.2,33; 6.1, 6.2, 63) mit der tragen Masse (1) die Richtungsabhängigkeit der Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers bestimmt
2. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die träge Masse mindestens teilweise sphärisch und/oder kreiskegelförmig ausgebilder ist
3. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch zwei sphärische und/oder kreiskegelförmige Massen (1.1,1.2), zwischen denen das Piezoelement (2) angeordnet ist
4. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Piezoelement (2) einen piezoelektrischen Kristall oder ein piezoelektrisches Keramikplättchen (2.1) mit einer der trägen Masse (1) zugewandten ebenen Fläche und eine zwischen dem Kristall oder Keramikpläuchen (2.2) und der Masse (I) angeordnete Lagerscheibe (2.3) mit c'iem über den Kristall oder das Keramikpläuchen hinausragenden, überhöhten Rand aufweist
5. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (3, 6) eine kreisförmige Öffnung aufweist, deren Durchmesser kleiner als der der tragen Masse (1) ist und daß das Stützelement mit dem Rand (3.1, 3.2, 3J) dieser öffnung auf der tragen Masse aufliegt.
6. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die kreisförmige öffnung des Stützelementes (3) einen zylindrischen (3.1), kegligen (3.2) oder abgerundeten Rand (33) aufweist.
7. Beschleunigungsgeber nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die kreisförmige Öffnung des Stützelementes (3) konzentrisch zu der durch den Schwerpunkt (S^der trägen Masse (1) und senkrecht zur ebenen Fläche des Piezoelementes (2) verlaufenden Achse angeordnet ist.
8. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die kreisförmige Öffnung des Stützelementes exzentrisch zu der durch den Schwerpunkt (S) der trägen Masse (I) und senkrecht zur ebenen Fläche des Piezoelementes (2) verlaufenden Achse angeordnet ist.
9. Beschleunigungsgeber nach einem der Ansprüche I bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (6) mindestens drei definierte Auflagepunkte (6.1, 6.2,63) aufweist.
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Beschleunigungsgeber mit einem Piezoelement und mindestens einer auf dieses einwirkenden trägen Masse, die mit einer ebenen Fläche des Piezoelementes in Berührung steht
Aus der DE-AS 19 55 040 ist ein piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler bekannt, dessen piezoelektrisches Element mit einer Seite über ein Auflager mit sphärischer Stützfläche abgestützt ist und iiuf dessen
to vordere Seite eine seismische Masse über eine Zwischenscheibe einwirkt Die Masse wird in einem zylindrischen Gehäuse geführt und überträgt daher nur eine Beschleunigungsrichtung in eindeutiger und reproduzierbarer Weise.
