DE2539795A1

DE2539795A1 - Generator zur erzeugung magnetischer blasendomaenen

Info

Publication number: DE2539795A1
Application number: DE19752539795
Authority: DE
Inventors: Peter Kurt George
Original assignee: Rockwell International Corp
Current assignee: Boeing North American Inc
Priority date: 1974-09-27
Filing date: 1975-09-06
Publication date: 1976-04-08
Also published as: NL7510754A; US3925769A; GB1475615A; JPS5158839A; CA1046635A; NL164985B; DE2539795C3; NL164985C; DE2539795B2; JPS5630637B2

Description

!PATENTANWALT .
DIPL-ING.

HELMUT GÖRTZ

6 Frankfurt am Main 70
Schneckenhofstr. ?7 - Tel. 617079

5. September 1975 Gzt/Ar

ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION

Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen

Die Erfindung betrifft einen Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen, der auf einer dünnen magnetischen Schicht angeordnet ist und einen Blasendomänen-Fortsehreitungsweg aufweist, welcher von aneinandergrenzenden Reihen V-förmiger Bereiche aus magnetisierbarem Material gebildet wird.

Übliche Blasendomänengeräte verwenden magnetische Elemente und Leiter, die auf der Blasendomänenschicht aufliegen und verschiedene Funktionen bzw. Tätigkeiten, wie z.B. Replizierung, Erzeugung und Erfassung ausführen. Diese Elemente und Leiter weisen unterschiedliche magnetische und elektrische Eigenschaften bzw. Bedürfnisse auf, was unterschiedliche Dimensionen (einschließlich der Dicke) und/oder Materialien erfordert, und überdecken sich manchmal auch physisch. Aus diesem Grund sind verschiedene Verarbeitungs- oder Aufbringungsschritte erforderlich, sowie die Verwendung verschiedener Abdeckmasken. Derartige Verfahren werden z.B. Zwei-Masken-Verfahren oder Drei-Masken- Verfahren genannt, während die hierdurch hergestellten Geräte oder Anordnungen zweistufige oder dreistufige Anordnungen genannt werden.

- 2-

609815/0856

ORIGINAL INSPECTED

In der Blasendomänen-Technologie sind bisher große Anstrengungen auf die Verringerung der Größe der Blasendomänen und der zugehörigen Schaltungsanordnungen gerichtet worden. Die Gründe hierfür sind vor allem, daß es höchst erwünscht ist, die Speicherkapazität von Blasendomänen-Speicheranordnungen zu steigern, das Ausmaß der Übertragung- oder Weiterleitungserfordernisse und damit die Kosten pro bit zu verringern und eine wirtschaftlichere Datenverarbeitung zu erzielen. Werden jedoch Blasendomäneh-Anordnungen verkleinert, so wird die Ausrichtung zwischen den verschiedenen Stufen mit wachsender Verkleinerung immer schwieriger. Aus diesem Grunde sind EinMasken-Verfahren von beträchtlicher Bedeutung.

Fast sämtliche Blasendomänenfunktionen, wie Erfassung, Vernichtung oder Beseitigung, Replizierung bzw. Vervielfachung oder Verdoppelung sowie Erzeugung, wurden bereits mittels einstufiger Anordnungen erzielt. Einstufige Versionen sogenannter KeHbildungsgeneratoren (nucleation generators) wurden bereits mittels einer Leiterschleife oder eines geradlinigen Leiters realisiert, jedoch benötigen derartige einstufige Kernbildungsgeneratoren wie mehrstufige Ausführungsformen überaus hohe Betriebsströme. Sogenannte zweistufige Replizierungs- bzw. Vervielfachungsgeneratoren (replication generators), die mit einer Permalloy-Scheibe arbeiten, können üblicherweise mit beträchtlich niedrigeren Strömen als die Kernbildungsgeneratoren betrieben werden (nämlich mit ungefähr 50 mA im Gegensatz zu 100 bis 300 mA). - -

— 3 —

609815/0856

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen einstufigen Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen zu schaffen, der den beträchtlichen Vorteil der Effizienz der Blasendomänen-Replizierung bzw. -Vervielfachung oder Verdoppelung ausnutzt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zum Aufbau einer Ursprungs-Blasendomäne ein aus magnetisierbarem Material bestehender Bereich auf der Blasendomänenschicht nahe dem Fortsehreitungsweg angeordnet ist, und daß ein Leiter den Ursprungs-Blasendomänenbereich aus magnetisierbarem Material sowie die Scheitel einer der Reihen V-förmiger Bereiche durchläuft, um einen Strom zwischen dem Ursprungs-Blasendomänenbereich und den V-förmigen Bereichen hindurchzuleiten.

