DE253957C - - Google Patents
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- DE253957C DE253957C DENDAT253957D DE253957DA DE253957C DE 253957 C DE253957 C DE 253957C DE NDAT253957 D DENDAT253957 D DE NDAT253957D DE 253957D A DE253957D A DE 253957DA DE 253957 C DE253957 C DE 253957C
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/22—Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface
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Description
KAISERLICHESIMPERIAL
PATENTAMT.PATENT OFFICE.
PATENTSCHRIFTPATENT LETTERING
- M 253957 KLASSE 57a. GRUPPE- M 253957 CLASS 57a. GROUP
Reproduktionsverfahrens.Reproductive process.
Die Erfindung bezweckt eine weitere Ausbildung der Maschine zur Herstellung rapportierender Muster, bei welcher mit der Vorrichtung zur Herstellung rapportierender Muster ein Reproduktionsapparat mit zwangläufiger Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite verbunden ist (englische Patentschrift 13934/09). Bei dieser älteren Maschine ist der Reproduktionsapparat mit zwangläufiger Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite auf einem Schlitten gelagert, der auf Querstangen die wagerechte Rapportschaltung ausführt und zur lotrechten Schaltung auf Stangen des Maschinengesteiles geführt wird. Infolge Abnutzung der aufeinander gleitenden Teile können bei den Schaltbewegungen kantende Bewegungen auftreten, die, unterstützt durch das auf den Führungen lastende Gewicht des Reproduktionsapparates mit seinen Schlitten und Antriebsteilen die Genauigkeit der Einstellungen der Mustereinheit gefährden. Besonders wird sich dieses beim Mehrfarbendruck mittels Raster bemerkbar machen, bei welchem die Rasterlinien der einzelnen Drucke einander genau decken sollen, so daß die Zwischenräume zwischen den Rasterlinien frei bleiben. Um diese Übelstände zu vermeiden, ist gemäß der vorliegenden Erfindung die Kombination der Vorrichtung zur Herstellung rapportierender Muster und des Reproduktionsapparates mit zwangläufiger Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite derart getroffen, daß der Reproduktionsapparat nur die zur zwangläufigen Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite notwendigen Bewegungen macht, während die Rapportschaltungen der Bildebene, also dem Träger der lichtempfindlichen Fläche, übergeben werden. Hierdurch wird es möglich, die führenden Teile möglichst vom Gewicht zu entlasten, sie gegen kantende Bewegung zu sichern und Fehlerquellen auszuschließen, so daß ζ. B. beim Mehrfarbendruck die Rasterlinien einander völlig decken.The invention aims at a further development of the machine for producing repeats Pattern, in which with the device for the production of repeat patterns a reproduction apparatus with inevitable Adjustment of the conjugate object and image distance is connected (English patent specification 13934/09). In this older machine, the reproduction apparatus is included Inevitable setting of the conjugate object and image distance on a slide stored, which carries out the horizontal repeat switching on cross bars and to the vertical Circuit is performed on rods of the machine frame. As a result of wear and tear on the Parts sliding on each other can cause edging movements during the switching movements occur, supported by the weight of the reproductive apparatus on the guides with its slide and drive parts the accuracy of the settings endanger the sample unit. This is particularly evident when using multicolor printing Make grid noticeable in which the grid lines of the individual prints meet each other should cover exactly, so that the spaces between the grid lines remain free. In order to avoid these inconveniences, according to the present invention, the combination the device for the production of repeat patterns and the reproduction apparatus with inevitable adjustment of the conjugate object and image distance hit in such a way that the reproduction apparatus only those necessary for the inevitable setting of the conjugate object and image distance Makes movements while the repeats transfer the image plane, i.e. the carrier of the light-sensitive surface will. This makes it possible to relieve the leading parts of the weight as much as possible, to prevent them from edging movement secure and exclude sources of error so that ζ. B. the grid lines in multi-color printing completely cover each other.