Ein aus der DE-AS 21 32 830 bekannter piezoelektrischer Beschleunigungsgeber soll Beschleunigungen nicht nur in einer bestimmten Richtung, sondern in einem weiten Winkel erfassen. Dazu besitzt das Piezoelement eine sphärische Innenausnehmung, in weiche die ebenfalls sphärische Gestalt gleichen Radius aufweisende träge Masse eingreift Aufgrund der pshärischen Formgebung von Piezoelement und träger Masse soll das von dem Piezoelement abgeleitete elektrische Signal innerhalb eines vorbestimmten Winkelbereiches weitgehend unabhängig von der Richtung der einwirkenden Beschleunigungskraft sein. Inwieweit die Empfindlichkeit eines derartigen Beschleunigungsgebers winkelunabhängig und vorausbestimmbar ist, hängt wesentlich von den mechanischen Fertigungsgenauigkeiten ab, speziell davon, wie genau die sphärischen Flächen des Piezoelementes und der trägen Masse übereinstimmen.
Piezoelemente mit sphärischen Flächen sind jedochselbst bei geringen Anforderungen an die Genauigkeit schwer herzustellen. Da außerdem eine hundertprozentige Obereinstimmung der sphärischen Flächen des Piezoelementes und der trägen Masse nie zu erreichen ist, wird die sphärische Masse stets nur einen oder mehrere undefinierbare Berührungspunkte mit dem Piezoelement haben, so daß die ge.iaue Winkelabhängigkeit des Beschleunigungsgebers von Gerät zu Gerät verschiedenist und nur durch Messungen bestimmt werden kann.
Hier setzt nun die Erfindung ein, deren Aufgabe es ist,
einen piezoelektrischen Beschleunigungsgeber mit definierter, vorbestimmbarer Winkelabhängigkeit zu schaffen, der einfach und billiger als der bisher bekannte
Beschleunigungsgeber herzustellen ist
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß zur Umlenkung von auf die träge Masse wirkenden Trägheitskräften in eine zur ebenen Fläche des Piezoelementes senkrechten Richtung mindestens ein, uie Masse fixierendes Stützelement vorgesehen ist, welches durch die Lage des bzw. der Berührungspunkte mit der trägen Masse die Richtungsabhängigkeit der
Empfindlichkeit des Beschleunigungsgebers bestimmt.
Eine auf die träge Masse einwirkende, gerichtete
Kraft - z. B. Trägheitskraft - wird durch die
erfindungsgemäße Anordnung des Piezoelementes und des Stützelementes stets in zwei Anteile zerlegt Ein Teil der Kraft ist, vom Schwerpunkt der tragen Masse ausgehend, auf den bzw. die Berührungspunkte der trägen Masse mit dem Piezoelement. der andere Teil auf den bzw. die Berührungspunkte der phärischen Masse mit dem Stützelement gerichtet. Da die gesamte Anordnung starr ist, wird ihre Geometrie im dynamischen Fall, d. h. beispielsweise bei Einwirken von Beschleunigungskräften, nahezu unverändert bleiben, so
DE2556298A 1975-12-13 1975-12-13 Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber Expired DE2556298C2 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2556298A DE2556298C2 (de) 1975-12-13 1975-12-13 Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber
US05/747,601 US4104921A (en) 1975-12-13 1976-12-06 Piezoelectric acceleration transducer
JP51147207A JPS5273076A (en) 1975-12-13 1976-12-09 Voltage acceleration generator
GB51443/76A GB1568975A (en) 1975-12-13 1976-12-09 Piezo-electric acceleration transducer
FR7637347A FR2334958A1 (fr) 1975-12-13 1976-12-10 Accelerometre piezo-electrique