Gemäß vorteilhaften Ausführungsformen der Erfindung ist der Ursprungs-Blasendomänenbereich im wesentlichen kreisförmig und besteht aus Permalloy, während der den Ursprungs-Blasendomänenbereich durchlaufende Leiter ebenfalls aus PermalDoy gebildet ist.

Erfindungsgemäß wird somit ein vorteilhafter, einstufiger Replizierungsgenerator für zylindrische magnetische Einwanddomänen oder "Blasendomänen" geschaffen, der einen aus magnetisierbarem Material bestehenden scheibenförmigen Bereich und einen Leiter aufweist, der den scheibenförmigen Bereich mit den Elementen eines angrenzenden Blasendomänen-Fortsehreitungsweges verbindet. Der scheibenförmige .Bereich aus magnetisierbarem Material, der Leiter sowie der Fortschreitungsweg, der

60981 B/0856

kennzeichnenderweise winkelförmige Elemente aufweist, können aus PermaEoy gebildet sein. Vorteilhafterweise können Leiter und scheibenförmiger Bereich einstufig ausgeführt werden. D.h., sie können durch Verwendung lediglich einer Abdeckmaske ausgebildet werden, sodaß die Ausrichtungsprobleme keine Rolle spielen, die bei mehreren Abdeckfolgen unter Verwendung verschiedener Masken auftreten. Im Betriebszustand kreist eine Ursprungs-Blasendomäne um den scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material unter dem Einfluß eines sich in einer Ebene zyklisch ändernden magnetischen Antriebsfeldes. Yfeist das Antriebsfeld eine geeignete Richtung auf, wird dem Leiter ein Stromimpuls zugeführt, wodurch bewirkt wird, daß sich die Blasendomäne in Richtung des Fortsehreitungsweges ausdehnt bzw. ausstreckt. Bei Anlegen eines Impulses der umgekehrten Polarität, wird die ausgestreckte Blasendomäne durchschnitten, sodaß die abgetrennte Blasendomäne entlang des Fortsehreitungsweges wandern kann, während die Ursprungs-Blasendomäne weiter um den scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material kreist.

Eine Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines zweistufigen Replizierungsgenerators zum Erzeugen magnetischer Blasendomänen des Standes der TechriikJ

Fig. 2 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen einstufigen Replizierungsgenerators zum Erzeugen magnetischer Blasendomänen,

- 5 609815/0856

Fig. 3a - 3d schematische Darstellungen, die in chronologischer Reihenfolge den Betriebsablauf des Generators nach Fig. 2 bei der Erzeugung magnetischer Blasendomänen veranschaulichen, und

Fig. 4 eine grafische Darstellung der Betriebskennwerte des Generators nach Fig. 2.

In Fig. 1 ist ein Replizierungsgenerator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen des Standes der Technik dargestellt, der einen scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material aufweist. Dieser Generator arbeitet mit mehreren stabartigen Elementen und ist in der US-PS 3 824 565 näher beschrieben. Der Generator weist eine geeignete dünne Magnetschicht 100 auf, die sich zur Bildung von Blasendomänen eignet. Ferner weist dieser bekannte Generator Bereiche aus magnetisierbarem Material, wie etwa Permalby, auf, die auf der dünnen magnetischen Schicht 100 angeordnet sind bzw. aufliegen. D.h., der Generator weist ein Plättchen oder eine Scheibe 10 mit einem vorstehenden Teil 10a sowie ein paar stabförmiger Elemente 12 und 13 auf, die zwischen der Scheibe 10 und dem Ende eines Blasendomänen-Fortschreitungsweges 16 liegen, der aus (nicht dargestellten) magnetisierbaren Elementen besteht. Ein Vormagnetisierungsfeld R^ ist in geeigneter Weise angelegt, wie in Fig. 1 dargestellt, um magnetische Blasendomänen in der dünnen magnetischen Schicht 100 aufzubauen bzw. auszubilden. Außerdem wird ein zyklisch rotierendes, in einer Ebene wirkendes¹ magnetisches Antriebs-Drehfeld H_r (nicht gezeigt) in bekannter Weise angelegt, um die Elemente des Fortsehreitungsweges 16 selektiv zu magnetisieren und damit Blasendomänen gesteuert zu verschieben bzw. vorwärtszubewegen.

- 6 609815/0856

Während des Betriebes dieses bekannten Generators zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen wird eine Ursprungs-Blasendomäne 14 (im Umriß dargestellt) in der dünnen magnetischen Schicht 100 am Bodenteil des scheibenförmigen Bereichs 10 durch das Vormagnetisierungsfeld H^ erzeugt und kreist unter dem scheibenförmigen Bereich unter dem Einfluß des Antriebs-Drehfeldes IL,. Weist das Drehfeld H eine entsprechende Richtung bzw. entsprechende Richtungen auf, so werden die oberen Enden der Elemente 12 und 13 magnetisiert und de/len oder strecken die Ursprungs-Blasendomäne in Richtung des Fortschreitungsweges aus. Dann wird ein geeigneter Stromimpuls an einen breitstreifigen Leiter 11 angelegt, der zumindest über dem Element 12 ausgebildet ist, um den gestreckten Teil der Ursprungs-Blasendomäne 14 abzutrennen, sodaß der abgetrennte Teil entlang des Portschreitungsweges 16 wandern kann, während die Ursprungs-Blasendomäne 14 weiterhin unter dem scheibenförmigen Bereich 10 kreist.

Die in Pig. 1 dargestellte, mit mehreren stabförmigen Elementen arbeitende Anordnung stellt eine Verbesserung einer bekannten, mit einem scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material arbeitenden Ausführungsform dar. Mittels der winklig angeordneten stabförmigen Elemente 12 und 13 und des breitstreifigen Leiters 11 lassen sich eine leichte Replizierung und ausgezeichnete Betriebseigenschaften erzielen. Wie/ir-Lg. 1 zu entnehmen ist, stellt dieser Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen jedoch eine zweistufige, Anordnung dar, die in einem sogenannten Zwei-Masken-Verfahren hergestellt werden muß, da der Leiter 11 zumindest ein Element (Element 12) der stabförmigen Elemente überdeckt bzw. überlagert.

6 0 9815/0856

Fig. 2 ist eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen einstufigen Replizierungsgenerators 20 zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen. Der Generator 20 weist einen scheibenförmigen Bereich 21 und einen schmalen, geradlinigen Leiter 22 auf. Der einstufige Generator 20 wird in Verbindung mit einer dünnen magnetischen Schicht 100 verwendet, auf der er ausgebildet ist und in der Blasendomänen in der Weise erzeugt werden, wie dies bereits in Verbindung mit dem Generator nach Fig. 1 beschrieben wurde.

Die Replizierung und die einstufige Ausführung werden ermöglicht durch das strukturelle Zusammenwirken des scheibenförmigen Bereichs 21, des Leiters 22 und eines zugehörigen Fortschreitungsweges 23 für die Blasendomänen. Der scheibenförmige Bereich 21 ist nahe dem Forts ehr eitungsweg 23 angeordnet, der zur Veranschaulichung aus benachbarten Reihen V-förmiger (Winkel-) Elemente 24 besteht. Der Leiter 22 kann aus dem gleichen Material (z.B. Permalloy) wie der scheibenförmige Bereich 21 und die Winkelelemente 24 bestehen. Der Leiter 22 bildet im v/esentlichen eine schmale Linie, die annähernd orthogonal zu einer einzelnen Reihe aus Winkelelementen angebracht ist und die Scheitel der einzelnen Winkeleleraente schneidet bzw. durchläuft sowie den scheibenförmigen Bereich 21 halbiert und damit diese eine Reihe der Winkelelemente mit dem scheibenförmigen Bereich verbindet. Gewisse Variationen dieser Konfiguration sind natürlich möglich. Die in Fig. 2 dargestellte Konfiguration ,wurde jedoch gewählt, da sie die Betriebseigenschaften optimiert.

60981 5/0856

Die Wirkungsweise bzw. der Betrieb des einstufigen Replizierungsgenerators 20 ist in den Fig. 3a bis 3d veranschaulicht. Bei Anlegen eines Vormagnetisierungsfeldes H^ (Fig. 2) wird eine Ursprungs-Blasendomäne 26 in der magnetischen Schicht 100 (Fig. 2) unter dem scheibenförmigen Bereich 21 ausgebildet und kreist um den scheibenförmigen Bereich in Phase mit dem sich in einer Ebene zyklisch ändernden magnetischen Antriebs-Drehfeld H . Dies ist in Fig. 3a veranschaulicht, wobei die Position der Ursprungs-Blasendomäne 26 entlang des Umfangs des scheibenförmigen Bereichs der Richtung 180° des sich im Uhrzeigersinne drehenden Antriebs-Drehfeldes H entspricht.

Nimmt das Antrieb-Drehfeld H_r eine Richtung von annähernd 225° + 20° ein, (Fig. 2), wie dies in Fig. 3b dargestellt ist, wird ein Stromimpuls I_ der gezeigten Polarität dem Leiter 22 von einer geeigneten (nicht dargestellten) Stromquelle zugeführt. Das von dem Strom im Leiter 22 induzierte Magnetfeld erhöht die Energie- Potentialmulde um den Leiter und die aus Winkelelementen bestehende Reihe der Fortsehreitungselemente. Die höhere Energie- Potentialmulde/wirkt im wesentlichen eine Anziehung der Ursprungs-Blasendomäne 26, wodurch die Ursprungs-Blasendomäne veranlaßt wird, sich auszudehnen und über die Reihe aus Winkelelementen zu erstrecken und unter dem Einfluß des Drehfeldes eine Fortschreitungsbewegung zu beginnen.

Wie in Fig. 3c dargestellt, wird ein Strom I entgegengesefzter Polarität zu dem Strom I zum Abtrennen'der expandierten bzw. gestreckten Blasendomäne angelegt, .wenn das Drehfeld H, eine Richtung von ungefähr 315° +.20° (Fig. 2) einnimmt. Wie in

— 9 — 60981 5/0856

Fig. 3d gezeigt, wird damit eine replizierte bzw. vervielfachte oder kopierte Blasendomäne 27 freigemacht, die entlang des Fortsehreitungsweges 23 in Richtung des Pfeiles unter dem Einfluß des Antriebs- Drehfeldes H fortschreitet, während die Ursprungs-Blasendomäne 27 um den scheibenförmigen Bereich 21 kreist und für einen neuen Operationszyklus bereit ist.

Die ausgezeichneten.Betriebseigenschaften des Generators 20 ergaben sich bei Verwendung eines aus Winkelelementen bestehenden Fortsehreitungsweges 23 mit einer normalen Periodizität bzw. Breite der einzelnen Winkelelemente von ungefähr 24 Mikrometern oder/i (siehe Fig. 2), eines scheibenförmigen Bereiches 21 aus Permalby von ungefähr 24 Mikrometern Durchmesser, der vom Fortsehreitungsweg durch einen Abstand von ungefähr 6 bis 10 Mikrometern getrennt war und einem Leiter 22 aus Permalby mit einer Breite von etwa 4 Mikrometern. Für die Komponenten mit den obigen Abmessungen (die lediglich der Veranschaulichung dienen sollen und keinesfalls die Möglichkeiten der Erfindung erschöpfen) wurde eine 7,5 Mikrometer dicke magnetische Blasendomänenschicht 100 der Zusammensetzung Y₂ 54^Smo 45^^ai 17^Fe3 83°12 ^vervgrenaet, _; die Blasendomänen eines Durchmessers von 6 Mikrometern erzeugte, sowie eine Schichte aus SiO₂ einer Dicke von 1,0 Mikrometern,die zwischen den PermaHoykomponenten der Granatschicht 100 angeordnet war. Die quasi-statischen Betriebsgrenzwerte dieser Anordnung sind in Fig. 4 dargestellt. Die Werte wurden erhalten durch Verwendung eines "Blasendomänen-Dehnungsstromes" I von 75 mA und einer Dauer von 2 bis 3 Mikr ο Sekunden. Mit der Größe der Blasen-

- 10 -

809815/0856

domänen ändern sich natürlich auch die Art der dünnen magnetischen Schicht, die Geometrie der PermaHoyelemente, der Abstand der Portsehreitungselemente und dergleichen.

Die durch Rechtecke gekennzeichnete Kurve 30 in Fig. 4 veranschaulicht die Betriebsgrenzwerte bei hohen Treiberfrequenzen von 100 kHz für den aus Winkelelementen bestehenden Fortschreitungsweg und ist allgemein repräsentativ für derartige Strukturen. D.h., für einen Bereich des Drehfeldes H von

etwa 20 bis 50 Oersted liegen die Grenzwerte des Vormagnetisierungsfeldes bei ungefähr 80 sowie 95 bis 100 Oersted. In der Nähe des unteren Grenzwertes von 80 Oersted des Vormagnetisierungsfeldes wird der weitere Betrieb durch die dann nicht mehr erfolgende Bildung von Blasendomänenausdehnungen bzw. -»-Verlängerungen begrenzt, während in der Nähe der oberen Grenzwerte von 95 bis 100 Oersted des Vormagnetisierungsfeldes die Blasendomänen zusammenzufallen beginnen.

Wie durch die durch Kreise gekennzeichnete Kurve 40 in Fig. dargestellt ist_f arbeitet der Generator 20 im Bereich von etwa 100 kHz sehr zuverlässig und umfaßt den Bereich der Antriebsfelder für den aus Winkelelementen bestehenden Fortschreitungsw©g. Wie ferner der Kurve 40 zu entnehmen ist, liegen bei Verwendung eines Stromes I₀ von 75 mA' die oberen und unteren Grenzwerte des Vormagnetisierungsfeldes, für die der scheibenförmige Bereich eine Ursprungs-Blasendomäne festhält, außerhalb der betrieblichen Grenzwerte des Fortschreitungsweges, Somit ist eine Erzeugung magnetischer Blasendomänen innerhalb des gesamten Betriebsbereiches des Fort-

- 11 -

S09815/0856

schreitungsweges möglich. Darüberhinaus sind die zeitlichen Betriebsgrenzwerte oder "Phasenwerteⁿ des einstufigen Replizierungsgenerators ähnlich denjenigen eines mit einem scheibenförmigen magnetisierbaren Bereich arbeitenden Generators eines anderen Typs, und die Position des Trennimpulses I relativ zu dem Ausdehnungsimpuls I₀ ist unkritisch, insbe-

sondere bei niedrigen Frequenzen.

Der für den hier beispielhaft beschriebenen Generator verwendete Strom von 75 mA ist sehr niedrig verglichen mit den Strömen von 100 bis 300 mA, die für Generatoren des VNucleationstyps" oder sogenannte Kernbildungsgeneratoren verwendet werden. Außerdem sollte eine Verringerung des Abstandes zwischen dem scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material und dem Fortschreitungsweg sowie eine Verringerung der Dicke der magnetischen Schicht 100 eine Verringerung des Stromes I₀ auf zumindest 50 mA gestatten.

Der einstufige, mit einem scheibenförmigen Bereich aus magnetisierbarem Material arbeitende Generator 20 zur Erzeugung von magnetischen Blasendomänen enthält somit den einzelnen Leiter 22 in einer Konfiguration, die eine Replizierung von Blasendomänen ohne Behinderung oder gar Verhinderung der Fortschreitung ermöglicht. Auch gestattet die Konfiguration des scheibenförmigen Bereichs 21 und des Leiters 22, der den scheibenförmigen Bereich halbiert und den Fortschreitungsweg entlang der Scheitel einer Reihe von Winkelelementen 15 durchläuft, eine Realisierung des Potentials bzw. der Fähigkeiten des Replizierungsgenerators bei relativ niedrigen Betriebsströmen.

- 12 609815/0856

Mittels dieser Konfiguration des Leiters und des scheibenförmigen Bereichs wird somit ein sehr effizienter Replizierungsgenerator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen erhalten, bei dem der Leiter 22 sowie der scheibenförmige Bereich 21 und der Fortsehreitungsweg 23 aus einem einzigen Material, wie z.B. Permalloy, gebildet und in einem einstufigen Herstellungsverfahren unter Verwendung lediglich einer Abdeckmaske hergestellt werden können.

-13-

60981 5/0856

Claims

Patentansprüche

f 1 JGenerator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen, der auf ^~^^ einer dünnen magnetischen Schicht angeordnet ist und einen Blasendomänen-Fortschreitungsweg aufweist, welcher von aneinandergrenzenden Reihen V-förmiger Bereiche aus magnetisierbarem Material gebildet wird, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufbau einer Ursprungs-Blasendomäne ein aus magnetisierbarem Material bestehender Bereich auf der dünnen magnetischen Schicht nahe dem Fortschreitungsweg angeordnet ist, und daß ein Leiter den Ursprungs-Blasendomänenbereich aus magnetisierbarem Material sowie die Scheitel einer der Reihen aus V-förmigen Bereichen durchläuft, um einen Strom zwisehen dem Ursprungs-Blasendomänenbereich und den V-förmigen Bereichen hindurchzuleiten.
2. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ursprungs-Blasendomänenbereich, die V-förmigen Bereiche und der Leiter einstufig auf gleichem Niveau liegend ausgebildet sind.
3. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Usprungs-Blasendomänenbereich, die V-förmigen Bereiche und der Leiter aus Permalloy bestehen.
4. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ursprungs-Blasendomänenbereich im wesentlichen kreisförmig ist.

- 14 609815/0 8 58
5. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ursprungs-Blasendoaänenbereich kreisförmig ist, und daß der Leiter eine geradlinige Verbindung zwischen dein Ursprungs-Blasendomänenberelcli und dem Forts ehr eitungsweg bildet und die Scheitel der einen Reihe V-förmiger Bereiche durchläuft oder schneidet.
6. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Leiter geradlinig und ori^&gonal zum Portschreitungsweg verläuft, und daß der Hrsprungs-KLasendomänenbereich aus magnetisierbarem Material und die Scheitel der Reihe V-förmiger Bereiche entlang des geradlinigen Verlaufs des Leiters angeordnet sind, wobei die Scheitel der V-förmigen Bereiche In die Richtung des Ursprungs-Blasendomänenbereiches weisen.
7. Generator zur Erzeugung magnetischer Blasendomänen und Zuführung der Blasendomänen zu einem von Winkelelementen gebildeten Blasendomänen—Portsehreitungsweg, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Winkelelemente und damit die Breite der einzelnen Reihen des Blasendomänen-Fortsehreitungsweges annähernd 24 Mikrometer beträgt, daß ein geradliniger „ aus Permalby bestehender, annähernd 4 Mikrometer breiter Leiter den Fortschreitungsweg an einer aus Winkelelementen bestehenden Reihe durchläuft oder schneidet und die Winkelelemente dieser Reihe an deren Scheiteln miteinander verbindet» wobei der Leiter ori?ogonal zu der von den Winkelelementen des Fortsehreltungsweges gebildeten Fort-

- 15 609 8 15/0856

- 15 -

schreitungsrichtung angeordnet ist, und daß eine PenaaSoyscheibe mit einem Durchmesser von annähernd 24 Mikrometern nahe dem Forts ehr eitungsweg in einem Abstand von 6 bis 10 Mikrometern angeordnet ist und von dem Leiter halbiert wird.

609815/0856