Es ist zwar bereits bekannt, bei einem Reproduktionsapparat zur Herstellung rapportierender Muster die Bildebene die Rapportschaltungen ausführen zu lassen, indessen arbeitet der bekannte Apparat mit voneinander unabhängiger Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite, und der Objektträger macht außerdem die Rapportschaltungen, vermehrt also die Fehlerquellen, die bei der vorliegenden Erfindung durch Verminderung der Einstellungsbewegungen auf das Mindestmaß unter Entlastung der Führungen vom Gewicht und Sicherung gegen kantende Bewegungen so gut wie ausgeschlossen sind, was sich durch die Rasterliniendeckung zeigt.It is already known in a reproduction apparatus for the production of repeaters Pattern to let the image plane carry out the repeats while working the well-known apparatus with independent adjustment of the conjugate object and image distance, and the object slide also makes the repeats, so increases the sources of error that are in the present Invention by reducing the adjustment movements to the minimum while relieving the weight of the guides and protection against edging movements are as good as impossible, which is shown by the grid line coverage.
Der die lichtempfindliche Platte tragende Rapporteur, dessen Gewicht durch Gegengewicht ausgeglichen wird, besteht in bekannter Weise aus einem auf senkrechten Spindeln geführten Längsschlitten, auf welchem ein Querschlitten auf einer wagerechten Spindel verschiebbar ist. Letzterer ist nur in seinem oberen Teil aufgehängt, und zwar so, daß erThe rapporteur carrying the photosensitive plate, whose weight is counterbalanced is compensated, consists in a known manner of one on vertical spindles guided longitudinal slide on which a cross slide on a horizontal spindle is movable. The latter is only suspended in its upper part, in such a way that it
sich mit Hintergewicht frei auf eine untere Führung legt; hierdurch wird der kantenden Bewegung des Schlittens entgegengewirkt.lays freely on a lower guide with the rear weight; this becomes the edging Movement of the slide counteracted.
Die Genauigkeit der Maschine wird ferner dadurch erhöht, daß die Längs- und Querschlitten mit linear beweglichen, der Maschinenrahmen mit festen Anschlägen und Teilspindeln mit Teilscheiben nebst Sektor ausgestattet werden, derart, daß die Einheiten derThe accuracy of the machine is further increased by the fact that the longitudinal and transverse slides with linearly movable, the machine frame with fixed stops and sub-spindles be equipped with dividing disks and sector, so that the units of
ίο Schaltbewegungen des Rapporteurs durch die Anschläge, die Bruchteile durch die Teilscheiben mit Sektor kontrolliert werden können.ίο switching movements of the reporter through the Stops that fractions can be controlled by the dividing disks with sector.
Da die Bewegung des Reproduktiorisapparates nur auf die zwangläufige Einstellung der konjugierten Objekt- und Bildweite beschränkt ist, er also nur eine Bewegung in Richtung der Projektionsachse macht, so kann er auch mangels der Querbewegung auf dem festen Maschinengestell eine untere Längsführung erhalten, die ihn gegen kantende Bewegung sichert.Since the movement of the reproductive apparatus only depends on the inevitable setting the conjugate object and image distance is limited, so it only moves in Direction of the projection axis makes, so he can also in the absence of transverse movement on the fixed machine frame received a lower longitudinal guide that prevents it from edging movement secures.
Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Maschine dargestellt, und zwar zeigen :In the drawing, an embodiment of the machine is shown, namely show :
Fig. ι eine Seitenansicht der Maschine,
Fig. 2 eine Vorderansicht,
Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie y-y der Fig. 2,Fig. Ι a side view of the machine,
Fig. 2 is a front view,
3 shows a section along the line yy in FIG. 2,
Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie z-z der Fig. 2,FIG. 4 shows a section along the line zz in FIG. 2,
Fig. 5 eine Einzelheit.Fig. 5 shows a detail.
Das Maschinengestell besteht aus zwei Ständern 3, die auf einer Fußplatte 2 angebracht sind und mit ihren oberen Enden durch ein Joch 4 und zwischen diesem und der Grundplatte 2 durch einen Balken 5 von U-förmigem Querschnitt verbunden sind. Die Enden des Querbalkens sind mit den Ständern verschraubt. Auf ihm ist ein Träger 6 befestigt, welcher einen Reproduktionsapparat aufnimmt, dessen Linse 53 und Objekthalter 58 in zwei aufeinander auf einer Führungsbahn 51 verschiebbaren Schlitten 52 und 57 mittels eines Handrades 67 auf einer Welle 66 und eines von dieser beeinflußten Gestänges zwangläufig gegenüber der lichtempfindlichen Platte verschiebbar sind. Damit bei der Verschiebung der Schlitten 52 und 57 in der Richtung der optischen Achse nicht eine Durchbiegung eintritt, sind an dem Schlitten 52, auf dem sich der Schlitten 57 verschiebt, zwei nach unten ragende Wangen 62 angebracht, die an ihrem unteren Ende durch ein Querstück 63 verbunden sind. An diesem ist ein Gleitschuh 64 befestigt, der auf einer Führungsschiene 65 auf der oberen Seite der Grundplatte 2 gleitet.The machine frame consists of two uprights 3 which are attached to a base plate 2 are and with their upper ends by a yoke 4 and between this and the base plate 2 by a beam 5 of U-shaped Cross-section are connected. The ends of the crossbar are bolted to the uprights. On it is a carrier 6 attached, which houses a reproduction apparatus, its lens 53 and object holder 58 in two slides 52 and 57 by means of a handwheel 67 on a shaft 66 and a linkage influenced by this are inevitably displaceable with respect to the photosensitive plate. So with the displacement of the carriages 52 and 57 in the direction of the optical axis does not occur Deflection occurs, are on the slide 52, on which the slide 57 moves, two downwardly protruding cheeks 62 attached, which at their lower end by a Cross piece 63 are connected. A slide shoe 64 is attached to this and is on a guide rail 65 slides on the upper side of the base plate 2.
Die lichtempfindliche Platte ist in einem Schlitten 11, 12, 13, 14 angebracht, welcher auf Querbalken 8, 9 verschiebbar ist, die über die Ständer 3 nach beiden Seiten hinausragen und durch Teile 10 miteinander verbunden sind. Der durch die Teile 8, 9, 10 gebildete Schlitten ist an der Vorderfläche 1 der Ständer 3, die als Führungsbahn ausgebildet ist, auf und ab verschiebbar und wird von den beiden in Lagern 18 drehbaren Spindeln 17 und Kegelrädern 20, 21 von der im Lager 24 drehbaren Welle 22 angetrieben, die mittels einer Kurbel 25' mit Teilscheibe 114, Feststellung 116 bis 119 (Fig. 5) und einstellbarem Sektor 115 geschaltet werden kann. Zur Schaltung des Querschlittens 11, 12, 13^ 14 dient eine Spindel 15, welche ebenfalls eine Teilscheibe 114 mit Sektor 115, Kurbel 25 und Feststellung 116 bis 119 trägt.The photosensitive plate is mounted in a carriage 11, 12, 13, 14, which is slidable on crossbars 8, 9, which protrude beyond the stand 3 on both sides and are connected to one another by parts 10. The one formed by the parts 8, 9, 10 The carriage is on the front surface 1 of the stand 3, which is designed as a guide track, can be moved up and down and is driven by the two spindles 17 rotatable in bearings 18 and bevel gears 20, 21 driven by the shaft 22 rotatable in the bearing 24, which by means of a crank 25 'with a graduated disk 114, detection 116 to 119 (Fig. 5) and adjustable Sector 115 can be switched. For switching the cross slide 11, 12, 13 ^ 14, a spindle 15 is used, which also has a graduated disk 114 with sector 115, crank 25 and statements 116-119 carry.
Der Querschlitten 11, 12, 13, 14 ist nur in der oberen Führung 8 aufgehängt, und zwar derart, daß er sich mit seinem unteren Teil 12 gegen die Führung 9 des Längsschlittens mit Hintergewicht frei anlegt, wodurch der kantenden Bewegung des Querschlittens beim Schalten entgegengewirkt wird. Zur Ausbalancierung des Längs- und Querschlittens dienen Gewichte 28, die von über Rollen 27 geführte Ketten 26 getragen werden.The cross slide 11, 12, 13, 14 is only in the upper guide 8 suspended in such a way that it is with its lower part 12 against the guide 9 of the longitudinal slide with rear weight freely applies, whereby the edging Movement of the cross slide is counteracted when switching. For balancing weights 28 are used for the longitudinal and transverse slides, which are carried by rollers 27 guided chains 26 are worn.
Die Schaltungen der Längs- und Querschlitten erfolgen durch ganze und Teilumdrehungen ihrer Spindeln. Da bei einer größeren Anzahl von ganzen Umdrehungen leicht Irrtümer auftreten können, ist folgende Einrichtung vorgesehen, durch die solche Irrtümer ausgeschlossen werden. Auf dem Teil 8 des auf und ab verschiebbaren Schlittens ist bei 30,31 eine Stange29 gelagert, welche einen verstellbaren Anschlag 32 für den durch die Spindel 15 zu verschiebenden Querschlitten 11 trägt (Fig. 2). Auf dem Teil 11 des Querschlittens befindet sich ein gleicher Anschlag 38 und ein fester Anschlag 39. Für die lotrechten Spindeln 17 trägt eine bei 45 an einem Ständer 3 befestigte Stange 44 (Fig. 1) einen verstellbaren Anschlag 46. Auf dem Teil 10 des Längsschlittens ist ein gleicher Anschlag 47 und ein fester Anschlag 48 vorgesehen. Die Einstellung der Anschläge geschieht folgendermaßen. The longitudinal and cross slides are switched by full and partial revolutions their spindles. Since errors can easily occur with a larger number of complete revolutions, the following is the case Provision is made to rule out such errors. On part 8 of the slide which can be moved up and down, a rod 29 is mounted at 30, 31, which a adjustable stop 32 for the cross slide to be displaced by the spindle 15 11 carries (Fig. 2). On part 11 of the cross slide there is an identical stop 38 and a fixed stop 39. For the vertical Spindles 17 carries a rod 44 (FIG. 1) attached to a stand 3 at 45 adjustable stop 46. On part 10 of the longitudinal slide there is an identical stop 47 and a fixed stop 48 are provided. The stops are set as follows.
Nachdem die Anschläge 32, 46 bis an die in der Bewegungsrichtung vorn anliegenden Anschläge 38,47 oder 39,48 der Schlittenteile 11, 10 herangeschoben und festgestellt worden sind, werden die Anschläge 38 und 47 so eingestellt, daß sie von den festen Anschlägen 39, 48 um ein wenig mehr, als der Summe der ganzen Umdrehungen der Spindeln plus der Teildrehung entspricht, abstehen, so daß die Entfernung also etwas größer ist als der ~ Rapport. Wenn z. B. die Spindeln für die Schaltung 10V2 Umdrehung zu machen haben, dann werden die Anschläge so eingestellt, daß sie etwa bei io5/8 Umdrehungen einander berühren. Durch das Anstoßen derAfter the stops 32, 46 have been pushed up to the stops 38, 47 or 39, 48 of the slide parts 11, 10 lying at the front in the direction of movement and have been fixed, the stops 38 and 47 are set so that they are removed from the fixed stops 39, 48 protrude by a little more than the sum of the total revolutions of the spindles plus the partial rotation, so that the distance is somewhat larger than the ~ repeat. If z. B. the spindles have to make 10V 2 turn for the circuit, then the stops are adjusted so that it contains about 5 io / touch at 8 revolutions today. By bumping into the
Anschläge wird der Arbeiter gewarnt, und er kann darin die Spindeln um den notwendigen Betrag zurückdrehen. Die Anschläge 32, 46 werden dann verstellt, bis sie an den entgegengesetzten, d. h. in der Bewegungsrichtung vorn liegenden Anschlag der Schlittenteile 11, 10 anstoßen, worauf sich der Vorgang wiederholen kann.Attacks, the worker is warned, and he can turn the spindles around the necessary Turn back the amount. The stops 32, 46 are then adjusted until they hit the opposite, d. H. in the direction of movement forward stop of the slide parts 11, 10 abut, whereupon the process can repeat.
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