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2556298A DE2556298C2 (de) 1975-12-13 1975-12-13 Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2556298A1 DE2556298A1 (de) 1977-06-16
DE2556298C2 true DE2556298C2 (de) 1982-05-13

Family

ID=5964358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2556298A Expired DE2556298C2 (de) 1975-12-13 1975-12-13 Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4104921A (de)
JP (1) JPS5273076A (de)
DE (1) DE2556298C2 (de)
FR (1) FR2334958A1 (de)
GB (1) GB1568975A (de)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4334296A (en) * 1978-03-16 1982-06-08 Western Geophysical Co. Of America Seismic method and apparatus
FR2443067A1 (fr) * 1978-11-30 1980-06-27 Thomson Csf Accelerometre a ondes elastiques de surface
FR2448721A1 (fr) * 1979-02-09 1980-09-05 Cartier Jean Accelerometre piezoelectrique
US4378510A (en) * 1980-07-17 1983-03-29 Motorola Inc. Miniaturized accelerometer with piezoelectric FET
DE3205578A1 (de) * 1982-02-17 1983-08-25 Ingenieurbüro für Industrietechnik Manfred Knüfelmann GmbH, 4000 Düsseldorf Piezoelektrischer beschleunigungsmesser
DE3518382C1 (de) * 1985-05-22 1986-12-04 Boge Gmbh, 5208 Eitorf Vorrichtung zur Messung der Beschleunigung von Fahrzeugteilen
DE3518383C1 (de) * 1985-05-22 1986-12-04 Boge Gmbh, 5208 Eitorf Beschleunigungsmesser
US4767973A (en) * 1987-07-06 1988-08-30 Sarcos Incorporated Systems and methods for sensing position and movement
US5251728A (en) * 1989-07-05 1993-10-12 Boge Ag Hydraulic vibration damper or shock absorber with electrical control connections and connector therefor
JPH071280B2 (ja) * 1989-10-06 1995-01-11 タカタ株式会社 衝撃センサー
DE4029195C2 (de) * 1990-09-14 1996-09-26 Telefunken Microelectron Aufprallsensor
FR2666888B1 (fr) * 1990-09-17 1994-04-15 Asulab Sa Capteur de mesure d'une grandeur physique.
US6111338A (en) * 1993-05-28 2000-08-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor and method for producing the same
US5661361A (en) * 1995-08-29 1997-08-26 Pruftechnik Dieter Busch Ag Balanced compression accelerometer
EP2521904B1 (de) * 2010-01-04 2019-03-20 PSA Automobiles SA Abhorchklemme für ein vibroakustisches diagnoseinstrument für den vorwiegenden gebrauch in der automobilbranche
CN111366290A (zh) * 2020-03-27 2020-07-03 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种半球万向敏感压电冲击传感器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3006280A (en) * 1954-04-13 1961-10-31 Aircraft Armaments Inc Fuze
US3407667A (en) * 1965-11-17 1968-10-29 Honeywell Inc Omnidirectional inertial trigger apparatus
AT293065B (de) * 1968-11-06 1971-09-27 List Hans Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler
FR1595412A (de) * 1968-12-19 1970-06-08

Also Published As

Publication number Publication date
DE2556298A1 (de) 1977-06-16
US4104921A (en) 1978-08-08
GB1568975A (en) 1980-06-11
FR2334958A1 (fr) 1977-07-08
JPS5273076A (en) 1977-06-18
FR2334958B3 (de) 1979-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2556298C2 (de) Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber
DE3041743C2 (de) Vorrichtung zur Beschleunigungsmessung
DE19643182B4 (de) Schwingungskonstruktion
DE102008040525B4 (de) Mikromechanisches Sensorelement
DE4432837A1 (de) Beschleunigungssensor und Meßverfahren
DE102012218501A1 (de) Bauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur
DE102011083487A1 (de) Beschleunigungssensor und Verfahren zum Betrieb eines Beschleunigungssensors
EP2106551B1 (de) Mehrachsiger mikromechanischer beschleunigungssensor
EP1243930A1 (de) Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
DE102009000594A1 (de) Beschleunigungssensor und Verfahren zum Betreiben eines Beschleunigungssensors
EP0447810B1 (de) Elektrische Messanordnung zur Messung bzw. Berechnung des Füllstandes oder anderer mechanischer Daten einer elektrisch leitenden Flüssigkeit
WO2002012906A1 (de) Mikromechanisches bauelement
DE102011076008B4 (de) Kraftaufnehmer, insbesondere Wägezelle
DE102008043796A1 (de) Drehratensensor
DE10123499A1 (de) Vibrations-Kontakterfassungssensor
DE4431232C2 (de) Integrierbares Feder-Masse-System
DE2316130B2 (de) Gerät zum Erfassen von Bewegungen am menschlichen oder tierischen Körper
DE19942573B4 (de) Beschleunigungssensor
DE1276950B (de) Messeinrichtung fuer extrem kleine Beschleunigungen und Eichvorrichtung hierfuer
DE19529178C2 (de) Halbleiterbeschleunigungssensor
DE2712359C2 (de) Elektromechanischer Kraftmesser
DE102005048384B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschlüssigen Verbindung zweier Körper
DE2812689A1 (de) Piezoelektrischer druck- bzw. beschleunigungsaufnehmer
WO2004039714A1 (de) Fadenspannungssensor
DE4431327C2 (de) Mikromechanischer Beschleunigungssensor

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: G01P 15/09

D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee